CN110686618B - 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 - Google Patents
结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110686618B CN110686618B CN201911159776.7A CN201911159776A CN110686618B CN 110686618 B CN110686618 B CN 110686618B CN 201911159776 A CN201911159776 A CN 201911159776A CN 110686618 B CN110686618 B CN 110686618B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- aspheric
- aspheric surface
- lens
- total reflection
- detector
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/2441—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures using interferometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/255—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures for measuring radius of curvature
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统,通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
Description
技术领域
本发明涉及光学非球面测量的技术领域,尤其涉及一种结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,以及结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量系统。
背景技术
非球面的面型参数包括顶点曲率半径和二次曲面常数。这两个参数共同决定了非球面的形状特征,其中,顶点曲率半径不仅影响非球面的轮廓,还决定了非球面的基本性质,进而影响光学系统的像差和成像质量;而二次曲面常数是非球面的分类依据。精确测量面型参数误差,对于光学非球面的加工和装调非常重要。通常情况下,利用接触法或非接触法可以获得被测面的面形轮廓,然后对面形轮廓直接进行曲率拟合,可以得到被测面的面型参数。面型参数的测量值与标称值的差值,即为该非球面的面型参数误差。
干涉法是一种通用的光学非球面面形测量方法,而部分补偿干涉法具有结构简单、设计加工难度低的优点。在部分补偿干涉系统中,准直光经过补偿透镜后,其波前与非球面并不是完全吻合的,因此,反射光再次经过补偿透镜后,不再是准直光。当非准直反射光与参考准直光干涉时就会得到理想干涉条纹,实际条纹与理想干涉条纹的差异就反映了被测非球面的面形误差。
部分补偿干涉法是一种相对测量方法,可以直接测得被测非球面的面形误差。但是,由于被测面和部分补偿透镜的相对位置无法确定,通过部分补偿干涉法无法直接获得被测非球面的面型参数误差,这是目前需要解决的一大难题。
申请人拥有的已授权专利(申请号:201810933104.6,发明名称:结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法)公开了一种解决这一难题的方法,其利用激光差动共焦定位系统求取补偿镜和被测镜之间距离。
但是,这种方法所采用的激光差动共焦定位系统(该专利中未包括)一般包含:共焦镜头、分光镜和两套参数完全相同的针孔、显微物镜和探测器,对两路针孔和显微物镜的装调精度要求非常高,并且系统较为庞大。
发明内容
为克服现有技术的缺陷,本发明要解决的技术问题是提供了一种结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,其避免了在非球面参数误差干涉测量方法中需要使用差动共焦法进行被测非球面和补偿镜之间距离测量,从而简化了系统结构和装调过程,且能够实现非接触、全口径、速度快、精度高的测量,具有结构简单的优点。
本发明的技术方案是:这种结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,其包括以下步骤:
