JP2005022247A - 画像記録方法及び画像記録装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 64
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 59
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 22
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 10
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000001454 recorded image Methods 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000005459 micromachining Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 1
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
- B41J2/465—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using masks, e.g. light-switching masks
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
- B41J2/447—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using arrays of radiation sources
- B41J2/455—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using arrays of radiation sources using laser arrays, the laser array being smaller than the medium to be recorded
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/485—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by the process of building-up characters or image elements applicable to two or more kinds of printing or marking processes
- B41J2/505—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by the process of building-up characters or image elements applicable to two or more kinds of printing or marking processes from an assembly of identical printing elements
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2051—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
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Abstract
【課題】複数の記録素子ユニットを走査方向と交差する方向に配列することで構成された記録ヘッドによって画像を記録する場合に、それぞれの記録素子ユニットの光学倍率に誤差が生じても、機械的な調整機構を用いることなく、画像記録位置のずれを補正する。
【解決手段】記録素子ユニット１６６における光学系の物理的に機差、組み付け時の誤差、環境温度や湿度による経時的な変化に起因する光学倍率の変動を、光量モニタ５０による計測で予め認識し、この変位量に基づいて、走査方向においては画像記録開始タイミングを補正し、走査方向と直交する方向においては解像度を変更することで、標準倍率時の画像の位置を維持するようにしたため、記録素子ユニット１６６を回転移動して調整する等、煩雑な調整機構をもつことなく、感光材料１５０に対する画像記録位置のずれを解消することができる。
【選択図】 図６
【解決手段】記録素子ユニット１６６における光学系の物理的に機差、組み付け時の誤差、環境温度や湿度による経時的な変化に起因する光学倍率の変動を、光量モニタ５０による計測で予め認識し、この変位量に基づいて、走査方向においては画像記録開始タイミングを補正し、走査方向と直交する方向においては解像度を変更することで、標準倍率時の画像の位置を維持するようにしたため、記録素子ユニット１６６を回転移動して調整する等、煩雑な調整機構をもつことなく、感光材料１５０に対する画像記録位置のずれを解消することができる。
【選択図】 図６
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録方法及び画像記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（記録素子）が利用され、画像データに応じて変調された光ビームを照射する記録ヘッドを用いて記録媒体へ画像を記録する（例えば、感光材料への画像露光）画像記録装置が種々提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上にＬ行×Ｍ列の２次元状に配列されたミラーデバイスであり、単一の光源をこのＤＭＤに照射することで、ＤＭＤの分解能に応じた複数の光を独立して変調制御することができる。
【０００４】
一般に、ＤＭＤ等の記録素子は、各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するように格子状（マトリクス状）に配列されていが、この記録素子を、走査方向に対して傾斜させて配置することで、走査時に走査線の間隔が密になり、解像度を上げることができる。
【０００５】
ところが、前記ＤＭＤを含む光学系において、光学倍率の誤差が発生することがある。この光学倍率の誤差が発生すると、ドットパターンの記録位置がずれ、記録した画像に位置ずれが発生することになる。
【０００６】
これを解消するために、光学倍率を調整する機構を設ける必要がある（特許文献２参照）。しかしながら、光学倍率調整機構は非常に複雑であり、経時的な変化に対応して調整する必要がある場合、非常に作業が煩雑で作業性の低下を招く。
【０００７】
また、二次元配列された記録ヘッドを平面的に回転させ、各ドット間のピッチ寸法を調整することが考えられる。これにより、走査方向と交差する方向のドット間のピッチ寸法を合わせることができる。なお、走査方向においては、走査速度を変更することで誤差を吸収すればよい。
【０００８】
【特許文献１】
米国特許第００５１３２７２３号
【特許文献２】
米国特許第０２００９２９９３号
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような調整は、記録ヘッドを複数の記録素子ユニットを走査方向と交差する方向に複数ユニット配列した構成では、それぞれの記録素子ユニットに対して、回転調整機構を設けなければならず、それぞれの記録素子ユニット間において、異なる光学倍率となっている場合には対応できない。
【００１０】
