WO2006075589A1 - ディスプレイパネルの製造方法およびディスプレイパネル用基板の支持台 - Google Patents

ディスプレイパネルの製造方法およびディスプレイパネル用基板の支持台 Download PDF

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WO2006075589A1
WO2006075589A1 PCT/JP2006/300173 JP2006300173W WO2006075589A1 WO 2006075589 A1 WO2006075589 A1 WO 2006075589A1 JP 2006300173 W JP2006300173 W JP 2006300173W WO 2006075589 A1 WO2006075589 A1 WO 2006075589A1
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WO
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support base
substrate
thermal expansion
support
display panel
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/300173
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English (en)
French (fr)
Inventor
Hiroyuki Yonehara
Masanori Suzuki
Makoto Morita
Daisuke Adachi
Yasuyuki Akata
Kenji Tanimoto
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. filed Critical Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/241Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases the vessel being for a flat panel display

Definitions

  • the present invention relates to a manufacturing method for suppressing the surface of a panel from being damaged and a display panel substrate support in a display panel manufacturing process.
  • a plasma display panel (hereinafter referred to as a PDP or a panel) as a display panel has a structure in which peripheral portions of a front panel and a rear panel arranged opposite to each other are sealed with a sealing member.
  • a discharge gas such as neon and xenon is sealed in the discharge space formed between the two.
  • the front panel includes a plurality of display electrode pairs formed of scan electrodes and sustain electrodes formed in a stripe shape on one surface of a glass substrate, and a dielectric layer and a protective layer that cover these display electrode pairs.
  • Each of the display electrode pairs is composed of a transparent electrode and an auxiliary electrode made of a metal material formed on the transparent electrode.
  • the rear panel has a plurality of address electrodes formed in a stripe shape in a direction orthogonal to the display electrode pair on one side of the other glass substrate, a base dielectric layer covering these address electrodes, and an address electrode for discharging space.
  • Stripe-like partition walls that are divided every time, and red, green, and blue phosphor layers sequentially applied to the grooves between the barrier ribs.
  • the display electrode pair and the address electrode are orthogonal to each other, and the intersection thereof becomes a discharge cell. These discharge cells are arranged in a matrix, and three discharge cells having red, green, and blue phosphor layers arranged in the direction of the display electrode pair become pixels for color display.
  • the PDP sequentially applies a predetermined voltage between the scan electrode and the address electrode and between the scan electrode and the sustain electrode to generate a gas discharge, and the phosphor layer is excited by the ultraviolet rays generated by the gas discharge to emit light. Display a color image.
  • components such as a display electrode pair and a dielectric layer are formed on the front glass substrate, and an address electrode, a base dielectric layer, a partition wall, and a phosphor are formed on the rear glass substrate.
  • Components such as layers are arranged in a predetermined shape and pattern. These are it Each material is applied on a glass substrate, and is formed by firing after predetermined patterning by a photolithography method or a sandblasting method, if necessary.
  • each component is formed on the glass substrate by firing and solidifying.
  • a glass substrate is placed on a support base, and the material layer is fired together with the support base in a baking furnace. Since the temperature inside the firing furnace is as high as 500 ° C to 600 ° C, Neoceram N-0 or N-11 (trade name of Nippon Electric Glass Co., Ltd.) is used as a ceramic material with high heat resistance on the support base. High strain point glass is used for the glass substrate.
  • An example of preventing misalignment between the support base and the glass substrate during such a firing process is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-51251.
  • the display panel manufacturing method of the present invention includes a material layer forming step of forming a material layer on a substrate, and a firing step of placing the substrate on which the material layer is formed on a support base and heating and firing.
  • the support base is composed of a first support base and a second support base placed on the first support base, and a thermal expansion coefficient and a basis of the second support base.
  • the difference between the thermal expansion coefficient of the plate is set to be smaller than the difference between the thermal expansion coefficient of the first support base and the thermal expansion coefficient of the substrate.
  • the substrate is placed on the second support table so that the support table exists, and then heated and fired.
  • the substrate in the firing step, is placed on the second support base having a small difference in thermal expansion coefficient from the substrate, and the second support base is disposed around the substrate. Since it exists, it suppresses the generation of scratches on the substrate surface caused by the difference in thermal expansion between the support base and the substrate, and also prevents the generation of scratches that the substrate is rubbed by the end of the second support base, High quality display panels can be provided.
  • FIG. 1 is a perspective view showing a structure of a PDP.
  • FIG. 2A is a plan view showing a configuration of a support base used in the method for manufacturing a display panel in the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2B is a front view showing the configuration of the support base used in the method for manufacturing the display panel in the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is used in a display panel manufacturing method according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is used in a method for manufacturing a display panel according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram showing a display panel manufacturing method according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 6A is a plan view showing a modified example of the structure of the support base used in the display panel manufacturing method in the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 6B is a front view showing a modified example of the structure of the support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 7A is a plan view showing a modification of the configuration of the support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line 7B-7B of FIG. 7A.
  • FIG. 8A is a plan view showing a modification of the configuration of the support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 8B is a cross-sectional view taken along line 8B-8B of FIG. 8A.
  • FIG. 9A shows a method for manufacturing a display panel according to a third embodiment of the present invention. It is a top view which shows the modification of a structure of the support stand used for.
  • FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line 9B-9B of FIG. 9A.
  • FIG. 10A is a plan view showing a modification of the configuration of the support base used in the method for manufacturing the display panel in the third embodiment of the present invention.
  • FIG. 10B is a cross-sectional view taken along line 10B-10B of FIG. 10A.
  • FIG. 11A is a plan view showing a modified example of the structure of the support base used in the method for manufacturing the display panel in the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 11B is a cross-sectional view in the X direction of FIG. 11A.
  • FIG. 11C is a cross-sectional view in the y direction of FIG. 11A.
  • FIG. 12A is a plan view showing a modified example of the structure of the support base used in the method of manufacturing the display panel in the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 12B is a cross-sectional view in the X direction of FIG. 11A.
  • FIG. 13A is a plan view showing a modified example of the structure of the support base used in the method for manufacturing the display panel in the fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 13B is a cross-sectional view in the X direction of FIG. 13A.
  • FIG. 13C is a cross-sectional view in the y direction of FIG. 13A.
  • FIG. 14A is a plan view showing the structure of a support base used in the method for manufacturing a display panel in the fifth embodiment of the present invention.
  • FIG. 14B is a cross-sectional view taken along line 14B-14B of FIG. 14A.
  • FIG. 15A is a cross-sectional view showing details of part c in FIG. 14A.
  • FIG. 15B is a plan view showing details of a portion c in FIG. 14A.
  • FIG. 16 is a plan view showing a configuration in the case where the support is used in the display panel manufacturing method according to the fifth embodiment of the present invention, and no restriction portion is provided.
  • FIG. 17 is a plan view showing a configuration of a support base used in the method for manufacturing a display panel in the sixth embodiment of the present invention.
  • FIG. 18 is a plan view showing a configuration of a support base used in the method for manufacturing a display panel in the seventh embodiment of the present invention.
  • FIG. 19 shows a method for manufacturing a display panel in the eighth embodiment of the invention. It is a top view which shows the structure of the support stand to be used.
  • FIG. 20A is a plan view showing a structure of a support base used in a conventional display panel manufacturing method.
  • FIG. 20B is a front view showing the structure of the support base used in the conventional method of manufacturing a display panel.
  • the present invention can be applied to a display panel having a process of forming a material layer as a component on a glass substrate such as PDP and baking and solidifying them.
  • PDP is an example. I will explain to you.
  • FIG. 1 is a perspective view showing the structure of a PDP.
  • the basic structure of the PDP is the same as that of a general AC surface discharge type PDP.
  • the PDP 1 has a front panel 2 made of a front glass substrate 3 and a rear panel 10 made of a rear glass substrate 11 facing each other, and its outer peripheral portion is sealed with a force such as a glass frit. It is hermetically sealed with a landing member.
  • the discharge space 16 inside the sealed PDP 1 has discharge gas such as neon (Ne) and xenon (Xe). 400 ⁇ ⁇ : sealed at a pressure of ⁇ 600 Torr!
  • a pair of stripe-shaped display electrodes 6 and black stripes (light-shielding layers) 7 composed of scan electrodes 4 and sustain electrodes 5 are parallel to each other. Multiple rows are arranged. Furthermore, a dielectric layer 8 that acts as a powerful capacitor, such as Pb—B-based glass, is formed so as to cover these display electrodes 6 and the light shielding layer 7, and on the surface thereof, magnesium oxide (MgO) is formed. A protective layer 9 is also formed, which also has strength.
  • a plurality of striped address electrodes 12 are arranged in parallel to each other in a direction orthogonal to the scan electrodes 4 and the sustain electrodes 5. Is covered with a base dielectric layer 13. Further, a partition wall 14 having a predetermined height is formed on the underlying dielectric layer 13 between the address electrodes 12 to divide the discharge space 16. For each address electrode 12, a phosphor layer 15 that emits red, green, and blue light is sequentially applied to the grooves between the barrier ribs 14 by the ultraviolet rays. Discharge cells are formed at the positions where scan electrode 4, sustain electrode 5 and address electrode 12 intersect, and discharge cells having red, green, and blue phosphor layers 15 aligned in the direction of display electrode 6 are displayed in color. It becomes a pixel for.
  • the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the light shielding layer 7 are formed on one main surface of the front glass substrate 3.
  • the scanning electrode 4 and the sustaining electrode 5 are formed of transparent electrodes having a force, such as indium stannate (ITO) and tin oxide (SnO), and formed thereon.
  • the light-shielding layer 7 is also formed by screen printing a black pigment-containing base or by forming a black pigment on the entire surface of the glass substrate, patterning it using a photolithographic method, and baking and solidifying it.
  • a dielectric paste layer (dielectric material layer) is applied by applying a dielectric paste on the front glass substrate 3 by a die coating method or the like so as to cover the scan electrode 4, the sustain electrode 5 and the light shielding layer 7. Form. After applying the dielectric paste, the surface of the applied dielectric paste is leveled by leaving it to stand for a predetermined time, so that a flat surface is obtained. Thereafter, the dielectric paste layer is baked and solidified to cover the scan electrode 4, the sustain electrode 5, and the light shielding layer 7. 8 is formed.
  • the dielectric paste is a paint containing a dielectric material such as glass powder, a noinder and a solvent.
  • a protective layer 9 made of magnesium oxide (MgO) is formed on the dielectric layer 8 by a vacuum deposition method.
  • predetermined components scanning electrode 4, sustaining electrode 5, light shielding layer 7, dielectric layer 8, and protective layer 9) are formed on front glass substrate 3, and front panel 2 is completed.
  • the back panel 10 is formed as follows.
  • the structure for the address electrode 12 is formed by a method in which a silver paste is screen-printed on one main surface of the rear glass substrate 11 or a method in which a metal film is formed on the entire surface and then patterned using a photolithography method.
  • An address electrode 12 is formed by forming a material layer to be an object and baking and solidifying the material layer at a predetermined temperature.
  • a dielectric paste layer is formed on the rear glass substrate 11 on which the address electrodes 12 are formed by applying a dielectric paste so as to cover the address electrodes 12 by a die coat method or the like. Thereafter, the dielectric paste layer is fired to form the base dielectric layer 13.
  • the dielectric paste is a paint containing a dielectric material such as glass powder, a binder and a solvent.
  • a partition wall forming paste containing a partition wall material is applied onto the underlying dielectric layer 13 and patterned into a predetermined shape to form a partition wall material layer, and then fired and solidified to form the partition wall 14.
  • a method of patterning the partition wall paste applied onto the underlying dielectric layer 13 a photolithography method or a sandblast method can be used.
  • the phosphor layer 15 is formed by applying a phosphor paste containing a phosphor material on the base dielectric layer 13 between the adjacent barrier ribs 14 and on the side faces of the barrier ribs 14 and baking and solidifying the phosphor paste.
  • the rear panel 10 having predetermined components on the rear glass substrate 11 is completed.
  • the front panel 2 and the back panel 10 having predetermined constituent members are arranged to face each other so that the scanning electrodes 4 and the address electrodes 12 are orthogonal to each other, and the periphery thereof is sealed with glass frit.
  • PDP1 is completed by filling discharge space 16 with discharge gas containing neon, xenon, and the like.
  • the metal bus electrodes on the front glass substrate 3 are made of materials for the respective constituent members. It is produced by coating on the glass substrate 3 or the back glass substrate 11, forming a predetermined pattern as necessary, and then baking and solidifying. The firing process is performed at 500 ° C. to 600 ° C. for each constituent member, and at least twice for the front panel 2 and four times for the rear panel 10 are required.
  • FIG. 20A and FIG. 20B are diagrams showing the structure of a support base used in a conventional method for manufacturing a display panel.
  • 20A is a plan view
  • FIG. 20B is a front view.
  • the glass substrate 200 is arranged on the support base 210 so that the surface on which the components 220 such as various electrodes and material layers are formed is the upper surface, and the surface of the glass substrate 200 and the support base 210 are in contact with each other. .
