JP3103774B2 - 超音波洗浄方法およびその洗浄装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は被洗浄物を超音波
振動が付与された洗浄液によって洗浄するための超音波
洗浄方法およびその洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば液晶製造装置や半導体製造装置
には、被洗浄物としての液晶用ガラス基板や半導体ウエ
ハを高い清浄度で洗浄する工程がある。このような被洗
浄物を洗浄する方式としては、洗浄液中に複数枚の被洗
浄物を浸漬するデイップ方式や被洗浄物に向けて洗浄液
を噴射して一枚づつ洗浄する枚葉方式があり、最近では
高い清浄度が得られるとともに、コスト的に有利な枚葉
方式が採用されることが多くなってきている。

【０００３】枚葉方式の１つとして被洗浄物に噴射され
る洗浄液に超音波振動を付与し、その振動作用によって
上記被洗浄物から微粒子を効率よく除去するようにした
洗浄方式が実用化されている。

【０００４】洗浄液に超音波振動を付与する洗浄方式に
おいて、従来は20〜50ｋＨｚ程度の超音波が用いられて
いたが、最近では600 〜2000ｋＨｚ程度の極超音波帯域
の音波を用いる超音波洗浄装置が開発されている。

【０００５】超音波振動が付与された洗浄液を被洗浄物
に噴射すると、その超音波振動の作用によって被洗浄物
に付着した微粒子の結合力が低下するため、超音波振動
を付与しない場合に比べて洗浄効果を向上させることが
できる。

【０００６】従来、上記超音波洗浄装置は、図７に示す
ように紙面に対して直交する方向に細長い装置本体１を
有する。この装置本体１には本体１の長手方向に沿う空
間部２が上下方向に貫通して形成されている。上記空間
部２は上端側から下端側にゆくにつれて狭幅となるテ−
パ状に形成されていて、下端は装置本体１の下面に開口
したノズル口３となっている。

【０００７】上記空間部２の上端開口はシ−ル材４を介
してタンタルなどの金属板からなる振動板５で閉塞され
ている。この振動板５の上面には上記空間部２の上端開
口と対応する部位に沿って細長い矩形状の複数の超音波
振動子６が取着されている。この超音波振動子６は図示
し内超音波発信器によって駆動されるようになってい
る。それによって、超音波振動子６は超音波振動するか
ら、その超音波振動によって上記振動板５も振動する。

【０００８】上記装置本体１の上記空間部２の両側には
それぞれ長手方向に沿って供給路７が貫通して形成され
ている。一対の供給路７にはその両端にそれぞれ図示し
ない洗浄液の供給管が接続され、それら供給管から洗浄
液が上記空間部２に供給されるようになっている。

【０００９】上記空間部２に供給された洗浄液は振動板
５を介して上記超音波振動子６によって超音波振動が付
与され、上記ノズル口３から被洗浄物に向けて噴射す
る。超音波振動が付与された洗浄液が被洗浄物に衝突す
ると、この被洗浄物にも超音波振動が付与されるから、
その超音波振動によって被洗浄物に付着した微粒子が遊
離し、除去されることになる。

【００１０】ところで、このような従来構造によると、
上記ノズル口３から洗浄液を常時噴出させなければなら
ず、しかもその量は液晶用ガラス基板などに超音波振動
を確実に伝達できる量でなければならないから、その洗
浄液の使用量が非常に多くなるということがあった。

【００１１】被洗浄物が液晶用ガラス基板や半導体ウエ
ハのように高い清浄度が要求される場合、洗浄液として
は純水が用いられる。純水は高価であるため、洗浄時の
ランンニングコストが増大するということがあった。

【００１２】また、装置本体１に形成された空間部２の
上部に振動板５を設け、下部にノズル口３を設け、洗浄
液を下方に向かって噴出させる構成であると、洗浄液に
超音波振動を付与することで発生する気泡（洗浄液に含
まれる気体が気泡となる。）が上記空間部２を上昇して
上記振動板５の下面に付着し、除々に成長する。その気
泡によって、振動板５には洗浄液が接触しない部分がで
きるから、その部分が、いわゆる空だき状態で超音波振
動することで温度上昇し、振動板５の変形や損傷を招く
原因となることがあった。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】このように、従来は洗
浄液の使用量が多くなるため、洗浄時のランニングコス
トの増大を招くということがあったり、振動板の下面に
気泡が付着し易いため、その気泡によって空だき状態と
なり、振動板の熱変形や損傷を招くなどのことがあっ
た。

