JP3891812B2 - ガス放電表示装置およびその製造方法 - Google Patents
ガス放電表示装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3891812B2 JP3891812B2 JP2001306876A JP2001306876A JP3891812B2 JP 3891812 B2 JP3891812 B2 JP 3891812B2 JP 2001306876 A JP2001306876 A JP 2001306876A JP 2001306876 A JP2001306876 A JP 2001306876A JP 3891812 B2 JP3891812 B2 JP 3891812B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- thick film
- layer
- film
- discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス放電表示装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
透明な第1基板(前面板)と、その前面板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板(背面板)と、それら前面板および背面板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々で選択的にガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、その気密空間内のガス放電を利用して発光させることにより、文字、記号、或いは図形等の所望の画像を表示する形式のガス放電表示装置が知られている。例えば、ガス放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオン・オレンジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画(画素或いはセル)内に蛍光体が備えられてプラズマによって生じた紫外線により励起させられたその蛍光体の発光を利用する形式のプラズマ・ディスプレイ・パネル(Plasma Display Panel:PDP)等がそれである。このようなガス放電表示装置は、平板型で大画面化、薄型化、および軽量化が容易であると共に、CRT並の広い視野角および早い応答速度を有しているため、CRTに代わる画像表示装置として期待されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のガス放電表示装置では、一般に、前面板および背面板の内面に導体材料を塗布して焼成処理等の加熱処理を施す厚膜形成プロセス等を利用することにより、上記の第1放電電極および第2放電電極が形成されていた。そのため、その形成過程において前面板および背面板に歪みが生じると共に、放電電極にも亀裂や変形等が生じる問題があった。
【0004】
すなわち、ガス放電表示装置はその電極構造でDC型とAC型とに大別されるが、DC型および対向放電構造のAC型では第1放電電極が一方向に沿って前面板に設けられると共に、第2放電電極がそれと直交する他方向に沿って背面板に設けられる。また、面放電構造のAC型では、第1放電電極および第2放電電極が一方向に沿って前面板および背面板の一方に互いに平行に設けられるが、この他に、前面板および背面板の他方にはその一方向に直交する他方向に沿って書込電極が設けられる。したがって、何れの電極構造が採られる場合にも、前面板および背面板の両方の内面に厚膜形成プロセス等を利用して電極が形成される。そのため、その電極形成のための熱処理の際に、前面板および背面板内の温度分布に基づく熱膨張量のばらつきや、電極との熱膨張係数の相違等に起因して歪み等が生じ得るのである。なお、このような歪み等が生じると、前面板および背面板の平坦性や電極等のパターン精度等の確保が困難になる。
【0005】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、電極形成時の熱処理に起因する歪み等を抑制できるガス放電表示装置およびその製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための第1の手段】
斯かる目的を達成するため、第1発明の要旨とするところは、透明な第1基板と、その第1基板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、そのガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察する形式のガス放電表示装置であって、(a)格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、(b)前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるようにその一面に積層されることにより前記第1放電電極として機能させられる複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、(c)前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に伸びるようにその他面に積層されることにより前記第2放電電極として機能させられる複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層とを備えて、前記第1基板および前記第2基板の間にそれらに平行に配置されたシート部材を含むことにある。
【0007】
【第1発明の効果】
このようにすれば、格子状を成すシート部材の一面および他面にそれぞれ設けられた第1厚膜導体層および第2厚膜導体層によって複数対の第1放電電極および第2放電電極が構成される。そのため、シート部材を第1基板および第2基板の間に配置するだけで放電電極が設けられることから、放電電極を内面に形成するための熱処理がそれら第1基板および第2基板に施されない。したがって、熱処理に起因する第1基板、第2基板、および電極等の歪みが抑制されたガス放電表示装置が得られる。
【0008】
【第1発明の他の態様】
ここで、好適には、前記第1厚膜導体層は、前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第1対向部を備え、前記第2厚膜導体層は、前記第1対向部に対向するように前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第2対向部を備えたものである。このようにすれば、第1厚膜導体層および第2厚膜導体層には、シート部材の格子の内壁面上の互いに対向する位置に第1対向部および第2対向部が設けられるため、第1放電電極および第2放電電極は、実質的にこれら第1対向部および第2対向部で構成される。そのため、放電面が互いに平行に設けられた対向放電構造であることから、発光区画(画素すなわちセル)相互の放電電圧(開始電圧や維持電圧)のばらつきが小さくなって、動作マージンが広くなる利点がある。特に、放電空間内に蛍光体層が設けられた形式のガス放電表示装置では、放電面が第1基板と第2基板との中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面に沿った方向となることから、第1基板内面および第2基板内面上における放電ガス・イオンの影響が少ないので、その広い範囲に蛍光体層を設けて輝度を高め得る利点もある。
【0009】
因みに、従来のガス放電表示装置における対向放電構造では、前述したように、第1放電電極および第2放電電極が第1基板および第2基板の内面にそれぞれ設けられていた。蛍光体の発光を利用するカラー表示装置の場合、高い輝度や効率を得るためには好適にはRGBの発光を分離し放電空間を形成する隔壁面と第1基板あるいは第2基板の誘電体層表面にも塗布されることが望ましい。しかし、この場合、誘電体層の放電領域には蛍光体が塗布されないことが必要であり、かつMgOなどの保護膜でコートされなければならない。このため、蛍光体層の配設位置が限定され延いてはその面積が著しく小さくなって高輝度を得ることが困難であった。また放電の生ずる部分の近傍に蛍光体層が位置するために放電ガス・イオンによる劣化が著しいという問題もある。さらに、隔壁間の誘電体層表面への保護MgO膜を均一に塗布すること、また放電域を残して蛍光体を塗布することは、製造プロセスとして実現困難であった。これに対して、面放電型のガス放電表示装置では、第1基板および第2基板のうち放電電極が設けられていない一方の略全面に、放電領域と空間的に分離された状態で蛍光体層を設けることができるため、蛍光体の劣化を抑制しつつ高輝度を得ることが可能である。しかしながら、一平面上に配置された放電電極の電極表面間距離が一様にはならないことから、その最も小さい部分ほど放電しやすく効率も高くなる。このため、電極を覆う誘電体層や保護膜の劣化は、放電の開始する確率が高いこともあって電極パターンの隣接するエッジ部分で最も進行することになる。また、電極パターンが大きいほど平均的な効率は下がってしまうことになる。すなわち、従来のガス放電表示装置では、動作マージンと輝度との両立が困難となっていたのである。
【0010】
また、好適には、前記複数の放電空間は、相互に所定間隔を以て一方向に沿って伸びる複数本のリブ状壁によって区分された縞状を成すものであり、前記シート部材は、格子の一方向に沿って伸びる部分がそのリブ状壁の頂部に位置させられたものである。このようにすれば、放電空間内のうちシート部材を挟んで観視側とは反対側の部分で生じた光、例えばその反対側の部分に備えられている蛍光体層の発光がシート部材によって遮られることが抑制されるので、ガス放電表示装置の輝度が一層高められる。
【0011】
【課題を解決するための第2の手段】
また、前記目的を達成するための第2発明の要旨とするところは、透明な第1基板と、その第1基板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、そのガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察する形式のガス放電表示装置を、前記第1基板および前記第2基板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する方法であって、(a)格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、(b)前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるようにその一面に積層されることにより前記第1放電電極として機能させられる複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、(c)前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に伸びるようにその他面に積層されることにより前記第2放電電極として機能させられる複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層とを備えたシート部材を、前記第1基板および前記第2基板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程を含むことにある。
【0012】
【第2発明の効果】
このようにすれば、第1基板および第2基板を重ね合わせて固着することによりガス放電表示装置を製造するに際して、第1厚膜導体層および第2厚膜導体層が格子状のコア誘電体層の両面に積層されて成るシート部材が第1基板または第2基板に固着されることにより、第1放電電極および第2放電電極が放電空間内に備えられる。そのため、シート部材上に第1放電電極および第2放電電極を構成するための厚膜導体層が備えられていることから、第1基板および第2基板の間にそのシート部材を配置するだけで第1放電電極および第2放電電極を設けることができるため、第1基板および第2基板に放電電極を設ける場合におけるそれらの形成時の熱処理に起因する第1基板、第2基板、および電極等の歪みが好適に抑制されたガス放電表示装置を製造することができる。
【0013】
【第2発明の他の態様】
ここで、好適には、前記のガス放電表示装置の製造方法は、(d)所定の第1温度よりも高い融点を有する粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒子層で構成された膜形成面を有する支持体を用意する支持体準備工程と、(e)前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第1導体ペースト膜を前記膜形成面に前記第1厚膜導体層に対応する複数に分割された所定パターンで形成する第1導体ペースト膜形成工程と、(f)前記第1温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を前記コア誘電体層に対応する格子状パターンでその第1導体ペースト膜の表面に積層して形成する誘電体ペースト膜形成工程と、(g)前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第2導体ペースト膜を前記第2厚膜導体層に対応する複数に分割された所定パターンでその誘電体ペースト膜の表面に積層して形成する第2導体ペースト膜形成工程と、(h)前記支持体を前記第1温度で加熱処理することにより、前記高融点粒子層を焼結させることなく前記第1導体ペースト膜、前記第2導体ペースト膜、および前記誘電体ペースト膜を焼結させて、それら第1導体ペースト膜、第2導体ペースト膜、および誘電体ペースト膜から前記第1厚膜導体層、前記第2厚膜導体層、および前記コア誘電体層を生成する焼成工程とを、含む工程により前記シート部材を製造するものである。
【0014】
このようにすれば、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結温度(第1温度)よりも高い融点を有する高融点粒子層で構成された膜形成面に厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜がそれぞれ所定パターンで形成された後、それら厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結させられる第1温度で加熱処理が施されることにより、コア誘電体層の表面に厚膜導体層が形成されたシート部材が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない高融点粒子層は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子のみが並ぶ層となることから、生成された厚膜は支持体に固着されないため、その膜形成面から容易に剥離することができる。このとき、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜は、材料や用途に応じた適宜の方法を用いることにより、簡便な設備を用いて所望のパターンで膜形成面に形成することが可能である。しかも、加熱処理により焼結させられるまでは膜形成面に塗布されることにより一時的に固着された状態で取り扱われることから、取扱いが容易である。したがって、放電電極を構成するためのシート部材を容易に製造し且つガス放電表示装置の製造に用いることができる。