  • scratches are generated on the surface of the glass substrate 200 in contact with the support base 210.
  • This scratch is caused by the difference between the thermal expansion amount of the support base 210 and the thermal expansion amount of the glass substrate 200 in the firing process.
  • the coefficient of thermal expansion of the heat-resistant ceramic used as the support base 210 (1. 4 X 10 _6 Z ° C) and the coefficient of thermal expansion of the glass substrate 200 ( 8.3 X 10 _6 Z ° C). Since there is a large difference between them, if the glass substrate 200 is placed on the support base 210 and placed in a firing furnace and baked, the thermal expansion amount of the support base 210 and the thermal expansion amount of the glass substrate 200 will be greatly different. . On the other hand, the difference between these thermal expansion amounts increases in proportion to the substrate size.
  • the glass substrate 200 thermally expands radially around the center point 230 in the direction of thermal expansion, and thus the glass substrate 200 and the support base 210 are rubbed.
  • the linear flaw due to the laser beam spreads radially from the central point 230 of the glass substrate 200.
  • the center point 230 in the direction of thermal expansion coincides with the center of gravity of the glass substrate 200, and the maximum length of the linear flaw is It is calculated from the difference in thermal expansion amount and the substrate size.
  • the maximum value of the length of the linear scratch is expressed by (difference in thermal expansion coefficient between the glass substrate 200 and the support base 210) X (firing temperature) X (substrate size).
  • X difference in thermal expansion coefficient between the glass substrate 200 and the support base 210)
  • X firing temperature
  • substrate size substrate size
  • PDP size: 980mm X 554mm
  • the maximum length of linear scratches generated on the substrate 200 is 3.4 mm. Since the linear scratches on the glass substrate 200 can be easily seen when they are 1 mm or more, and in some cases 0.7 mm or more, such scratches significantly reduce the display quality.
  • FIG. 2A and FIG. 2B are diagrams showing a configuration of a support base used in the display panel manufacturing method according to the first embodiment of the present invention, and showing a state where a substrate is placed on the support base.
  • FIG. 2A is a plan view thereof
  • FIG. 2B is a side view thereof.
  • the support table 20 includes a first support table 21 and a second support table 22, and a substrate 23 is placed on the second support table 22.
  • the substrate 23 is the front glass substrate 3 or the rear glass substrate 11 on which the PDP components are formed, and these components are formed on the surface of the substrate 23 opposite to the surface in contact with the second support base 22. Has been. Therefore, the substrate 23 is placed on the first support base 21 via the second support base 22.
  • the second support base 22 is a thin metal plate that has a force such as metal, and the difference between the thermal expansion coefficient of the second support base 22 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23 is the thermal expansion of the first support base 21. It is set smaller than the difference between the coefficient and the thermal expansion coefficient of the substrate 23.
  • the absolute value of the difference between the thermal expansion coefficient of the second support base 22 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23 is the absolute value of the difference between the thermal expansion coefficient of the substrate 23 and the thermal expansion coefficient of the first support base 21.
  • the metal thin plate constituting the second support base 22 is selected so that it is less than half of the value, preferably 1Z10 or less.
  • the metal thin plate for example, titanium or a titanium alloy can be used.
  • a second support base 22 exists around the substrate 23. That is, the outer peripheral portion of the second support base 22 placed on the first support base 21 is always positioned outside the outer peripheral portion of the substrate 23 placed on the second support base 22. . [0030] In this way, the substrate 23 is placed on the support base 20, and the PDP components formed on the substrate 23 are fired in a heating and firing furnace. As described above, in the conventional example in which the substrate 23 is placed directly on the first support base 21 and fired, the surface of the substrate 23 in contact with the first support base 21 is damaged.
  • the cause of such scratches is the difference between the thermal expansion amount of the first support base 21 and the thermal expansion amount of the substrate 23 during firing, and the heat-resistant ceramic used as the first support base 21 has thermal expansion.
  • the coefficient is very small
  • the front glass substrate 3 and rear glass substrate 11 used as the substrate 23 have a coefficient of thermal expansion that is an order of magnitude greater than that of heat-resistant ceramics. Have. For this reason, when the substrate 23 is placed on the first support 21 and put into a firing furnace for firing, the amount of thermal expansion of the first support 21 and the amount of thermal expansion of the substrate 23 are greatly different.
  • the substrate 23 to be baked becomes considerably large, so the heat of the first support 21
  • the second support base 22 is mounted on the first support base 21 and the substrate 23 is mounted on the second support base 22.
  • the material layer of the PDP component formed on the substrate 23 is fired in a state where it is put into a firing furnace.
  • the difference between the thermal expansion coefficient of the second support base 22 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23 is smaller than the difference between the thermal expansion coefficients of the first support base 21 and the substrate 23. 2
  • the differential force S between the thermal expansion amount of the support base 22 and the thermal expansion amount of the substrate 23 is reduced, and the occurrence of scratches on the substrate 23 can be suppressed.
  • the coefficient of thermal expansion of the metal plate is 8.4 X 10 _6 Z ° C, and the coefficient of thermal expansion of the substrate 23 (8.3. X 10 _6 Z ° C).
  • the difference between the thermal expansion coefficient of the second support base 22 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23 is larger than the difference between the thermal expansion coefficient of the first support base 21 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23.
  • the length of the linear scratches generated on the substrate 23 can be reduced by almost two orders of magnitude.
  • the outer periphery of the second support 22 placed on the first support 21 is always outside the outer periphery of the substrate 23 placed on the second support 22 so that the support 22 exists. It is configured to be located. Therefore, when there is an outer peripheral end portion of the second support base 22 on the inner side of the substrate 23, the force that causes the substrate 23 to be scratched by the edge of the outer peripheral end portion. Can also be prevented.
  • the generation of scratches on the surface of the substrate 23 caused by the difference in thermal expansion between the support table 20 and the substrate 23 is suppressed, and further, the second support table 22 It is possible to provide a high-quality display panel by preventing the occurrence of scratches caused by rubbing the substrate 23 by the end portions of the substrate.
  • FIG. 3 is a diagram showing the configuration of a support base used in the display panel manufacturing method according to the second embodiment of the present invention, and shows a state where a substrate is placed on the support base. Since the configuration of the substrate of the display panel is the same as that of the first embodiment, description thereof is omitted. In the embodiment of the present invention, the configurations of the first support base 24 and the second support base 25 are different from those of the first embodiment.
  • the first support base 24 is provided with a groove 26, and the second support base 25 is constituted by a thin plate along the surface shape of the first support base 24 including the groove 26.
  • the substrate 23 is placed on the second support base 25, and a space 27 is provided between the substrate 23 and the second support base 25.
  • the thin plate constituting the second support base 25 is a metal plate containing titanium similar to that described in the first embodiment.
  • a second support base 25 exists around the substrate 23.
  • FIG. 4 is a view showing a modified example of the configuration of the support base used in the display panel manufacturing method according to the second embodiment of the present invention.
  • a second support base 29 having an uneven portion is placed to provide a space 30 between the substrate 23 and the second support base 29, and the substrate 23 is placed on the second support base 29.
  • the second support base 29 is a metal plate containing titanium similar to that described in the first embodiment, and the second support base 29 exists around the substrate 23.
  • the difference between the thermal expansion amount of the second support base 29 and the thermal expansion amount of the substrate 23 at the time of firing becomes small, and the occurrence of scratches on the substrate 23 can be suppressed.
  • the formation of the space 30 between the substrate 23 and the second support base 29 reduces the occurrence of buoyancy on the substrate 23 during firing, suppresses the displacement of the substrate 23, and damages the substrate 23. Can be prevented.
  • FIG. 5 is a diagram showing a configuration of a support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention. Since the configuration of the substrate of the display panel is the same as that of the first embodiment, the description is omitted.
  • movement restraining means for restraining the second support base from moving on the first support base.
  • a second support base 32 made of a thin plate is placed on the first support base 31, and the substrate 23 is placed on the second support base 32.
  • the second support base 32 includes a first bent portion 32a bent upward at an end portion thereof and a second bent portion 32b serving as movement restraining means bent downward.
  • the second bent portion 32b is provided so as to face the four side surfaces of the first support base 31, respectively.By providing the second bent portion 32b, the second support base 32 slips on the first support base 31. Can be prevented.
  • the second support base 32 is composed of a metal plate containing titanium similar to that described in the first embodiment.
  • the difference between the thermal expansion amount of the second support base 32 and the thermal expansion amount of the substrate 23 at the time of firing becomes small, and it is possible to suppress the generation of scratches on the substrate 23. it can. Further, it is possible to prevent the substrate 23 from being damaged, the firing furnace from being broken, and the like by suppressing the displacement of the second support base 32 and the displacement of the substrate 23 during firing.
  • FIG. 6A and FIG. 6B are diagrams showing a modification of the configuration of the support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention.
  • a second support base 34 made of a thin plate is placed on the first support base 33, and the substrate 23 is placed on the second support base 34.
  • Convex portions 33a are provided at the four corners of the first support base 33, and the convex portions 33a have a right triangle shape when viewed from above.
  • the second support base 34 has a shape in which four corners of a rectangle are cut, and is opposed to the hypotenuse of the right triangle of the convex portion 33a. With this configuration, it is possible to prevent the second support base 34 from slipping on the first support base 33 during firing.
  • the second support base 34 is made of a metal plate containing titanium, and the difference between the thermal expansion amount of the second support base 34 and the thermal expansion amount of the substrate 23 during firing is the same. Since the size is reduced, it is possible to prevent the substrate 23 from being damaged.
  • FIG. 7A and FIG. 7B are diagrams showing a modification of the configuration of the support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention.
  • 7A is a plan view
  • FIG. 7B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 7A.
  • a second support base 36 is placed on the first support base 35, and the substrate 23 is placed on the second support base 36.
  • the first support base 35 is provided with a plurality of holes 35a so as to surround the second support base 36.
  • two holes are provided for each side of the thin plate that is the second support base 36.
  • Hole 35a is provided.
  • a fixing member 37 serving as a movement restraining means is fitted into the hole 35a, and the fixing member 37 can prevent the second support base 36 from slipping and shifting on the first support base 35 during firing.
  • the fixing member 37 serves as a stopper for the substrate 23.
  • the second support base 36 is made of a metal plate containing titanium as in the first embodiment, the thermal expansion amount of the second support base 36 and the thermal expansion amount of the substrate 23 during firing.
  • FIG. 8A and FIG. 8B are diagrams showing a modification of the structure of the support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention.
  • 8A is a plan view
  • FIG. 8B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 8A.
  • a second support base 39 is placed on the first support base 38, and the substrate 23 is placed on the second support base 39.
  • the first support base 38 is provided with a plurality of holes 39a so as to surround the second support base 39.
  • two holes 39a are provided for each side of the second support base 39.
  • plate-like members 40a and 40b serving as movement restraining means are provided so as to correspond to the respective sides of the second support base 39.
  • the plate-like members 40a and 40b are fixed to the holes 39a of the first support base 38 in the fixing member 41. It is fixed with.
  • the plate-like member 40a is arranged around the second support 39, and the end of the plate-like member 40b provided on the plate-like member 40a overlaps the end of the second support 39. It is configured.
  • the plate-like members 40a and 40b can prevent the second support base 39 from slipping on the first support base 38 during firing, and the plate-like member 40b is a stopper for the substrate 23 even when the substrate 23 is largely displaced. It becomes. Further, since the second support base 39 is made of a metal plate containing titanium, as in the first embodiment, the thermal expansion amount of the second support base 39 and the thermal expansion amount of the substrate 23 during firing. And the occurrence of scratches on the substrate 23 can be suppressed.
  • the plate-like member 40a and the plate-like member 40b may be integrated. In consideration of thermal expansion, a gap is formed between the second support base 39 and the plate-like member 40a.
  • the plate-like member 40a is made thicker than the second support base 39, and a gap is provided between the upper surface of the second support base 39 and the lower surface of the plate-like member 40b, so that the thermal expansion of the second support base 39 is achieved. Do not disturb the structure.
  • FIG. 9A and FIG. 9B are diagrams showing a modified example of the structure of the support base used in the display panel manufacturing method according to the third embodiment of the present invention.
  • 9A is a plan view
  • FIG. 9B is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 9A.
  • the second support base 43 is placed on the first support base 42.
  • a substrate 23 that is smaller than the second support base 43 is placed on the second support base 43.
  • FIGS. 9A and 9B two holes 42a are provided in the central portion of the first support base 42.
  • the holes are parallel to the short side of the first support base 42.
  • a projection 44 serving as a movement restraining means is attached, and this projection 44 is fitted into the hole 42a of the first support base 42.
  • the second support base 43 is made of a metal plate containing titanium as in the first embodiment, the thermal expansion amount of the second support base 43 and the thermal expansion amount of the substrate 23 during firing are calculated. This difference is reduced, and the generation of scratches on the substrate 23 can be suppressed.