【００１４】この発明は上記事情に基づきなされたもの
で、その目的とするところは、洗浄液の使用量を減少さ
せることができるとともに、振動板に気泡が付着するこ
とがないようにした超音波洗浄方法およびその洗浄装置
を提供することにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、所定
方向に搬送される被洗浄物を洗浄するための洗浄方法に
おいて、上面が開口した発振容器内に供給された洗浄液
に振動板を介して超音波振動子から発振される超音波振
動を付与することで、その洗浄液を上記発振容器内の上
記洗浄液の水平面上から押し上げ、押し上げられた洗浄
液を上記被洗浄物の下面に接触させるとともに、上記超
音波振動の進行波を、所定方向に搬送される上記被洗浄
物の板面に対して傾斜しかつ被洗浄物からの反射波が上
記振動板に干渉しない角度で入射させることを特徴とす
る。

【００１６】

【００１７】請求項２の発明は、所定方向に搬送される
被洗浄物を洗浄するための洗浄装置において、上面が開
口し内部に洗浄液が供給される発振容器と、この発振容
器の底部に設けられ内部に供給された上記洗浄液に振動
板を介して超音波振動を付与する超音波振動子とを具備
し、上記発振容器は、超音波振動が付与されて発振容器
内の上記洗浄液の水平面上から押し上げられる上記洗浄
液が上記被洗浄物の下面に接触する状態で配置され、上
記振動板を介して上記超音波振動子から発振される超音
波振動の進行波は、所定方向に搬送される上記被洗浄物
の板面に対して傾斜しかつ被洗浄物からの反射波が上記
振動板に干渉しない角度で入射する構成であることを特
徴とする。

【００１８】

【００１９】請求項３の発明は、請求項２の発明におい
て、上記被洗浄物の上面側には、この上面に洗浄液を供
給するノズル体が配置されていることを特徴とする。

【００２０】請求項４の発明は、請求項２または請求項
３の発明において、上記発振容器には、洗浄液をその底
部から供給し上面開口からオ−バフロ−させる供給管が
接続されていることを特徴とする。

【００２１】

【００２２】

【００２３】

【００２４】請求項１と請求項２の発明は、振動板を介
して上記超音波振動子からの超音波振動の進行波が被洗
浄物の板面に対して傾斜させかつ被洗浄物からの反射波
が振動板に干渉しない角度で入射させることで、この進
行波が上記被洗浄物から反射する反射波と干渉して減衰
したり、反射波が振動板に作用してこの振動板の振動を
減衰させるなどのことが防止される。

【００２５】請求項３の発明は、被洗浄物の上面にノズ
ル体から洗浄液を供給することで、超音波振動が付与さ
れた洗浄液の振動が被洗浄物に伝播されることで、その
上面に付着した微粒子が遊離され、ついで上記ノズル体
からの洗浄液によって被洗浄物の上面から微粒子が確実
に除去される。請求項４の発明は、洗浄液が発振容器か
らオ−バフロ−させられることで、発振容器内を浮遊す
る微粒子をその内部から流出させることができる。

【００２６】

【発明の実施形態】以下、この発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１と図２はこの発明の第１の実施
形態を示し、図１に示すこの発明の洗浄装置は外底面に
脚体１０が設けられた断面矩形状の発振容器１１を備え
ている。この発振容器１１は上面が開口した有底直方体
に形成されていて、その内底部の幅方向両側部には仕切
り壁１２によって一対の供給空間部１３が区画形成され
ている。

【００２７】各供給空間部１３には純水などの洗浄液Ｌ
を供給する供給管１４の一端がそれぞれ接続されてい
る。この供給管１４の他端は図示しない上記洗浄液Ｌの
供給源に連通している。上記供給空間部１３を区画した
仕切り壁１２には複数の通孔１２ａが形成されている。
したがって、上記供給管１４から上記供給空間部１３に
供給された洗浄液Ｌは上記通孔１２ａから発振容器１１
内へ供給されるようになっている。