(1)获取被测非球面名义参数,利用光学设计软件设计部分补偿透镜P,得到设计后的部分补偿透镜P的设计参数,建立非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,得到名义最佳补偿距离d0,d0是部分补偿镜P第二面到理想非球面顶点的距离;
(2)根据步骤(1)得到的设计后部分补偿透镜P的设计参数,加工出部分补偿透镜P的实物,与参考平面镜、实际被测非球面共同搭建非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,根据干涉条纹最稀疏准则找到最佳补偿位置,此时部分补偿透镜P第二面到实际被测非球面顶点的距离为实际最佳补偿距离d1;
(3)在参考平面镜和部分补偿透镜之间插入全反射角定位系统,建立结合全反射角定位的非球面误差干涉测量系统;
(4)调节全反射角定位系统的轴向位置,从参考平面镜端移动到部分补偿透镜端,过程中出现3次第一探测器和第二探测器光强相等,记录下全反射角定位系统第一探测器和第二探测器第2次,第3次光强相等的轴向位置,根据聚焦物镜和部分补偿镜的参数,计算得到实际最佳补偿距离d1,进而获得最佳补偿位置变化Δd=d1-d0;
(5)测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化,并计算面形变化S4分量的系数ΔD4;
(6)根据联立的方程组(1)、(2),计算非球面的面型参数误差,实现对非球面的面型参数误差的测量,联立的方程组(1)、(2)的具体形式为:
其中,R0是非球面的顶点曲率半径,ΔR是顶点曲率半径误差;K0是二次曲面常数,ΔK是二次曲面常数误差;SA是非球面的特征点到旋转对称轴的径向距离;±的符号选择原则为:凹非球面的符号选择为+,凸非球面的符号选择为–。
本发明通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
还提供了一种结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量系统,其包括:参考平面镜(1)、全反射角定位系统、部分补偿透镜P(2)、实际被测非球面(5)、实际干涉仪IR;全反射角定位系统包括:偏振分光镜(7)、四分之一波片(8)、聚焦物镜(9)、直角棱镜(12)、第一探测器(10)和第二探测器(11);
其中,实际干涉仪IR、参考平面镜(1)、部分补偿透镜P(2)和实际被测非球面(5)构成非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,根据实际干涉仪IR的干涉图对实际被测非球面(5)进行定位,当干涉条纹最稀疏的时候,确定实际被测非球面(5)和部分补偿透镜P(2)之间的距离为被测非球面(5)的最佳补偿位置d1(6);
在参考平面镜(1)和部分补偿透镜P(2)之间插入全反射角定位系统后,平行线偏振激光经过参考平面镜(1)、偏振分光镜(7)、四分之一波片(8)后被聚焦物镜(9)会聚到部分补偿透镜P(2)的第二面,从部分补偿透镜P(2)的第二面反射的光透过聚焦物镜(9)、四分之一波片(8)后被偏振分光镜(7)反射,入射直角棱镜(12),经直角棱镜(12)的斜边全反射后分别被第一探测器(10)和第二探测器(11)记录,此时第一探测器(10)和第二探测器(11)探测到的光强相等,记录此时全反射角定位系统的轴向位置为A轴向位置;向部分补偿透镜P(2)端轴向移动全反射角定位系统,直到第一探测器(10)和第二探测器(11)探测到的光强再次相等,记录此时全反射角定位系统的轴向位置为B轴向位置;根据A轴向位置、B轴向位置、聚焦物镜和部分补偿镜的参数,计算得到实际最佳补偿距离d1。
附图说明
图1是根据本发明的结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法的流程图。
图2是设计的非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路。
图3是通过非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路确定实际被测非球面最佳补偿位置的光路图。
图4是通过全反射角定位系统确定部分补偿透镜第二面位置的光路图。
图5是通过全反射角定位系统确定实际被测非球面位置的光路图。
其中,1-参考平面镜、2-部分补偿透镜P、3-理想非球面、4-名义最佳补偿距离d0、5-实际被测非球面、6-实际最佳补偿距离d1、7-偏振分光棱镜、8-四分之一波片、9-聚焦物镜、10-第一探测器、11-第二探测器、12-直角棱镜。
具体实施方式