本発明は上記事実を考慮し、複数の記録素子ユニットを走査方向と交差する方向に配列することで構成された記録ヘッドによって画像を記録する場合に、それぞれの記録素子ユニットの光学倍率に誤差が生じても、機械的な調整機構を用いることなく、画像記録位置のずれを補正することができる画像記録方法及び画像記録装置を得ることが目的である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、光源と、この光源からの光を受けて二次元配列された光ビームを形成し当該光ビームを画像記録面へ結像させるための光学系と、を備えた複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録方法であって、前記光学系の光学倍率の変化によって発生する前記画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測し、前記走査方向の変位量に基づいて、当該走査開始時の発光タイミングを変更し、前記走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、当該走査方向と交差する方向の解像度を変更する、ことを特徴としている。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、光源から画像記録面へ照射される光ビームは、光学系を介して案内される。このため、光学系の倍率（光学倍率）が物理的な機差や組み付け状態、或いは環境温度・湿度等の要因で変化することがある。この場合、二次元配列された記録素子ユニットでは、この光学倍率の変動によりドットパターンの位置が変動する。
【００１３】
そこで、光学系の光学倍率の変化によって発生する画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測する。
【００１４】
この計測した変位量の内、走査方向の変位量に基づいて、走査開始時の発光タイミングを変更する。
【００１５】
また、計測した変位量の内、走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、走査方向と交差する方向の解像度を変更する。
【００１６】
これにより、記録素子ユニットを機械的に位置調整する等の調整機構が不要となり、光学倍率の変位があっても、位置ずれを起こすことがない。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の発明において、前記走査方向と交差する方向の解像度の変更が、標準の光学倍率で記録した走査方向と交差する方向の所定の線幅と同一の線幅となるように、ドットパターン数を変更することを特徴としている。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、例えば、光学倍率の変位が拡大側であった場合、標準の光学倍率で所定の幅寸法の線（線幅）記録するために設定された走査方向と直交する方向のドットパターン数と同一のドットパターン数で記録すると、線幅が拡大する。そこで、拡大した変位量に基づいて、ドットパターン数を減らすことで（すなわち、解像度を低くすることで）、線幅を標準の光学倍率と同等とすることができる。なお、光学倍率の変位が縮小側であった場合は、解像度を高めればよい。
【００１９】
このような記録画像の解像度変更を元画像の解像度よりも低くならないようにするためには、元画像に対して出力画像は予め解像度を高めておくことが前提となる。
【００２０】
請求項３に記載の発明は、光源と、この光源からの光を受けて二次元配列された光ビームを形成し当該光ビームを画像記録面へ結像させるための光学系と、を備えた複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録装置であって、前記光学系の光学倍率の変化によって発生する前記画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測する変位量計測手段と、前記走査方向の変位量に基づいて、当該走査方向走査開始時の発光タイミングを変更する発光タイミング変更手段と、前記走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、標準倍率時に記録した所定の線幅と同一の線幅となるように解像度を変更する解像度変更手段と、を有している。
【００２１】
請求項３に記載の発明によれば、光源から画像記録面へ照射される光ビームは、光学系を介して案内される。このため、光学系の倍率（光学倍率）が物理的な機差や組み付け状態、或いは環境温度・湿度等の要因で変化することがある。この場合、二次元配列された記録素子ユニットでは、この光学倍率の変動によりドットパターンの位置が変動する。
【００２２】
そこで、変位量計測手段では、光学系の光学倍率の変化によって発生する画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測する。
【００２３】
発光タイミング変更手段では、前記変位量計測手段で計測した変位量の内、走査方向の変位量に基づいて、走査開始時の発光タイミングを変更する。
【００２４】
また、解像度変更手段では、前記変位量計測手段で計測した変位量の内、走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、走査方向と交差する方向の解像度を変更する。すなわち、標準倍率時に記録した所定の線幅と同一の線幅となるように解像度を変更する。
【００２５】
これにより、記録素子ユニットを機械的に位置調整する等の調整機構が不要となり、光学倍率の変位があっても、位置ずれを起こすことがない。
【００２６】
なお、本発明において、変調制御は、オン／オフ変調制御、パルス幅変調制御、面積変調制御等、様々な変調制御に対応可能であり、変調制御方法に限定されるものではない。
【００２７】
【発明の実施の形態】
図１には、本実施の形態に係るフラッドベッドタイプの画像記録装置１００が示されている。
【００２８】
画像記録装置１００は、４本の脚部１５４に支持された厚い板状の設置台１５６を備え、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド１５８を介して、平板状のステージ１５２を備えている。ステージ１５２は、シート状の感光材料１５０を表面に吸着して保持する機能を有している。
【００２９】
ステージ１５２は、その長手方向がステージ移動方向とされ、ガイド１５８に案内されて、往復移動（走査）可能に支持されている。なお、この露光装置１００には、ステージ１５２をガイド１５８に沿って駆動するための図示しない駆動装置が設けられており、走査方向での所望の倍率に対応した移動速度（走査速度）となるように、図示しないコントローラによって駆動制御される。
【００３０】
設置台１５６の中央部には、ステージ１５２の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート１６０が設けられている。コ字状のゲート１６０の端部の各々は、設置台１５６の両側面に固定されている。このゲート１６０を挟んで一方の側には記録ヘッド１６２が設けられ、他方の側には感光材料１５０の先端及び後端を検知する複数（例えば、２個）の検知センサ１６４が設けられている。
【００３１】
図２に示される如く、記録ヘッド１６２は、複数の記録素子ユニット１６６を備えており、所定のタイミングでそれぞれの記録素子ユニット１６６から照射される複数の光ビームを前記ステージ１５２上の感光材料１５０へ照射すると同時にステージ１５２を移動する（走査する）ことで、感光材料１５０を露光するようになっている。
【００３２】
図２及び図３（Ｂ）に示すように、記録ヘッド１６２を構成する記録素子ユニット１６６は、ｍ行ｎ列（例えば、２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数の記録素子ユニット１６６が走査方向と直交する方向に配列される。本実施の形態では、感光材料１５０の幅との関係で、２行で合計１０個の記録素子ユニット１６６とした。
【００３３】
ここで、記録素子ユニット１６６による露光エリア１６８は、走査方向を短辺とする矩形状で、且つ、走査方向に対して所定の傾斜角で傾斜しており、ステージ１５２の移動に伴い、感光材料１５０には記録素子ユニット１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。
【００３４】
記録素子ユニットの各々は、入射された光ビームを空間光変調素子である図示しないデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）によって、ドット単位で制御され、感光材料１５０には、ドットパターンが露光され、この複数のドットパターンによって１画素の濃度を表現するようになっている。