【0015】
なお、上記のように高融点粒子のみが並ぶ層の上で焼結させられる厚膜は、通常の厚膜形成とは異なり、その収縮時に何ら形成面に拘束されない。そのため、形成面との間の収縮抵抗に起因する反りや変形等が抑制され、延いてはそれら反りや変形に伴う亀裂等の発生も抑制される。したがって、放電電極の歪み等が一層抑制される利点がある。
【0016】
また、好適には、前記第1厚膜導体層は、前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第1対向部を備え、前記第2厚膜導体層は、前記第1対向部に対向するように前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第2対向部を備えたものであり、前記誘電体ペースト膜の格子の内壁面に前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第3導体ペースト膜を前記第1対向部および前記第2対向部に対応するパターンで形成する第3導体ペースト膜形成工程を含むものである。このようにすれば、第3導体ペースト膜形成工程において、第1対向部および第2対向部を構成するための第3導体ペースト膜が設けられることから、第1厚膜導体層および第2厚膜導体層はそれら第1対向部および第2対向部を備えて形成されるため、シート部材を第1基板または第2基板上に固着することによって、実質的に第1放電電極および第2放電電極として機能する第1対向部および第2対向部を備えたガス放電表示装置を製造できる。
【0017】
また、好適には、前記製造方法は、前記所定温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る厚膜誘電体ペーストを前記第3導体ペースト膜を覆うように塗布して加熱処理を施すことにより前記シート部材の表層部を構成する被覆誘電体層を生成する被覆工程を含むものである。このようにすれば、実質的に放電電極として機能させられる第1対向部および第2対向部が被覆誘電体層で覆われて構成されることから、これらの間では交流放電が発生させられる。そのため、対向放電構造のAC型ガス放電表示装置が容易に得られる。なお、上記所定温度は、前記第1温度と同じ温度であっても、異なる温度(すなわち、それよりも高い温度または低い温度)であってもよい。
【0018】
また、好適には、前記支持体準備工程は、所定の基板の表面に前記高融点粒子層を形成するものである。このようにすれば、ペースト膜が基板上に形成されることから、加熱処理後にも支持体の形状が維持されるため、高融点粒子層のみで支持体が構成されている場合(例えば、セラミック生シートで支持体が構成されている場合)に比較して放電空間内に放電電極を設けるためのシート部材の取扱いが容易になる利点がある。しかも、このような支持体が用いられる場合には、ペースト膜との間に高融点粒子層が介在させられる基板は加熱処理の際にそのペースト膜を何ら拘束せず、且つそのペースト膜の表面粗度は高融点粒子層の表面粗度のみが反映されることから、基板の平坦度、表面粗度、膨張係数等のシート部材の品質に及ぼす影響が小さくなるため、基板に高い品質は要求されない。
【0019】
また、好適には、前記基板は、前記焼成温度で変形しないものである。このようにすれば、コア誘電体層および厚膜導体層を生成するための加熱処理が施される際にも膜形成面の形状が初期の形状に保たれるため、高融点粒子層を表面に形成することにより、支持体として繰り返し使用可能となる利点がある。基板は、上記の条件を満たす適宜のものが選ばれるが、例えば、一般ガラス、耐熱ガラス、セラミック板、金属板等を用いることができる。
【0020】
また、好適には、前記製造方法は、厚膜スクリーン印刷法を用いて前記誘電体ペースト膜および前記導体ペースト膜をそれぞれ形成するものである。ペースト膜の形成方法としては、例えば、印刷、サンド・ブラスト、リフトオフ、感光性ペーストを用いたフォト・プロセス等の種々の方法からコスト、必要精度、他の工程との兼ね合い等に応じて選択した適宜の方法を用いることができるが、上記のように印刷法による場合には、膜形成面のうち無用な部分には膜構成材料が塗布されないことから、材料の無駄がない利点がある。すなわち、セラミック生シートのプレス加工、或いはセラミック・シートのレーザ加工や金属材料の化学エッチング等によるもの等に比較して加工時に除去される材料の無駄が極めて少なくなる。
【0021】
また、好適には、前記高融点粒子は、セラミックス或いはガラス・フリット等の無機材料から成るものである。高融点粒子としては、高融点粒子層を構成する樹脂が焼失した後も何ら軟化等するものでなければ、適宜の無機材料を用いることができる。なお、具体的な材質は、シート部材を構成する厚膜材料の種類やその焼成温度等に応じて適宜選択される。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【0023】
図1は、本発明のガス放電表示装置の一例であるAC型カラーPDP(以下、単にPDPという)10の構成を一部を切り欠いて示す斜視図である。図において、PDP10は、それぞれの略平坦な一面12,14が対向するように所定間隔を隔てて互いに平行に配置された前面板16および背面板18を備えている。それら前面板16および背面板18は、格子状のシート部材20を介してその周縁部において気密に封着されており、これによりPDP10の内部に気密空間が形成されている。これら前面板16および背面板18は、何れも900×500(mm)程度の大きさと1.1〜3(mm)程度の均一な厚さ寸法とを備えると共に透光性を有し且つ軟化点が700(℃)程度の相互に同様なソーダライム・ガラス等から成るものである。本実施例においては、前面板16が第1基板に、背面板18が第2基板に相当する。
【0024】
上記の前面板16上には、一方向に沿って伸び且つ互いに平行な複数本の長手状の隔壁22が200〜500(μm)程度の一定の中心間隔で備えられており、前面板16および背面板18間の気密空間が複数本の放電空間24に区分されている。この隔壁22は、例えば、PbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスを主成分とする厚膜材料から成り、幅寸法が80〜200(μm)程度、高さ寸法が30〜100(μm)程度の大きさを備えたものである。また、隔壁22には、例えばアルミナ等の無機充填材(フィラー)やその他の無機顔料等が適宜添加されることにより、膜の緻密度や強度、保形性等が調節されている。前記のシート部材20は、その一方向に沿って伸びる部分がこの隔壁22の頂部上に重なる位置関係にある。
【0025】
また、前面板16上には、その表面12および上記隔壁22の側面に放電空間24毎に塗り分けられた蛍光体層26が例えば10〜20(μm)程度の範囲で色毎に定められた厚みで設けられている。蛍光体層26は、例えば紫外線励起により発光させられるR(赤),G(緑),B(青)等の発光色に対応する3色の蛍光体の何れかから成るものであり、隣接する放電空間24相互に異なる発光色となるように設けられている。
【0026】
一方、前記の背面板18の内面14には、前記隔壁22に対向する位置に隔壁28がストライプ状に設けられている。この隔壁28は、例えば隔壁22と同じ材料から成り、例えば20〜50(μm)程度の厚さ寸法で設けられたものである。背面板内面14のこの隔壁28相互間には、蛍光体層30が例えば10〜20(μm)程度の範囲内の厚さ寸法でストライプ状に設けられている。この蛍光体層30は、放電空間24毎に単一の発光色が得られるように、前面板16上に設けられた蛍光体層26と同じ発光色のものが設けられている。上記隔壁28の高さ寸法は、シート部材20が蛍光体層30に接することを防止するために、その表面が蛍光体層30の表面よりも高くなるように定められている。
【0027】
図2は、隔壁22の長手方向に沿った断面において、PDP10の断面構造を説明する図である。前記のシート部材20は、その骨格を構成する格子状(前記図1参照)のコア誘電体層32と、その一面34(図における下面)から一方の側面(すなわち格子の内壁面)に亘る範囲に積層して固着されたX配線層36と、その反対側に位置する他面(図における上面)38から一方の側面(すなわち格子の内壁面)に亘る範囲に積層して固着されたY配線層40と、それらを覆って設けられた被覆誘電体層42と、その被覆誘電体層42を更に覆って設けられてシート部材20の表層部を構成する保護膜44とから構成されている。本実施例においては、上記のX配線層36およびY配線層40が第1厚膜導体層および第2厚膜導体層の一方および他方に相当する。
【0028】
上記のコア誘電体層32は、50〜150(μm)程度、例えば100(μm)程度の厚さ寸法を備えたものであって、格子を構成する縦横に沿ってそれぞれ伸びる部分の幅寸法は、例えば隔壁22の幅寸法と同程度かアライメント・マージンを考慮してそれよりも若干広く、例えば80〜200(μm)程度である。また、このコア誘電体層32は、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスおよびアルミナ等のセラミック・フィラー等の厚膜誘電体材料で構成されている。
【0029】
また、上記のX配線層36およびY配線層40は、例えば銀(Ag)、クロム(Cr)、銅(Cu)等を導電成分として含む厚膜導体であり、例えば5〜10(μm)程度の厚さ寸法で設けられている。これらX配線層36およびY配線層40のうちコア誘電体層32の側面を覆う部分46,48は、放電空間24内でガス放電を発生させるための放電電極すなわちX電極およびY電極としてそれぞれ機能させられるものである。図に示されるように、これらX電極46およびY電極48は、シート部材20を構成する格子の内壁面において互いに平行且つ対向する位置に配置されている。すなわち、PDP10は、その放電空間24内において互いに対向する電極間で放電させられる対向放電構造に構成されている。本実施例においては、上記のX電極46およびY電極48が、第1対向部および第2対向部すなわち第1放電電極および第2放電電極の何れか一方および他方に相当する。
【0030】
また、前記の被覆誘電体層42は、例えば10〜30(μm)程度の範囲内、例えば20(μm)程度の厚さ寸法を備え、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラス等から成る厚膜である。この被覆誘電体層42は、表面に電荷を蓄えることによりX電極46およびY電極48に交流放電をさせるために設けられたものであるが、同時に、厚膜材料で構成されるこれらX電極46およびY電極48を露出させないことによってこれらからのアウト・ガスによる放電空間24内の雰囲気変化を抑制する役割も有する。
【0031】
また、前記の保護膜44は、例えば0.5(μm)程度の厚さ寸法を備え、MgO等を主成分とする薄膜或いは厚膜である。保護膜44は、放電ガス・イオンによる被覆誘電体層42のスパッタリングを防止するものであるが、二次電子放出係数の高い誘電体から構成されていることから、実質的に放電電極として機能する。
【0032】
図3は、シート部材20の一部を切り欠いてX配線層36およびY配線層40の構成を詳しく説明する図である。図において、X配線層36は、シート部材20を構成する格子の一方向に沿って伸びる複数本の相互に絶縁させられた配線部50を備えており、Y配線層40は、その一方向に垂直な他方向に沿って伸びる相互に絶縁させられた複数本の配線部52を備えている。すなわち、配線部50,52は、互いに垂直を成す向きに沿って設けられている。これら配線部50,52は、何れも50〜80(μm)程度の一定の幅寸法を備えたものである。また、配線部50,52は、何れも格子状のコア誘電体層32の各構成部分の幅方向における中央部に位置する。
【0033】
また、X配線層36の配線部50には、その長手方向における複数箇所にその側方すなわち配線部52と略平行な向きに突き出す枝部54が備えられている。枝部54は、その基端部においては配線部50と略同様な幅寸法を有するが、その先端部には近傍の配線部52に接近する向きに拡大されることにより形成された幅広部56を備えている。前記のX電極46は、その幅広部56の配線部52側の側端に連続してその幅広部56と垂直を成すように設けられたものである。なお、X電極46の配線部52の長手方向に沿った方向における長さ寸法は、例えば100(μm)程度であり、シート部材20の厚さ方向に沿った方向における長さ寸法は、例えばコア誘電体層32の厚さ寸法に略等しい50〜150(μm)程度、例えば100(μm)程度である。
【0034】
一方、Y配線層40の配線部52には、その長手方向における複数箇所にその側方すなわちX電極46に向かって突き出す突起部58が備えられている。前記のY電極48は、その突起部58の先端部から連続し且つそれと垂直を成すように設けられたものである。この突起部58およびY電極48の幅寸法は、幅広部56と同様な例えば100(μm)程度であり、Y電極48の高さ寸法は、X電極46と同様、シート部材20の厚さ寸法に略等しい。すなわち、X電極46およびY電極48は、何れもコア誘電体層32の側面の一部を覆って設けられている。
【0035】
図4にX配線層36の配線部50およびY配線層40の配線部52と、X電極46およびY電極48との接続関係を模式的に示した。図において上下方向に沿って伸びる複数本の配線部50は、格子状のコア誘電体層32のその上下方向に沿って伸びる部分の全てに一本ずつが設けられている。また、配線部52は、その格子の交点の一つ置きに前記の枝部54を備えているが、その突き出し方向は、例えば図における左方向であって全ての配線部50に共通な一定の方向である。すなわち、複数個のX電極46は、図において上下方向に連なったものが共通の配線部50に接続されている。
【0036】
一方、図において左右方向に沿って伸びる複数本の配線部52は、格子状のコア誘電体層32のその左右方向に沿って伸びる部分の一本置きに、すなわち上記の枝部54が備えられていない部分に一本ずつが設けられている。また、図に示されるように、突起部58の突き出し方向は全て同じ方向すなわち図における下方向であって、コア誘電体層32の格子間の部分毎に設けられている。そのため、複数個のY電極48は、図において左右方向に連なったものが共通の配線部52に接続されている。配線部50,52は、図に示されるように立体的に交叉させられているが、枝部54および突起部58が上記のように設けられていることから、その交点毎にX電極46およびY電極48の対が形成されることとなる。
【0037】
なお、シート部材42の格子構成部分の相互間隔は一様ではない。すなわち、X配線層36の配線部50に沿って伸びる部分は、例えば200(μm)程度の一定の相互間隔Gxで設けられているが、Y配線層40の配線部52に沿って伸びる部分は、例えば100(μm)程度の相対的に小さい相互間隔Gy1および600(μm)程度の相対的に大きい相互間隔Gy2が交互に現れる。前記のX電極46およびY電極48は、相対的に小さい相互間隔Gy1の部分で対向させられている。図4における左端中央に例示するように、本実施例では、これらX電極46およびY電極48が放電電極として機能させられるものであるので、放電ギャップは相互間隔Gy1に略等しい100(μm)程度である。また、図4を前記の図1と対比すれば明らかなように、シート部材20は、配線部50に沿って伸びる格子の構成部分が隔壁22上に位置させられている。なお、前記の図2は、上記の図4におけるA−A視断面に対応する図である。