  • the number and the positions of the protrusions 44 may be arbitrary, but by providing at least two protrusions 44, the second support base 43 can be prevented from being translated or rotated.
  • FIG. 10A and FIG. 10B are diagrams showing a modification of the configuration of the support base used in the method for manufacturing a display panel according to the third embodiment of the present invention.
  • 10A is a plan view
  • FIG. 1OB is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 10A.
  • the second support base 45 is placed on the first support base 42.
  • a substrate 23 smaller than the second support 45 is placed on the second support 45.
  • two holes 42a are provided in the central portion of the first support base 42, and in the figure, they are arranged in parallel with the short side of the first support base 42.
  • projections 45a serving as movement restraining means are provided at two locations in the center of the second support base 45 so as to project toward the back side.
  • These protrusions 45a form a protrusion 45a by making an appropriate cut in the second support base 45 made of, for example, a thin plate and bending the cut portion to the back side of the thin plate of the second support base 45.
  • the projection 45a is fitted into the hole 42a of the first support base 42.
  • the second support base 45 is prevented from slipping on the first support base 42 and being rotated or moved during firing. it can.
  • the second support base 45 is made of a metal plate containing titanium, as in the first embodiment, the thermal expansion amount of the second support base 45 and the thermal expansion of the substrate 23 during firing. The difference from the amount becomes small, and the generation of scratches on the substrate 23 can be suppressed.
  • the number and position of the protrusions 45a may be arbitrary, but by providing at least two protrusions 45a, It is possible to prevent the second support 45 from being translated or rotated.
  • the substrate 23 may be placed on the second support base so that the center point of the substrate 23 coincides with the center point of the second support base. It is possible to make the thermal expansion direction of the preferred substrate 23 coincide with the thermal expansion direction of the second support base. Further, if the substrate 23 is larger than the second support base, the substrate 23 is in contact with the edge portion of the second support base. The contact with such an edge portion makes the substrate 23 easily damaged. However, in the first to third embodiments, since the substrate 23 is placed on the second support base so that the second support base exists around the substrate 23, such a scratch is not generated. Absent.
  • FIG. 11A, FIG. 11B, and FIG. 11C are diagrams showing a configuration of a support base used in the method for manufacturing a display panel according to the fourth embodiment of the present invention, in which a substrate is placed on the support base Show me! / Since the configuration of the substrate of the display panel is the same as that of the first embodiment, description thereof is omitted.
  • the configuration of the second support base is different from that of the first embodiment and the second embodiment.
  • FIG. 11A is a plan view
  • FIG. 11B is a cross-sectional view in the X direction
  • FIG. 11C is a cross-sectional view in the y direction.
  • a plurality of strip-shaped grooves are formed in parallel on the surface of the first support base 50, and a rod-shaped member 51 as a second support base is inserted into the groove. It has been done.
  • the substrate 23 is placed on a rod-like member 51 serving as a second support base. In a state in which the substrate 23 is placed on the rod-shaped member 51, a space 53 is formed between the substrate 23 and the first support base 50.
  • the rod-shaped member 51 is interposed between the first support base 50 and the substrate 23.
  • the first support base 50 is made of a low thermal expansion material such as a heat-resistant ceramic, and the rod-like member 51 as the second support base is the first, It is made of the same metal as the thin plate that is the second support in the second and third embodiments, and for example, titanium or a titanium alloy can be used.
  • the first support base 50 is put into a firing furnace, and the material layer formed on the substrate 23 is fired.
  • the difference between the thermal expansion coefficient of the rod-shaped member 51 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23 is small, the difference between the thermal expansion amount of the rod-shaped member 51 and the thermal expansion amount of the substrate 23 at the time of firing becomes small. The occurrence of scratches on 23 can be suppressed. Further, since the space 53 is formed between the substrate 23 and the first support base 50, the occurrence of buoyancy acting on the substrate 23 during firing is reduced, so that the displacement of the substrate 23 can be prevented. It is out.
  • FIG. 12A and FIG. 12B are diagrams showing a modification of the configuration of the support base used in the method for manufacturing a display panel in the fourth embodiment of the present invention.
  • 12A is a plan view
  • FIG. 12B is a cross-sectional view in the X direction of FIG. 12A.
  • a plurality of striped grooves are formed radially from the center of the first support base 54 on the surface of the first support base 54, and the second support is provided in the groove.
  • a rod-like member 51 serving as a base is inserted.
  • the rod-like member 51 is disposed in consideration of the thermal expansion of the substrate 23 radially during firing.
  • the difference between the thermal expansion coefficient of the rod-shaped member 51 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23 is small, the difference between the thermal expansion amount of the rod-shaped member 51 and the thermal expansion amount of the substrate 23 during firing is small.
  • the direction of thermal expansion is the same, the generation of scratches on the substrate 23 can be further suppressed.
  • the space is formed between the substrate 23 and the first support base 54, the occurrence of buoyancy of the substrate 23 during firing is reduced, so that the displacement of the substrate 23 can be suppressed.
  • FIG. 13A, FIG. 13B, and FIG. 13C are diagrams showing a modified example of the configuration of the support base used in the display panel manufacturing method according to the fourth embodiment of the present invention.
  • 13A is a plan view
  • FIG. 13B is a cross-sectional view in the X direction of FIG. 13A
  • FIG. 13C is a cross-sectional view in the y direction.
  • a plurality of striped grooves are formed in parallel on the surface of the first support base 55, and a rod-shaped member 56 that serves as a second support base in the groove. 57, and when the base plate 23 is placed on the rod-like member 56, a space 58 is formed between the substrate 23 and the first support base 55. Also, both ends of the rod-like member 56 are thicker than the other parts.
  • the board 23 is placed on the thin portion of the rod-like member 56. This can prevent displacement of the substrate 23 in the X direction in the firing step.
  • the rod-like members 57 arranged at the upper end and the lower end of the first support base 55 in FIG. 13A have a thickness that can prevent the substrate 23 from moving in the y direction. ing.
  • the first support base 55 is made of a low thermal expansion material such as a heat-resistant ceramic, and the rod-like members 56 and 57 are made of the same metal as the rod-like member 51. According to this configuration, since the difference between the thermal expansion coefficient of the rod-shaped members 56 and 57 and the thermal expansion coefficient of the substrate 23 is small, the thermal expansion amount of the rod-shaped members 56 and 57 during firing and the thermal expansion amount of the substrate 23 are Since the difference is small, the generation of scratches on the substrate 23 can be further suppressed. In addition, since the space 58 is formed between the substrate 23 and the first support base 55, the occurrence of buoyancy of the substrate 23 during firing is reduced, so that the displacement of the substrate 23 can be suppressed. .
  • FIG. 14A and FIG. 14B are diagrams showing the configuration of the support base used in the display panel manufacturing method according to the fifth embodiment of the present invention.
  • 14A is a plan view
  • FIG. 14B is a cross-sectional view taken along the line BB.
  • 15A and 15B are diagrams showing details of a portion c in FIG. 14A
  • FIG. 15A is a sectional view
  • FIG. 15B is a plan view.
  • a substrate 23 such as a front glass substrate 3 and a rear glass substrate 11 with a surface on which a component 220 such as various electrodes and material layers is formed as an upper surface is a first support base. It is mounted on a support base 63 constituted by 61 and a second support base 62.
  • the second support base 62 is divided into two, and one substrate 23 is mounted so as to straddle the two divided second support bases 62.
  • the first support base 61 is made of a heat-resistant material having a small thermal expansion coefficient, and the thermal expansion coefficient is about ⁇ 0.4 ⁇ 10 _6 Z ° C.
  • the second support base 62 is made of the same thin metal plate as that used in the first, second, and third embodiments, for example, titanium or a titanium alloy.
  • the reason why the second support base 62 is divided into two parts is as follows. That is, due to the increase in size of PDP and the like and the multi-chamfering method for improving production efficiency, the substrate 23 in the firing process is increased in size, and accordingly, the necessary force S to use the second support base 62 having an extremely large area arises.
  • the second support 62 which has such a large area metal plate force, is distributed in the factory. The amount is limited and its price is significantly higher. Therefore, in the embodiment of the present invention, the use of a plurality of second support bases 62 having a small area facilitates reduction in production cost and handling in the firing process.
  • a plurality of restricting portions 64 for restricting the direction of thermal expansion of the second support base 62 made of sheet metal are provided around the second support base 62.
  • the restricting portion 64 includes an opening 65 provided in the second support base 62 and a restricting pin 66 fixed on the first support base 61.
  • the opening 65 has a rectangular shape with a major axis.
  • the opening 65 provided in the second support base 62 of the restricting portion 64 is such that the central axis 67 of the long shaft passes through the center point 69 of the first support base 61. Is formed.
  • the regulation pin 66 is made of a heat-resistant material such as ceramic.
  • FIG. 15A shows a state in which the restriction pin 66 is inserted into the hole 68 provided in the first support base 61.
  • the restriction pin 66 is provided on the second support base 62, and the first support base 61 is provided with the restriction pin 66. The restriction pin can be moved in the long direction of the opening.
  • FIG. 16 is a diagram showing the configuration of the support base when no restriction portion is provided.
  • Two second support bases 70 without a restriction portion are placed side by side on the first support base 61, and The case where the board 23 is mounted thereon is shown.
  • the second support base 70 thermally expands with the center of gravity 71 and 72 as the center of thermal expansion. That is, the displacement due to thermal expansion does not occur at the center of gravity of the second support base 70, and the displacement due to thermal expansion occurs radially as indicated by the arrows as it moves away from the center of gravity.
  • the board 23 mounted so as to straddle the two second support bases 70 thermally expands around the center of gravity 74 regardless of the presence or absence of the second support base 70, the center of gravity 74 of the board 23 in the direction of thermal expansion 74
  • the positions of the gravity centers 71 and 72 of the second support base 70 in the direction of thermal expansion do not match. Therefore, when two second support bases 70 are used, the substrate 23 is rubbed by the second support base 70 in the firing step, and the surface of the substrate 23 is scratched.
  • the maximum value S of the scratch length is the firing temperature T, the direction of thermal expansion between the substrate and the second support base
  • the length of scratches generated on the substrate 23 when fired at 600 ° C using a heat-resistant ceramic as the first support base 61 and a high strain point glass for 42-type PDP as the substrate 23 The maximum value of is about 1.4 mm.
  • the second support on the first support base 61 is provided by the restriction pin 66 and the opening 65 of the restriction part 64.
  • the displacement due to the thermal expansion of the table 62 is limited in the longitudinal axis direction of the opening 65. That is, according to the fourth embodiment of the present invention, the opening 65 provided in the second support base 62 of the restricting portion 64 has a central axis 67 of the longitudinal axis thereof that is the center point of the first support base 61. 69 is formed to pass. Since the substrate 23 is a single plate, the center point in the direction of thermal expansion coincides with the center point 69 of the first support base 61.
  • the direction of thermal expansion of the second support base 62 is restricted in the longitudinal direction of the opening 65 of the restricting portion 64 around the center point 69. Therefore, the expansion direction of the substrate 23 and the expansion direction of the second support base 62 can be matched. Further, since the second support base 62 has a thermal expansion coefficient larger than that of the first support base 61, for example, titanium or the like, the difference in thermal expansion amount from the base plate 23 should be reduced. Can do. As a result, it is possible to suppress the occurrence of linear scratches on the substrate 23 due to rubbing between the substrate 23 and the second support base 62, or to shorten the length of the scratches. 10 quality and yield can be improved.
  • the second support base 62 is divided into a plurality of parts, the second support base 62 can be accommodated in a small size even when the glass substrate size is increased by a multi-face machining method or the like. And cost can be reduced.
  • FIG. 17 is a diagram showing a configuration of a support base used in the display panel manufacturing method according to the sixth embodiment of the present invention.
  • two second support bases 62 are arranged on the long side of the first support base 61, and the board 23 is mounted so as to straddle the two second support bases 62. Yes. Since the method of forming the PDP components on the substrate 23 is the same as that of the above-described embodiment, the description thereof is omitted.
  • restriction portions 64 similar to those of the fifth embodiment are provided at the corners of the second support base 62 corresponding to the four corners of the first support base 61.
  • the opening 65 provided in the second support base 62 of the restricting portion 64 provided at the four corners is formed such that the central axis 67 of the longitudinal axis passes through the center point 69 of the first support base 61. Te!
  • the thermal expansion direction of the second support base 62 is regulated to be the same as the thermal expansion direction of the substrate 23 during firing, and the substrate 23 and the first 2 Rubbing with the support base 62 is reduced, and the generation of scratches on the surface of the substrate 23 can be further suppressed.
  • the number of the second support bases is two has been described, but the number of the second support bases is, for example, four, It is also possible to further reduce the cost of the second support base.
  • FIG. 18 is a diagram showing a configuration of a support base used in the display panel manufacturing method according to the seventh embodiment of the present invention.
  • two second support bases 62 are arranged on the short side of the first support base 61, and the substrate 23 is mounted so as to straddle the two second support bases 62.