【００３５】
図４に示される如く、前述した帯状の露光済み領域１７０（１つの記録素子ユニット１６６）は、二次元配列（４×５）された２０個のドット（図４の実線参照）によって形成される。
【００３６】
また、前記二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶ各ドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、高解像度化を図ることができる。なお、上記のように記録素子ユニット１６６の傾斜は、装置の標準解像度の設定によっては、同一走査線上に複数のドットパターンが重複する場合がある。このような場合には、何れか一方のドットパターン（図４では、斜線としたドットパターン）に対応するＤＭＤを常にオフ状態し、不使用のドットパターンを設ければよい。
【００３７】
ところで、前記ＤＭＤを含む光学系では、標準倍率が設定されているが、光学系の物理的な機差、組み付け位置の誤差、環境温度や湿度等による経時的な変化によって光学倍率が変化する場合がある。
【００３８】
光学倍率が大きい方に変化した場合には、図４の鎖線に示される如く、そのドットパターンの位置が変化する。すなわち、このまま、拡大された倍率で画像記録を行うと、走査方向においては、倍率誤差によって記録開始位置がずれ、走査方向と交差する方向では、画像寸法が拡大することになる。
【００３９】
なお、光学倍率が標準倍率よりも小さい方に変化した場合にも走査開始位置のずれ、画像寸法の縮小という、同様の現象が発生する。
【００４０】
そこで本実施の形態では、画像記録前に予めドットパターンの位置を計測しておき、標準倍率時のドットパターン位置との変位量を演算し、この演算された変位量に基づいて、走査方向の補正（走査開始タイミングの変更）と走査方向と交差する方向の補正（解像度の変更）を行っている。
【００４１】
以下、図５に光学倍率が変化した場合の、入力画像データ補正制御のための機能的なブロック図を示す。
【００４２】
画像記録装置１００のステージ１５２には、光量モニタ５０が感光材料１５０と等価となる位置に配設されている。この光量モニタ５０には、ドット単位で光量を計測可能なアパーチャーが設けられており、各記録素子ユニット１６６の二次元配列されたドットパターンの位置を認識できるようになっている。
【００４３】
このような状態で、記録素子ユニット１６６を全点灯（ＤＭＤを全てオン状態）し、光量モニタを走査方向と交差する方向へ移動することで、ピーク光量の位置）（各ドットパターンの位置）を認識することができる。
【００４４】
光量モニタ５０は、ドットパターン位置データ入力部５２に接続されており、このドットパターン位置データ入力部５２に各ドットパターンの位置情報が入力される。
【００４５】
ドットパターン位置データ入力部５２は、変位量演算部５４に接続されている。この変位量演算部５４には、標準倍率時ドットパターン位置データメモリ５６が接続されている。標準倍率時ドットパターン位置データメモリ５６には、予め標準倍率時のドットパターン位置データが記憶されており、変位量演算部５４では、この標準倍率時のドットパターン位置データを読出し、前記ドットパターン位置データ入力部５２から送出される現在のドットパターン位置データとの差、すなわち変位量が演算される。
【００４６】
一方、画像データ入力部１０には、画像データが入力され、フレームメモリ１２に記憶される。
【００４７】
フレームメモリ１２に記憶された画像データは、解像度変換部１４へ送出され、高解像度化変換される。また、本実施の形態では、高解像度化がなされると共に、１画素を複数のドットパターンで表現する。
【００４８】
解像度変換部１４には、倍率補正用の解像度変換部５８が接続されている。
【００４９】
この倍率補正用の解像度変換部５８では、前記変位量演算部５４で演算されたドットパターンの変位量に基づいて、解像度が変更されるようになっている。
【００５０】
すなわち、変位量演算部５４からは、走査方向と直交する方向の変位量を走査直交方向読出部６０によって読出し、この走査方向と直交する方向の変位量の基づいて、解像度が変更される。
【００５１】
例えば、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示される如く、光学倍率が大きい側に変動している場合には、標準倍率時の解像度Ｘ０に対して、拡大倍率時解像度がＸに変化しており、この差分（｜Ｘ−Ｘ０｜）に基づいて、走査方向と直交する方向とドットパターン数を減らす。すなわち、標準倍率時では４ラインで記憶するべきところを、３ラインで記録するようにし、線幅を一致させる。
【００５２】
倍率補正用の解像度変換部５８において、倍率補正のための解像度の変更が実行された画像データは、データ生成部３２へ送出され、最終画像データとなる各記録素子ユニットのデータが生成されて、出力制御部６２へ送出される。
【００５３】
この出力制御部６２には、画像記録開始タイミング演算部６４で演算された記録開始タイミング信号が入力されており、この記録開始タイミングに基づいてデータが出力を開始するようになっている。
【００５４】
前記画像記録開始タイミング演算部６４には、走査方向変位量読出部６６によって変位量演算部５４から読み出した、走査方向の変位量が入力され、この変位量に基づいて記録開始タイミングが演算される。
【００５５】
すなわち、図６（Ａ）に示されるように、標準倍率に対して大きい側に光学倍率が変化していると、この倍率誤差によって記録開始タイミングにずれが生じる。このため、このずれを相殺するべく、データの出力タイミングを変更すればよい。上記のように光学倍率が大きい側に変位している場合には、画像記録開始タイミングを早めればよいし、小さい側に変位している場合には、画像記録タイミングを遅くすればよい。
【００５６】
なお、走査方向の解像度となる各ドットパターンの照射タイミング（標準倍率時ｙ０、拡大倍率時ｙ）は、共に倍率の変化に拘わらず同一タイミングで実行される（図６（Ａ）及び（Ｂ）参照）。
【００５７】
以下に本実施の形態の作用を説明する。・
（ドットパターン変位量の生成）
通常の画像記録では、ステージ１５２上に感光材料１５０を位置決めするが、ドットパターンの変位量を得る場合には、この感光材料１５０の位置と等価となる位置に光量モニタを設置する。
【００５８】
この状態で、記録ヘッド１６２を全点灯、すなわち各記録素子ユニット１６６から照射される全ドットのＤＭＤによる変調をオン状態とする。
【００５９】
光量モニタ５０には、アパーチャーを設けることで、各ドットの位置を測定する。
【００６０】
このようにして得たドットパターン位置データは、画像データ入力部１０への画像データの入力と同期して、ドットパターン位置データ入力部５２に入力され、変位量演算部５４において、予め標準倍率時ドットパターン位置データメモリ５６に記憶されている標準倍率時のドットパターン位置データと比較され、その変位量が演算される。
【００６１】
前記画像データ入力部１０に入力された画像データは、一旦フレームメモリ１２に記憶され、１ライン（走査方向と直交する方向における同時記録領域）毎に読み出され、解像度変換部１４において高解像度化が実行される。
【００６２】
次に、この画像データは倍率補正用の解像度変換部５８へ送出され、前記変位量演算部５４で演算した変位量の内、走査方向と直交する方向の変位量（走査直交方向変位量読出部６での読出し）に基づいて、解像度が変更される。
【００６３】
すなわち、標準倍率よりも大きい側に倍率が変化している場合には、解像度を低くすることで、走査方向と直交する方向の画像の拡大を防止する。
【００６４】
また、標準倍率よりも小さい側に倍率が変化している場合には、解像度を高くすることで、走査方向と直交する方向の画像の縮小を防止する。
【００６５】
上記倍率補正がなされた画像データは、データ生成部３２へ送出され、ＤＭＤのデータが生成され、出力制御部６２へ送出される。
【００６６】
ここで、出力制御部６２では、光学倍率の変化に起因する画像記録開始位置のずれを補正するべく、画像記録開始タイミング演算部６４で演算された画像記録開始タイミングに基づいて、出力が制御される。