【0038】
このため、一方の放電電極、例えばY電極48に所定の交流パルスを印加して順次走査すると共に、その走査のタイミングに同期して他方の放電電極、例えばX電極46のうちのデータに対応する所望のもの(すなわち発光させる区画として選択されたものに対応するX電極)に所定の交流パルスを印加すると、それら2つの交流パルスが重ね合わされることにより放電開始電圧を越えることとなったX電極46およびY電極48間で放電が発生させられ、且つ被覆誘電体層42上に生じた壁電荷等により予め定められた所定時間だけ維持される。これにより、ガス放電で発生した紫外線で選択された区画内の蛍光体層26、30が励起発光させられ、その光が前面板16或いは背面板を通して射出されることにより、一画像が表示される。そして、走査側電極(例えばY電極48)の1周期毎に、交流パルスを印加されるデータ側電極(例えばX電極48)が変化させられることにより、所望の画像が連続的に表示されることとなる。
【0039】
このとき、放電は図4に示されるように100(μm)程度の僅かな距離Gy1だけ相互に離隔させられた電極46,48間で発生させられるが、放電空間24は図における上下方向に連続しているため、その放電により発生させられた紫外線は、図4に一点鎖線で模式的に示すように、その放電空間24の長手方向に沿って放電電極46,48の外側に広がる。そのため、放電空間24内に設けられている蛍光体層26,30のうち、その一点鎖線で囲まれた範囲内に位置するものが、図の左端中央に示す電極46,48間の放電で発生した紫外線で励起発光させられることとなる。
【0040】
したがって、PDP10における発光単位(セル)の区切りは、隔壁22に垂直な方向すなわち図における左右方向ではその隔壁22によって区切られ、隔壁22の長手方向すなわち図における上下方向では実質的にはこの紫外線の及ぶ範囲によって画定される。この結果、発光単位の中心間隔は、図の左右方向においてはPc=0.3(mm)程度のカラー・セル・ピッチに、図の上下方向においてはPd=0.9(mm)程度のドット・ピッチになっている。なお、本実施例のようなRGB3色から成るカラー表示用のPDP10においては、図の左右方向において相互に隣接する3つの発光区画で一画素が構成されている。そのため、画素ピッチは、左右方向および上下方向の何れにおいても0.9(mm)程度である。
【0041】
ここで、本実施例においては、格子状のシート部材20にX配線層36およびY配線層40が設けられると共に、それら配線層36,40のうちの格子の内壁面の互いに対向する位置に固着された部分によってX電極46およびY電極48すなわち対を成す放電電極が構成される。そのため、放電面が互いに平行に設けられた対向放電構造であることから、発光区画相互の放電電圧(開始電圧や維持電圧)のばらつきが小さくなって、動作マージンが広くなる利点がある。
【0042】
しかも、放電電極46,48の放電面が前面板16および背面板18の何れからも離隔したこれらの中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面12,14に沿った方向となることから、前面板内面12および背面板内面14上における放電ガス・イオンの影響が少ないので、前述したようにそれらの何れにも広い範囲に蛍光体層26,30が設けられる。そのため、蛍光体層を放電電極が固着された基板とは反対側の基板上にのみ設けることが可能であった面放電構造の場合に比較して輝度を飛躍的に高め得る利点もある。
【0043】
ところで、上記のようなPDP10は、例えば図5に示される工程図に従って別々に処理(或いは製造)されたシート部材20,前面板16,および背面板18を組み立てることで製造される。
【0044】
背面板18の処理工程においては、先ず、隔壁形成工程60において、背面板18の一面14上に例えば厚膜スクリーン印刷法等の厚膜形成技術を用いて、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを塗着し、乾燥後、例えば500〜650(℃)程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の隔壁28を形成する。なお、一回の印刷で隔壁28の所望の高さ寸法を確保できない場合には、印刷および乾燥が必要な回数だけ繰り返される。次いで、蛍光体層形成工程62において、RGB3色に対応する3種の蛍光体ペーストを隔壁28相互間であって色毎に定められた所定位置に厚膜スクリーン印刷法等によって塗布し、例えば450(℃)程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層30を設ける。
【0045】
一方、前面板16の処理工程においては、先ず、隔壁形成工程64において、上記の工程60と同様に、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを厚膜スクリーン印刷法等の厚膜形成技術を用いて内面12上に繰り返し塗布、乾燥して、更に厚膜絶縁ペーストの種類に応じて定められる例えば500〜650(℃)程度の範囲内の熱処理温度で焼成することにより、前記の隔壁22を形成する。次いで、蛍光体層形成工程66において、RGB3色に対応する3種の蛍光体ペーストを隔壁22相互間であって色毎に定められた所定位置に、隔壁22上から落とし込み印刷等の手法で塗布し、例えば450(℃)程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層26を設ける。
【0046】
そして、シート部材作製工程68において作製された前記のようなシート部材20を介して上記の前面板16および背面板18を重ね合わせ、封着工程70において加熱処理を施すことにより、それらの界面に予め塗布されたシールガラス等の封着剤でこれらを気密に封着する。なお、封着に先立ち、必要に応じてシート部材20が前面板16および背面板18の何れかにガラスフリット等を用いて固着される。そして、排気・ガス封入工程72において、形成された気密容器内から排気し且つ所定の放電ガスを封入することにより、前記のPDP10が得られる。
【0047】
上記の製造工程において、シート部材作製工程68は、よく知られた厚膜印刷技術を応用した例えば図6に示される示す工程に従って実施される。以下、シート部材20の製造方法を、製造工程の要部段階における状態を表した図7(a)〜(e)を参照して説明する。
【0048】
先ず、基板用意工程74では、厚膜印刷を施す基板76(図7参照)を用意し、その表面78等に適宜の清浄化処理を施す。この基板76は、後述する加熱処理の際に殆ど変形や変質の生じないものであって、例えば、熱膨張係数が87×10-7(/℃)程度で、740(℃)程度の軟化点および510(℃)程度の歪み点を備えたソーダライム・ガラス等から成るガラス基板が好適に用いられる。なお、基板76の厚さ寸法は例えば2.8(mm)程度であり、その表面78の大きさは前記のシート部材42よりも十分に大きくされている。
【0049】
次いで、剥離層形成工程80では、高融点粒子が樹脂で結合させられた剥離層82を、基板76の表面78に例えば5〜50(μm)程度の厚さ寸法で設ける。上記の高融点粒子は、例えば平均粒径が0.5〜3(μm)程度の高軟化点ガラスフリットおよび平均粒径が0.01〜5(μm)程度のアルミナやジルコニア等のセラミック・フィラーを混合したものである。上記の高軟化点ガラスは、例えば550(℃)程度以上の軟化点を備えたものであり、混合物である高融点粒子の軟化点は、例えば550(℃)程度以上になっている。また、樹脂は、例えば350(℃)程度で焼失させられるエチルセルロース系樹脂等である。この剥離層82は、例えば、上記の高融点粒子および樹脂がブチルカルビトールアセテート(BCA)等の有機溶剤中に分散させられた無機材料ペースト84を、例えば図7(a)に示すようにスクリーン印刷法を用いて基板76の略全面に塗布し、室温において乾燥させることで設けられるが、コータやフィルム・ラミネートの貼り付け等で設けることもできる。図7(b)は、このようにして剥離層82を形成した段階を示している。なお、図7(a)において、86はスクリーン、88はスキージである。本実施例においては、上記の剥離層82を備えた基板76が支持体に、その剥離層82の表面が膜形成面にそれぞれ相当し、上記の基板用意工程74および剥離層形成工程80が支持体準備工程に対応する。
【0050】
続く厚膜ペースト層形成工程90では、前記のX配線層36,Y配線層40,X電極46,およびY電極48を形成するための厚膜導体ペースト92と、前記のコア誘電体層32を形成するための厚膜誘電体ペースト94(図7(a)参照)を、無機材料ペースト84と同様にスクリーン印刷法等を利用して剥離層82上に所定のパターンで順次に塗布・乾燥する。これにより、X配線層36を形成するための導体印刷層96、コア誘電体層32を形成するための厚膜誘電体層98、Y配線層40を形成するための導体印刷層100、X電極46およびY電極48を形成するための導体印刷層102が順に形成される。上記の厚膜導体ペースト92は、例えば、銀粉末等の導体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。また、厚膜誘電体ペースト94は、例えば、アルミナやジルコニア等の誘電体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。なお、上記のガラスフリットは、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-TiO2系の低軟化点ガラス等が用いられ、樹脂および溶剤は例えば無機材料ペースト84と同様なものが用いられる。
【0051】
このとき、配線層36,40およびコア誘電体層32を形成する際には、スクリーン86は、前記の図1および図3等に示されるコア誘電体層32および配線層36、40の形状にそれぞれ対応する開口パターンを備えたものが用いられ、焼成収縮後にそれぞれ前記の膜厚が得られるように設定された所定の厚さ寸法で厚膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペースト94が塗布される。一方、X電極46およびY電極48を形成する際には、例えばコア誘電体層32により形成された格子の内壁面よりも僅かに内側にはみ出した形状の開口を備えたスクリーン86を用いることにより、厚膜導体ペースト92がコア誘電体層32の上面からその内壁面に沿って流れ落ちるように塗布される。図7(c)〜(e)は、導体印刷層96、誘電体印刷層98、導体印刷層100、導体印刷層102がそれぞれ形成された段階を示している。なお、導体印刷層96,100,102は、5〜10(μm)程度の厚さ寸法であるため、一回の印刷で形成されるが、誘電体印刷層98は30(μm)程度の厚さ寸法であることから、適当な厚さ寸法が得られるまで3回程度の印刷および乾燥を繰り返して積層形成される。
【0052】
上記のようにして厚膜印刷層96〜102を形成し、乾燥して溶剤を除去した後、焼成工程104においては、基板76を所定の焼成装置の炉室106内に入れ、厚膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペースト94の種類に応じた例えば550(℃)程度の焼成温度で加熱処理を施す。図8(f)は加熱処理中の状態を示している。
【0053】
上記の加熱処理過程において、厚膜印刷層96〜102は、その焼結温度が例えば550(℃)程度であるため、その樹脂成分が焼失させられると共に誘電体材料、導体材料、およびガラスフリットが焼結させられ、コア誘電体層32および厚膜導体層(X配線層36とY配線層40)すなわちシート部材20の基本的部分が生成される。図8(g)は、この状態を示している。このとき、前記の剥離層82は、前述したようにその無機成分粒子が550(℃)以上の軟化点を備えたものであるため、樹脂成分は焼失させられるが高融点粒子(ガラス粉末およびセラミック・フィラー)は焼結させられない。そのため、加熱処理の進行に伴って樹脂成分が焼失させられると、剥離層82は高融点粒子108(図9参照)のみから成る粒子層110となる。
【0054】
図9は、図8(g)の右端の一部を拡大して、上記の加熱処理における焼結の進行状態を模式的に示した図である。剥離層82の樹脂成分が焼失させられて生成された粒子層110は、単に高融点粒子108が積み重なっただけの層であり、その高融点粒子108は互いに拘束されていない。そのため、図に一点鎖線で示される焼成前の端部位置から厚膜印刷層96〜102が収縮するときには、その高融点粒子108がコロの如き作用をする。これにより、厚膜印刷層96〜102の下面側でも基板76との間にその収縮を妨げる力が作用しないので、上面側と同様に収縮させられることから、収縮量の相違に起因する密度差や反り等は何ら生じていない。
【0055】
なお、本実施例においては、基板76の熱膨張係数は誘電体材料と略同じであり、厚膜印刷層96〜102の焼結が開始するまで、すなわち、樹脂成分は焼失させられたがガラスフリット、誘電体材料粉末や導体粉末の結合力が未だ小さい温度範囲ではこれらの熱膨張量に殆ど差はない。一方、厚膜印刷層96〜102の焼結が開始するときには、上述したように粒子層110の作用によって基板76はその焼成収縮を何ら妨げない。したがって、基板76の熱膨張は生成される厚膜の品質に実質的に影響しない。なお、基板76を繰り返し使用する場合や熱処理温度が高くなる場合には、歪み点の一層高い耐熱性ガラス(例えば、熱膨張係数が32×10-7(/℃)程度で軟化点が820(℃)程度の硼珪酸ガラスや、熱膨張係数が5×10-7(/℃)程度で軟化点が1580(℃)程度の石英ガラス等)を用いることができる。この場合にも、誘電体材料粉末等の結合力が小さい温度範囲では基板76の熱膨張量が極めて小さくなるので、その熱膨張が生成される厚膜の品質に影響することはない。
【0056】
図6に戻って、剥離工程112では、生成された厚膜すなわちコア誘電体層32および配線層36,40の積層体を基板76から剥離する。それらの間に介在させられている粒子層110は高融点粒子108が単に積み重なっただけであるので、上記剥離処理は何らの薬品や装置を用いることなく容易に行い得る。このとき、積層体の裏面には高融点粒子108が一層程度の厚みで付着し得るが、この付着粒子は、必要に応じて粘着テープやエアブロー等を用いて除去する。なお、厚膜が剥離された基板76は、前述したように前記の焼成温度では変形および変質し難いものであるため、同様な用途に繰り返し用いられる。
【0057】
