JP2005019722A - 超音波基板洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ハウジング1は上部に支持孔1aが形成され、下部に解放部1bが形成され、又、ハウジング1にバキュームポンプ2が連結され、ハウジング1の支持孔1aに間隔を開けて支持部材2がネジ3で装着され、超音波振動子5の金属ブロック5cにホーン5eが固着され、このホーン5eの端部5fが円板状又は長方形状に構成されてハウジング1の下部の解放部1bの近傍に位置するように設けられており、超音波振動子5の圧電体振動子5dに発振器6から発振出力が印加されている。
【選択図】 図1
Description
【発明が属する技術分野】
本発明は、半導体デバイス形成に用いられる基板の洗浄をする超音波基板洗浄装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、半導体製造工程における基板洗浄装置としては、基板にスポンジなどを接触されて接触を行うスクラブ洗浄装置が最も一般的であるが、近年、半導体製造において、回路形成面に低誘電率膜などの柔らかい材質で被覆したり、回路の微細化が進んで、回路が非常に小さくなっていることにより、スクラブ洗浄では、回路形成面が破壊されるという問題があり、又、スポンジを使用したスクラブ洗浄では、フラットな基板面を洗浄する能力には長けているが、凹凸のある回路形成面などをスクラブ洗浄する場合は、スクラブによって逆に凹凸の段差にパーティクルを溜め込んでしまうという問題があった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
この欠点を解消するために、現在公知の非接触方式の洗浄装置として、ノズルに流れる洗浄液に超音波を載せ、洗浄液とともに超音波を照射する洗浄装置も知られているが、この超音波洗浄装置では、超音波振動子から発生した超音波振動が基板に到達するまでに、ノズル内で減衰してしまうので、基板表面の洗浄能力が小さくなってしまうため、凹凸に挟まっているパーティクルを洗浄することは困難である。又、ノズル式の超音波洗浄装置における超音波の減衰を避けるために、基板表面に対向した位置に超音波振動子を設置し、基板表面に載っている洗浄液に超音波振動を伝達する洗浄装置も知られているが、この洗浄装置は洗浄能力が向上して要るものの、基板からの反射波の影響を超音波振動子が受けるために、振動子自体に負荷がかかり振動子の劣化が速いという問題があり、さらに、洗浄液を使用する洗浄装置では、被洗浄板を乾燥する手段を必要とするという欠点があった。
【0004】
【課題を解決しようとする手段】
本発明は、ホーンの端部に平板状部材を構成した超音波振動子と、前記ホーンの平板状部材を解放部近傍に位置するように前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの解放部に対向するように配置する被洗浄板とからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子のホーンを超音波振動させ、前記被洗浄板のパーティクル及び塵を浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引するものであり、又、前記ホーンの端部の平板状部材は円板であり、さらに、前記ホーンの端部の平板状部材は長方形であり、又、前記ハウジングの解放部に対向して前記被洗浄板を搬送する搬送ローラを装着するものであり、さらに、ホーンの端部に円筒状部材を設けた超音波振動子と、前記ホーンの円筒状部材のほぼ中央に対向して挿入口及び排出口を設け、前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの前記挿入口から前記超音波振動子のホーンの端部の円筒状部材を通って前記排出口に装着された搬送コンベアとからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子の前記ホーンを超音波振動させ、前記搬送ローラで搬送される前記被洗浄板の表面のパーティクル及び塵を前記ホーンの円筒状部材で発生する超音波振動で浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引するものである。
【0005】
【発明の実施の形態】
本発明は、ハウジングの内部にホーンが位置するように超音波振動子を装着し、この超音波振動子を超音波振動させて、ホーンの円板状部材又は平板状部材に対向するように被洗浄板を設けることにより、被洗浄板の表面のパーティクルを浮かしてハウジングに装着したバキュームポンプで吸引して除去するか、又は、超音波振動子に装着したホーンの円筒状部材の内部を被洗浄板を通過させ、被洗浄板の両面に付着したパーティクルを超音波振動で浮かして、バキュームポンプの吸引により除去するようにしたので、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、駆動周波数が低くてよく、又、幅広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度化に伴う洗浄時のダメージが少なくなる。
【0006】
【実施例】
図1は本発明の実施例の超音波基板洗浄装置の構成図で、ハウジング1は上部に支持孔1aが形成され、下部に解放部1bが形成され、又、ハウジング1にバキュームポンプ2が連結され、さらに、ハウジング1の支持孔1aに間隔を開けて支持部材2がネジ3で装着され、支持孔1aの周囲と支持部材2の間に装着されたリング状のパッキン4でランジュバン型の超音波振動子5の振動の節の部分に装着された支持部材5aが支持され、このランジュバン型の超音波振動子5は金属ブロック5b、5cの間に圧電体振動子5dが装着されたものであり、又、超音波振動子5の金属ブロック5cにホーン5eが固着され、このホーン5eの端部5fが円板状又は長方形状に構成されてハウジング1の下部の解放部1bの近傍に位置するように設けられており、又、超音波振動子5の圧電体振動子5dに発振器6から発振出力が印加されている。
【0007】
このように構成した本実施例の超音波基板洗浄装置では、ハウジング1の解放部1bに対向した位置に搬送コンベア7で被洗浄板8が搬送されると、発振器6から発振出力が圧電体振動子5dに印加されて、ホーン5eが超音波振動することにより、超音波振動が被洗浄板8の表面に照射されて被洗浄板8の表面に付着しているパーティクル及び塵が浮遊し、バキュームポンプ2を駆動することにより、この浮遊したパーティクル及び塵が周囲の空気とともに吸引され、被洗浄板8の表面を洗浄することができる。
【0008】
本実施例では、このように、被洗浄板8の表面に超音波振動を照射して、この超音波振動により被洗浄板8を洗浄するようにしているため、洗浄液を使用することなく、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度に伴う洗浄時のダメージがなく、さらに、超音波振動子5を駆動する周波数は低くてもよいという利点がある。
【0009】
図2は本発明の他の実施例の超音波基板洗浄装置の構成図、図3は図2の超音波振動子の側面図で、1はハウジング、2は支持部材、3はネジ、4はパッキン、5はランジュバン型の超音波振動子、6は発振器、7は搬送コンベア、8は被洗浄板で、これらの構成は上記実施例と同じであるので説明は省略するが、本実施例では、ランジュバン型の超音波振動子5のホーン5eの端部に円筒状部材5gを形成し、ハウジング1の挿入口1cを通り、超音波振動子5のホーン5eの円筒状部材5gを通ってハウジング1の排出口1dに搬送ローラ7が装着されており、この搬送ローラ7の上で被洗浄板8が搬送される。
【0010】
このように構成した本実施例においても、上記実施例と同様に超音波振動子5のホーン5eの円筒状部材5gを通過する被洗浄板8は円筒状部材5gによって上下から超音波振動が照射され、これによって、被洗浄板5の両面に付着したパーティクル及び塵が円筒状部材5gを通過する間に除去される。
【0011】
従って、上記実施例と同様に、洗浄液を使用することなく、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度に伴う洗浄時のダメージがなく、さらに、超音波振動子5を駆動する周波数は低くてもよいという利点がある。
【0012】
なお、上記図1の実施例において、ハウジング1の解放部1bの近傍に搬送コンベア7を装着したが、この搬送ローラ7を装着することなく、置いてある被洗浄板8にハウジング1を移動するようにしてもよい。
【0013】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明の超音波基板洗浄装置では、ハウジングの内部にホーンが位置するように超音波振動子を装着し、この超音波振動子を超音波振動させて、ホーンの端部に設けた円板状又は平板状の振動板に対向する被洗浄板の表面のパーティクルを浮かしてハウジングに装着したバキュームポンプで吸引して除去するか、又は、超音波振動子のホーンに装着した円筒状部材の内部を被洗浄板を通過させ、被洗浄板の両面に付着したパーティクルを超音波振動で浮かして、バキュームポンプの吸引により除去するようにしたので、乾式のため、洗浄システムがシンプルになり、駆動周波数が低くてよく、又、幅広い面積を一度に洗浄することができ、回路の高密度化に伴う洗浄時のダメージが少なくなる。という利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の実施例の超音波基板洗浄装置の構成図である。
【図2】図2は本発明の実施例の超音波基板洗浄装置の側面図である。
【図3】図3は図1の超音波基板洗浄装置の構成図である。
【符号の説明】
1 ハウジング
2 支持部材
3 ネジ
4 パッキン
5 超音波振動子
6 発振器
7 搬送コンベア
8 被洗浄板
Claims (5)
- ホーンの端部に平板状部材を構成した超音波振動子と、前記ホーンの平板状部材を解放部近傍に位置するように前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの解放部に対向するように配置する被洗浄板とからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子のホーンを超音波振動させ、前記被洗浄板のパーティクル及び塵を浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引することを特徴とする超音波基板洗浄装置。
- 前記ホーンの端部の平板状部材は円板であることを特徴とする請求項1記載の超音波基板洗浄装置。
- 前記ホーンの端部の平板状部材は長方形であることを特徴とする請求項1記載の超音波基板洗浄装置。
- 前記ハウジングの解放部に対向して前記被洗浄板を搬送する搬送コンベアを装着することを特徴とする請求項1記載の超音波基板洗浄装置。
- ホーンの端部に円筒状部材を設けた超音波振動子と、前記ホーンの円筒状部材のほぼ中央に対向して挿入口及び排出口を設け、前記超音波振動子の振動の節の部分を支持するハウジングと、該ハウジングに装着したバキュームポンプと、前記ハウジングの前記挿入口から前記超音波振動子のホーンの端部の円筒状部材を通って前記排出口に装着された搬送ローラとからなり、前記超音波振動子に発振器から発振出力を印加して、前記超音波振動子の前記ホーンを超音波振動させ、前記搬送ローラで搬送される前記被洗浄板の表面のパーティクル及び塵を前記ホーンの円筒状部材で発生する超音波振動で浮かして前記バキュームポンプで空気とともに吸引することを特徴とする超音波基板洗浄装置。
Priority Applications (1)
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JP2003183028A JP2005019722A (ja) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | 超音波基板洗浄装置 |
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JP2003183028A JP2005019722A (ja) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | 超音波基板洗浄装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005019722A true JP2005019722A (ja) | 2005-01-20 |
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ID=34183246
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JP2003183028A Pending JP2005019722A (ja) | 2003-06-26 | 2003-06-26 | 超音波基板洗浄装置 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2005019722A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014233703A (ja) * | 2013-06-05 | 2014-12-15 | 株式会社オーディオテクニカ | 除塵装置及び除塵方法 |
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-
2003
- 2003-06-26 JP JP2003183028A patent/JP2005019722A/ja active Pending
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