【００６７】
すなわち、前記変位量演算部５４で演算した変位量の内、走査方向の変位量（走査方向変位量読出部６での読出し）に基づいて、画像記録開始タイミング演算部６４では、画像記録開始時のずれを相殺するためのタイミングを演算する。
【００６８】
光学倍率が標準倍率よりも大きい側に変化している場合には、最初に記録するドットパターンが走査方向に進むため、標準倍率時よりもタイミングが速くなる。このため、進み量と走査速度とに基づいて画像記録開始を遅らせる。また、光学倍率の標準倍率の小さい側に変化している場合には、最初に記録するドットパターンが走査方向と逆方向に遅れるため、標準倍率時よりもタイミングが遅くなる。このため、遅れ量と走査速度とに基づいて画像記録開始を早める。
（画像記録の流れ）
感光材料１５０を表面に吸着したステージ１５２は、図示しない駆動装置により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に一定速度で移動される。ステージ１５２がゲート１６０下を通過する際に、ゲート１６０に取り付けられた検知センサ１６４により感光材料１５０の先端が検出されると、前記生成されたデータに基づいて各記録素子ユニット１６６毎にＤＭＤのマイクロミラーの各々が制御される。
【００６９】
すなわち、ＤＭＤにレーザ光が照射されると、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光が光学系を介して感光材料１５０へと案内され、この感光材料１５０上に結像される。
【００７０】
以上説明したように本実施の形態では、記録ヘッド１６２に搭載される複数の記録素子ユニット１６６における光学系の物理的に機差、組み付け時の誤差、環境温度や湿度による経時的な変化（物理的な位置や物性的な変化）に起因する光学倍率の変動を、光量モニタ５０による計測で予め認識し、この変位量に基づいて、走査方向においては画像記録開始タイミングを補正し、走査方向と直交する方向においては解像度を変更することで、標準倍率時の画像の位置を維持するようにしたため、記録素子ユニット１６６を回転移動して調整する等、煩雑な調整機構をもつことなく、感光材料１５０に対する画像記録位置のずれを解消することができる。
【００７１】
なお、本実施の形態では、空間変調素子としてＤＭＤを用い、点灯時間を一定にしてオン／オフすることでドットパターンを生成するようにしたが、オン時間比（デューティ）制御によるパルス幅変調を行ってもよい。また、１回の点灯時間を極めて短時間として、点灯回数によってドットパターンを生成してもよい。
【００７２】
さらに、本実施の形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた記録素子ユニット１６６について説明したがこのような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Ｓｐａｃｉａｌ Ｌｉｇｈｔ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Ｇｒａｔｉｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｖａｌｖｅ（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【００７３】
また、上記の実施の形態における光源としては、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源、複数の発光点が二次元状に配列された光源（たとえば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）、等が適用可能である。
【００７４】
さらに、本実施の形態の画像記録装置１００は、例えば、プリント配線基板（ＰＷＢ；Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｗｉｒｉｎｇ Ｂｏａｒｄ）の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ；Ｄｒｙ Ｆｉｌｍ Ｒｅｓｉｓｔ）の露光、液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程におけるカラーフィルタの形成、ＴＦＴの製造工程におけるＤＦＲの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）の製造工程におけるＤＦＲの露光等の用途に好適に用いることができる。
【００７５】
また、上記の画像記録装置１００には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明した如く本発明では、複数の記録素子ユニットを走査方向と交差する方向に配列することで構成された記録ヘッドによって画像を記録する場合に、それぞれの記録素子ユニットの光学倍率に誤差が生じても、機械的な調整機構を用いることなく、画像記録位置のずれを補正することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態の画像記録装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態の画像記録装置の記録ヘッドの構成を示す斜視図である。
【図３】（Ａ）は感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図であり、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図である。
【図４】記録素子ユニットのドット配列状態を示す平面図である。
【図５】本実施の形態に係る画像データ補正のための制御系を示す制御ブロック図である。
【図６】（Ａ）は標準倍率時及び拡大倍率時のドットパターンを重ねて表示した平面図、（Ｂ）は拡大倍率時のドットパターンの平面図である。
【符号の説明】
１０ 画像データ入力部
１２ フレームメモリ
１４ 解像度変換部
５０ 光量モニタ（変位量計測手段）
５２ ドットパターン位置データ入力部
５４ 変位量演算部
５６ 標準倍率時ドットパターン位置データメモリ
５８ 「倍率補正用」解像度変換部（解像度変更手段）
６０ 走査直交方向変位量読出部
６２ 出力制御部
６４ 画像記録開始タイミング演算部（発光タイミング変更手段）
６６ 走査方向変位量読出部
１００ 画像記録装置
１５０ 感光材料
１５２ ステージ
１６２ 記録ヘッド
１６６ 記録素子ユニット
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録方法及び画像記録装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子（記録素子）が利用され、画像データに応じて変調された光ビームを照射する記録ヘッドを用いて記録媒体へ画像を記録する（例えば、感光材料への画像露光）画像記録装置が種々提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
例えば、ＤＭＤは、制御信号に応じて反射面の角度が変化する多数のマイクロミラーが、シリコン等の半導体基板上にＬ行×Ｍ列の２次元状に配列されたミラーデバイスであり、単一の光源をこのＤＭＤに照射することで、ＤＭＤの分解能に応じた複数の光を独立して変調制御することができる。
【０００４】
一般に、ＤＭＤ等の記録素子は、各行の並び方向と各列の並び方向とが直交するように格子状（マトリクス状）に配列されていが、この記録素子を、走査方向に対して傾斜させて配置することで、走査時に走査線の間隔が密になり、解像度を上げることができる。
【０００５】
ところが、前記ＤＭＤを含む光学系において、光学倍率の誤差が発生することがある。この光学倍率の誤差が発生すると、ドットパターンの記録位置がずれ、記録した画像に位置ずれが発生することになる。
【０００６】
これを解消するために、光学倍率を調整する機構を設ける必要がある（特許文献２参照）。しかしながら、光学倍率調整機構は非常に複雑であり、経時的な変化に対応して調整する必要がある場合、非常に作業が煩雑で作業性の低下を招く。