次いで、誘電体ペースト塗布工程114においては、剥離した積層体をディッピング槽116中に蓄えられた誘電体ペースト118中にディッピングすることにより、全外周面に誘電体ペースト118が塗布される。この誘電体ペースト118は、例えば、PbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等のガラス粉末およびPVA等の樹脂が水等の溶剤中に分散させられたものであり、前記の厚膜誘電体ペースト94に比較して低粘度に調製されている。なお、上記のガラス粉末は鉛を含まない軟化点が630(℃)程度以上のものも使用可能である。これは、前記の厚膜誘電体ペースト94に含まれるものの軟化点と同程度かそれよりも高いものである。また、低粘度に調製されたペーストを用いるのは、塗布の際に気泡が巻き込まれ延いては焼成後に欠陥の残ることを防止するためであり、積層体は、例えば水平な向きで金網120等に載せられた状態で誘電体ペースト118中に静かに沈められ、且つ取り出される。
【0058】
続く焼成工程122では、ディッピング槽116から取り出され且つ十分に乾燥させられた積層体が焼成炉内に投入され、前記誘電体ペースト118に含まれるガラス粉末の種類に応じて定められる例えば650(℃)程度の所定温度で加熱処理(焼成処理)を施される。この焼成温度は、例えば、ガラス粉末が十分に軟化して緻密な誘電体層(被覆誘電体層42)が得られるように、ガラス粉末の軟化点に対して十分に高い温度に設定される。このため、このようにして形成された被覆誘電体層42は、ガラス粉末相互の粒界に起因する空隙等が殆ど無く、高い耐電圧を有するものとなる。本実施例においては、上記の誘電体ペースト塗布工程114および焼成工程122から被覆工程により、上記の被覆誘電体層42が設けられている。
【0059】
そして、保護膜形成工程124において、上記の被覆誘電体層42の表面に例えばディッピング処理および焼成処理により、或いはスパッタ等の薄膜プロセスにより、前記の保護膜44が所望の厚さ寸法で略全面に設けられることにより、前記のシート部材20が得られる。なお、保護膜44は、前述したように薄い膜であるので、ディッピング等の厚膜プロセスでは一様な膜を形成することが比較的困難である。しかしながら、本実施例においてはX電極46およびY電極48間で対向放電させることから電極表面間距離が一様であるため、保護膜44の表面形状の如何に拘わらず放電集中は生じ難い。したがって、面放電構造を採る場合ほどの一様性は保護膜44に要求されないのである。
【0060】
ここで、本実施例においては、前面板16および背面板18を重ね合わせて固着することによりPDP10を製造するに際して、以上のようにして製造されたX配線層36およびY配線層40を備えたシート部材20が前面板16または背面板18に固着されることにより、X電極46およびY電極48が放電空間24内に設けられる。そのため、シート部材20上にX電極46およびY電極48を構成するための厚膜導体層すなわちX配線層36およびY配線層40が備えられていることから、前面板16および背面板18の間にそのシート部材20を配置するだけでX電極46およびY電極48を設けることができるため、前面板16および背面板18に放電電極を設ける場合におけるそれらの形成時の熱処理に起因する前面板16、背面板18、および電極46,48等の歪みが好適に抑制されたPDP10を製造することができる。
【0061】
また、本実施例においては、厚膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペースト94の焼結温度よりも高い融点を有する剥離層82で構成された膜形成面に誘電体印刷層98および導体印刷層96,100等が所定パターンで形成された後、それらの焼結させられる温度で加熱処理が施されることにより、コア誘電体層32の両面にX配線層36およびY配線層40を構成する厚膜導体層が形成されたシート部材20が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない剥離層82は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子108のみが並ぶ粒子層110となることから、生成された厚膜は基板76に固着されないため、その表面78から容易に剥離することができる。したがって、放電電極46,48を構成するためのシート部材20を容易に製造し且つPDP10の製造に用いることができる。
【0062】
また、本実施例においては、厚膜ペースト92,94の塗布される支持体は、基板76の表面に剥離層82が形成されることにより構成されるため、加熱処理後にも支持体の形状が維持されるため、剥離層82のみで支持体が構成されている場合に比較してシート部材20の生成後の取扱いが容易になる利点がある。なお、厚膜印刷層96〜102と基板76との間には剥離層82が介在させられていることから、加熱処理の際にその厚膜印刷層96〜102を何ら拘束しないため、基板76の平坦度や表面粗度等は特に問題にならない。すなわち、基板表面78が反っている場合には、厚膜印刷層96〜102はその表面78に倣って反りを有して形成されるが、生成されるシート部材20は焼成後にも十分な柔軟性があるため、平坦面に置いた場合にその面に倣ってシート部材20も平坦になるのである。
【0063】
また、本実施例においては、厚膜印刷層96〜102は、厚膜スクリーン印刷法を用いて形成されることから、装置が簡単且つ材料の無駄が少ないため、低コストとなる利点がある。
【0064】
また、本実施例によれば、厚膜スクリーン印刷法を用いて膜形成がされることから所謂ウェット・プロセスがないため、排水処理が容易になる利点もある。因みに、ウェット・プロセスでは、溶液が膜内に浸透して残存すると、前面板16および背面板18を接着して真空容器を構成した後のアウトガスの原因になり得る。これを避けるためには、構成材料の耐熱温度を高くして気密封着後の排気温度を高め、或いは排気時間を長くする等の工程負荷が重くなるような処置が必要となる。
【0065】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【0066】
例えば、実施例においては、カラー表示用のAC型PDP10およびその製造方法に本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、モノクロ表示用のAC型PDPや放電電極が露出させられたDC型PDPおよびそれらの製造方法にも同様に適用される。
【0067】
また、実施例のPDP10は、3色の蛍光体層26、30を備えてフルカラー表示をさせる形式のものであったが、本発明は、1色或いは2色の蛍光体層を備えたPDPにも同様に適用される。
【0068】
また、シート部材20の厚さ寸法およびそれを構成するコア誘電体層32や配線層36、40等の厚さ寸法等は、シート部材20に取扱い上で要求される機械的強度や、導体に求められる導電性等に応じて定められるものであり、実施例に示した数値に限られずガス放電表示装置の大きさや構造等に応じて適宜定められる。
【0069】
また、実施例においては、シート部材20に設けられた配線層36,40が被覆誘電体層42で完全に覆われていたが、これらは表示のための放電や気密容器内の雰囲気等に影響を及ぼさない範囲で部分的に露出させられていても差し支えない。
【0070】
また、実施例においては、シート部材20が厚膜スクリーン印刷法を利用してコア誘電体層32や配線層36,40等を設けられていたが、コータやフィルム・ラミネート等を用いて膜形成面に「ベタ」に厚膜ペースト層を設け、フォト・プロセスを用いてパターニングすることもできる。
【0071】
また、実施例においては、シート部材20を製造するための支持体を、基板76の表面78に剥離槽82を設けることで構成していたが、セラミック生シート(未焼成のシート状セラミックス)を支持体として用いることもできる。この場合には、焼成工程104における熱処理温度が、このセラミック生シートは焼結しないがそれに含まれている樹脂成分は十分に燃え抜けるような温度となるように生シートの構成を定めればよい。
【0072】
また、実施例においては、シート部材20の内壁面の一部を覆うX電極46およびY電極48間で放電させられる対向放電構造に構成されていたが、この内壁面を覆う部分が設けられていないような面放電構造に構成することもできる。
【0073】
また、実施例においては、隔壁22がストライプ状に設けられていたが、封着後の排気・ガス封入に問題が無ければ格子状の隔壁で放電空間を区画形成してもよい。
【0074】
また、気密空間内は格子状のシート部材20によって発光区画毎に区分されるので、隔壁22は必須ではない。
【0075】
また、実施例においては、前面板16および背面板18が何れも透明なガラス基板で構成されることにより何れからも発光を観察できるように構成されていたが、一方を不透明な材料で構成して他方を透過した光のみを観察するように構成してもよい。
【0076】
また、実施例では内面12,14の何れにも蛍光体層26,30が設けられていたが、何れか一方のみとすることもできる。
【0077】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガス放電表示装置の一例であるカラーPDPを一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図2】隔壁の長手方向に沿った断面において、図1のPDPの断面構造を説明する図である。
【図3】図1のPDPに備えられたシート部材の構成を説明する図である。
【図4】図3のシート部材内における配線層の形成状態を説明する図である。
【図5】図1のPDPの製造方法を説明する工程図である。
【図6】シート部材の製造方法を説明する工程図である。
【図7】 (a)〜(e)は、図6の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示す図である。
【図8】 (f)〜(h)は、図6の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示すための図7(e)に続く図である。
【図9】図6の焼成工程における収縮挙動を説明するための図である。
【符号の説明】
10:PDP
16:前面板
18:背面板
20:シート部材
24:放電空間
32:コア誘電体層
36:X配線層
40:Y配線層
42:シート部材
46:X電極
48:Y電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガス放電表示装置およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
透明な第1基板(前面板)と、その前面板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板(背面板)と、それら前面板および背面板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々で選択的にガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、その気密空間内のガス放電を利用して発光させることにより、文字、記号、或いは図形等の所望の画像を表示する形式のガス放電表示装置が知られている。例えば、ガス放電によって生じたプラズマの生成に伴うネオン・オレンジ等の発光を直接利用し、或いは、発光区画(画素或いはセル)内に蛍光体が備えられてプラズマによって生じた紫外線により励起させられたその蛍光体の発光を利用する形式のプラズマ・ディスプレイ・パネル(Plasma Display Panel:PDP)等がそれである。このようなガス放電表示装置は、平板型で大画面化、薄型化、および軽量化が容易であると共に、CRT並の広い視野角および早い応答速度を有しているため、CRTに代わる画像表示装置として期待されている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、従来のガス放電表示装置では、一般に、前面板および背面板の内面に導体材料を塗布して焼成処理等の加熱処理を施す厚膜形成プロセス等を利用することにより、上記の第1放電電極および第2放電電極が形成されていた。そのため、その形成過程において前面板および背面板に歪みが生じると共に、放電電極にも亀裂や変形等が生じる問題があった。
【0004】
すなわち、ガス放電表示装置はその電極構造でDC型とAC型とに大別されるが、DC型および対向放電構造のAC型では第1放電電極が一方向に沿って前面板に設けられると共に、第2放電電極がそれと直交する他方向に沿って背面板に設けられる。また、面放電構造のAC型では、第1放電電極および第2放電電極が一方向に沿って前面板および背面板の一方に互いに平行に設けられるが、この他に、前面板および背面板の他方にはその一方向に直交する他方向に沿って書込電極が設けられる。したがって、何れの電極構造が採られる場合にも、前面板および背面板の両方の内面に厚膜形成プロセス等を利用して電極が形成される。そのため、その電極形成のための熱処理の際に、前面板および背面板内の温度分布に基づく熱膨張量のばらつきや、電極との熱膨張係数の相違等に起因して歪み等が生じ得るのである。なお、このような歪み等が生じると、前面板および背面板の平坦性や電極等のパターン精度等の確保が困難になる。
【0005】
本発明は、以上の事情を背景として為されたものであって、その目的は、電極形成時の熱処理に起因する歪み等を抑制できるガス放電表示装置およびその製造方法を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための第1の手段】
斯かる目的を達成するため、第1発明の要旨とするところは、透明な第1基板と、その第1基板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、そのガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察する形式のガス放電表示装置であって、(a)格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、(b)前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるようにその一面に積層されることにより前記第1放電電極として機能させられる複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、(c)前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に伸びるようにその他面に積層されることにより前記第2放電電極として機能させられる複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層とを備えて、前記第1基板および前記第2基板の間にそれらに平行に配置されたシート部材を含むことにある。
【0007】
【第1発明の効果】
このようにすれば、格子状を成すシート部材の一面および他面にそれぞれ設けられた第1厚膜導体層および第2厚膜導体層によって複数対の第1放電電極および第2放電電極が構成される。そのため、シート部材を第1基板および第2基板の間に配置するだけで放電電極が設けられることから、放電電極を内面に形成するための熱処理がそれら第1基板および第2基板に施されない。したがって、熱処理に起因する第1基板、第2基板、および電極等の歪みが抑制されたガス放電表示装置が得られる。
【0008】
【第1発明の他の態様】