  • the restricting portions 64 are provided with three restricting portions 64a, 64b, 64c on each second support base 62.
  • the configurations of the restricting portions 64a, 64b, and 64c are the same as those in the fourth and fifth embodiments, but the direction of the longitudinal direction of the force opening 65 is different.
  • the central axis 80 of the longitudinal axis of the opening 65 between the restricting portion 64a and the restricting portion 64b provided on one second support stand 62 is aligned, and two second support stands
  • the central axis 81 of the longitudinal axis of the opening 65 of the restricting portion 64c provided in 62 is aligned.
  • the two central axes 80 are displaced from the center point 69 of the first support 61 by e. Therefore, in the sixth embodiment of the present invention, the center points 82 and 83 of the second support base 62 in the thermal expansion direction are in the vicinity of the center point 69 of the first support base 61 (coincident with the center point of the substrate 23).
  • the center axis 80 and the center axis 81 intersect with each other, and are displaced by the center points 69 and e of the first support base 61.
  • the restricting portions 64a, 64b, 64c so that the center points 82, 83 are located in the vicinity of the center point 69, the direction of thermal expansion on the second support base 62 surface during firing and its direction
  • the amount of thermal expansion is approximated to the direction of thermal expansion of the substrate 23, and the friction between the second support base 62 and the substrate 23 Can reduce the length of scratches.
  • the center-to-center distance (e) between the center point 69 of the substrate 23 and the center point 82 or the center point 83 in the thermal expansion direction of the second support base 62 may be set to satisfy (Equation 2).
  • FIG. 19 is a diagram showing a configuration of a support base used in the display panel manufacturing method according to the eighth embodiment of the present invention.
  • four second support bases 90, 91, 92, 93 are placed on the first support base 61 and straddle them.
  • One board 23 is mounted. Since the configuration of the substrate 23 is the same as that of the above-described embodiment, the description thereof is omitted.
  • the restricting portions 94a to 94h are provided on the first support base 61 and the second support bases 90, 91, 92, 93, and the center line of the longitudinal axis of each opening is the first support base 61. It is arranged to pass near the center of
  • the center points 100, 101, 102, 103 in the direction of thermal expansion of the second support bases 90, 91, 92, 93 are located near the center of the first support base 61.
  • the direction of thermal expansion of the second support 90, 91, 92, 93 is restricted, and the rubbing between the substrate 23 and the second support 90, 91, 92, 93 is reduced, and the surface of the substrate 23 Scratches can be suppressed.
  • the second support bases 90, 91, 92, 93 which are metal plates such as titanium, can be made into small-area substrates, which can reduce equipment costs. it can.
  • the force of the fifth embodiment described above is also the same as that of the eighth embodiment if the opening length W in the longitudinal axis direction of the opening 65 shown in FIGS. 15A and 15B is too small. 2 Expansion of the support base is hindered by the restriction pin 66, and the second support base is deformed. Therefore, the gap dimension W of the opening 65 needs to be larger than the thermal expansion amount of the second support base. That is, it is necessary to satisfy the condition of (Equation 3), where L is the distance from the center point 69 in the thermal expansion direction of the second support base 62 shown in FIG. 14A to the center of the opening 65.
  • W Opening length in the longitudinal axis direction of the opening
  • T f Firing temperature
  • L Distance between the center of the opening and the center point in the thermal expansion direction
  • the gap dimension D in the short axis direction of the opening 65 is too large, the effect of position regulation is lost, so it is desirable that the diameter be the same as or slightly larger than the diameter of the regulation pin 66.
  • a restriction pin may be fixed to the second support base and the opening provided in the first support base may be movable by the restriction pin.
  • the opening may be a notch provided at the end of the second support base.
  • the second support base in the fifth to eighth embodiments is configured such that the second support base exists around the substrate 23 when the substrate 23 is placed thereon.
  • the substrate 23 is disposed so as to straddle the plurality of second support bases. For this reason, the substrate 23 comes into contact with the edge portion of the second support base in the straddling portion, and the substrate 23 is easily damaged by the contact with the edge portion. Therefore, at least the edge portion of the edge portion of the second support that contacts the substrate 23 is bent gently at the edge portion as in the case of forming the protrusion 45a of FIGS. 10A and 10B. Make sure there are no sharp points on the surface where the is placed. At this time, a groove is provided in the first support so that a gently bent edge portion can be inserted. By configuring in this way, it is possible to prevent the substrate 23 from being damaged due to contact with the edge portion of the second support base.
  • the second support base is used.
  • the force described as an example of manufacturing a PDP is also useful as a method for manufacturing another display panel such as a liquid crystal panel or an FED panel.
  • a high-quality display panel is realized with a high manufacturing yield, and is useful for a manufacturing method of a display panel using a large-sized substrate or a multi-sided construction method.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)

Abstract

 基板(23)上に材料層を形成する材料層形成ステップと、材料層が形成された基板(23)を支持台(20)に載置して加熱焼成する焼成ステップとを備えたディスプレイパネルの製造方法であって、支持台(20)は第1支持台(21)と第1支持台(21)に載置した第2支持台(22)とで構成されるとともに、第2支持台(22)の熱膨張係数と基板(23)の熱膨張係数との差の大きさが、第1支持台(21)の熱膨張係数と基板(23)の熱膨張係数との差の大きさよりも小さく設定されており、焼成ステップにおいて、基板(23)の周囲に第2支持台(22)が存在するように基板(23)を第2支持台(22)の上に載置した後に加熱焼成して、ガラス基板の表面に傷が入ることを抑制する。

Description

ディスプレイパネルの製造方法およびディスプレイパネル用基板の支持 台 技術分野
[0001] 本発明は、ディスプレイパネルの製造工程において、パネル表面に傷が入ることを 抑制する製造方法およびディスプレイパネル用基板の支持台に関するものである。 背景技術
[0002] ディスプレイパネルとしてのプラズマディスプレイパネル(以下、 PDPまたはパネル と記す)は、対向配置した前面パネルと背面パネルの周縁部を封着部材によって封 着した構造であって、前面パネルと背面パネルとの間に形成された放電空間には、 ネオンおよびキセノンなどの放電ガスが封入されている。前面パネルは、ガラス基板 の片面にストライプ状に形成された走査電極と維持電極とからなる複数の表示電極 対と、これらの表示電極対を覆う誘電体層および保護層とを備えている。表示電極対 は、それぞれ透明電極とその透明電極上に形成した金属材料からなる補助電極とに よって構成されている。背面パネルは、もう一方のガラス基板の片面に、表示電極対 と直交する方向にストライプ状に形成された複数のアドレス電極と、これらのアドレス 電極を覆う下地誘電体層と、放電空間をアドレス電極毎に区画するストライプ状の隔 壁と、隔壁間の溝に順次塗布された赤色、緑色、青色の蛍光体層とを備えている。