【０００７】
また、二次元配列された記録ヘッドを平面的に回転させ、各ドット間のピッチ寸法を調整することが考えられる。これにより、走査方向と交差する方向のドット間のピッチ寸法を合わせることができる。なお、走査方向においては、走査速度を変更することで誤差を吸収すればよい。
【０００８】
【特許文献１】
米国特許第００５１３２７２３号
【特許文献２】
米国特許第０２００９２９９３号
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような調整は、記録ヘッドを複数の記録素子ユニットを走査方向と交差する方向に複数ユニット配列した構成では、それぞれの記録素子ユニットに対して、回転調整機構を設けなければならず、それぞれの記録素子ユニット間において、異なる光学倍率となっている場合には対応できない。
【００１０】
本発明は上記事実を考慮し、複数の記録素子ユニットを走査方向と交差する方向に配列することで構成された記録ヘッドによって画像を記録する場合に、それぞれの記録素子ユニットの光学倍率に誤差が生じても、機械的な調整機構を用いることなく、画像記録位置のずれを補正することができる画像記録方法及び画像記録装置を得ることが目的である。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、光源と、この光源からの光を受けて二次元配列された光ビームを形成し当該光ビームを画像記録面へ結像させるための光学系と、を備えた複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録方法であって、前記光学系の光学倍率の変化によって発生する前記画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測し、前記走査方向の変位量に基づいて、当該走査開始時の発光タイミングを変更し、前記走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、当該走査方向と交差する方向の解像度を変更する、ことを特徴としている。
【００１２】
請求項１に記載の発明によれば、光源から画像記録面へ照射される光ビームは、光学系を介して案内される。このため、光学系の倍率（光学倍率）が物理的な機差や組み付け状態、或いは環境温度・湿度等の要因で変化することがある。この場合、二次元配列された記録素子ユニットでは、この光学倍率の変動によりドットパターンの位置が変動する。
【００１３】
そこで、光学系の光学倍率の変化によって発生する画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測する。
【００１４】
この計測した変位量の内、走査方向の変位量に基づいて、走査開始時の発光タイミングを変更する。
【００１５】
また、計測した変位量の内、走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、走査方向と交差する方向の解像度を変更する。
【００１６】
これにより、記録素子ユニットを機械的に位置調整する等の調整機構が不要となり、光学倍率の変位があっても、位置ずれを起こすことがない。
【００１７】
請求項２に記載の発明は、前記請求項１に記載の発明において、前記走査方向と交差する方向の解像度の変更が、標準の光学倍率で記録した走査方向と交差する方向の所定の線幅と同一の線幅となるように、ドットパターン数を変更することを特徴としている。
【００１８】
請求項２に記載の発明によれば、例えば、光学倍率の変位が拡大側であった場合、標準の光学倍率で所定の幅寸法の線（線幅）記録するために設定された走査方向と直交する方向のドットパターン数と同一のドットパターン数で記録すると、線幅が拡大する。そこで、拡大した変位量に基づいて、ドットパターン数を減らすことで（すなわち、解像度を低くすることで）、線幅を標準の光学倍率と同等とすることができる。なお、光学倍率の変位が縮小側であった場合は、解像度を高めればよい。
【００１９】
このような記録画像の解像度変更を元画像の解像度よりも低くならないようにするためには、元画像に対して出力画像は予め解像度を高めておくことが前提となる。
【００２０】
請求項３に記載の発明は、光源と、この光源からの光を受けて二次元配列された光ビームを形成し当該光ビームを画像記録面へ結像させるための光学系と、を備えた複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録装置であって、前記光学系の光学倍率の変化によって発生する前記画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測する変位量計測手段と、前記走査方向の変位量に基づいて、当該走査方向走査開始時の発光タイミングを変更する発光タイミング変更手段と、前記走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、標準倍率時に記録した所定の線幅と同一の線幅となるように解像度を変更する解像度変更手段と、を有している。
【００２１】
請求項３に記載の発明によれば、光源から画像記録面へ照射される光ビームは、光学系を介して案内される。このため、光学系の倍率（光学倍率）が物理的な機差や組み付け状態、或いは環境温度・湿度等の要因で変化することがある。この場合、二次元配列された記録素子ユニットでは、この光学倍率の変動によりドットパターンの位置が変動する。
【００２２】
そこで、変位量計測手段では、光学系の光学倍率の変化によって発生する画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測する。
【００２３】
発光タイミング変更手段では、前記変位量計測手段で計測した変位量の内、走査方向の変位量に基づいて、走査開始時の発光タイミングを変更する。
【００２４】
また、解像度変更手段では、前記変位量計測手段で計測した変位量の内、走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、走査方向と交差する方向の解像度を変更する。すなわち、標準倍率時に記録した所定の線幅と同一の線幅となるように解像度を変更する。
【００２５】
これにより、記録素子ユニットを機械的に位置調整する等の調整機構が不要となり、光学倍率の変位があっても、位置ずれを起こすことがない。
【００２６】
なお、本発明において、変調制御は、オン／オフ変調制御、パルス幅変調制御、面積変調制御等、様々な変調制御に対応可能であり、変調制御方法に限定されるものではない。
【００２７】
【発明の実施の形態】
図１には、本実施の形態に係るフラッドベッドタイプの画像記録装置１００が示されている。
【００２８】
画像記録装置１００は、４本の脚部１５４に支持された厚い板状の設置台１５６を備え、ステージ移動方向に沿って延びた２本のガイド１５８を介して、平板状のステージ１５２を備えている。ステージ１５２は、シート状の感光材料１５０を表面に吸着して保持する機能を有している。
【００２９】
ステージ１５２は、その長手方向がステージ移動方向とされ、ガイド１５８に案内されて、往復移動（走査）可能に支持されている。なお、この露光装置１００には、ステージ１５２をガイド１５８に沿って駆動するための図示しない駆動装置が設けられており、走査方向での所望の倍率に対応した移動速度（走査速度）となるように、図示しないコントローラによって駆動制御される。
【００３０】
設置台１５６の中央部には、ステージ１５２の移動経路を跨ぐようにコ字状のゲート１６０が設けられている。コ字状のゲート１６０の端部の各々は、設置台１５６の両側面に固定されている。このゲート１６０を挟んで一方の側には記録ヘッド１６２が設けられ、他方の側には感光材料１５０の先端及び後端を検知する複数（例えば、２個）の検知センサ１６４が設けられている。
【００３１】
図２に示される如く、記録ヘッド１６２は、複数の記録素子ユニット１６６を備えており、所定のタイミングでそれぞれの記録素子ユニット１６６から照射される複数の光ビームを前記ステージ１５２上の感光材料１５０へ照射すると同時にステージ１５２を移動する（走査する）ことで、感光材料１５０を露光するようになっている。