ここで、好適には、前記第1厚膜導体層は、前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第1対向部を備え、前記第2厚膜導体層は、前記第1対向部に対向するように前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第2対向部を備えたものである。このようにすれば、第1厚膜導体層および第2厚膜導体層には、シート部材の格子の内壁面上の互いに対向する位置に第1対向部および第2対向部が設けられるため、第1放電電極および第2放電電極は、実質的にこれら第1対向部および第2対向部で構成される。そのため、放電面が互いに平行に設けられた対向放電構造であることから、発光区画(画素すなわちセル)相互の放電電圧(開始電圧や維持電圧)のばらつきが小さくなって、動作マージンが広くなる利点がある。特に、放電空間内に蛍光体層が設けられた形式のガス放電表示装置では、放電面が第1基板と第2基板との中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面に沿った方向となることから、第1基板内面および第2基板内面上における放電ガス・イオンの影響が少ないので、その広い範囲に蛍光体層を設けて輝度を高め得る利点もある。
【0009】
因みに、従来のガス放電表示装置における対向放電構造では、前述したように、第1放電電極および第2放電電極が第1基板および第2基板の内面にそれぞれ設けられていた。蛍光体の発光を利用するカラー表示装置の場合、高い輝度や効率を得るためには好適にはRGBの発光を分離し放電空間を形成する隔壁面と第1基板あるいは第2基板の誘電体層表面にも塗布されることが望ましい。しかし、この場合、誘電体層の放電領域には蛍光体が塗布されないことが必要であり、かつMgOなどの保護膜でコートされなければならない。このため、蛍光体層の配設位置が限定され延いてはその面積が著しく小さくなって高輝度を得ることが困難であった。また放電の生ずる部分の近傍に蛍光体層が位置するために放電ガス・イオンによる劣化が著しいという問題もある。さらに、隔壁間の誘電体層表面への保護MgO膜を均一に塗布すること、また放電域を残して蛍光体を塗布することは、製造プロセスとして実現困難であった。これに対して、面放電型のガス放電表示装置では、第1基板および第2基板のうち放電電極が設けられていない一方の略全面に、放電領域と空間的に分離された状態で蛍光体層を設けることができるため、蛍光体の劣化を抑制しつつ高輝度を得ることが可能である。しかしながら、一平面上に配置された放電電極の電極表面間距離が一様にはならないことから、その最も小さい部分ほど放電しやすく効率も高くなる。このため、電極を覆う誘電体層や保護膜の劣化は、放電の開始する確率が高いこともあって電極パターンの隣接するエッジ部分で最も進行することになる。また、電極パターンが大きいほど平均的な効率は下がってしまうことになる。すなわち、従来のガス放電表示装置では、動作マージンと輝度との両立が困難となっていたのである。
【0010】
また、好適には、前記複数の放電空間は、相互に所定間隔を以て一方向に沿って伸びる複数本のリブ状壁によって区分された縞状を成すものであり、前記シート部材は、格子の一方向に沿って伸びる部分がそのリブ状壁の頂部に位置させられたものである。このようにすれば、放電空間内のうちシート部材を挟んで観視側とは反対側の部分で生じた光、例えばその反対側の部分に備えられている蛍光体層の発光がシート部材によって遮られることが抑制されるので、ガス放電表示装置の輝度が一層高められる。
【0011】
【課題を解決するための第2の手段】
また、前記目的を達成するための第2発明の要旨とするところは、透明な第1基板と、その第1基板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、そのガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察する形式のガス放電表示装置を、前記第1基板および前記第2基板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する方法であって、(a)格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、(b)前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるようにその一面に積層されることにより前記第1放電電極として機能させられる複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、(c)前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に伸びるようにその他面に積層されることにより前記第2放電電極として機能させられる複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層とを備えたシート部材を、前記第1基板および前記第2基板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程を含むことにある。
【0012】
【第2発明の効果】
このようにすれば、第1基板および第2基板を重ね合わせて固着することによりガス放電表示装置を製造するに際して、第1厚膜導体層および第2厚膜導体層が格子状のコア誘電体層の両面に積層されて成るシート部材が第1基板または第2基板に固着されることにより、第1放電電極および第2放電電極が放電空間内に備えられる。そのため、シート部材上に第1放電電極および第2放電電極を構成するための厚膜導体層が備えられていることから、第1基板および第2基板の間にそのシート部材を配置するだけで第1放電電極および第2放電電極を設けることができるため、第1基板および第2基板に放電電極を設ける場合におけるそれらの形成時の熱処理に起因する第1基板、第2基板、および電極等の歪みが好適に抑制されたガス放電表示装置を製造することができる。
【0013】
【第2発明の他の態様】
ここで、好適には、前記のガス放電表示装置の製造方法は、(d)所定の第1温度よりも高い融点を有する粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒子層で構成された膜形成面を有する支持体を用意する支持体準備工程と、(e)前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第1導体ペースト膜を前記膜形成面に前記第1厚膜導体層に対応する複数に分割された所定パターンで形成する第1導体ペースト膜形成工程と、(f)前記第1温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を前記コア誘電体層に対応する格子状パターンでその第1導体ペースト膜の表面に積層して形成する誘電体ペースト膜形成工程と、(g)前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第2導体ペースト膜を前記第2厚膜導体層に対応する複数に分割された所定パターンでその誘電体ペースト膜の表面に積層して形成する第2導体ペースト膜形成工程と、(h)前記支持体を前記第1温度で加熱処理することにより、前記高融点粒子層を焼結させることなく前記第1導体ペースト膜、前記第2導体ペースト膜、および前記誘電体ペースト膜を焼結させて、それら第1導体ペースト膜、第2導体ペースト膜、および誘電体ペースト膜から前記第1厚膜導体層、前記第2厚膜導体層、および前記コア誘電体層を生成する焼成工程とを、含む工程により前記シート部材を製造するものである。
【0014】
このようにすれば、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結温度(第1温度)よりも高い融点を有する高融点粒子層で構成された膜形成面に厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜がそれぞれ所定パターンで形成された後、それら厚膜誘電体材料および厚膜導体材料の焼結させられる第1温度で加熱処理が施されることにより、コア誘電体層の表面に厚膜導体層が形成されたシート部材が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない高融点粒子層は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子のみが並ぶ層となることから、生成された厚膜は支持体に固着されないため、その膜形成面から容易に剥離することができる。このとき、厚膜誘電体材料および厚膜導体材料のペースト膜は、材料や用途に応じた適宜の方法を用いることにより、簡便な設備を用いて所望のパターンで膜形成面に形成することが可能である。しかも、加熱処理により焼結させられるまでは膜形成面に塗布されることにより一時的に固着された状態で取り扱われることから、取扱いが容易である。したがって、放電電極を構成するためのシート部材を容易に製造し且つガス放電表示装置の製造に用いることができる。
【0015】
なお、上記のように高融点粒子のみが並ぶ層の上で焼結させられる厚膜は、通常の厚膜形成とは異なり、その収縮時に何ら形成面に拘束されない。そのため、形成面との間の収縮抵抗に起因する反りや変形等が抑制され、延いてはそれら反りや変形に伴う亀裂等の発生も抑制される。したがって、放電電極の歪み等が一層抑制される利点がある。
【0016】
また、好適には、前記第1厚膜導体層は、前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第1対向部を備え、前記第2厚膜導体層は、前記第1対向部に対向するように前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第2対向部を備えたものであり、前記誘電体ペースト膜の格子の内壁面に前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第3導体ペースト膜を前記第1対向部および前記第2対向部に対応するパターンで形成する第3導体ペースト膜形成工程を含むものである。このようにすれば、第3導体ペースト膜形成工程において、第1対向部および第2対向部を構成するための第3導体ペースト膜が設けられることから、第1厚膜導体層および第2厚膜導体層はそれら第1対向部および第2対向部を備えて形成されるため、シート部材を第1基板または第2基板上に固着することによって、実質的に第1放電電極および第2放電電極として機能する第1対向部および第2対向部を備えたガス放電表示装置を製造できる。
【0017】
また、好適には、前記製造方法は、前記所定温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る厚膜誘電体ペーストを前記第3導体ペースト膜を覆うように塗布して加熱処理を施すことにより前記シート部材の表層部を構成する被覆誘電体層を生成する被覆工程を含むものである。このようにすれば、実質的に放電電極として機能させられる第1対向部および第2対向部が被覆誘電体層で覆われて構成されることから、これらの間では交流放電が発生させられる。そのため、対向放電構造のAC型ガス放電表示装置が容易に得られる。なお、上記所定温度は、前記第1温度と同じ温度であっても、異なる温度(すなわち、それよりも高い温度または低い温度)であってもよい。
【0018】
また、好適には、前記支持体準備工程は、所定の基板の表面に前記高融点粒子層を形成するものである。このようにすれば、ペースト膜が基板上に形成されることから、加熱処理後にも支持体の形状が維持されるため、高融点粒子層のみで支持体が構成されている場合(例えば、セラミック生シートで支持体が構成されている場合)に比較して放電空間内に放電電極を設けるためのシート部材の取扱いが容易になる利点がある。しかも、このような支持体が用いられる場合には、ペースト膜との間に高融点粒子層が介在させられる基板は加熱処理の際にそのペースト膜を何ら拘束せず、且つそのペースト膜の表面粗度は高融点粒子層の表面粗度のみが反映されることから、基板の平坦度、表面粗度、膨張係数等のシート部材の品質に及ぼす影響が小さくなるため、基板に高い品質は要求されない。
【0019】
また、好適には、前記基板は、前記焼成温度で変形しないものである。このようにすれば、コア誘電体層および厚膜導体層を生成するための加熱処理が施される際にも膜形成面の形状が初期の形状に保たれるため、高融点粒子層を表面に形成することにより、支持体として繰り返し使用可能となる利点がある。基板は、上記の条件を満たす適宜のものが選ばれるが、例えば、一般ガラス、耐熱ガラス、セラミック板、金属板等を用いることができる。
【0020】
また、好適には、前記製造方法は、厚膜スクリーン印刷法を用いて前記誘電体ペースト膜および前記導体ペースト膜をそれぞれ形成するものである。ペースト膜の形成方法としては、例えば、印刷、サンド・ブラスト、リフトオフ、感光性ペーストを用いたフォト・プロセス等の種々の方法からコスト、必要精度、他の工程との兼ね合い等に応じて選択した適宜の方法を用いることができるが、上記のように印刷法による場合には、膜形成面のうち無用な部分には膜構成材料が塗布されないことから、材料の無駄がない利点がある。すなわち、セラミック生シートのプレス加工、或いはセラミック・シートのレーザ加工や金属材料の化学エッチング等によるもの等に比較して加工時に除去される材料の無駄が極めて少なくなる。
【0021】
また、好適には、前記高融点粒子は、セラミックス或いはガラス・フリット等の無機材料から成るものである。高融点粒子としては、高融点粒子層を構成する樹脂が焼失した後も何ら軟化等するものでなければ、適宜の無機材料を用いることができる。なお、具体的な材質は、シート部材を構成する厚膜材料の種類やその焼成温度等に応じて適宜選択される。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【0023】
図1は、本発明のガス放電表示装置の一例であるAC型カラーPDP(以下、単にPDPという)10の構成を一部を切り欠いて示す斜視図である。図において、PDP10は、それぞれの略平坦な一面12,14が対向するように所定間隔を隔てて互いに平行に配置された前面板16および背面板18を備えている。それら前面板16および背面板18は、格子状のシート部材20を介してその周縁部において気密に封着されており、これによりPDP10の内部に気密空間が形成されている。これら前面板16および背面板18は、何れも900×500(mm)程度の大きさと1.1〜3(mm)程度の均一な厚さ寸法とを備えると共に透光性を有し且つ軟化点が700(℃)程度の相互に同様なソーダライム・ガラス等から成るものである。本実施例においては、前面板16が第1基板に、背面板18が第2基板に相当する。
【0024】
上記の前面板16上には、一方向に沿って伸び且つ互いに平行な複数本の長手状の隔壁22が200〜500(μm)程度の一定の中心間隔で備えられており、前面板16および背面板18間の気密空間が複数本の放電空間24に区分されている。この隔壁22は、例えば、PbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスを主成分とする厚膜材料から成り、幅寸法が80〜200(μm)程度、高さ寸法が30〜100(μm)程度の大きさを備えたものである。また、隔壁22には、例えばアルミナ等の無機充填材(フィラー)やその他の無機顔料等が適宜添加されることにより、膜の緻密度や強度、保形性等が調節されている。前記のシート部材20は、その一方向に沿って伸びる部分がこの隔壁22の頂部上に重なる位置関係にある。