【００２８】上記供給管１４から発振容器１１内へは所
定量の洗浄液Ｌが連続して供給される。それによって、
洗浄液Ｌは上記発振容器１１の上面開口１１ａからオ−
バフロ−する。

【００２９】上記発振容器１１の底部の幅方向中央部分
には、開口部１５がその長手方向に沿って形成されてい
る。この開口部１５はシ−ル材１６ａを介して振動板１
６によって液密に閉塞されている。この振動板１６の下
面には超音波振動子１７が接合固定されていて、この振
動子１７は超音波発振器１８により駆動されるようにな
っている。振動子１７が超音波振動すると振動板１６も
超音波振動するから、その超音波振動が振動板１６の上
面側の洗浄液Ｌに伝播される。

【００３０】発振容器１１の幅方向中央部分において、
上記振動板１６から洗浄液Ｌに伝播される超音波振動が
ある程度の強度を有すると、図１に示すように上記振動
板１６上に位置する洗浄液Ｌを洗浄液Ｌの水平面から上
方へ押し上げるキャピラリ−波Ｗが発生する。つまり、
キャピラリ−波Ｗによって発振容器１１の幅方向中央部
分において、その長手方向ほぼ全長にわたり洗浄液Ｌが
上記発振容器１１内の洗浄液Ｌの水平面から所定の高さ
で押し上げられることになる。

【００３１】上記構成の発振容器１１は、図２に示すよ
うに搬送機構２１によって搬送される被洗浄物としての
液晶用ガラス基板２２の下面側に配置される。上記搬送
機構２１は回転駆動されるとともに軸線を平行にして所
定間隔で配置された複数のロ−ラ２３からなる。上記発
振容器１１は隣り合う一対のロ−ラ２３間に配置され
る。

【００３２】つまり、発振容器１１は、その上面開口１
１ａの長手方向を液晶用ガラス基板２２の搬送方向に対
して直交させるとともに、キャピラリ−波Ｗによって押
し上げれた洗浄液Ｌが搬送される液晶用ガラス基板２２
の下面に接触する状態で配設されている。この発振容器
１１の長手方向の寸法は、上記液晶用ガラス基板２２の
幅寸法よりも大きく設定されている。それによって、キ
ャピラリ−波Ｗによって押し上げれた洗浄液Ｌは液晶用
ガラス基板２２の幅方向全長に接触することになる。

【００３３】上記搬送機構２１によって搬送される液晶
用アラス基板２２の上面側にはノズル体２４が配置され
ている。このノズル体２４からは上記液晶用ガラス基板
２２の上面に向けて洗浄液Ｌが噴射されるようになって
いる。

【００３４】つぎに、上記構成の洗浄装置の作用につい
て説明する。発振容器１１に洗浄液Ｌを供給するととも
に超音波振動子１７を超音波発振器１８によって駆動す
ることで、発振容器１１内の洗浄液Ｌに超音波振動を付
与する。それによって、発振容器１１内の洗浄液Ｌの水
平面上の幅方向中央部分にはキャピラ−リ波Ｗが発生
し、そのキャピラリ−波Ｗによって内部の洗浄液Ｌがそ
の水平面上よりも上方へ押し上げられる。

【００３５】洗浄液Ｌがその水平面上よりも上方へ押し
上げられると、その洗浄液Ｌは搬送機構２１によって搬
送される液晶用ガラス基板２２の下面の幅方向全長に接
触する。洗浄液Ｌには超音波振動が付与されているか
ら、その超音波振動が洗浄液Ｌから液晶用ガラス基板２
２に伝播される。

【００３６】それによって、超音波振動の大部分は洗浄
液Ｌを通じて液晶用ガラス基板２２を透過し、その上面
に付着した微粒子に超音波振動を付与するから、液晶用
ガラス基板２２の洗浄液Ｌが接触する下面側に付着した
微粒子は勿論のこと、上面側に付着した微粒子も遊離す
る。液晶用ガラス基板２２の下面側から遊離した微粒子
はその下面に接触する洗浄液Ｌによって除去され、上面
側から遊離した微粒子はその上面側にノズル体２４によ
って噴射される洗浄液Ｌによって除去される。そのた
め、液晶用ガラス基板２２はその上下両面が洗浄される
ことになる。