【００３２】
図２及び図３（Ｂ）に示すように、記録ヘッド１６２を構成する記録素子ユニット１６６は、ｍ行ｎ列（例えば、２行５列）の略マトリックス状に配列されており、これら複数の記録素子ユニット１６６が走査方向と直交する方向に配列される。本実施の形態では、感光材料１５０の幅との関係で、２行で合計１０個の記録素子ユニット１６６とした。
【００３３】
ここで、記録素子ユニット１６６による露光エリア１６８は、走査方向を短辺とする矩形状で、且つ、走査方向に対して所定の傾斜角で傾斜しており、ステージ１５２の移動に伴い、感光材料１５０には記録素子ユニット１６６毎に帯状の露光済み領域１７０が形成される。
【００３４】
記録素子ユニットの各々は、入射された光ビームを空間光変調素子である図示しないデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）によって、ドット単位で制御され、感光材料１５０には、ドットパターンが露光され、この複数のドットパターンによって１画素の濃度を表現するようになっている。
【００３５】
図４に示される如く、前述した帯状の露光済み領域１７０（１つの記録素子ユニット１６６）は、二次元配列（４×５）された２０個のドット（図４の実線参照）によって形成される。
【００３６】
また、前記二次元配列のドットパターンは、走査方向に対して傾斜されていることで、走査方向に並ぶ各ドットが、走査方向と交差する方向に並ぶドット間を通過するようになっており、高解像度化を図ることができる。なお、上記のように記録素子ユニット１６６の傾斜は、装置の標準解像度の設定によっては、同一走査線上に複数のドットパターンが重複する場合がある。このような場合には、何れか一方のドットパターン（図４では、斜線としたドットパターン）に対応するＤＭＤを常にオフ状態し、不使用のドットパターンを設ければよい。
【００３７】
ところで、前記ＤＭＤを含む光学系では、標準倍率が設定されているが、光学系の物理的な機差、組み付け位置の誤差、環境温度や湿度等による経時的な変化によって光学倍率が変化する場合がある。
【００３８】
光学倍率が大きい方に変化した場合には、図４の鎖線に示される如く、そのドットパターンの位置が変化する。すなわち、このまま、拡大された倍率で画像記録を行うと、走査方向においては、倍率誤差によって記録開始位置がずれ、走査方向と交差する方向では、画像寸法が拡大することになる。
【００３９】
なお、光学倍率が標準倍率よりも小さい方に変化した場合にも走査開始位置のずれ、画像寸法の縮小という、同様の現象が発生する。
【００４０】
そこで本実施の形態では、画像記録前に予めドットパターンの位置を計測しておき、標準倍率時のドットパターン位置との変位量を演算し、この演算された変位量に基づいて、走査方向の補正（走査開始タイミングの変更）と走査方向と交差する方向の補正（解像度の変更）を行っている。
【００４１】
以下、図５に光学倍率が変化した場合の、入力画像データ補正制御のための機能的なブロック図を示す。
【００４２】
画像記録装置１００のステージ１５２には、光量モニタ５０が感光材料１５０と等価となる位置に配設されている。この光量モニタ５０には、ドット単位で光量を計測可能なアパーチャーが設けられており、各記録素子ユニット１６６の二次元配列されたドットパターンの位置を認識できるようになっている。
【００４３】
このような状態で、記録素子ユニット１６６を全点灯（ＤＭＤを全てオン状態）し、光量モニタを走査方向と交差する方向へ移動することで、ピーク光量の位置）（各ドットパターンの位置）を認識することができる。
【００４４】
光量モニタ５０は、ドットパターン位置データ入力部５２に接続されており、このドットパターン位置データ入力部５２に各ドットパターンの位置情報が入力される。
【００４５】
ドットパターン位置データ入力部５２は、変位量演算部５４に接続されている。この変位量演算部５４には、標準倍率時ドットパターン位置データメモリ５６が接続されている。標準倍率時ドットパターン位置データメモリ５６には、予め標準倍率時のドットパターン位置データが記憶されており、変位量演算部５４では、この標準倍率時のドットパターン位置データを読出し、前記ドットパターン位置データ入力部５２から送出される現在のドットパターン位置データとの差、すなわち変位量が演算される。
【００４６】
一方、画像データ入力部１０には、画像データが入力され、フレームメモリ１２に記憶される。
【００４７】
フレームメモリ１２に記憶された画像データは、解像度変換部１４へ送出され、高解像度化変換される。また、本実施の形態では、高解像度化がなされると共に、１画素を複数のドットパターンで表現する。
【００４８】
解像度変換部１４には、倍率補正用の解像度変換部５８が接続されている。
【００４９】
この倍率補正用の解像度変換部５８では、前記変位量演算部５４で演算されたドットパターンの変位量に基づいて、解像度が変更されるようになっている。
【００５０】
すなわち、変位量演算部５４からは、走査方向と直交する方向の変位量を走査直交方向読出部６０によって読出し、この走査方向と直交する方向の変位量の基づいて、解像度が変更される。
【００５１】
例えば、図６（Ａ）及び（Ｂ）に示される如く、光学倍率が大きい側に変動している場合には、標準倍率時の解像度Ｘ０に対して、拡大倍率時解像度がＸに変化しており、この差分（｜Ｘ−Ｘ０｜）に基づいて、走査方向と直交する方向とドットパターン数を減らす。すなわち、標準倍率時では４ラインで記憶するべきところを、３ラインで記録するようにし、線幅を一致させる。
【００５２】
倍率補正用の解像度変換部５８において、倍率補正のための解像度の変更が実行された画像データは、データ生成部３２へ送出され、最終画像データとなる各記録素子ユニットのデータが生成されて、出力制御部６２へ送出される。
【００５３】
この出力制御部６２には、画像記録開始タイミング演算部６４で演算された記録開始タイミング信号が入力されており、この記録開始タイミングに基づいてデータが出力を開始するようになっている。
【００５４】
前記画像記録開始タイミング演算部６４には、走査方向変位量読出部６６によって変位量演算部５４から読み出した、走査方向の変位量が入力され、この変位量に基づいて記録開始タイミングが演算される。
【００５５】
すなわち、図６（Ａ）に示されるように、標準倍率に対して大きい側に光学倍率が変化していると、この倍率誤差によって記録開始タイミングにずれが生じる。このため、このずれを相殺するべく、データの出力タイミングを変更すればよい。上記のように光学倍率が大きい側に変位している場合には、画像記録開始タイミングを早めればよいし、小さい側に変位している場合には、画像記録タイミングを遅くすればよい。
【００５６】
なお、走査方向の解像度となる各ドットパターンの照射タイミング（標準倍率時ｙ０、拡大倍率時ｙ）は、共に倍率の変化に拘わらず同一タイミングで実行される（図６（Ａ）及び（Ｂ）参照）。
【００５７】
以下に本実施の形態の作用を説明する。・
（ドットパターン変位量の生成）
通常の画像記録では、ステージ１５２上に感光材料１５０を位置決めするが、ドットパターンの変位量を得る場合には、この感光材料１５０の位置と等価となる位置に光量モニタを設置する。
【００５８】
この状態で、記録ヘッド１６２を全点灯、すなわち各記録素子ユニット１６６から照射される全ドットのＤＭＤによる変調をオン状態とする。
【００５９】
光量モニタ５０には、アパーチャーを設けることで、各ドットの位置を測定する。
【００６０】
このようにして得たドットパターン位置データは、画像データ入力部１０への画像データの入力と同期して、ドットパターン位置データ入力部５２に入力され、変位量演算部５４において、予め標準倍率時ドットパターン位置データメモリ５６に記憶されている標準倍率時のドットパターン位置データと比較され、その変位量が演算される。
【００６１】
前記画像データ入力部１０に入力された画像データは、一旦フレームメモリ１２に記憶され、１ライン（走査方向と直交する方向における同時記録領域）毎に読み出され、解像度変換部１４において高解像度化が実行される。