【0025】
また、前面板16上には、その表面12および上記隔壁22の側面に放電空間24毎に塗り分けられた蛍光体層26が例えば10〜20(μm)程度の範囲で色毎に定められた厚みで設けられている。蛍光体層26は、例えば紫外線励起により発光させられるR(赤),G(緑),B(青)等の発光色に対応する3色の蛍光体の何れかから成るものであり、隣接する放電空間24相互に異なる発光色となるように設けられている。
【0026】
一方、前記の背面板18の内面14には、前記隔壁22に対向する位置に隔壁28がストライプ状に設けられている。この隔壁28は、例えば隔壁22と同じ材料から成り、例えば20〜50(μm)程度の厚さ寸法で設けられたものである。背面板内面14のこの隔壁28相互間には、蛍光体層30が例えば10〜20(μm)程度の範囲内の厚さ寸法でストライプ状に設けられている。この蛍光体層30は、放電空間24毎に単一の発光色が得られるように、前面板16上に設けられた蛍光体層26と同じ発光色のものが設けられている。上記隔壁28の高さ寸法は、シート部材20が蛍光体層30に接することを防止するために、その表面が蛍光体層30の表面よりも高くなるように定められている。
【0027】
図2は、隔壁22の長手方向に沿った断面において、PDP10の断面構造を説明する図である。前記のシート部材20は、その骨格を構成する格子状(前記図1参照)のコア誘電体層32と、その一面34(図における下面)から一方の側面(すなわち格子の内壁面)に亘る範囲に積層して固着されたX配線層36と、その反対側に位置する他面(図における上面)38から一方の側面(すなわち格子の内壁面)に亘る範囲に積層して固着されたY配線層40と、それらを覆って設けられた被覆誘電体層42と、その被覆誘電体層42を更に覆って設けられてシート部材20の表層部を構成する保護膜44とから構成されている。本実施例においては、上記のX配線層36およびY配線層40が第1厚膜導体層および第2厚膜導体層の一方および他方に相当する。
【0028】
上記のコア誘電体層32は、50〜150(μm)程度、例えば100(μm)程度の厚さ寸法を備えたものであって、格子を構成する縦横に沿ってそれぞれ伸びる部分の幅寸法は、例えば隔壁22の幅寸法と同程度かアライメント・マージンを考慮してそれよりも若干広く、例えば80〜200(μm)程度である。また、このコア誘電体層32は、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラスおよびアルミナ等のセラミック・フィラー等の厚膜誘電体材料で構成されている。
【0029】
また、上記のX配線層36およびY配線層40は、例えば銀(Ag)、クロム(Cr)、銅(Cu)等を導電成分として含む厚膜導体であり、例えば5〜10(μm)程度の厚さ寸法で設けられている。これらX配線層36およびY配線層40のうちコア誘電体層32の側面を覆う部分46,48は、放電空間24内でガス放電を発生させるための放電電極すなわちX電極およびY電極としてそれぞれ機能させられるものである。図に示されるように、これらX電極46およびY電極48は、シート部材20を構成する格子の内壁面において互いに平行且つ対向する位置に配置されている。すなわち、PDP10は、その放電空間24内において互いに対向する電極間で放電させられる対向放電構造に構成されている。本実施例においては、上記のX電極46およびY電極48が、第1対向部および第2対向部すなわち第1放電電極および第2放電電極の何れか一方および他方に相当する。
【0030】
また、前記の被覆誘電体層42は、例えば10〜30(μm)程度の範囲内、例えば20(μm)程度の厚さ寸法を備え、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等の低軟化点ガラス等から成る厚膜である。この被覆誘電体層42は、表面に電荷を蓄えることによりX電極46およびY電極48に交流放電をさせるために設けられたものであるが、同時に、厚膜材料で構成されるこれらX電極46およびY電極48を露出させないことによってこれらからのアウト・ガスによる放電空間24内の雰囲気変化を抑制する役割も有する。
【0031】
また、前記の保護膜44は、例えば0.5(μm)程度の厚さ寸法を備え、MgO等を主成分とする薄膜或いは厚膜である。保護膜44は、放電ガス・イオンによる被覆誘電体層42のスパッタリングを防止するものであるが、二次電子放出係数の高い誘電体から構成されていることから、実質的に放電電極として機能する。
【0032】
図3は、シート部材20の一部を切り欠いてX配線層36およびY配線層40の構成を詳しく説明する図である。図において、X配線層36は、シート部材20を構成する格子の一方向に沿って伸びる複数本の相互に絶縁させられた配線部50を備えており、Y配線層40は、その一方向に垂直な他方向に沿って伸びる相互に絶縁させられた複数本の配線部52を備えている。すなわち、配線部50,52は、互いに垂直を成す向きに沿って設けられている。これら配線部50,52は、何れも50〜80(μm)程度の一定の幅寸法を備えたものである。また、配線部50,52は、何れも格子状のコア誘電体層32の各構成部分の幅方向における中央部に位置する。
【0033】
また、X配線層36の配線部50には、その長手方向における複数箇所にその側方すなわち配線部52と略平行な向きに突き出す枝部54が備えられている。枝部54は、その基端部においては配線部50と略同様な幅寸法を有するが、その先端部には近傍の配線部52に接近する向きに拡大されることにより形成された幅広部56を備えている。前記のX電極46は、その幅広部56の配線部52側の側端に連続してその幅広部56と垂直を成すように設けられたものである。なお、X電極46の配線部52の長手方向に沿った方向における長さ寸法は、例えば100(μm)程度であり、シート部材20の厚さ方向に沿った方向における長さ寸法は、例えばコア誘電体層32の厚さ寸法に略等しい50〜150(μm)程度、例えば100(μm)程度である。
【0034】
一方、Y配線層40の配線部52には、その長手方向における複数箇所にその側方すなわちX電極46に向かって突き出す突起部58が備えられている。前記のY電極48は、その突起部58の先端部から連続し且つそれと垂直を成すように設けられたものである。この突起部58およびY電極48の幅寸法は、幅広部56と同様な例えば100(μm)程度であり、Y電極48の高さ寸法は、X電極46と同様、シート部材20の厚さ寸法に略等しい。すなわち、X電極46およびY電極48は、何れもコア誘電体層32の側面の一部を覆って設けられている。
【0035】
図4にX配線層36の配線部50およびY配線層40の配線部52と、X電極46およびY電極48との接続関係を模式的に示した。図において上下方向に沿って伸びる複数本の配線部50は、格子状のコア誘電体層32のその上下方向に沿って伸びる部分の全てに一本ずつが設けられている。また、配線部52は、その格子の交点の一つ置きに前記の枝部54を備えているが、その突き出し方向は、例えば図における左方向であって全ての配線部50に共通な一定の方向である。すなわち、複数個のX電極46は、図において上下方向に連なったものが共通の配線部50に接続されている。
【0036】
一方、図において左右方向に沿って伸びる複数本の配線部52は、格子状のコア誘電体層32のその左右方向に沿って伸びる部分の一本置きに、すなわち上記の枝部54が備えられていない部分に一本ずつが設けられている。また、図に示されるように、突起部58の突き出し方向は全て同じ方向すなわち図における下方向であって、コア誘電体層32の格子間の部分毎に設けられている。そのため、複数個のY電極48は、図において左右方向に連なったものが共通の配線部52に接続されている。配線部50,52は、図に示されるように立体的に交叉させられているが、枝部54および突起部58が上記のように設けられていることから、その交点毎にX電極46およびY電極48の対が形成されることとなる。
【0037】
なお、シート部材42の格子構成部分の相互間隔は一様ではない。すなわち、X配線層36の配線部50に沿って伸びる部分は、例えば200(μm)程度の一定の相互間隔Gxで設けられているが、Y配線層40の配線部52に沿って伸びる部分は、例えば100(μm)程度の相対的に小さい相互間隔Gy1および600(μm)程度の相対的に大きい相互間隔Gy2が交互に現れる。前記のX電極46およびY電極48は、相対的に小さい相互間隔Gy1の部分で対向させられている。図4における左端中央に例示するように、本実施例では、これらX電極46およびY電極48が放電電極として機能させられるものであるので、放電ギャップは相互間隔Gy1に略等しい100(μm)程度である。また、図4を前記の図1と対比すれば明らかなように、シート部材20は、配線部50に沿って伸びる格子の構成部分が隔壁22上に位置させられている。なお、前記の図2は、上記の図4におけるA−A視断面に対応する図である。
【0038】
このため、一方の放電電極、例えばY電極48に所定の交流パルスを印加して順次走査すると共に、その走査のタイミングに同期して他方の放電電極、例えばX電極46のうちのデータに対応する所望のもの(すなわち発光させる区画として選択されたものに対応するX電極)に所定の交流パルスを印加すると、それら2つの交流パルスが重ね合わされることにより放電開始電圧を越えることとなったX電極46およびY電極48間で放電が発生させられ、且つ被覆誘電体層42上に生じた壁電荷等により予め定められた所定時間だけ維持される。これにより、ガス放電で発生した紫外線で選択された区画内の蛍光体層26、30が励起発光させられ、その光が前面板16或いは背面板を通して射出されることにより、一画像が表示される。そして、走査側電極(例えばY電極48)の1周期毎に、交流パルスを印加されるデータ側電極(例えばX電極48)が変化させられることにより、所望の画像が連続的に表示されることとなる。
【0039】
このとき、放電は図4に示されるように100(μm)程度の僅かな距離Gy1だけ相互に離隔させられた電極46,48間で発生させられるが、放電空間24は図における上下方向に連続しているため、その放電により発生させられた紫外線は、図4に一点鎖線で模式的に示すように、その放電空間24の長手方向に沿って放電電極46,48の外側に広がる。そのため、放電空間24内に設けられている蛍光体層26,30のうち、その一点鎖線で囲まれた範囲内に位置するものが、図の左端中央に示す電極46,48間の放電で発生した紫外線で励起発光させられることとなる。
【0040】
したがって、PDP10における発光単位(セル)の区切りは、隔壁22に垂直な方向すなわち図における左右方向ではその隔壁22によって区切られ、隔壁22の長手方向すなわち図における上下方向では実質的にはこの紫外線の及ぶ範囲によって画定される。この結果、発光単位の中心間隔は、図の左右方向においてはPc=0.3(mm)程度のカラー・セル・ピッチに、図の上下方向においてはPd=0.9(mm)程度のドット・ピッチになっている。なお、本実施例のようなRGB3色から成るカラー表示用のPDP10においては、図の左右方向において相互に隣接する3つの発光区画で一画素が構成されている。そのため、画素ピッチは、左右方向および上下方向の何れにおいても0.9(mm)程度である。
【0041】
ここで、本実施例においては、格子状のシート部材20にX配線層36およびY配線層40が設けられると共に、それら配線層36,40のうちの格子の内壁面の互いに対向する位置に固着された部分によってX電極46およびY電極48すなわち対を成す放電電極が構成される。そのため、放電面が互いに平行に設けられた対向放電構造であることから、発光区画相互の放電電圧(開始電圧や維持電圧)のばらつきが小さくなって、動作マージンが広くなる利点がある。
【0042】
しかも、放電電極46,48の放電面が前面板16および背面板18の何れからも離隔したこれらの中間の高さ位置に位置し且つ放電方向がそれらの内面12,14に沿った方向となることから、前面板内面12および背面板内面14上における放電ガス・イオンの影響が少ないので、前述したようにそれらの何れにも広い範囲に蛍光体層26,30が設けられる。そのため、蛍光体層を放電電極が固着された基板とは反対側の基板上にのみ設けることが可能であった面放電構造の場合に比較して輝度を飛躍的に高め得る利点もある。
【0043】
ところで、上記のようなPDP10は、例えば図5に示される工程図に従って別々に処理(或いは製造)されたシート部材20,前面板16,および背面板18を組み立てることで製造される。
【0044】
背面板18の処理工程においては、先ず、隔壁形成工程60において、背面板18の一面14上に例えば厚膜スクリーン印刷法等の厚膜形成技術を用いて、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを塗着し、乾燥後、例えば500〜650(℃)程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の隔壁28を形成する。なお、一回の印刷で隔壁28の所望の高さ寸法を確保できない場合には、印刷および乾燥が必要な回数だけ繰り返される。次いで、蛍光体層形成工程62において、RGB3色に対応する3種の蛍光体ペーストを隔壁28相互間であって色毎に定められた所定位置に厚膜スクリーン印刷法等によって塗布し、例えば450(℃)程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層30を設ける。
【0045】
一方、前面板16の処理工程においては、先ず、隔壁形成工程64において、上記の工程60と同様に、例えば低軟化点ガラスおよび無機フィラー等を主成分とする厚膜絶縁ペーストを厚膜スクリーン印刷法等の厚膜形成技術を用いて内面12上に繰り返し塗布、乾燥して、更に厚膜絶縁ペーストの種類に応じて定められる例えば500〜650(℃)程度の範囲内の熱処理温度で焼成することにより、前記の隔壁22を形成する。次いで、蛍光体層形成工程66において、RGB3色に対応する3種の蛍光体ペーストを隔壁22相互間であって色毎に定められた所定位置に、隔壁22上から落とし込み印刷等の手法で塗布し、例えば450(℃)程度の温度で焼成処理を施すことにより、前記の蛍光体層26を設ける。
【0046】
そして、シート部材作製工程68において作製された前記のようなシート部材20を介して上記の前面板16および背面板18を重ね合わせ、封着工程70において加熱処理を施すことにより、それらの界面に予め塗布されたシールガラス等の封着剤でこれらを気密に封着する。なお、封着に先立ち、必要に応じてシート部材20が前面板16および背面板18の何れかにガラスフリット等を用いて固着される。そして、排気・ガス封入工程72において、形成された気密容器内から排気し且つ所定の放電ガスを封入することにより、前記のPDP10が得られる。
【0047】
