JP2005012183A - メモリセルのしきい値電圧を調節する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】このエネルギが、電気パルス(電圧パルスまたは電流パルス)、光パルス(レーザパルス)、熱パルス、またはマイクロ波エネルギ、の形で付与されても良い。これらのエネルギパルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加されることによって、しきい値電圧の変化を起こさせても良い。カルコゲン化物材料のしきい値電圧を調節する方法も説明してある。この方法では、エネルギがカルコゲン化物材料に付与される。
【選択図】図1
Description
Claims (39)
- しきい値電圧を変化させることのできる材料から構成された膜にエネルギを付与することを備えている、メモリセルのしきい値電圧を調節する方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜に電気パルスを印加することを備えている、請求項1に記載の方法。
- 前記電気パルスが電圧パルスである請求項2に記載の方法。
- 前記電圧パルスが、所定の強さを有し、所定の波形(profile)を有し、所定の期間だけ印加される、請求項3に記載の方法。
- 前記電気パルスが電流パルスである請求項2に記載の方法。
- 前記電流パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項5に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜に光パルスを印加することを備えている、請求項1に記載の方法。
- 前記光パルスがレーザパルスである請求項7に記載の方法。
- 前記レーザパルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項8に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜に熱パルスを印加することを備えている、請求項1に記載の方法。
- 前記熱パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項10に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜にマイクロ波エネルギのパルスを印加することを備えている、請求項1に記載の方法。
- 前記マイクロ波エネルギのパルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項12に記載の方法。
- カルコゲン化物材料から構成された膜にエネルギを付与することを備えている、メモリセルのしきい値電圧を調節する方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜に電気パルスを印加することを備えている、請求項14に記載の方法。
- 前記電気パルスが電圧パルスである請求項15に記載の方法。
- 前記電圧パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項16に記載の方法。
- 前記電気パルスが電流パルスである請求項15に記載の方法。
- 前記電流パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項18に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜に光パルスを印加することを備えている、請求項14に記載の方法。
- 前記光パルスがレーザパルスである請求項20に記載の方法。
- 前記レーザパルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項21に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜に熱パルスを印加することを備えている、請求項14に記載の方法。
- 前記熱パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項23に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、膜にマイクロ波エネルギのパルスを印加することを備えている、請求項14に記載の方法。
- 前記マイクロ波エネルギのパルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項25に記載の方法。
- カルコゲン化物材料にエネルギを付与することを備えている、カルコゲン化物材料のしきい値電圧を調節する方法。
- 前記エネルギを付与することが、カルコゲン化物材料に電気パルスを印加することを備えている、請求項27に記載の方法。
- 前記電気パルスが電圧パルスである請求項28に記載の方法。
- 前記電圧パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項29に記載の方法。
- 前記電気パルスが電流パルスである請求項28に記載の方法。
- 前記電流パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項31に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、カルコゲン化物材料に光パルスを印加することを備えている、請求項27に記載の方法。
- 前記光パルスがレーザパルスである請求項33に記載の方法。
- 前記レーザパルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項34に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、カルコゲン化物材料に熱パルスを印加することを備えている、請求項27に記載の方法。
- 前記熱パルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項36に記載の方法。
- 前記エネルギを付与することが、カルコゲン化物材料にマイクロ波エネルギのパルスを印加することを備えている、請求項27に記載の方法。
- 前記マイクロ波エネルギのパルスが、所定の強さを有し、所定の波形を有し、所定の期間だけ印加される、請求項38に記載の方法。
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