[0003] 表示電極対とアドレス電極は直交していて、その交差部が放電セルになる。これら の放電セルはマトリクス状に配列され、表示電極対の方向に並ぶ赤色、緑色、青色 の蛍光体層を有する 3個の放電セルがカラー表示のための画素になる。 PDPは順次 、走査電極とアドレス電極間、および走査電極と維持電極間に所定の電圧を印加し てガス放電を発生させ、そのガス放電で生じる紫外線で蛍光体層を励起し発光させ ることによりカラー画像を表示して 、る。
[0004] 前面パネルおよび背面パネルの製造方法としては、前面ガラス基板上に表示電極 対、誘電体層などの構成物を、背面ガラス基板上にアドレス電極、下地誘電体層、隔 壁、蛍光体層などの構成物を所定の形状、パターンで配置している。これらは、それ ぞれの材料をガラス基板上に塗布し、必要に応じてフォトリソグラフィ法ゃサンドブラ スト法などにより所定のパターユングした後、焼成することにより形成される。
[0005] ガラス基板上に所定の材料を塗布して材料層を形成した後、焼成固化することによ りそれぞれの構成物がガラス基板上に形成される。焼成固化する工程では、ガラス基 板を支持台上に載せ、支持台とともに焼成炉に入れて材料層を焼成する。焼成炉内 では 500°C〜600°Cのように高温となるため、支持台には耐熱性の高いセラミック材 料としてネオセラム N—0または N— 11 (日本電気硝子株式会社の商品名)が用いら れ、ガラス基板には高歪点ガラスが用いられる。このような焼成工程中での支持台と ガラス基板との位置ずれを防止する例力 特開 2003— 51251号公報に開示されて いる。
[0006] しカゝしながら、耐熱セラミックの支持台に各種の電極、材料層が形成されたガラス基 板を載せて焼成炉に投入し、電極、材料層を焼成固化する工程においては、支持台 とガラス基板との熱膨張係数の違いによって、支持台と接触するガラス基板の表面に 複数の小さな傷が発生するという課題があった。つまり、支持台としてはその熱膨張 係数が—0. 4 X 10_6Z°C程度の耐熱材料が用いられ、ガラス基板としては熱膨張 係数が 8. 3 X 10_6Z°Cの高歪点ガラスが用いられている。このように、支持台とガラ ス基板との間には熱膨張係数の違いがあるため焼成固化する工程においてガラス基 板面が支持台面で擦られて傷が付くといった課題が発生する。これらの傷は背面パ ネルの場合には特に問題にはならな 、が、画像が表示される側の前面パネルの場 合には表示品質が低下して製造歩留まりの低下を招くなどの課題を有している。 発明の開示
[0007] 本発明のディスプレイパネルの製造方法は、基板上に材料層を形成する材料層形 成ステップと、材料層が形成された基板を支持台に載置して加熱焼成する焼成ステ ップとを備えたディスプレイパネルの製造方法であって、支持台は第 1支持台と第 1 支持台に載置した第 2支持台とで構成されるとともに、第 2支持台の熱膨張係数と基 板の熱膨張係数との差の大きさが、第 1支持台の熱膨張係数と基板の熱膨張係数と の差の大きさよりも小さく設定されており、焼成ステップにおいて、基板の周囲に第 2 支持台が存在するように基板を第 2支持台の上に載置した後、加熱焼成している。 [0008] このような製造方法によれば、焼成ステップにお 、て、基板との熱膨張係数の差が 小さい第 2支持台上に基板を載置し、基板の周囲に第 2支持台が存在するようにして いるため、支持台と基板との熱膨張差によって発生する基板表面の傷発生を抑制し 、さらに、第 2支持台の端部によって基板が擦られる傷の発生も防止し、高品質なデ イスプレイパネルを提供することができる。
図面の簡単な説明
[0009] [図 1]図 1は PDPの構造を示す斜視図である。
[図 2A]図 2Aは本発明の第 1の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法 に用いる支持台の構成を示す平面図である。
[図 2B]図 2Bは本発明の第 1の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法 に用いる支持台の構成を示す正面図である。
[図 3]図 3は本発明の第 2の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用
V、る支持台の構成の変形例を示す図である。
[図 4]図 4は本発明の第 2の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用
V、る支持台の構成の変形例を示す図である。
[図 5]図 5は本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用
V、る支持台の構成を示す図である。
[図 6A]図 6Aは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法 に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 6B]図 6Bは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法 に用いる支持台の構成の変形例を示す正面図である。
[図 7A]図 7Aは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法 に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 7B]図 7Bは図 7Aの 7B— 7B線断面図である。
[図 8A]図 8Aは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法 に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 8B]図 8Bは図 8Aの 8B— 8B線断面図である。
[図 9A]図 9Aは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法 に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 9B]図 9Bは図 9Aの 9B— 9B線断面図である。
[図 10A]図 10Aは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 10B]図 10Bは図 10Aの 10B— 10B線断面図である。
[図 11A]図 11Aは本発明の第 4の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 11B]図 11Bは図 11Aの X方向の断面図である。
[図 11C]図 11Cは図 11Aの y方向の断面図である。
[図 12A]図 12Aは本発明の第 4の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 12B]図 12Bは図 11Aの X方向の断面図である。
[図 13A]図 13Aは本発明の第 4の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す平面図である。
[図 13B]図 13Bは図 13Aの X方向の断面図である。
[図 13C]図 13Cは図 13Aの y方向の断面図である。
[図 14A]図 14Aは本発明の第 5の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成を示す平面図である。
[図 14B]図 14Bは図 14Aの 14B-14B線断面図である。
[図 15A]図 15Aは図 14Aにおける c部の詳細を示す断面図である。
[図 15B]図 15Bは図 14Aにおける c部の詳細を示す平面図である。
[図 16]図 16は本発明の第 5の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に 用いる支持台にお 、て規制部を設けな 、場合の構成を示す平面図である。
[図 17]図 17は本発明の第 6の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に 用いる支持台の構成を示す平面図である。
[図 18]図 18は本発明の第 7の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に 用いる支持台の構成を示す平面図である。
[図 19]図 19は本発明の第 8の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に 用いる支持台の構成を示す平面図である。
[図 20A]図 20Aは従来のディスプレイパネルの製造方法に用いる支持台の構成を示 す平面図である。
[図 20B]図 20Bは従来のディスプレイパネルの製造方法に用いる支持台の構成を示 す正面図である。
符号の説明
1 PDP
2 前面パネル
3 前面ガラス基板
4 走査電極
5 維持電極
6 表示電極
7 ブラックストライプ (遮光層)
8 誘電体層
9 保護層
10 背面パネル
11 背面ガラス基板
12 アドレス電極
13 下地誘電体層
14 隔壁
15 蛍光体層
16 放電空間
20, 63 支持台
21, 24, 28, 31, 33, 35, 38, 42, 50, 54, 55, 61 第 1支持台
22, 25, 29, 32, 30, 34, 36, 39, 43, 45, 62, 70, 90, 91, 92, 93 第 2支持 台
23 基板 27, 30, 53, 58 空間
32a 第 1折り曲げ部
32b 第 2折り曲げ部
33a 凸部
35a, 39a, 42a 穴
37, 41 固定部材
40a, 40b 板状部材
44, 45a 突起部
51, 56, 57 棒状部材
64, 64a, 64b, 64c, 94a, 94b, 94c, 94d, 94e, 94f, 94h 規制部
65 開口部
66 規制ピン
67, 80, 81 中心軸線
68 孔部
69, 82, 83, 100, 101, 102, 103 中心点
71, 72, 74 重心
220 構成物
発明を実施するための最良の形態
[0011] 以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
[0012] (第 1の実施の形態)
本発明は PDPなどのガラス基板上にその構成物である材料層を形成して、それら を焼成固化する工程を有するディスプレイパネルに適用可能であるが、本発明の実 施の形態では PDPを例にとり説明する。
[0013] 図 1は PDPの構造を示す斜視図である。 PDPの基本構造は、一般的な交流面放 電型 PDPと同様である。図 1に示すように、 PDP1は前面ガラス基板 3などよりなる前 面パネル 2と、背面ガラス基板 11などよりなる背面パネル 10とが対向して配置され、 その外周部をガラスフリットなど力もなる封着部材によって気密封着して ヽる。封着さ れた PDP1内部の放電空間 16には、ネオン (Ne)およびキセノン (Xe)などの放電ガ スが 400Τοπ:〜 600Torrの圧力で封入されて!ヽる。
[0014] 前面パネル 2の前面ガラス基板 3の一主面上には、走査電極 4および維持電極 5よ りなる一対のストライプ状の表示電極 6とブラックストライプ (遮光層) 7が互いに平行に それぞれ複数列配置されている。さらにこれらの表示電極 6と遮光層 7とを覆うように Pb— B系ガラスなど力 なりコンデンサとしての働きをする誘電体層 8が形成され、さ らにその表面に酸ィ匕マグネシウム (MgO)など力もなる保護層 9が形成されて 、る。
[0015] また、背面パネル 10の背面ガラス基板 11の一主面上には、走査電極 4および維持 電極 5と直交する方向に、複数のストライプ状のアドレス電極 12が互いに平行に配置 され、これを下地誘電体層 13が被覆している。さらに、アドレス電極 12間の下地誘電 体層 13上には放電空間 16を区切る所定の高さの隔壁 14が形成されている。隔壁 1 4間の溝にアドレス電極 12毎に、紫外線によって赤色、緑色、および青色にそれぞ れ発光する蛍光体層 15が順次塗布されて 、る。走査電極 4および維持電極 5とアド レス電極 12とが交差する位置に放電セルが形成され、表示電極 6方向に並んだ赤 色、緑色、および青色の蛍光体層 15を有する放電セルがカラー表示のための画素 になる。
[0016] 次に、 PDPの製造方法について説明する。まず、前面ガラス基板 3の一主面上に、 走査電極 4および維持電極 5と遮光層 7とを形成する。走査電極 4と維持電極 5は、ィ ンジゥムスズ酸ィ匕物(ITO)や酸化スズ (SnO )など力もなる透明電極と、その上に形
2
成した銀ペーストなど力もなる金属バス電極とによって構成されて 、る。これらの電極 は、フォトリソグラフィ法などを用いてパターユングして形成される。これらの電極材料 層は所望の温度で焼成固化される。また、遮光層 7も同様に、黒色顔料を含むベー ストをスクリーン印刷する方法や黒色顔料をガラス基板の全面に形成した後、フォトリ ソグラフィ法を用いてパターユングし、焼成固化することにより形成される。
[0017] 次に、走査電極 4、維持電極 5および遮光層 7を覆うように前面ガラス基板 3上に誘 電体ペーストをダイコート法などにより塗布して誘電体ペースト層(誘電体材料層)を 形成する。誘電体ペーストを塗布した後、所定の時間放置することにより塗布された 誘電体ペースト表面がレべリングされて平坦な表面になる。その後、誘電体ペースト 層を焼成固化することにより、走査電極 4、維持電極 5および遮光層 7を覆う誘電体層 8が形成される。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料、ノインダおよ び溶剤を含む塗料である。次に、誘電体層 8上に酸ィ匕マグネシウム (MgO)からなる 保護層 9を真空蒸着法により形成する。以上の工程により前面ガラス基板 3上に所定 の構成物 (走査電極 4、維持電極 5、遮光層 7、誘電体層 8、保護層 9)が形成され、 前面パネル 2が完成する。
[0018] 一方、背面パネル 10は以下のようにして形成される。まず、背面ガラス基板 11の一 主面上に、銀ペーストをスクリーン印刷する方法や、金属膜を全面に形成した後、フ オトリソグラフィ法を用いてパターユングする方法などによりアドレス電極 12用の構成 物となる材料層を形成し、それを所定の温度で焼成固化することによりアドレス電極 1 2を形成する。次に、アドレス電極 12が形成された面の背面ガラス基板 11上にダイコ ート法などによりアドレス電極 12を覆うように誘電体ペーストを塗布して誘電体ペース ト層を形成する。その後、誘電体ペースト層を焼成することにより下地誘電体層 13を 形成する。なお、誘電体ペーストはガラス粉末などの誘電体材料とバインダおよび溶 剤を含んだ塗料である。
[0019] 次に、下地誘電体層 13上に隔壁材料を含む隔壁形成用ペーストを塗布して所定 の形状にパターユングすることにより、隔壁材料層を形成した後、焼成固化すること により隔壁 14を形成する。ここで、下地誘電体層 13上に塗布した隔壁用ペーストを パター-ングする方法としては、フォトリソグラフィ法ゃサンドブラスト法を用いることが できる。
[0020] 次に、隣接する隔壁 14間の下地誘電体層 13上および隔壁 14側面に蛍光体材料 を含む蛍光体ペーストを塗布し、焼成固化することにより蛍光体層 15が形成される。 以上の工程により、背面ガラス基板 11上に所定の構成部材を有する背面パネル 10 が完成する。
[0021] このようにして所定の構成部材を備えた前面パネル 2と背面パネル 10とを走査電極 4とアドレス電極 12とが直交するように対向配置して、その周囲をガラスフリットで封着 し、放電空間 16にネオン、キセノンなどを含む放電ガスを封入することにより PDP1が 完成する。