上記の製造工程において、シート部材作製工程68は、よく知られた厚膜印刷技術を応用した例えば図6に示される示す工程に従って実施される。以下、シート部材20の製造方法を、製造工程の要部段階における状態を表した図7(a)〜(e)を参照して説明する。
【0048】
先ず、基板用意工程74では、厚膜印刷を施す基板76(図7参照)を用意し、その表面78等に適宜の清浄化処理を施す。この基板76は、後述する加熱処理の際に殆ど変形や変質の生じないものであって、例えば、熱膨張係数が87×10-7(/℃)程度で、740(℃)程度の軟化点および510(℃)程度の歪み点を備えたソーダライム・ガラス等から成るガラス基板が好適に用いられる。なお、基板76の厚さ寸法は例えば2.8(mm)程度であり、その表面78の大きさは前記のシート部材42よりも十分に大きくされている。
【0049】
次いで、剥離層形成工程80では、高融点粒子が樹脂で結合させられた剥離層82を、基板76の表面78に例えば5〜50(μm)程度の厚さ寸法で設ける。上記の高融点粒子は、例えば平均粒径が0.5〜3(μm)程度の高軟化点ガラスフリットおよび平均粒径が0.01〜5(μm)程度のアルミナやジルコニア等のセラミック・フィラーを混合したものである。上記の高軟化点ガラスは、例えば550(℃)程度以上の軟化点を備えたものであり、混合物である高融点粒子の軟化点は、例えば550(℃)程度以上になっている。また、樹脂は、例えば350(℃)程度で焼失させられるエチルセルロース系樹脂等である。この剥離層82は、例えば、上記の高融点粒子および樹脂がブチルカルビトールアセテート(BCA)等の有機溶剤中に分散させられた無機材料ペースト84を、例えば図7(a)に示すようにスクリーン印刷法を用いて基板76の略全面に塗布し、室温において乾燥させることで設けられるが、コータやフィルム・ラミネートの貼り付け等で設けることもできる。図7(b)は、このようにして剥離層82を形成した段階を示している。なお、図7(a)において、86はスクリーン、88はスキージである。本実施例においては、上記の剥離層82を備えた基板76が支持体に、その剥離層82の表面が膜形成面にそれぞれ相当し、上記の基板用意工程74および剥離層形成工程80が支持体準備工程に対応する。
【0050】
続く厚膜ペースト層形成工程90では、前記のX配線層36,Y配線層40,X電極46,およびY電極48を形成するための厚膜導体ペースト92と、前記のコア誘電体層32を形成するための厚膜誘電体ペースト94(図7(a)参照)を、無機材料ペースト84と同様にスクリーン印刷法等を利用して剥離層82上に所定のパターンで順次に塗布・乾燥する。これにより、X配線層36を形成するための導体印刷層96、コア誘電体層32を形成するための厚膜誘電体層98、Y配線層40を形成するための導体印刷層100、X電極46およびY電極48を形成するための導体印刷層102が順に形成される。上記の厚膜導体ペースト92は、例えば、銀粉末等の導体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。また、厚膜誘電体ペースト94は、例えば、アルミナやジルコニア等の誘電体材料粉末、ガラスフリット、および樹脂が有機溶剤中に分散させられたものである。なお、上記のガラスフリットは、例えばPbO-B2O3-SiO2-Al2O3-TiO2系の低軟化点ガラス等が用いられ、樹脂および溶剤は例えば無機材料ペースト84と同様なものが用いられる。
【0051】
このとき、配線層36,40およびコア誘電体層32を形成する際には、スクリーン86は、前記の図1および図3等に示されるコア誘電体層32および配線層36、40の形状にそれぞれ対応する開口パターンを備えたものが用いられ、焼成収縮後にそれぞれ前記の膜厚が得られるように設定された所定の厚さ寸法で厚膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペースト94が塗布される。一方、X電極46およびY電極48を形成する際には、例えばコア誘電体層32により形成された格子の内壁面よりも僅かに内側にはみ出した形状の開口を備えたスクリーン86を用いることにより、厚膜導体ペースト92がコア誘電体層32の上面からその内壁面に沿って流れ落ちるように塗布される。図7(c)〜(e)は、導体印刷層96、誘電体印刷層98、導体印刷層100、導体印刷層102がそれぞれ形成された段階を示している。なお、導体印刷層96,100,102は、5〜10(μm)程度の厚さ寸法であるため、一回の印刷で形成されるが、誘電体印刷層98は30(μm)程度の厚さ寸法であることから、適当な厚さ寸法が得られるまで3回程度の印刷および乾燥を繰り返して積層形成される。
【0052】
上記のようにして厚膜印刷層96〜102を形成し、乾燥して溶剤を除去した後、焼成工程104においては、基板76を所定の焼成装置の炉室106内に入れ、厚膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペースト94の種類に応じた例えば550(℃)程度の焼成温度で加熱処理を施す。図8(f)は加熱処理中の状態を示している。
【0053】
上記の加熱処理過程において、厚膜印刷層96〜102は、その焼結温度が例えば550(℃)程度であるため、その樹脂成分が焼失させられると共に誘電体材料、導体材料、およびガラスフリットが焼結させられ、コア誘電体層32および厚膜導体層(X配線層36とY配線層40)すなわちシート部材20の基本的部分が生成される。図8(g)は、この状態を示している。このとき、前記の剥離層82は、前述したようにその無機成分粒子が550(℃)以上の軟化点を備えたものであるため、樹脂成分は焼失させられるが高融点粒子(ガラス粉末およびセラミック・フィラー)は焼結させられない。そのため、加熱処理の進行に伴って樹脂成分が焼失させられると、剥離層82は高融点粒子108(図9参照)のみから成る粒子層110となる。
【0054】
図9は、図8(g)の右端の一部を拡大して、上記の加熱処理における焼結の進行状態を模式的に示した図である。剥離層82の樹脂成分が焼失させられて生成された粒子層110は、単に高融点粒子108が積み重なっただけの層であり、その高融点粒子108は互いに拘束されていない。そのため、図に一点鎖線で示される焼成前の端部位置から厚膜印刷層96〜102が収縮するときには、その高融点粒子108がコロの如き作用をする。これにより、厚膜印刷層96〜102の下面側でも基板76との間にその収縮を妨げる力が作用しないので、上面側と同様に収縮させられることから、収縮量の相違に起因する密度差や反り等は何ら生じていない。
【0055】
なお、本実施例においては、基板76の熱膨張係数は誘電体材料と略同じであり、厚膜印刷層96〜102の焼結が開始するまで、すなわち、樹脂成分は焼失させられたがガラスフリット、誘電体材料粉末や導体粉末の結合力が未だ小さい温度範囲ではこれらの熱膨張量に殆ど差はない。一方、厚膜印刷層96〜102の焼結が開始するときには、上述したように粒子層110の作用によって基板76はその焼成収縮を何ら妨げない。したがって、基板76の熱膨張は生成される厚膜の品質に実質的に影響しない。なお、基板76を繰り返し使用する場合や熱処理温度が高くなる場合には、歪み点の一層高い耐熱性ガラス(例えば、熱膨張係数が32×10-7(/℃)程度で軟化点が820(℃)程度の硼珪酸ガラスや、熱膨張係数が5×10-7(/℃)程度で軟化点が1580(℃)程度の石英ガラス等)を用いることができる。この場合にも、誘電体材料粉末等の結合力が小さい温度範囲では基板76の熱膨張量が極めて小さくなるので、その熱膨張が生成される厚膜の品質に影響することはない。
【0056】
図6に戻って、剥離工程112では、生成された厚膜すなわちコア誘電体層32および配線層36,40の積層体を基板76から剥離する。それらの間に介在させられている粒子層110は高融点粒子108が単に積み重なっただけであるので、上記剥離処理は何らの薬品や装置を用いることなく容易に行い得る。このとき、積層体の裏面には高融点粒子108が一層程度の厚みで付着し得るが、この付着粒子は、必要に応じて粘着テープやエアブロー等を用いて除去する。なお、厚膜が剥離された基板76は、前述したように前記の焼成温度では変形および変質し難いものであるため、同様な用途に繰り返し用いられる。
【0057】
次いで、誘電体ペースト塗布工程114においては、剥離した積層体をディッピング槽116中に蓄えられた誘電体ペースト118中にディッピングすることにより、全外周面に誘電体ペースト118が塗布される。この誘電体ペースト118は、例えば、PbO-B2O3-SiO2-Al2O3-ZnO-TiO2系或いはこれらを組み合わせた系等のガラス粉末およびPVA等の樹脂が水等の溶剤中に分散させられたものであり、前記の厚膜誘電体ペースト94に比較して低粘度に調製されている。なお、上記のガラス粉末は鉛を含まない軟化点が630(℃)程度以上のものも使用可能である。これは、前記の厚膜誘電体ペースト94に含まれるものの軟化点と同程度かそれよりも高いものである。また、低粘度に調製されたペーストを用いるのは、塗布の際に気泡が巻き込まれ延いては焼成後に欠陥の残ることを防止するためであり、積層体は、例えば水平な向きで金網120等に載せられた状態で誘電体ペースト118中に静かに沈められ、且つ取り出される。
【0058】
続く焼成工程122では、ディッピング槽116から取り出され且つ十分に乾燥させられた積層体が焼成炉内に投入され、前記誘電体ペースト118に含まれるガラス粉末の種類に応じて定められる例えば650(℃)程度の所定温度で加熱処理(焼成処理)を施される。この焼成温度は、例えば、ガラス粉末が十分に軟化して緻密な誘電体層(被覆誘電体層42)が得られるように、ガラス粉末の軟化点に対して十分に高い温度に設定される。このため、このようにして形成された被覆誘電体層42は、ガラス粉末相互の粒界に起因する空隙等が殆ど無く、高い耐電圧を有するものとなる。本実施例においては、上記の誘電体ペースト塗布工程114および焼成工程122から被覆工程により、上記の被覆誘電体層42が設けられている。
【0059】
そして、保護膜形成工程124において、上記の被覆誘電体層42の表面に例えばディッピング処理および焼成処理により、或いはスパッタ等の薄膜プロセスにより、前記の保護膜44が所望の厚さ寸法で略全面に設けられることにより、前記のシート部材20が得られる。なお、保護膜44は、前述したように薄い膜であるので、ディッピング等の厚膜プロセスでは一様な膜を形成することが比較的困難である。しかしながら、本実施例においてはX電極46およびY電極48間で対向放電させることから電極表面間距離が一様であるため、保護膜44の表面形状の如何に拘わらず放電集中は生じ難い。したがって、面放電構造を採る場合ほどの一様性は保護膜44に要求されないのである。
【0060】
ここで、本実施例においては、前面板16および背面板18を重ね合わせて固着することによりPDP10を製造するに際して、以上のようにして製造されたX配線層36およびY配線層40を備えたシート部材20が前面板16または背面板18に固着されることにより、X電極46およびY電極48が放電空間24内に設けられる。そのため、シート部材20上にX電極46およびY電極48を構成するための厚膜導体層すなわちX配線層36およびY配線層40が備えられていることから、前面板16および背面板18の間にそのシート部材20を配置するだけでX電極46およびY電極48を設けることができるため、前面板16および背面板18に放電電極を設ける場合におけるそれらの形成時の熱処理に起因する前面板16、背面板18、および電極46,48等の歪みが好適に抑制されたPDP10を製造することができる。
【0061】
また、本実施例においては、厚膜導体ペースト92および厚膜誘電体ペースト94の焼結温度よりも高い融点を有する剥離層82で構成された膜形成面に誘電体印刷層98および導体印刷層96,100等が所定パターンで形成された後、それらの焼結させられる温度で加熱処理が施されることにより、コア誘電体層32の両面にX配線層36およびY配線層40を構成する厚膜導体層が形成されたシート部材20が生成される。そのため、その加熱処理温度では焼結させられない剥離層82は樹脂が焼失させられることにより高融点粒子108のみが並ぶ粒子層110となることから、生成された厚膜は基板76に固着されないため、その表面78から容易に剥離することができる。したがって、放電電極46,48を構成するためのシート部材20を容易に製造し且つPDP10の製造に用いることができる。
【0062】
また、本実施例においては、厚膜ペースト92,94の塗布される支持体は、基板76の表面に剥離層82が形成されることにより構成されるため、加熱処理後にも支持体の形状が維持されるため、剥離層82のみで支持体が構成されている場合に比較してシート部材20の生成後の取扱いが容易になる利点がある。なお、厚膜印刷層96〜102と基板76との間には剥離層82が介在させられていることから、加熱処理の際にその厚膜印刷層96〜102を何ら拘束しないため、基板76の平坦度や表面粗度等は特に問題にならない。すなわち、基板表面78が反っている場合には、厚膜印刷層96〜102はその表面78に倣って反りを有して形成されるが、生成されるシート部材20は焼成後にも十分な柔軟性があるため、平坦面に置いた場合にその面に倣ってシート部材20も平坦になるのである。
【0063】
また、本実施例においては、厚膜印刷層96〜102は、厚膜スクリーン印刷法を用いて形成されることから、装置が簡単且つ材料の無駄が少ないため、低コストとなる利点がある。
【0064】
また、本実施例によれば、厚膜スクリーン印刷法を用いて膜形成がされることから所謂ウェット・プロセスがないため、排水処理が容易になる利点もある。因みに、ウェット・プロセスでは、溶液が膜内に浸透して残存すると、前面板16および背面板18を接着して真空容器を構成した後のアウトガスの原因になり得る。これを避けるためには、構成材料の耐熱温度を高くして気密封着後の排気温度を高め、或いは排気時間を長くする等の工程負荷が重くなるような処置が必要となる。
【0065】
以上、本発明を図面を参照して詳細に説明したが、本発明は更に別の態様でも実施できる。
【0066】
例えば、実施例においては、カラー表示用のAC型PDP10およびその製造方法に本発明が適用された場合について説明したが、本発明は、モノクロ表示用のAC型PDPや放電電極が露出させられたDC型PDPおよびそれらの製造方法にも同様に適用される。
【0067】
また、実施例のPDP10は、3色の蛍光体層26、30を備えてフルカラー表示をさせる形式のものであったが、本発明は、1色或いは2色の蛍光体層を備えたPDPにも同様に適用される。
【0068】
また、シート部材20の厚さ寸法およびそれを構成するコア誘電体層32や配線層36、40等の厚さ寸法等は、シート部材20に取扱い上で要求される機械的強度や、導体に求められる導電性等に応じて定められるものであり、実施例に示した数値に限られずガス放電表示装置の大きさや構造等に応じて適宜定められる。
【0069】
また、実施例においては、シート部材20に設けられた配線層36,40が被覆誘電体層42で完全に覆われていたが、これらは表示のための放電や気密容器内の雰囲気等に影響を及ぼさない範囲で部分的に露出させられていても差し支えない。
【0070】
