JP2004532990A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 回転的におよび非回転的に対称光学素子を計測するための干渉方法であって、該干渉方法は、
   計測されるべきテスト光学素子および該テスト光学素子を所定の距離だけ密接して隣接して配置された少なくとも１つの非球面基準面を位置合わせするステップと、
   少なくとも１つの非球面基準表面に所定の波面を有するビームを照射するステップであって、該所定の波面の一部が、基準波面として機能するように該非球面基準表面から反射され、一部が該所定の距離にわたって伝播するにつれて、その形状が変化する継続的非球面波面として伝達され、それにより、一部が該テスト光学素子の予想された形状に実質的に一致する形状を有するとともに該テスト光学素子上で衝突し、かつ該非球面基準表面に向かって再度進行する計測波面として該テスト光学素子から戻るように、該ビームを照射するステップと、
   該テスト光学素子によって生成された該波面の形状を示す位相情報を含む干渉図形を形成するために該基準および計測波面を組み合わせるステップと
   を包含する、干渉方法。
2. 前記干渉図形を光検出器上に結像するステップ、および該テスト光学素子によって生成された予測された波面の形状と実際の性能との間の差に対応する位相情報を含む電気信号を生成するステップをさらに包含する、請求項１に記載の干渉方法。
3. 前記電気信号から前記位相情報を抽出し、前記テスト光学素子性能を計算するために位相シフト干渉法を実行するステップをさらに包含する、請求項２に記載の干渉方法。
4. 前記計算された情報をファイル、英数字ハードコピー、ディスプレイ、およびグラフィックの内の１つ以上に出力するステップをさらに包含する、請求項３に記載の干渉方法。
5. 前記テスト光学素子は、回転対称非球面反射表面であり、前記基準非球面表面は、
   

   

   の式の形状を有し、ここでｄは、該基準非球面表面および該テスト非球面表面を分離する距離であり、Ｚ_ａは、ｒの関数としてテスト非球面表面の形状であり、αは、垂直入射における該基準およびテスト非球面表面の局所的な勾配であり、
   

   

   によって与えられる、請求項１に記載の干渉方法。
6. 前記テスト光学素子は、非回転対称非球面反射表面であり、該基準非球面表面は、
   

   

   の式を有し、ここでｄは、該基準非球面表面および該テスト非球面表面を分離する距離であり、Ｚ_ａは、ｒの関数として該テスト非球面表面の形状であり、α_１およびα_２は、垂直入射における該基準非球面表面および該テスト非球面表面の局所的な勾配であり、
   

   

   によって与えられる、請求項１に記載の干渉方法。
7. 前記テスト光学素子は屈折し、前記基準非球面表面は、少なくとも２つの基準非球面表面を含み、該基準非球面表面の各々１つは、前記屈折テスト光学素子のいずれかの面上に配置される、請求項１に記載の干渉方法。
8. 対称テスト光学素子を回転的におよび非回転的に計測するための干渉装置であって、
   該テスト光学素子が精密に位置合わせされる場合、該テスト光学素子が照射され得るように、計測されるテスト光学素子を取り付けるための手段と、
   計測される該テスト光学素子に位置合わせされ、隣接して接近して配置され、そして該テスト光学素子から所定の距離だけ間隔が開けられた少なくとも１つの基準非球面表面と、
   所定の波面を有するビームで少なくとも１つの基準非球面表面を照射する手段であって、該所定の波面の形状は、該基準非球面表面の形状と実質的に同じであり、それにより該所定の波面の一部が基準波面として機能するように該基準非球面表面から反射され、一部は、該テスト光学素子上に衝突する継続する非球面波面として伝達され、該基準非球面表面に向かって再度進行する計測波面として該テスト光学素子から戻り、該基準および計測波面が組み合わせられて、該テスト光学素子によって生成された波面の形状を示す位相情報を含む干渉図形を形成する、手段と
   を含む、干渉計装置。
9. 前記干渉図形を光検出器に結像する、および前記テスト光学素子によって生成された波面の予測された形状とその実際の性能との間の差に対応する位相情報を含む電気信号を生成する手段をさらに含む、請求項８に記載の干渉計装置。
10. 前記電気信号からの前記位相情報を抽出するため、および前記テスト光学素子性能を計算するために、位相シフト干渉法を実行する手段をさらに含む、請求項９に記載の干渉装置。
11. ファイル、英数字ハードコピー、ディスプレイ、およびグラフィックの内の１つ以上において前記計算された情報を出力するための手段をさらに含む、請求項１０に記載の干渉装置。
12. 前記テスト光学素子は、回転対称反射非球面表面であり、前記基準非球面表面は、
    

    

    の式の形状を有し、ここで、ｄは、前記基準非球面表面および前記テスト非球面表面を分離する距離であり、Ｚ_ａは、ｒの関数として該テスト非球面表面の形状であり、αは、垂直入射における該基準非球面表面および該テスト非球面表面の局所的な勾配であり、
    

    

    によって与えられる、請求項８に記載の干渉装置。
13. 前記テスト光学素子は、非回転対称非球面反射表面であり、前記基準非球面表面は、
    

    

    の式の形状を有し、ここでｄは、該基準非球面表面および該テスト非球面表面を分離する距離であり、Ｚ_ａは、ｒの関数として該テスト非球面表面の形状であり、α_１およびα_２は、垂直入射における該基準非球面表面および該テスト非球面表面の局所的な勾配であり、
    

    

    によって与えられる、請求項８に記載の干渉装置。
14. 前記テスト光学素子は屈折的し、前記基準非球面表面は、少なくとも２つの基準非球面表面を含み、該基準非球面表面の各々１つは、該屈折テスト光学素子のいずれかの面上に配置される、請求項８の干渉装置。
15. 少なくともテスト反射非球面表面を計測する前に、前記基準非球面表面と前記照射している所定の波面とを位置合わせとする手段をさらに含む、請求項１３の干渉装置。