[0022] 以上のように、 PDPの製造工程にお 、て、前面ガラス基板 3上の金属バス電極(図 示せず)、遮光層 7、誘電体層 8、および背面ガラス基板 11上のアドレス電極 12、下 地誘電体層 13、隔壁 14、蛍光体層 15は、それぞれの構成部材用の材料を前面ガ ラス基板 3または背面ガラス基板 11の上に塗布し、必要に応じて所定のパターンに 形成した後、焼成固化することにより作製される。焼成工程は構成部材毎に 500°C〜 600°Cで行われ、少なくとも前面パネル 2の場合には 2回、背面パネル 10の場合に は 4回の焼成工程が必要となる。
[0023] このような焼成工程における従来の方法について以下に説明する。図 20A、図 20 Bは従来のディスプレイパネルの製造方法に用いる支持台の構成を示す図である。 図 20Aは平面図、図 20Bは正面図である。ガラス基板 200は支持台 210上に、各種 の電極や材料層などの構成物 220が形成された面を上面にし、ガラス基板 200の面 と支持台 210とが接触するようにして配置されている。このような方法においては、ガ ラス基板 200の支持台 210と接する表面に傷が発生する。
[0024] この傷は焼成工程における支持台 210の熱膨張量とガラス基板 200の熱膨張量と の差に起因している。すなわち、支持台 210として使用している耐熱セラミックの熱膨 張係数(一 0. 4 X 10_6Z°C)とガラス基板 200の熱膨張係数 (8. 3 X 10_6Z°C)との 間には大きな差があるため、支持台 210上にガラス基板 200を載せて焼成炉に投入 して焼成すると、支持台 210の熱膨張量とガラス基板 200の熱膨張量が大きく異なる ことになる。一方、これらの熱膨張量の差は、基板サイズに比例して大きくなる。特に 、 1枚のガラス基板 200で複数の PDPを製造する、いわゆる多面取り工法の場合に は、焼成するガラス基板 200がかなり大きくなるために熱膨張量の差も力なり大きくな る。そのため、熱膨張量の差によってガラス基板 200と支持台 210とが擦れてガラス 基板 200に線状傷が発生し、線状傷の長さはガラス基板 200のサイズに比例して長 くなる。
[0025] つまり、焼成時には、図 20Aの矢印で示すように、ガラス基板 200は熱膨張方向の 中心点 230を中心にして放射状に熱膨張をするため、ガラス基板 200と支持台 210 との擦れによる線状傷は、ガラス基板 200の中心点 230から放射線状に広がるように なる。一般に均一組成のガラス基板 200の場合、熱膨張方向の中心点 230はガラス 基板 200の重心と一致し、線状傷の長さの最大値は、ガラス基板 200と支持台 210と の熱膨張量の差と基板サイズから算出される。
[0026] つまり、線状傷の長さの最大値は、(ガラス基板 200と支持台 210との熱膨張係数 の差) X (焼成温度) X (基板サイズ)で表される。支持台 210として低熱膨張係数の 耐熱性セラミックを、ガラス基板 200として 42型の一般的な PDP用高歪点ガラス (サ ィズ: 980mm X 554mm)を用い、 600°Cで焼成したとき、ガラス基板 200に生じる線 状傷の長さの最大値は 3. 4mmとなる。ガラス基板 200の線状傷は lmm以上、場合 によっては 0. 7mm以上になると容易に視認できることから、このような傷は表示品質 を著しく低下させる。
[0027] 図 2A、図 2Bは本発明の第 1の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成を示す図であり、支持台に基板を載置した状態を示してい る。図 2Aはその平面図であり、図 2Bはその側面図である。図 2に示すように、支持台 20は第 1支持台 21と第 2支持台 22とにより構成され、第 2支持台 22上に基板 23が 載置されている。ここで、基板 23は、 PDPの構成物が形成された前面ガラス基板 3や 背面ガラス基板 11であり、第 2支持台 22に接する面と反対側の基板 23の面にこれら の構成物が形成されている。したがって、基板 23は第 2支持台 22を介して第 1支持 台 21上に載置している。
[0028] 第 1支持台 21としては前述の低熱膨張係数材料を用いており、これは熱膨張係数 a (一 0. 4 X 10— 6Z°C)が小さな値を示すものである。また、第 2支持台 22は金属な ど力もなる金属薄板であり、第 2支持台 22の熱膨張係数と基板 23の熱膨張係数との 差の大きさが、第 1支持台 21の熱膨張係数と基板 23の熱膨張係数との差の大きさよ りも小さく設定されている。具体的には、第 2支持台 22の熱膨張係数と基板 23の熱 膨張係数との差の絶対値が、基板 23の熱膨張係数と第 1支持台 21の熱膨張係数と の差の絶対値の半分以下、好ましくは 1Z10以下となるように第 2支持台 22を構成 する金属薄板を選択する。金属薄板としては、例えばチタンやチタン合金を使用する ことができる。
[0029] また、図 2Aに示すように、基板 23の周囲に第 2支持台 22が存在するようにしてい る。すなわち、第 1支持台 21上に載置した第 2支持台 22の外周部が、常に、第 2支 持台 22に載置した基板 23の外周部より外側に位置するように構成している。 [0030] このように、支持台 20上に基板 23を載置し、加熱焼成炉中において基板 23に形 成された PDPの構成物を焼成するものである。前述のように、第 1支持台 21上に直 に基板 23を載せて焼成した従来例では、基板 23の第 1支持台 21と接する表面に傷 が発生する。このような傷の発生原因は、焼成時の第 1支持台 21の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との差であり、第 1支持台 21として使用している耐熱性セラミックは熱 膨張係数の大きさが非常に小さい値であるのに対し、基板 23として使用している前 面ガラス基板 3や背面ガラス基板 11は、耐熱性セラミックに比べて 1桁以上大きな値 の熱膨張係数を有している。このため、第 1支持台 21上に基板 23を載せて焼成炉に 投入して焼成するとき、第 1支持台 21の熱膨張量と基板 23の熱膨張量とが大きく異 なることになる。特に、 1枚の基板 23で複数の PDPに使用する前面パネル 2や背面 パネル 10を製造する、いわゆる多面取りを行う場合では、焼成する基板 23がかなり 大きくなるため、第 1支持台 21の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との差が大きくなり、 この熱膨張量の差によって焼成時に基板 23と第 1支持台 21とが擦れるため傷が発 生する。
[0031] 一方、本発明の実施の形態においては、図 2に示すように、第 1支持台 21上に第 2 支持台 22を載せ、その第 2支持台 22の上に基板 23を載せた状態で焼成炉に投入 して基板 23上に形成した PDP構成物の材料層を焼成している。この場合、第 2支持 台 22の熱膨張係数と基板 23の熱膨張係数との差は、第 1支持台 21と基板 23の熱 膨張係数との差よりも小さくなるため、基板 23が接する第 2支持台 22の熱膨張量と基 板 23の熱膨張量との差力 S小さくなり、基板 23に傷が発生することを抑制することがで きる。
[0032] 例えば、第 2支持台 22としてチタンの金属板を用いた場合、その金属板の熱膨張 係数は 8. 4 X 10_6Z°Cであり、基板 23の熱膨張係数 (8. 3 X 10_6Z°C)と非常に 近い値となる。このとき、第 2支持台 22の熱膨張係数と基板 23の熱膨張係数との差 の大きさが、第 1支持台 21の熱膨張係数と基板 23の熱膨張係数との差の大きさより もかなり小さくなり、基板 23を第 1支持台 21上に直に載せた場合に比べて、基板 23 に発生する線状傷の長さを 2桁近く小さくすることができる。
[0033] さらに、本発明の実施の形態においては、図 2に示すように、基板 23の周囲に第 2 支持台 22が存在するように、すなわち、第 1支持台 21上に載置した第 2支持台 22の 外周部が、常に、第 2支持台 22に載置した基板 23の外周部より外側に位置するよう に構成している。したがって、基板 23の内側に第 2支持台 22の外周端部がある場合 には、外周端部のエッジによって基板 23に傷が発生する力 本発明の実施の形態 ではそれらの原因による傷の発生も防止することができる。
[0034] 以上のように、本発明の実施の形態によれば、支持台 20と基板 23との熱膨張差に よって発生する基板 23表面の傷発生を抑制し、さらに、第 2支持台 22の端部によつ て基板 23が擦られる傷の発生も防止して高品質なディスプレイパネルを提供すること ができる。
[0035] (第 2の実施の形態)
一方、第 1の実施の形態で述べたような、平板上の第 2支持台 22上に平板上の基 板 23を載置して焼成炉中で焼成を行うと、第 2支持台 22と基板 23との間の空気が膨 張して基板 23に浮力が発生し、基板 23が第 2支持台 22上を移動して破損する場合 などがある。また、第 1支持台 21と第 2支持台 22との間にも同様の現象が発生するた め、基板 23が不安定となって基板 23の破損や焼成炉の故障などを引き起こす、本 発明の実施の形態では、基板 23表面への傷の発生防止と、基板 23の破損を防止 する支持台の構成について説明する。
[0036] 図 3は本発明の第 2の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用 、る 支持台の構成を示す図であり、支持台に基板を載置した状態を示している。ディスプ レイパネルの基板の構成などは第 1の実施の形態と同じであるので説明は省略する 。本発明の実施の形態では、第 1支持台 24と第 2支持台 25の構成が、第 1の実施の 形態と異なる。
[0037] すなわち、第 1支持台 24には溝部 26が設けられ、この溝部 26も含めた第 1支持台 24の表面形状に沿わせた薄板によって第 2支持台 25を構成している。さらに、第 2 支持台 25の上に基板 23を載せ、基板 23と第 2支持台 25の間に空間 27を設けてい る。第 2支持台 25を構成する薄板は第 1の実施の形態で述べたのと同様のチタンを 含む金属板などである。また、基板 23の周囲に第 2支持台 25が存在するようしてい る。 [0038] 本発明の第 2の実施の形態によれば、焼成時の第 2支持台 25の熱膨張量と基板 2 3の熱膨張量との差を小さくして基板 23に傷が発生することを抑制することができる。 さらに、基板 23と第 2支持台 25との間に空間 27が形成されることによって、焼成時に ぉ 、て基板 23への浮力発生を軽減し、基板 23の位置ずれを抑制して基板 23の破 損などを防止することができる。
[0039] 図 4は本発明の第 2の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用いる 支持台の構成の変形例を示す図である。表面が平坦な第 1支持台 28上に、凹凸部 を有する第 2支持台 29を載せて基板 23と第 2支持台 29の間に空間 30を設け、その 第 2支持台 29上に基板 23を載せている。第 2支持台 29は第 1の実施の形態で述べ たのと同様のチタンを含む金属板などであり、また、基板 23の周囲に第 2支持台 29 が存在するようしている。
[0040] したがって、焼成時の第 2支持台 29の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との差は小さ くなり、基板 23に傷が発生することを抑制することができる。また、基板 23と第 2支持 台 29との間に空間 30が形成されることで、焼成時において基板 23への浮力発生を 軽減し、基板 23の位置ずれを抑制して基板 23の破損などを防止することができる。
[0041] (第 3の実施の形態)
図 5は本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用いる 支持台の構成を示す図である。ディスプレイパネルの基板の構成などは第 1の実施 の形態と同じであるので説明は省略する。第 3の実施の形態では、第 2支持台が第 1 支持台上で移動するのを抑制する移動抑制手段を備えている。
[0042] 図 5に示すように、第 1支持台 31上に薄板よりなる第 2支持台 32を載せ、その第 2 支持台 32の上に基板 23を載せている。第 2支持台 32は、その端部において上方に 折り曲げられた第 1折り曲げ部 32aと下方に折り曲げられた移動抑制手段となる第 2 折り曲げ部 32bとを有して 、る。第 2折り曲げ部 32bは第 1支持台 31の 4つの側面に それぞれ対面するように設けられ、第 2折り曲げ部 32bを設けたことにより第 2支持台 32が第 1支持台 31上を滑ってずれることを防止できる。また、第 1折り曲げ部 32aを 設けたことにより基板 23が大きくずれることを防止できる。第 2支持台 32は第 1の実施 の形態で述べたのと同様のチタンを含む金属板などで構成されている。 [0043] このような構成によれば、焼成時の第 2支持台 32の熱膨張量と基板 23の熱膨張量 との差は小さくなり、基板 23に傷が発生することを抑制することができる。さらに、焼 成中の第 2支持台 32の位置ずれや基板 23の位置ずれを抑制して基板 23の破損や 、焼成炉の故障などを防止することができる。
[0044] 図 6A、図 6Bは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す図である。図 6A、図 6Bに示すように、第 1 支持台 33上に薄板よりなる第 2支持台 34を載せ、その第 2支持台 34の上に基板 23 を載せている。第 1支持台 33の 4つの隅部には凸部 33aが設けられ、凸部 33aは上 方から見て直角三角形状となっている。第 2支持台 34は長方形の 4つの隅部がカット された形状であり、凸部 33aの直角三角形の斜辺に対向するようになっている。この 構成により、焼成時において第 2支持台 34が第 1支持台 33上を滑ってずれることを 防止できる。第 2支持台 34は第 1の実施の形態と同様にチタンを含む金属板などで 構成しており、焼成時の第 2支持台 34の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との差が小 さくなるため、基板 23に傷が発生することを抑制することができる。
[0045] 図 7A、図 7Bは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す図である。図 7Aは平面図であり、図 7Bは 図 7Aの A-A線断面図である。図 7A、図 7Bに示すように、第 1支持台 35上に第 2支 持台 36を載せ、その第 2支持台 36の上に基板 23を載せている。
[0046] 第 1支持台 35には第 2支持台 36を囲むように複数の穴 35aが設けられており、図 7 Aにおいては第 2支持台 36である薄板の各辺に対して 2つの穴 35aが設けられてい る。そして、この穴 35aに移動抑制手段となる固定部材 37が嵌め込まれており、この 固定部材 37により、焼成時において第 2支持台 36が第 1支持台 35上を滑ってずれ ることを防止できるとともに基板 23が大きくずれた場合でも固定部材 37が基板 23に 対するストッパーとなる。また、第 2支持台 36は第 1の実施の形態と同様にチタンを含 む金属板などで構成しているため、焼成時の第 2支持台 36の熱膨張量と基板 23の 熱膨張量との差は小さくなり、基板 23に傷が発生することを抑制することができる。な お、熱膨張を考慮して、第 2支持台 36と固定部材 37との間に隙間をあけるように構 成している。 [0047] 図 8A、図 8Bは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す図である。図 8Aは平面図であり、図 8Bは 図 8Aの A-A線断面図である。図 8A、図 8Bに示すように、第 1支持台 38上に第 2支 持台 39を載せ、その第 2支持台 39の上に基板 23を載せている。