また、実施例においては、シート部材20が厚膜スクリーン印刷法を利用してコア誘電体層32や配線層36,40等を設けられていたが、コータやフィルム・ラミネート等を用いて膜形成面に「ベタ」に厚膜ペースト層を設け、フォト・プロセスを用いてパターニングすることもできる。
【0071】
また、実施例においては、シート部材20を製造するための支持体を、基板76の表面78に剥離槽82を設けることで構成していたが、セラミック生シート(未焼成のシート状セラミックス)を支持体として用いることもできる。この場合には、焼成工程104における熱処理温度が、このセラミック生シートは焼結しないがそれに含まれている樹脂成分は十分に燃え抜けるような温度となるように生シートの構成を定めればよい。
【0072】
また、実施例においては、シート部材20の内壁面の一部を覆うX電極46およびY電極48間で放電させられる対向放電構造に構成されていたが、この内壁面を覆う部分が設けられていないような面放電構造に構成することもできる。
【0073】
また、実施例においては、隔壁22がストライプ状に設けられていたが、封着後の排気・ガス封入に問題が無ければ格子状の隔壁で放電空間を区画形成してもよい。
【0074】
また、気密空間内は格子状のシート部材20によって発光区画毎に区分されるので、隔壁22は必須ではない。
【0075】
また、実施例においては、前面板16および背面板18が何れも透明なガラス基板で構成されることにより何れからも発光を観察できるように構成されていたが、一方を不透明な材料で構成して他方を透過した光のみを観察するように構成してもよい。
【0076】
また、実施例では内面12,14の何れにも蛍光体層26,30が設けられていたが、何れか一方のみとすることもできる。
【0077】
その他、一々例示はしないが、本発明は、その主旨を逸脱しない範囲で種々変更を加え得るものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のガス放電表示装置の一例であるカラーPDPを一部を切り欠いて示す斜視図である。
【図2】隔壁の長手方向に沿った断面において、図1のPDPの断面構造を説明する図である。
【図3】図1のPDPに備えられたシート部材の構成を説明する図である。
【図4】図3のシート部材内における配線層の形成状態を説明する図である。
【図5】図1のPDPの製造方法を説明する工程図である。
【図6】シート部材の製造方法を説明する工程図である。
【図7】 (a)〜(e)は、図6の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示す図である。
【図8】 (f)〜(h)は、図6の製造工程の要部段階における基板および厚膜の状態を示すための図7(e)に続く図である。
【図9】図6の焼成工程における収縮挙動を説明するための図である。
【符号の説明】
10:PDP
16:前面板
18:背面板
20:シート部材
24:放電空間
32:コア誘電体層
36:X配線層
40:Y配線層
42:シート部材
46:X電極
48:Y電極
Claims (10)
- 透明な第1基板と、その第1基板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、そのガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察する形式のガス放電表示装置であって、
格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、
前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるようにその一面に積層されることにより前記第1放電電極として機能させられる複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、
前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に伸びるようにその他面に積層されることにより前記第2放電電極として機能させられる複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層と
を備えて、前記第1基板および前記第2基板の間にそれらに平行に配置されたシート部材を含むことを特徴とするガス放電表示装置。 - 前記第1厚膜導体層は、前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第1対向部を備え、
前記第2厚膜導体層は、前記第1対向部に対向するように前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第2対向部を備えたものである請求項1のガス放電表示装置。 - 前記複数の放電空間は、相互に所定間隔を以て一方向に沿って伸びる複数本のリブ状壁によって区分された縞状を成すものであり、前記シート部材は、格子の一方向に沿って伸びる部分がそのリブ状壁の頂部に位置させられたものである請求項1または請求項2のガス放電装置。
- 透明な第1基板と、その第1基板から所定距離隔てて平行に配置された第2基板と、それら第1基板および第2基板間に備えられ且つ所定のガスが封入された気密空間内に形成された複数の放電空間と、それら複数の放電空間の各々でガス放電を発生させるための複数対の第1放電電極および第2放電電極とを備え、そのガス放電で発生した光を前記第1基板を通して観察する形式のガス放電表示装置を、前記第1基板および前記第2基板を重ね合わせて気密に封着することにより製造する方法であって、
格子状を成した所定厚さ寸法の厚膜誘電体から成るコア誘電体層と、
前記コア誘電体層の格子の一方向に沿って互いに平行に伸びるようにその一面に積層されることにより前記第1放電電極として機能させられる複数本の第1導体から成る第1厚膜導体層と、
前記コア誘電体層の格子の他方向に沿って互いに平行に伸びるようにその他面に積層されることにより前記第2放電電極として機能させられる複数本の第2導体から成る第2厚膜導体層と
を備えたシート部材を、前記第1基板および前記第2基板の一方の内面上に固着するシート部材固着工程を含むことを特徴とするガス放電表示装置の製造方法。 - 所定の第1温度よりも高い融点を有する粒子が樹脂で結合されて成る高融点粒子層で構成された膜形成面を有する支持体を用意する支持体準備工程と、
前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第1導体ペースト膜を前記膜形成面に前記第1厚膜導体層に対応する複数に分割された所定パターンで形成する第1導体ペースト膜形成工程と、
前記第1温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る誘電体ペースト膜を前記コア誘電体層に対応する格子状パターンでその第1導体ペースト膜の表面に積層して形成する誘電体ペースト膜形成工程と、
前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第2導体ペースト膜を前記第2厚膜導体層に対応する複数に分割された所定パターンでその誘電体ペースト膜の表面に積層して形成する第2導体ペースト膜形成工程と、
前記支持体を前記第1温度で加熱処理することにより、前記高融点粒子層を焼結させることなく前記第1導体ペースト膜、前記第2導体ペースト膜、および前記誘電体ペースト膜を焼結させて、それら第1導体ペースト膜、第2導体ペースト膜、および誘電体ペースト膜から前記第1厚膜導体層、前記第2厚膜導体層、および前記コア誘電体層を生成する焼成工程と
を、含む工程により前記シート部材を製造するものである請求項4のガス放電表示装置の製造方法。 - 前記第1厚膜導体層は、前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第1対向部を備え、
前記第2厚膜導体層は、前記第1対向部に対向するように前記コア誘電体層の格子の内壁面にその一部を覆って固着された複数個の第2対向部を備えたものであり、
前記誘電体ペースト膜の格子の内壁面に前記第1温度で焼結させられる厚膜導体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る第3導体ペースト膜を前記第1対向部および前記第2対向部に対応するパターンで形成する第3導体ペースト膜形成工程を含むものである請求項5のガス放電表示装置の製造方法。 - 所定温度で焼結させられる厚膜誘電体材料の構成粒子が樹脂で結合されて成る厚膜誘電体ペーストを前記第3導体ペースト膜を覆うように塗布して加熱処理を施すことにより前記シート部材の表層部を構成する被覆誘電体層を生成する被覆工程を含むものである請求項5または請求項6のガス放電表示装置の製造方法。
- 前記支持体準備工程は、所定の基板の表面に前記高融点粒子層を形成するものである請求項5乃至請求項7の何れかのガス放電表示装置の製造方法。
- 前記基板は、前記焼成温度で変形しないものである請求項8のガス放電表示装置の製造方法。
- 厚膜スクリーン印刷法を用いて前記第1導体ペースト膜、前記第2導体ペースト膜、前記第3導体ペースト膜、および前記誘電体ペースト膜をそれぞれ形成するものである請求項5乃至請求項9の何れかのガス放電表示装置の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001306876A JP3891812B2 (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | ガス放電表示装置およびその製造方法 |
PCT/JP2002/010224 WO2003032356A1 (fr) | 2001-10-02 | 2002-10-01 | Dispositif d'affichage a decharge gazeuse et procede de fabrication de celui-ci |
US10/491,408 US7067979B2 (en) | 2001-10-02 | 2002-10-01 | Gas-discharge display device and its manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001306876A JP3891812B2 (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | ガス放電表示装置およびその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003197108A JP2003197108A (ja) | 2003-07-11 |
JP3891812B2 true JP3891812B2 (ja) | 2007-03-14 |
Family
ID=27590735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001306876A Expired - Fee Related JP3891812B2 (ja) | 2001-10-02 | 2001-10-02 | ガス放電表示装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3891812B2 (ja) |
-
2001
- 2001-10-02 JP JP2001306876A patent/JP3891812B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003197108A (ja) | 2003-07-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2004235042A (ja) | ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
US20040245929A1 (en) | Gas-discharge display device and its manufacturing method | |
JP3891811B2 (ja) | Ac型ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP2003208850A (ja) | 平板型表示装置およびその製造方法 | |
JP4102215B2 (ja) | 厚膜シート電極の製造方法 | |
JP3891812B2 (ja) | ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP2003331734A (ja) | プラズマディスプレイ装置 | |
JP2003208851A (ja) | Ac型ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP2004243243A (ja) | 厚膜シートの製造方法 | |
JP3891879B2 (ja) | Ac型ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP2006310137A (ja) | プラズマディスプレイパネルとその製造方法 | |
JP2004273328A (ja) | Ac型ガス放電表示装置 | |
JP2003208853A (ja) | ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP2004206977A (ja) | 導体配設方法および厚膜シート部材 | |
KR20080029751A (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널 및 그 제조 방법 | |
JP2004303670A (ja) | 厚膜シートおよびその製造方法 | |
JP2004281095A (ja) | Ac型ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP3282989B2 (ja) | 表示装置の製造方法 | |
JP2008159528A (ja) | 隔壁形成方法 | |
JP2004288401A (ja) | 平板型表示装置 | |
KR100453171B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 격벽 제조방법 | |
JP2004296145A (ja) | Ac型ガス放電表示装置 | |
JP2003331739A (ja) | ガス放電表示装置およびその製造方法 | |
JP2005332599A (ja) | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 | |
JP2004303548A (ja) | タイル型表示装置用パネル |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040517 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061128 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20061205 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |