JP4036815B2 - 洗浄装置 - Google Patents
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Description
以下、本実施の形態における洗浄装置について、図面に基づき説明する。なお、図1は、本実施の形態における洗浄装置の構造を示す側面図であり、図2は、同洗浄装置の構造を示す平面図であり、図3および図4は、同洗浄装置の動作を説明する説明図である。
(実施の形態2)
実施の形態2における洗浄装置について、図面に基づき説明する。なお、図7は本発明の実施の形態における洗浄装置の構造を示す縦断面図である。図8は、同洗浄装置の構造を示す平面図である。図9は、同洗浄装置の動作を説明する説明図である。
(実施の形態3)
実施の形態3における洗浄装置について、図面に基づき説明する。なお、図10は、本実施の形態の洗浄装置の構造を示す縦断面図である。図11は、同洗浄装置の動作を説明する説明図である。実施の形態2と異なるのはカバー部分のみであり、図7から図9と同等の機能を有する構成には、同一の参照番号を付し、その説明は繰り返さない。
Claims (5)
- 被洗浄基板を、その被洗浄面を上向きにして搬送する搬送機構と、
被洗浄基板の前記被洗浄面に洗浄液を噴射する高圧ノズルと、
前記被洗浄基板の下面に超音波を印加した液体を噴射する超音波ノズルと、
前記超音波ノズル上方における、前記洗浄液の液膜厚を安定化させる液膜厚安定化手段とを備え、
該液膜厚安定化手段は前記被洗浄面と対向し所定の間隔を保った平面を有するゴム板からなる、洗浄装置。 - 被洗浄基板を、その被洗浄面を上向きにして搬送する搬送機構と、
被洗浄基板の前記被洗浄面に洗浄液を噴射する高圧ノズルと、
前記被洗浄基板の下面に超音波を印加した液体を噴射する超音波ノズルと、
前記超音波ノズル上方における、前記洗浄液の液膜厚を安定化させる液膜厚安定化手段とを備え、
該液膜厚安定化手段はその中心軸が前記被洗浄基板の搬送方向と直交する方向に延び、前記被洗浄面に対向する円筒面を有する長尺部材で構成された、洗浄装置。 - 前記超音波ノズルから噴射される液体に印加された超音波の波長をλとすると、前記超音波ノズル上方における前記洗浄液の液膜厚は、略λ/4の奇数倍である、請求項1または2に記載の洗浄装置。
- 前記超音波ノズルから噴出される液体に印加される超音波の波長をλとすると、前記超音波ノズルから噴射される液体に超音波を印加する振動子と前記被洗浄面との距離が略λ/2の自然数倍である、請求項1から3のいずれかに記載の洗浄装置。
- 前記超音波ノズルから噴射される液体に印加された超音波は、1MHz以上の周波数成分を含む、請求項1から4のいずれかに記載の洗浄装置。
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