【００３７】液晶用ガラス基板２２の上面側にノズル体
２４によって洗浄液Ｌを噴射しなくとも、下面側に接触
する洗浄液Ｌによって超音波振動が上面側にも付与され
るから、液晶用ガラス基板２２の上面側に付着した微粒
子は遊離するとともに、この液晶用ガラス基板２２が振
動することでその上面を移動して落下する。

【００３８】したがって、ノズル体２４から洗浄液Ｌを
噴射しなくとも、その下面だけでなく、上面も洗浄する
ことができるが、洗浄液Ｌを噴射させた方が洗浄効率を
高めることができる。洗浄液Ｌにかわり、ナイフエッジ
によって液晶用ガラス基板２２の上面にエア−を吹き付
け、その上面から遊離した微粒子を除去するようにして
もよい。

【００３９】超音波振動の大部分が液晶用ガラス基板２
２を透過してその透過する超音波振動が液晶用ガラス基
板２２の上面に付着した微粒子に作用することで、液晶
用ガラス基板２２をあまり振動させずに微粒子を除去す
ることができる。

【００４０】そのため、液晶用ガラス基板２２が搬送機
構２１上で振動すると、損傷する虞があるが、超音波振
動の大部分が液晶用ガラス基板２２を透過することで、
洗浄時に液晶用ガラス基板２２を振動させて損傷するの
を防止できる。

【００４１】液晶用ガラス基板２２の下面および上面か
ら除去された微粒子は発振容器１１内に落下し、その内
部で浮遊して液晶用ガラス基板２２の下面に再付着する
虞がある。しかしながら、上記発振容器１１内には供給
管１４から洗浄液Ｌが連続して供給されることで、その
上面開口１１ａからオ−バフロ−させている。そのた
め、発振容器１１内に落下した微粒子はオ−バフロ−す
る洗浄液Ｌとともに流出するから、液晶用ガラス基板２
２に再付着するのが防止される。

【００４２】しかも、発振容器１１の上面開口１１ａか
ら流出させる洗浄液Ｌの量は、その発振容器１１内を浮
遊する微粒子をオ−バフロ−させるだけの量でよいか
ら、わずかですみ、さらにはノズル体２４によって液晶
用ガラス基板２２の上面に噴射する洗浄液Ｌも、その上
面に浮遊した微粒子を除去できるだけの量でよいから、
超音波振動が付与された洗浄液Ｌを液晶用ガラス基板２
２の上下両面に噴射させて洗浄する場合に比べて十分に
少なくすることができる。

【００４３】以上のことから、従来に比べて少ない洗浄
液Ｌの使用量で液晶用ガラス基板２２の上下両面を洗浄
できるから、ランニングコストの低減が計れる。発明者
は、図３（ａ）〜（ｄ）に示す種々の洗浄形態での洗浄
液Ｌの音圧を音圧測定器３０を用いて測定した。つま
り、図３（ａ）は図７に示す従来の洗浄装置を用いた場
合で、装置本体１のノズル口３を下方に向け、そこから
噴出させた洗浄液Ｌの音圧を測定した。その場合の音圧
と超音波振動子１７を駆動する超音波発振器１８の出力
との関係は図４の曲線Ａに示す。

【００４４】図３（ｂ）は図３（ａ）に示す装置本体１
のノズル口３を上方に向け、そこから噴出させる洗浄液
Ｌの音圧を測定した場合で、その場合の音圧と超音波振
動子１７を駆動する超音波発振器１８の出力との関係は
図４の曲線Ｂに示す。

【００４５】図３（ｃ）はこの発明の発振容器１１を用
い、キャピラリ−波Ｗによって上方に押し上げられた洗
浄液Ｌに、上記発振容器１１の上面開口に傾斜して保持
された液晶用ガラス基板２２の下面を接触させ、上面に
水を流しながらその上面側における音圧を測定した場合
で、その場合の音圧と超音波振動子１７を駆動する超音
波発振器１８の出力との関係は図４の曲線Ｃに示す。

【００４６】図３（ｄ）はこの発明の発振容器１１にお
いて、キャピラリ−波Ｗによって上方に押し上げられた
洗浄液Ｌの音圧を測定した場合で、その場合の音圧と超
音波振動子１７を駆動する超音波発信器１８の出力との
関係は図４の曲線Ｄに示す。

【００４７】以上の測定結果より、曲線Ｄで示す図３
（ｄ）の場合の音圧が最も高く、しかも図３（ｃ）の測
定結果として曲線Ｃで示す液晶用ガラス基板２２の上面
側においても、図３（ａ）に示す従来の場合とほとんど
変わらない音圧を測定することができた。

【００４８】以上の実験結果から、キャピラリ−波Ｗに
よって押し上げられた洗浄液Ｌに液晶用ガラス基板２２
の下面を接触させれば、その下面だけでなく上面にも音
圧が発生し、それによって被洗浄物の上下両面が超音波
振動によって洗浄できることが確認された。

【００４９】図５と図６はそれぞれこの発明の他の実施
形態を示す。なお、上記第１の実施形態と同一部分には
同一記号を付して説明を省略する。図５はこの発明の第
２の実施形態を示し、この実施形態は発振容器１１の外
底部に設けられる脚体１０の長さを異ならせることで、
上記発振容器１１を所定の傾斜角度θ、たとえば５度以
上の角度で傾斜させたものである。

【００５０】なお、傾斜角度θは、反射波Ｗ₂ が進行波
Ｗ₁ や振動板１６と干渉せず、かつ発振容器１１の一方
の側端部がキャピラリ波Ｗによって押し上げられた洗浄
液Ｌが液晶用ガラス基板２２の下面に接触しているとき
に、液晶用ガラス基板２２の下面に接触しない位置に保
持する傾斜角度とする。

【００５１】それによって、振動板１６から発振される
超音波振動の進行波Ｗ₁ は垂直方向に対して角度θで傾
斜して進行するから、搬送機構２１によって水平に搬送
される液晶用ガラス基板２２の下面に角度θで傾斜して
入射する。

【００５２】進行波Ｗ₁ は大部分が上記液晶用ガラス基
板２２を透過するが、その一部は反射して反射波Ｗ₂ と
なる。反射波Ｗ₂ は液晶用ガラス基板２２の下面で、こ
の板面への入射角度θと同じ角度で反射し、進行波Ｗ₁
と干渉することなく反射方向へ進行するから、上記進行
Ｗ₁ が反射波Ｗ₂ によって減衰されることがない。

【００５３】しかも、反射波Ｗ₂ が進行波Ｗ₁ に対して
２θの角度で反射していることで、上記反射波Ｗ₂ が振
動板１６に干渉するのを防止することができる。つま
り、反射波Ｗ2 が振動板１６に干渉しないよう、進行波
Ｗ₁ の傾斜角度θを設定すれば、反射波Ｗ₂ によって振
動板１６の振動が減衰されることもない。

【００５４】したがって、発振容器１１を所定の傾斜角
度θで傾斜させることで、液晶用ガラス基板２２で反射
した反射波Ｗ₂ が進行波Ｗ₁ や振動板１６と干渉してこ
れらの振動を減衰させるのを防止できるから、上記液晶
用ガラス基板２２に対する洗浄を効率よく行なうことが
できる。

【００５５】図６はこの発明の第３の実施形態を示す。
この実施形態は振動板１６からの進行波Ｗ₁ を傾斜角度
θで液晶用ガラス基板２２に入射させるために、発振容
器１１は第１の実施形態と同様、進行波Ｗ₁ が垂直に進
行するよう設置し、それに代わり、搬送機構２１によっ
て搬送させれる液晶用ガラス基板２２を水平状態から傾
斜角度θで傾斜させて搬送するようにした。このような
構成であっても、第２の実施形態と同様、反射波Ｗ₂ が
進行波Ｗ₁や振動板１６と干渉するのを防止することが
できる。

【００５６】

【発明の効果】以上述べたように請求項１と請求項２の
発明によれば、上面が開口した発振容器の底部に振動板
を設け、この発振容器に供給される洗浄液を上記超音波
振動子を駆動して上記振動板を超音波振動させることで
洗浄液を上記発振容器内の洗浄液の水平面上から押し上
げ、その押し上げられた洗浄液に被洗浄物を接触させる
とともに、振動板を介して超音波振動子からの超音波振
動の進行波を被洗浄物の板面に対して傾斜させかつ被洗
浄物からの反射波が振動板に干渉しない角度で傾斜させ
るようにした。