[0048] 第 1支持台 38には第 2支持台 39を囲むように複数の穴 39aが設けられており、図 8 Aにおいては第 2支持台 39の各辺に対して 2つの穴 39aが設けられている。また、第 2支持台 39の各辺に対応するように移動抑制手段となる板状部材 40a、 40bが設け られ、この板状部材 40a、 40bは第 1支持台 38の穴 39aに固定部材 41で固定されて いる。板状部材 40aは第 2支持台 39の周囲に配置されており、この板状部材 40aの 上に重ねて設けられた板状部材 40bの端部は第 2支持台 39の端部に重なるように構 成されている。この板状部材 40a、 40bにより、焼成時において第 2支持台 39が第 1 支持台 38上を滑ってずれることを防止できるとともに基板 23が大きくずれた場合でも 板状部材 40bが基板 23に対するストッパーとなる。また、第 2支持台 39は第 1の実施 の形態と同様にチタンを含む金属板などで構成しているため、焼成時の第 2支持台 3 9の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との差は小さくなり、基板 23に傷が発生することを 抑制することができる。なお、板状部材 40aと板状部材 40bとを一体ィ匕した構成として もよい。また、熱膨張を考慮して、第 2支持台 39と板状部材 40aとの間に隙間をあけ るように構成している。また、第 2支持台 39よりも板状部材 40aを厚くして第 2支持台 3 9の上面と板状部材 40bの下面との間に隙間を設けることにより、第 2支持台 39の熱 膨張を妨げな 、ような構成にして 、る。
[0049] 図 9A、図 9Bは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方 法に用いる支持台の構成の変形例を示す図である。図 9Aは平面図であり、図 9Bは 図 9Aの A-A線断面図である。図 9A、図 9Bに示すように、第 1支持台 42上に第 2支 持台 43を載せている。図示はしていないが、第 2支持台 43上にはさらに、第 2支持 台 43よりも小さ 、基板 23を載せて ヽる。
[0050] 図 9A、図 9Bに示すように、第 1支持台 42の中央部の 2ケ所には穴 42aが設けられ ており、図 9Aでは第 1支持台 42の短辺に平行に並ぶように 2つの穴 42aが設けられ ている。また、この穴 42aに対応する薄板で構成された第 2支持台 43の裏面側には 移動抑制手段となる突起部 44が取り付けられており、この突起部 44が第 1支持台 42 の穴 42aに嵌まり込むようになつている。この突起部 44を設けることにより、焼成時に おいて第 2支持台 43が第 1支持台 42上を滑ってずれることや回転移動することを防 止できる。また、第 2支持台 43は第 1の実施の形態と同様にチタンを含む金属板など で構成しているため、焼成時の第 2支持台 43の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との 差は小さくなり、基板 23に傷が発生することを抑制することができる。なお、突起部 4 4の個数や設ける位置は任意でよいが、少なくとも 2つの突起部 44を設けることで第 2 支持台 43の平行移動や回転移動を防止することができる。
[0051] 図 10A、図 10Bは本発明の第 3の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造 方法に用いる支持台の構成の変形例を示す図である。図 10Aは平面図であり、図 1 OBは図 10Aの A-A線断面図である。図 10A、図 10Bに示すように、第 1支持台 42 上に第 2支持台 45を載せている。図示はしていないが、第 2支持台 45上にはさらに、 第 2支持台 45よりも小さ 、基板 23を載せて ヽる。
[0052] 図 10A、図 10Bに示すように、第 1支持台 42の中央部の 2ケ所には穴 42aが設けら れており、図では第 1支持台 42の短辺に平行に並ぶように 2つの穴 42aが設けられ ている。また、第 2支持台 45の中央部の 2ケ所には裏面側に突出するように移動抑制 手段となる突起部 45aが設けられている。これらの突起部 45aは、例えば薄板で構成 された第 2支持台 45に適当な切り込みを入れ、その切り込み部分を第 2支持台 45の 薄板の裏面側に曲げれば突起部 45aを形成することができる。ここで、基板 23が載 置される面に尖った部分があれば基板 23に傷が発生しやすくなるので、切り込み部 分を緩やかに曲げて基板 23が載置される面に尖った部分ができないようにする。そ して、この突起部 45aが第 1支持台 42の穴 42aに嵌まり込むようになって 、る。
[0053] 図 9A、図 9Bの場合と同様に、この突起部 45aを設けることにより、焼成時において 第 2支持台 45が第 1支持台 42上を滑ってずれることや回転移動することを防止でき る。また、また、第 2支持台 45は第 1の実施の形態と同様にチタンを含む金属板など で構成しているため、焼成時の第 2支持台 45の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との 差は小さくなり、基板 23に傷が発生することを抑制することができる。なお、突起部 4 5aの個数や設ける位置は任意でよいが、少なくとも 2つの突起部 45aを設けることで 第 2支持台 45の平行移動や回転移動を防止することができる。
[0054] また、上記の第 1ないし第 3の実施の形態において、基板 23の中心点が第 2支持 台の中心点に一致するように基板 23を第 2支持台上に載置することが好ましぐ基板 23の熱膨張方向と第 2支持台の熱膨張方向とを一致させることができる。また、基板 23が第 2支持台よりも大きいと基板 23は第 2支持台のエッジ部分と接触することにな る力 このようなエッジ部分との接触によって基板 23に傷が発生しやすくなる。しかし ながら第 1ないし第 3の実施の形態では、基板 23の周囲に第 2支持台が存在するよう に基板 23を第 2支持台上に載置しているので、そのような傷の発生はない。
[0055] (第 4の実施の形態)
次に、本発明の第 4の実施の形態について図面を用いて説明する。第 1、第 2、第 3 の実施の形態の説明では、第 2支持台として薄板を用いた場合について説明した。 本発明の第 4の実施の形態では、第 2支持台として棒状部材を用いた場合について 説明する。
[0056] 図 11A、図 11B、図 11Cは本発明の第 4の実施の形態におけるディスプレイパネ ルの製造方法に用いる支持台の構成を示す図であり、支持台に基板を載置した状 態を示して!/、る。ディスプレイパネルの基板の構成などは第 1の実施の形態と同じで あるので説明は省略する。本発明の実施の形態では、上述のように第 2支持台の構 成が、第 1の実施の形態、第 2の実施の形態と異なる。
[0057] 図 11Aは平面図であり、図 11Bは X方向の断面図、図 11Cは y方向の断面図であ る。図 11A、図 11B、図 11Cに示すように、第 1支持台 50の表面には複数のストライ プ状の溝を平行に形成し、その溝内に第 2支持台である棒状部材 51が挿入されて いる。基板 23は第 2支持台となる棒状部材 51上に載置されている。基板 23を棒状 部材 51に載置した状態では、基板 23と第 1支持台 50との間に空間 53が形成される ように構成している。すなわち、第 1支持台 50と基板 23との間に棒状部材 51を介在 させた状態となっている。ここで、第 1支持台 50は第 1、第 2、第 3の実施の形態と同 様に、耐熱性セラミックなどの低熱膨張材料を用い、第 2支持台としての棒状部材 51 は第 1、第 2、第 3の実施の形態での第 2支持台である薄板と同じ金属によって形成し ており、例えばチタンやチタン合金を使用することができる。 [0058] 図 11A、図 11B、図 11Cに示す状態で第 1支持台 50を焼成炉に投入し、基板 23 上に形成した材料層を焼成している。この場合、棒状部材 51の熱膨張係数と基板 2 3の熱膨張係数との差が小さいため、焼成時の棒状部材 51の熱膨張量と基板 23の 熱膨張量との差は小さくなり、基板 23への傷の発生を抑制することができる。また、 基板 23と第 1支持台 50との間に空間 53が形成されることによって、焼成時において 基板 23に作用する浮力の発生が軽減されるので、基板 23の位置ずれを防止するこ とがでさる。
[0059] 図 12A、図 12Bは本発明の第 4の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造 方法に用いる支持台の構成の変形例を示す図である。図 12Aは平面図であり、図 1 2Bは図 12 Aの X方向の断面図である。
[0060] 図 12A、図 12Bに示すように、第 1支持台 54の表面には、複数のストライプ状の溝 を第 1支持台 54の中心から放射状に形成し、その溝内に第 2支持台となる棒状部材 51を挿入している。基板 23を棒状部材 51上に載せたとき、基板 23と第 1支持台 54 との間に空間(図示せず)が形成されるように構成している。図 12A、図 12Bでは焼 成時に基板 23が放射状に熱膨張することを考慮して棒状部材 51を配置している。こ の構成によれば、棒状部材 51の熱膨張係数と基板 23の熱膨張係数との差が小さい ため、焼成時の棒状部材 51の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との差は小さくなり、さ らに、熱膨張の方向が同一であるため基板 23への傷の発生をさらに抑制することが できる。また、基板 23と第 1支持台 54との間に空間が形成されることで、焼成時にお いて基板 23の浮力の発生が軽減されるので、基板 23の位置ずれを抑制することが できる。
[0061] 図 13A、図 13B、図 13Cは本発明の第 4の実施の形態におけるディスプレイパネ ルの製造方法に用いる支持台の構成の変形例を示す図である。図 13Aは平面図で あり、図 13Bは図 13Aの X方向の断面図、図 13Cはその y方向の断面図である。
[0062] 図 13A、図 13B、図 13Cに示すように、第 1支持台 55の表面には複数のストライプ 状の溝を平行に形成し、その溝内に第 2支持台となる棒状部材 56、 57を挿入し、基 板 23を棒状部材 56上に載せたとき、基板 23と第 1支持台 55との間に空間 58が形成 されるように構成している。また、棒状部材 56の両端部は他の部分に比べて太くなつ ており、棒状部材 56の細い部分に基板 23を載せるように構成している。これにより、 焼成工程において基板 23の X方向のずれを防止できる。また、図 13Aにおける第 1 支持台 55の上側の端部と下側の端部に配置した棒状部材 57は、基板 23が y方向 に移動することを妨げることができるような太さを有している。
[0063] 第 1支持台 55には、耐熱性セラミックなどの低熱膨張材料を用い、棒状部材 56、 5 7は棒状部材 51と同じ金属によって形成している。この構成によれば、棒状部材 56、 57の熱膨張係数と基板 23の熱膨張係数との差が小さいため、焼成時の棒状部材 5 6、 57の熱膨張量と基板 23の熱膨張量との差は小さくなるため基板 23への傷の発 生をさらに抑制することができる。また、基板 23と第 1支持台 55との間に空間 58が形 成されることで、焼成時において基板 23の浮力の発生が軽減されるので、基板 23の 位置ずれを抑制することができる。
[0064] (第 5の実施の形態)
図 14A、図 14Bは本発明の第 5の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造 方法に用いる支持台の構成を示す図である。図 14Aは平面図であり、図 14Bはその B— B線断面図である。また、図 15A、図 15Bは図 14Aにおける c部の詳細を示す図 であり、図 15Aは断面図、図 15Bは平面図である。
[0065] 図 14Bに示すように、各種の電極や材料層などの構成物 220が形成された面を上 面にした前面ガラス基板 3や背面ガラス基板 11などの基板 23が、第 1支持台 61と第 2支持台 62とにより構成された支持台 63上に搭載されて 、る。第 2支持台 62は 2つ に分割され、分割された 2つの第 2支持台 62を跨ぐように 1枚の基板 23が搭載されて いる。第 1支持台 61としては熱膨張係数が小さい耐熱材料が用いられ、その熱膨張 係数は約— 0. 4 X 10_6Z°Cである。また、第 2支持台 62には、第 1、第 2、第 3の実 施の形態で用いたのと同様の金属薄板を用い、例えばチタンやチタン合金を用いて いる。
[0066] ここで、第 2支持台 62を 2つに分割して設けた理由は以下の通りである。すなわち、 PDPなどの大型化と、生産効率向上のための多面取り工法によって、焼成工程にお ける基板 23が大型化し、それに応じて極めて大面積の第 2支持台 62を用いる必要 力 S生じる。しかし、そのような大面積の金属板力もなる第 2支持台 62は巿場での流通 量が限られ、その価格が大幅に高くなる。そこで、本発明の実施の形態では、小面積 の第 2支持台 62を複数枚用いることによって生産コストの低減と焼成工程での取り扱 いを容易にしている。
[0067] 図 14A、図 14Bに示すように、第 2支持台 62の周囲には、薄板金属の第 2支持台 6 2の熱膨張方向を規制する複数の規制部 64が設けられている。図 14A、図 14B、図 15A、図 15Bに示すように、規制部 64は第 2支持台 62に設けられた開口部 65と、第 1支持台 61上に固定された規制ピン 66とにより構成され、開口部 65はほぼ長軸を有 する矩形形状となっている。
[0068] また、図 14Aに示すように、規制部 64の第 2支持台 62に設けられた開口部 65は長 手軸の中心軸線 67が第 1支持台 61の中心点 69を通過するように形成されている。 また、規制ピン 66はセラミックなどの耐熱性を有する材料により構成されている。なお 、図 15Aには、規制ピン 66が第 1支持台 61に設けた孔部 68に差し込まれた状態を 示しているが、第 2支持台 62に規制ピンを設け、第 1支持台 61に設けた開口部の長 手方向に規制ピンが移動可能の構成としてもょ 、。
[0069] 図 16は、規制部を設けない場合の支持台の構成を示す図であり、第 1支持台 61上 に規制部を設けない第 2支持台 70を 2枚並べて載置して、その上に基板 23を搭載し た場合を示している。この場合、第 2支持台 70はそれぞれの重心 71、 72を熱膨張中 心として熱膨張する。つまり、第 2支持台 70の重心では熱膨張による変位は起こらず 、その重心から離れるとともに矢印で示すように放射状に熱膨張による変位が起こる 。一方、 2枚の第 2支持台 70上に跨るように搭載した基板 23は第 2支持台 70の有無 に拘わらず重心 74を中心にして熱膨張するため、基板 23の熱膨張方向の重心 74と 第 2支持台 70の熱膨張方向の重心 71、 72の位置は一致しない。したがって、 2枚の 第 2支持台 70を用いた場合、焼成工程において基板 23が第 2支持台 70によって擦 られ、基板 23の表面に傷が生じる。
[0070] このとき、傷の長さの最大値 S は焼成温度 T、基板と第 2支持台との熱膨張方向
max f
の中心点間の距離 dとして、概ね (数 1)で表される。