【００６２】
次に、この画像データは倍率補正用の解像度変換部５８へ送出され、前記変位量演算部５４で演算した変位量の内、走査方向と直交する方向の変位量（走査直交方向変位量読出部６での読出し）に基づいて、解像度が変更される。
【００６３】
すなわち、標準倍率よりも大きい側に倍率が変化している場合には、解像度を低くすることで、走査方向と直交する方向の画像の拡大を防止する。
【００６４】
また、標準倍率よりも小さい側に倍率が変化している場合には、解像度を高くすることで、走査方向と直交する方向の画像の縮小を防止する。
【００６５】
上記倍率補正がなされた画像データは、データ生成部３２へ送出され、ＤＭＤのデータが生成され、出力制御部６２へ送出される。
【００６６】
ここで、出力制御部６２では、光学倍率の変化に起因する画像記録開始位置のずれを補正するべく、画像記録開始タイミング演算部６４で演算された画像記録開始タイミングに基づいて、出力が制御される。
【００６７】
すなわち、前記変位量演算部５４で演算した変位量の内、走査方向の変位量（走査方向変位量読出部６での読出し）に基づいて、画像記録開始タイミング演算部６４では、画像記録開始時のずれを相殺するためのタイミングを演算する。
【００６８】
光学倍率が標準倍率よりも大きい側に変化している場合には、最初に記録するドットパターンが走査方向に進むため、標準倍率時よりもタイミングが速くなる。このため、進み量と走査速度とに基づいて画像記録開始を遅らせる。また、光学倍率の標準倍率の小さい側に変化している場合には、最初に記録するドットパターンが走査方向と逆方向に遅れるため、標準倍率時よりもタイミングが遅くなる。このため、遅れ量と走査速度とに基づいて画像記録開始を早める。
（画像記録の流れ）
感光材料１５０を表面に吸着したステージ１５２は、図示しない駆動装置により、ガイド１５８に沿ってゲート１６０の上流側から下流側に一定速度で移動される。ステージ１５２がゲート１６０下を通過する際に、ゲート１６０に取り付けられた検知センサ１６４により感光材料１５０の先端が検出されると、前記生成されたデータに基づいて各記録素子ユニット１６６毎にＤＭＤのマイクロミラーの各々が制御される。
【００６９】
すなわち、ＤＭＤにレーザ光が照射されると、ＤＭＤのマイクロミラーがオン状態のときに反射されたレーザ光が光学系を介して感光材料１５０へと案内され、この感光材料１５０上に結像される。
【００７０】
以上説明したように本実施の形態では、記録ヘッド１６２に搭載される複数の記録素子ユニット１６６における光学系の物理的に機差、組み付け時の誤差、環境温度や湿度による経時的な変化（物理的な位置や物性的な変化）に起因する光学倍率の変動を、光量モニタ５０による計測で予め認識し、この変位量に基づいて、走査方向においては画像記録開始タイミングを補正し、走査方向と直交する方向においては解像度を変更することで、標準倍率時の画像の位置を維持するようにしたため、記録素子ユニット１６６を回転移動して調整する等、煩雑な調整機構をもつことなく、感光材料１５０に対する画像記録位置のずれを解消することができる。
【００７１】
なお、本実施の形態では、空間変調素子としてＤＭＤを用い、点灯時間を一定にしてオン／オフすることでドットパターンを生成するようにしたが、オン時間比（デューティ）制御によるパルス幅変調を行ってもよい。また、１回の点灯時間を極めて短時間として、点灯回数によってドットパターンを生成してもよい。
【００７２】
さらに、本実施の形態では、空間光変調素子としてＤＭＤを備えた記録素子ユニット１６６について説明したがこのような反射型空間光変調素子の他に、透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用することもできる。例えば、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍｓ）タイプの空間光変調素子（ＳＬＭ；Ｓｐａｃｉａｌ Ｌｉｇｈｔ Ｍｏｄｕｌａｔｏｒ）や、電気光学効果により透過光を変調する光学素子（ＰＬＺＴ素子）や液晶光シャッタ（ＦＬＣ）等の液晶シャッターアレイなど、ＭＥＭＳタイプ以外の空間光変調素子を用いることも可能である。なお、ＭＥＭＳとは、ＩＣ製造プロセスを基盤としたマイクロマシニング技術によるマイクロサイズのセンサ、アクチュエータ、そして制御回路を集積化した微細システムの総称であり、ＭＥＭＳタイプの空間光変調素子とは、静電気力を利用した電気機械動作により駆動される空間光変調素子を意味している。さらに、Ｇｒａｔｉｎｇ Ｌｉｇｈｔ Ｖａｌｖｅ（ＧＬＶ）を複数ならべて二次元状に構成したものを用いることもできる。これらの反射型空間光変調素子（ＧＬＶ）や透過型空間光変調素子（ＬＣＤ）を使用する構成では、上記したレーザの他にランプ等も光源として使用可能である。
【００７３】
また、上記の実施の形態における光源としては、合波レーザ光源を複数備えたファイバアレイ光源、１個の発光点を有する単一の半導体レーザから入射されたレーザ光を出射する１本の光ファイバを備えたファイバ光源をアレイ化したファイバアレイ光源、複数の発光点が二次元状に配列された光源（たとえば、ＬＤアレイ、有機ＥＬアレイ等）、等が適用可能である。
【００７４】
さらに、本実施の形態の画像記録装置１００は、例えば、プリント配線基板（ＰＷＢ；Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｗｉｒｉｎｇ Ｂｏａｒｄ）の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ；Ｄｒｙ Ｆｉｌｍ Ｒｅｓｉｓｔ）の露光、液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程におけるカラーフィルタの形成、ＴＦＴの製造工程におけるＤＦＲの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）の製造工程におけるＤＦＲの露光等の用途に好適に用いることができる。
【００７５】
また、上記の画像記録装置１００には、露光により直接情報が記録されるフォトンモード感光材料、露光により発生した熱で情報が記録されるヒートモード感光材料の何れも使用することができる。フォトンモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＧａＮ系半導体レーザ、波長変換固体レーザ等が使用され、ヒートモード感光材料を使用する場合、レーザ装置にはＡｌＧａＡｓ系半導体レーザ（赤外レーザ）、固体レーザが使用される。
【００７６】
【発明の効果】
以上説明した如く本発明では、複数の記録素子ユニットを走査方向と交差する方向に配列することで構成された記録ヘッドによって画像を記録する場合に、それぞれの記録素子ユニットの光学倍率に誤差が生じても、機械的な調整機構を用いることなく、画像記録位置のずれを補正することができるという優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施の形態の画像記録装置の外観を示す斜視図である。
【図２】本実施の形態の画像記録装置の記録ヘッドの構成を示す斜視図である。
【図３】（Ａ）は感光材料に形成される露光済み領域を示す平面図であり、（Ｂ）は各露光ヘッドによる露光エリアの配列を示す図である。
【図４】記録素子ユニットのドット配列状態を示す平面図である。
【図５】本実施の形態に係る画像データ補正のための制御系を示す制御ブロック図である。
【図６】（Ａ）は標準倍率時及び拡大倍率時のドットパターンを重ねて表示した平面図、（Ｂ）は拡大倍率時のドットパターンの平面図である。
【符号の説明】
１０ 画像データ入力部
１２ フレームメモリ
１４ 解像度変換部
５０ 光量モニタ（変位量計測手段）
５２ ドットパターン位置データ入力部
５４ 変位量演算部
５６ 標準倍率時ドットパターン位置データメモリ
５８ 「倍率補正用」解像度変換部（解像度変更手段）
６０ 走査直交方向変位量読出部
６２ 出力制御部
６４ 画像記録開始タイミング演算部（発光タイミング変更手段）
６６ 走査方向変位量読出部
１００ 画像記録装置
１５０ 感光材料
１５２ ステージ