【００５７】そのため、超音波振動が付与された洗浄液
を被洗浄物に向けて噴射して洗浄する場合に比べて洗浄
液の使用量を十分に少なくすることができるから、ラン
ニングコストの低減を計ることができる。

【００５８】しかも、上記超音波振動子を駆動すること
で振動板を介して超音波振動が付与された洗浄液から気
泡が発生しても、その気泡は発振容器を上昇してその上
面開口から大気中に放散されるため、従来のように振動
板に付着して成長し、その振動板の温度上昇を招いた
り、熱損を招くなどのことがない。

【００５９】

【００６０】さらに、振動板を介して超音波振動子から
の進行波が、被洗浄物で反射することで発生する反射波
と干渉したり、反射波が振動板と干渉するのを防止でき
るから、被洗浄物に入射する超音波振動が減衰されて洗
浄効率が低下するのを防止できる。

【００６１】請求項３の発明によれば、被洗浄物の上面
側にノズル体によって洗浄液を供給したことで、被洗浄
物の上面側で浮遊する微粒子を確実に除去することがで
きるから、その上面の洗浄効果を高めることができる。

【００６２】請求項４の発明によれば、発振容器の上面
開口から洗浄液をオ−バフロ−させるようにしたから、
上記発振容器内に浮遊する微粒子を除去することができ
る。それによって、被洗浄物の下面から除去されて発振
容器内に落下した微粒子が上記被洗浄物の下面に再付着
するのを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施形態を示す発振容器の断
面図。

【図２】同じく搬送される液晶用ガラス基板の下面側に
発振容器を配置した状態の構成図。

【図３】（ａ）〜（ｄ）はそれぞれ洗浄液の音圧を測定
する形態の説明図。

【図４】同じく図３（ａ）〜（ｄ）の測定結果を示すグ
ラフ。

【図５】この発明の第２の実施形態を示す発振容器と被
洗浄物との関係の説明図。

【図６】この発明の第３の実施形態を示す発振容器と被
洗浄物との関係の説明図。

【図７】従来の超音波洗浄装置の断面図。

【符号の説明】

１１…発振容器 １４…供給管 １６…振動板 １７…超音波振動子 ２２…液晶用ガラス基板（被洗浄物） ２４…ノズル体

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定方向に搬送される被洗浄物を洗浄す
   るための洗浄方法において、 上面が開口した発振容器内に供給された洗浄液に振動板
   を介して超音波振動子から発振される超音波振動を付与
   することで、その洗浄液を上記発振容器内の上記洗浄液
   の水平面上から押し上げ、押し上げられた洗浄液を上記
   被洗浄物の下面に接触させるとともに、上記超音波振動
   の進行波を、所定方向に搬送される上記被洗浄物の板面
   に対して傾斜しかつ被洗浄物からの反射波が上記振動板
   に干渉しない角度で入射させることを特徴とする洗浄方
   法。
2. 【請求項２】 所定方向に搬送される被洗浄物を洗浄す
   るための洗浄装置において、 上面が開口し内部に洗浄液が供給される発振容器と、 この発振容器の底部に設けられ内部に供給された上記洗
   浄液に振動板を介して超音波振動を付与する超音波振動
   子とを具備し、 上記発振容器は、超音波振動が付与されて発振容器内の
   上記洗浄液の水平面上から押し上げられる上記洗浄液が
   上記被洗浄物の下面に接触する状態で配置され、上記振
   動板を介して上記超音波振動子から発振される超音波振
   動の進行波は、所定方向に搬送される上記被洗浄物の板
   面に対して傾斜しかつ被洗浄物からの反射波が上記振動
   板に干渉しない角度で入射する構成であることを特徴と
   する洗浄装置。
3. 【請求項３】 上記被洗浄物の上面側には、この上面に
   洗浄液を供給するノズル体が配置されていることを特徴
   とする請求項２記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】 上記発振容器には、洗浄液をその底部か
   ら供給し上面開口からオ−バフロ−させる供給管が接続
   されていることを特徴とする請求項２または請求項３に
   記載の洗浄装置。