[0071] [数 1] 5max = 2 x (基板と第 2支持台の熱膨張係数の差) x Tf x d s max :傷の最大長、 T f : 焼成温度
d :基板の中心点と第 2支持台の熱膨張方向の中心点との距離
[0072] したがって、第 1支持台 61として耐熱性セラミックを用い、基板 23として 42型の PD P用高歪点ガラスを用いて、 600°Cで焼成したときに基板 23に生じる傷の長さの最大 値は約 1. 4mmとなる。
[0073] 一方、本発明の第 4の実施の形態によれば、図 14Aに示すように、規制部 64の規 制ピン 66と開口部 65とにより、第 1支持台 61上の第 2支持台 62の熱膨張による変位 は、開口部 65の長手軸方向に制限される。すなわち、本発明の第 4の実施の形態に よれば、規制部 64の第 2支持台 62に設けられた開口部 65は、その長手軸の中心軸 線 67が第 1支持台 61の中心点 69を通過するように形成されている。基板 23は単板 であるため、その熱膨張方向の中心点は第 1支持台 61の中心点 69と一致する。
[0074] したがって、第 2支持台 62の熱膨張方向は中心点 69を中心として、規制部 64の開 口部 65の長手方向に規制される。それゆえ、基板 23の膨張方向と第 2支持台 62の 膨張方向とを一致させることができる。また、第 2支持台 62としてはその熱膨張係数 が第 1支持台 61の熱膨張係数よりも大きな、例えばチタンなどを用いているため、基 板 23との熱膨張量の差を小さくすることができる。これらの結果、基板 23と第 2支持 台 62とが擦れることによる基板 23への線状傷の発生を抑制、あるいは傷の長さをより 短いものとすることができ、前面パネル 2、背面パネル 10の品質、歩留まりを向上させ ることがでさる。
[0075] さらに、第 2支持台 62を複数に分割した構成としているため、多面取り工法などによ つてガラス基板サイズが大きくなつても、第 2支持台 62を小さなサイズのままで対応さ せることができ、コストを低減することができる。
[0076] (第 6の実施の形態)
図 17は本発明の第 6の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用い る支持台の構成を示す図である。図 17に示すように、第 1支持台 61の長辺側に 2枚 の第 2支持台 62を並べ、それら 2つの第 2支持台 62を跨ぐように基板 23を搭載して いる。基板 23に PDPの構成物を形成する方法などは前述の実施の形態と同様であ るのでその説明は省略する。本実施の形態では、第 1支持台 61の 4隅に対応する第 2支持台 62の隅に第 5の実施の形態と同様の規制部 64を設けている。 4隅に設けら れた規制部 64の第 2支持台 62に設けられた開口部 65は、その長手軸の中心軸線 6 7が第 1支持台 61の中心点 69を通過するように形成されて!、る。
[0077] したがって、本発明の第 6の実施の形態によれば、焼成時に第 2支持台 62の熱膨 張方向が基板 23の熱膨張方向と同じになるように規制され、基板 23と第 2支持台 62 との間での擦れが小さくなり基板 23表面の傷発生をさらに抑制することができる。
[0078] なお、第 5の実施の形態、第 6の実施の形態では第 2支持台を 2枚とした場合につ いて説明したが、第 2支持台の枚数を、例えば 4枚などとし、第 2支持台のコストをさら に低減するようにすることも可能である。
[0079] (第 7の実施の形態)
図 18は本発明の第 7の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用 ヽ る支持台の構成を示す図である。図 18に示すように、第 1支持台 61の短辺側に 2枚 の第 2支持台 62を並べ、それら 2つの第 2支持台 62を跨ぐように基板 23を搭載して いる。また、規制部 64はそれぞれの第 2支持台 62に規制部 64a、 64b、 64cが 3箇所 設けられている。規制部 64a、 64b、 64cの構成は第 4の実施の形態および第 5の実 施の形態と同様の構成である力 開口部 65の長手軸方向の向きが異なっている。
[0080] すなわち、図 18において一方の第 2支持台 62に設けられた規制部 64aと規制部 6 4bとの開口部 65の長手軸の中心軸線 80がー致し、さらに 2つの第 2支持台 62に設 けた規制部 64cの開口部 65の長手軸の中心軸線 81がー致するように構成されて!、 る。 2本の中心軸線 80は第 1支持台 61の中心点 69から eだけ変位している。したが つて、本発明の第 6の実施の形態では第 2支持台 62の熱膨張方向の中心点 82、 83 は第 1支持台 61の中心点 69 (基板 23の中心点と一致)近傍で、中心軸線 80と中心 軸線 81との交点となり第 1支持台 61の中心点 69と eだけ変位している。
[0081] したがって、中心点 82、 83が中心点 69の近傍に位置するように規制部 64a、 64b 、 64cを配置することにより、焼成時における第 2支持台 62面上の熱膨張方向とその 熱膨張量を基板 23の熱膨張方向と近似させ、第 2支持台 62と基板 23との間の擦れ による傷の長さを短くできる。
[0082] 一方、前述したように、これらの焼成工程にぉ 、て基板と支持台とが擦れることによ つて発生する傷の長さは lmm以下になれば視認が困難となり、外観および表示特 性上問題となることは少なくなる。したがって、基板 23の中心点 69と第 2支持台 62の 熱膨張方向の中心点 82あるいは中心点 83との中心間距離 (e)が (数 2)を満たすよう にすればよい。
[0083] [数 2] レ く 2χ(基板と第 2支持台の熱膨張係数の差) xT e :基板の中心点と第 2支持台の熱膨張方向の中心点との距離 T f :焼成温度
[0084] ただし、上式では、室温は焼成温度よりも十分低温であるので室温の項は無視した
[0085] (第 8の実施の形態)
図 19は本発明の第 8の実施の形態におけるディスプレイパネルの製造方法に用い る支持台の構成を示す図である。図 19に示すように、本発明の第 8の実施の形態で は第 1支持台 61上に、 4枚の第 2支持台 90、 91、 92、 93が載置され、それらを跨つ て 1枚の基板 23が搭載されている。基板 23の構成などは前述の実施の形態と同様 であるのでその説明を省略する。図 19に示すように、規制部 94a〜94hが第 1支持 台 61と第 2支持台 90、 91、 92、 93に設けられ、それぞれの開口部の長手軸の中心 線が第 1支持台 61の中央部近傍を通過するように配置されて 、る。
[0086] このように構成することによって、第 2支持台 90、 91、 92、 93の熱膨張方向の中心 点 100、 101、 102、 103が第 1支持台 61の中央部近傍に位置するため、焼成時に 第 2支持台 90、 91、 92、 93の熱膨張の方向が規制され、基板 23と第 2支持台 90、 9 1、 92、 93との間で擦れが少なくなり基板 23面の傷を抑制することができる。特に PD Pが大版でそれらを多面取りする場合でも、チタンなどの金属板である第 2支持台 90 、 91、 92、 93を小面積基板とすることができ、設備コストを低減することができる。 [0087] なお、以上の第 5の実施の形態力も第 8の実施の形態において、図 15A、図 15B に示す開口部 65の長手軸方向の長手軸方向の開口長 Wが小さすぎると、第 2支持 台の膨張が規制ピン 66により阻害されて第 2支持台が変形する。そのため、開口部 6 5の隙間寸法 Wを第 2支持台の熱膨張量よりも大きくする必要がある。すなわち、図 1 4Aに示す第 2支持台 62の熱膨張方向の中心点 69と開口部 65の中央部までの距 離を Lとして、(数 3)の条件を満たす必要がある。
[0088] [数 3]
W >第 2支持台の熱膨張係数 X 7) X L
W: 開口部の長手軸方向の開口長、 T f : 焼成温度 L : 開口部中央と熱膨張方向の中心点との距離
[0089] 一方、開口部 65の短手軸方向の隙間寸法 Dが大きすぎると、位置規制の作用がな くなるため、規制ピン 66の直径と同程度あるいは若干大き 、ことが望ま 、。
[0090] また、第 2支持台に規制ピンを固定し、この規制ピンが第 1支持台に設けた開口部 を移動可能な構成としてもよい。また、開口部が第 2支持台の端部に設けられた切り 欠きであってもよい。
[0091] 上記の第 5ないし第 8の実施の形態における第 2支持台は、その上に基板 23を載 せたとき基板 23の周囲に第 2支持台が存在するように構成されているが、基板 23は 複数の第 2支持台を跨ぐように配置される。このため、その跨いだ部分では基板 23は 第 2支持台のエッジ部分と接触することになり、このようなエッジ部分との接触によつ て基板 23に傷が発生しやすくなる。そこで、第 2支持台のエッジ部分のうち、少なくと も基板 23と接触するエッジ部分では、図 10A、図 10Bの突起部 45aを形成するときと 同様に、エッジ部分を緩やかに曲げて基板 23が載置される面に尖った部分ができな いようにする。このとき、緩やかに曲げたエッジ部分が挿入できるように第 1支持台に 溝を設ける。このように構成することで、第 2支持台のエッジ部分との接触によって基 板 23に傷が形成されることを抑制することができる。
[0092] また、上記の第 1ないし第 3、第 5ないし第 8の実施の形態において、第 2支持台とし て使用する薄板のチタン金属板などでは、その表面粗さ Raは 1 μ m以下のものであ る力 この薄板の両面を粗くして使用してもよい。薄板の両面の表面粗さとしては、例 ぇば1^= 3 111〜6 111とすると、第 1支持台上で薄板が滑りに《なるとともに、薄板 上で基板が滑りにくくなり、焼成時の第 2支持台である薄板および基板の移動を効果 的に抑制することができる。
[0093] なお、以上の実施の形態では PDPを製造する場合を例として説明した力 例えば 液晶パネルや FEDパネルなどの他のディスプレイパネルを製造する方法としても有 用である。
産業上の利用可能性
[0094] 本発明によれば、高品質なディスプレイパネルを高 、製造歩留まりで実現し、大型 基板または多面取り工法を用いるディスプレイパネルの製造方法などに有用である。

Claims

請求の範囲
[1] 基板上に材料層を形成する材料層形成ステップと、前記材料層が形成された前記基 板を支持台に載置して加熱焼成する焼成ステップとを備えたディスプレイパネルの製 造方法であって、前記支持台は第 1支持台と前記第 1支持台に載置した第 2支持台 とで構成されるとともに、前記第 2支持台の熱膨張係数と前記基板の熱膨張係数との 差の大きさが、前記第 1支持台の熱膨張係数と前記基板の熱膨張係数との差の大き さよりも小さく設定されており、前記焼成ステップにおいて前記基板の周囲に前記第 2支持台が存在するように前記基板を前記第 2支持台の上に載置した後、加熱焼成 することを特徴とするディスプレイパネルの製造方法。
[2] 前記第 2支持台が前記第 1支持台上に配置された棒状部材であることを特徴とする 請求項 1に記載のディスプレイパネルの製造方法。
[3] 前記第 2支持台がチタンを含む金属板であることを特徴とする請求項 1に記載のディ スプレイパネルの製造方法。
[4] 前記第 1支持台または前記第 2支持台の少なくとも一方に、前記第 2支持台が前記 第 1支持台上で移動することを抑制する移動抑制手段を設けたことを特徴とする請求 項 1に記載のディスプレイパネルの製造方法。
[5] 前記第 2支持台は複数に分割されており、前記焼成ステップでは、分割された複数 の前記第 2支持台を跨いで 1枚の前記基板を搭載して加熱焼成を行うものであり、そ れぞれの前記第 2支持台の熱膨張方向を前記基板の熱膨張方向と一致または近似 させるように前記第 2支持台を規制したことを特徴とする請求項 1に記載のディスプレ ィパネルの製造方法。
[6] それぞれの前記第 2支持台の熱膨張方向の中心点が、前記第 1支持台上の一点に 一致するように規制したことを特徴とする請求項 5に記載のディスプレイパネルの製 造方法。
[7] 前記第 2支持台がチタンを含む金属板であることを特徴とする請求項 5に記載のディ スプレイパネルの製造方法。
[8] ディスプレイパネルを構成する基板を加熱焼成する際に前記基板を搭載する支持台 であって、第 1支持台と前記第 1支持台に載置した第 2支持台とで構成されるとともに 、前記第 2支持台の熱膨張係数と前記基板の熱膨張係数との差の大きさが、前記第 1支持台の熱膨張係数と前記基板の熱膨張係数との差の大きさよりも小さくなるよう に構成されており、前記第 2支持台は、その上に前記基板を載せたとき前記基板の 周囲に前記第 2支持台が存在するように構成されたことを特徴とするディスプレイパ ネル用基板の支持台。
[9] 前記第 1支持台の前記第 2支持台を載置する側の表面に溝部を設けるとともに、前 記第 2支持台を、前記第 1支持台の表面形状に沿わせた薄板により構成したことを特 徴とする請求項 8に記載のディスプレイパネル用基板の支持台。
[10] 前記第 2支持台が凹凸部を有することを特徴とする請求項 8に記載のディスプレイパ ネル用基板の支持台。
[11] 前記第 2支持台が前記第 1支持台上に配置された棒状部材であることを特徴とする 請求項 8に記載のディスプレイパネル用基板の支持台。
[12] 前記第 2支持台がチタンを含む金属板であることを特徴とする請求項 8に記載のディ スプレイパネル用基板の支持台。
[13] 前記第 1支持台または前記第 2支持台の少なくとも一方に、前記第 2支持台が前記 第 1支持台上で移動することを抑制する移動抑制手段を設けたことを特徴とする請求 項 8に記載のディスプレイパネル用基板の支持台。
[14] 前記第 2支持台は複数に分割され、分割された複数の前記第 2支持台を跨いで 1枚 の前記基板を搭載するように構成されており、それぞれの前記第 2支持台の熱膨張 方向を前記基板の熱膨張方向と一致または近似させるように、前記第 2支持台を規 制する規制部を設けたことを特徴とする請求項 8に記載のディスプレイパネル用基板 の支持台。
[15] それぞれの前記第 2支持台の熱膨張方向の中心点が、前記第 1支持台上の一点に 一致するように、前記規制部を構成したことを特徴とする請求項 14に記載のディスプ レイパネル用基板の支持台。
[16] 前記規制部は、前記第 1支持台に設けられた規制ピンと、前記第 2支持台に設けら れ前記規制ピンに嵌め合わされ前記第 1支持台上の一点に向力う延長線方向に長 手軸を有する開口部とを有して 、ることを特徴とする請求項 15に記載のディスプレイ パネル用基板の支持台。
[17] 前記開口部の長手軸方向の開口長と、前記第 2支持台の熱膨張による熱膨張方向 の中心点と前記開口部中央との距離とが (数 3)の関係であることを特徴とする請求項 16に記載のディスプレイパネル用基板の支持台。
[数 3] >第 2支持台の熱膨張係数 χ Τ} x L
W: 開口部の長手軸方向の開口長、 T f : 焼成温度 L : 開口部中央と熱膨張方向の中心点との距離
[18] 複数の前記第 2支持台を跨いで搭載された前記基板の中心点と前記第 2支持台の 熱膨張方向の中心点との距離が、前記基板の熱膨張係数および前記第 2支持台の 熱膨張係数と (数 2)の関係であることを特徴とする請求項 14に記載のディスプレイパ ネル用基板の支持台。
[数 2] レ く 2x(基板と第 2支持台の熱膨張係数の差 <7> e :基板の中心点と第 2支持台の熱膨張方向の中心点との距離 T f :焼成温度
[19] 前記第 2支持台がチタンを含む金属板であることを特徴とする請求項 14に記載のデ イスプレイパネル用基板の支持台。
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