１６２ 記録ヘッド
１６６ 記録素子ユニット
Claims (3)
- 光源と、この光源からの光を受けて二次元配列された光ビームを形成し当該光ビームを画像記録面へ結像させるための光学系と、を備えた複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録方法であって、
前記光学系の光学倍率の変化によって発生する前記画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測し、
前記走査方向の変位量に基づいて、当該走査方向走査開始時の発光タイミングを変更し、
前記走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、当該走査方向と交差する方向の解像度を変更する、
ことを特徴とする画像記録方法。 - 前記走査方向と交差する方向の解像度の変更が、標準の光学倍率で記録した走査方向と交差する方向の所定の線幅と同一の線幅となるように、ドットパターン数を変更することを特徴とする請求項１記載の画像記録方法。
- 光源と、この光源からの光を受けて二次元配列された光ビームを形成し当該光ビームを画像記録面へ結像させるための光学系と、を備えた複数の記録素子ユニットが走査方向と交差する方向に配列されて構成された記録ヘッドを前記画像記録面に沿って走査することで、ドットパターンによって当該画像記録面に画像を記録する画像記録装置であって、
前記光学系の光学倍率の変化によって発生する前記画像記録面上の光ビームスポットの位置の変位量を計測する変位量計測手段と、
前記走査方向の変位量に基づいて、当該走査方向走査開始時の発光タイミングを変更する発光タイミング変更手段と、
前記走査方向と交差する方向の変位量に基づいて、標準倍率時に記録した所定の線幅と同一の線幅となるように解像度を変更する解像度変更手段と、
を有する画像記録装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003190432A JP2005022247A (ja) | 2003-07-02 | 2003-07-02 | 画像記録方法及び画像記録装置 |
| TW093118717A TWI260155B (en) | 2003-07-02 | 2004-06-28 | Method and device for graph image recording |
| CNA2004100632120A CN1578375A (zh) | 2003-07-02 | 2004-06-30 | 图像记录方法及图像记录装置 |
| KR1020040051140A KR100726187B1 (ko) | 2003-07-02 | 2004-07-01 | 화상기록방법 및 화상기록장치 |
| US10/880,445 US7369149B2 (en) | 2003-07-02 | 2004-07-01 | Image recording method and image recording device for correcting optical magnification errors |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003190432A JP2005022247A (ja) | 2003-07-02 | 2003-07-02 | 画像記録方法及び画像記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005022247A true JP2005022247A (ja) | 2005-01-27 |
Family
ID=33549812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003190432A Pending JP2005022247A (ja) | 2003-07-02 | 2003-07-02 | 画像記録方法及び画像記録装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7369149B2 (ja) |
| JP (1) | JP2005022247A (ja) |
| KR (1) | KR100726187B1 (ja) |
| CN (1) | CN1578375A (ja) |
| TW (1) | TWI260155B (ja) |
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| CN102455625A (zh) * | 2010-10-20 | 2012-05-16 | 柯尼卡美能达商用科技株式会社 | 图像形成装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP4373731B2 (ja) * | 2003-07-22 | 2009-11-25 | 富士フイルム株式会社 | 描画装置及び描画方法 |
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| JP2007052080A (ja) * | 2005-08-15 | 2007-03-01 | Fujifilm Holdings Corp | 描画装置、露光装置、および描画方法 |
| JP4845456B2 (ja) * | 2005-09-02 | 2011-12-28 | キヤノン株式会社 | 光走査装置および画像形成装置 |
| JP4843297B2 (ja) * | 2005-11-24 | 2011-12-21 | 良次 大塲 | 被写体監視方法、被写体監視装置、および被写体監視プログラム |
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2003
- 2003-07-02 JP JP2003190432A patent/JP2005022247A/ja active Pending
-
2004
- 2004-06-28 TW TW093118717A patent/TWI260155B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-06-30 CN CNA2004100632120A patent/CN1578375A/zh active Pending
- 2004-07-01 US US10/880,445 patent/US7369149B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-07-01 KR KR1020040051140A patent/KR100726187B1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW200511823A (en) | 2005-03-16 |
| KR100726187B1 (ko) | 2007-06-11 |
| KR20050004069A (ko) | 2005-01-12 |
| TWI260155B (en) | 2006-08-11 |
| CN1578375A (zh) | 2005-02-09 |
| US20050001895A1 (en) | 2005-01-06 |
| US7369149B2 (en) | 2008-05-06 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060222 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
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|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080827 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080909 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090203 |