(1)如图1所示,这种结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,获取被测非球面名义参数,利用光学设计软件设计部分补偿透镜P,得到设计后的部分补偿透镜P的设计参数,建立非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,得到名义最佳补偿距离d0,d0是部分补偿镜P第二面到理想非球面顶点的距离;
(2)根据步骤(1)得到的设计后部分补偿透镜P的设计参数,加工出部分补偿透镜P的实物,与参考平面镜、实际被测非球面共同搭建非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,根据干涉条纹最稀疏准则找到最佳补偿位置,此时部分补偿透镜P第二面到实际被测非球面顶点的距离为实际最佳补偿距离d1;
(3)在参考平面镜和部分补偿透镜之间插入全反射角定位系统,建立结合全反射角定位的非球面误差干涉测量系统;
(4)调节全反射角定位系统的轴向位置,从参考平面镜端移动到部分补偿透镜端,过程中出现3次第一探测器和第二探测器光强相等,记录下全反射角定位系统第一探测器和第二探测器第2次,第3次光强相等的轴向位置,根据聚焦物镜和部分补偿镜的参数,计算得到实际最佳补偿距离d1,进而获得最佳补偿位置变化Δd=d1-d0;
(5)测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化,并计算面形变化S4分量的系数ΔD4;
(6)根据联立的方程组(1)、(2),计算非球面的面型参数误差,实现对非球面的面型参数误差的测量,联立的方程组(1)、(2)的具体形式为:
其中,R0是非球面的顶点曲率半径,ΔR是顶点曲率半径误差;K0是二次曲面常数,ΔK是二次曲面常数误差;SA是非球面的特征点到旋转对称轴的径向距离;±的符号选择原则为:凹非球面的符号选择为+,凸非球面的符号选择为–。
本发明通过结合全反射角定位系统建立非球面参数误差干涉测量系统,不需要搭建复杂的激光差动共焦系统,避免了激光差动共焦系统装调误差对测量精度的影响,进而提高测量非球面的面型参数误差的测量精度,且能够实现非接触、全口径、精度高的测量,具有结构简单、装调方便的优点。
优选地,所述步骤(1)包括以下分步骤:
(1.1)获取被测非球面名义参数,其包括:被测非球面的口径、顶点曲率半径、二次曲面常数和高次非球面系数;
(1.2)利用获取被测非球面名义参数,结合光学设计软件设计部分补偿透镜P,得到设计后的部分补偿透镜P的设计参数,部分补偿透镜P的设计参数包括:部分补偿透镜P的第一面曲率半径、厚度、材料、第二面曲率半径和口径;
(1.3)结合光学设计软件构建非球面参数误差干涉测量系统模型:
光学设计软件中构建包含部分补偿透镜P的虚拟干涉仪IR,并确定理想非球面的最佳补偿位置,作为部分补偿透镜第二面到理想非球面顶点的轴向距离d0:
其中,d0是部分补偿透镜第二面到理想非球面顶点的轴向距离;LP是部分补偿透镜第二面到部分补偿透镜近轴焦点的距离,通过近轴光学公式进行确定;R0是非球面的顶点曲率半径,K0是二次曲面常数;A4是四次非球面系数;SA是非球面的特征点到旋转对称轴的径向距离,通过斜率非球面度定义进行确定。
优选地,所述步骤(2)中,根据步骤(1)得到的设计后部分补偿透镜的设计参数,加工出部分补偿透镜的实物,与参考平面镜、实际被测非球面共同搭建非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路;利用参考平面镜形成参考光,部分补偿透镜和被测非球面形成测量光,根据参考光与测量光干涉形成的干涉图进行定位,当干涉图的条纹最稀疏的时候,实际被测非球面处于最佳补偿位置,此时部分补偿透镜P第二面到实际被测非球面顶点的距离为实际最佳补偿距离d1。
优选地,所述步骤(3)中,在参考平面镜和部分补偿透镜之间插入全反射角定位系统,建立结合全反射角定位的非球面误差干涉测量系统;全反射角定位系统包括:偏振分光棱镜、四分之一波片、聚焦物镜、直角棱镜、第一探测器、第二探测器。
优选地,所述光学设计软件包括ZEMAX、CODE V。
如图2-5所示,还提供了一种结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量系统,其包括:参考平面镜1、全反射角定位系统、部分补偿透镜P2、实际被测非球面5、实际干涉仪IR;全反射角定位系统包括:偏振分光镜7、四分之一波片8、聚焦物镜9、直角棱镜12、第一探测器10和第二探测器11;
其中,实际干涉仪IR、参考平面镜1、部分补偿透镜P 2和实际被测非球面5构成非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,根据实际干涉仪IR的干涉图对实际被测非球面5进行定位,当干涉条纹最稀疏的时候,确定实际被测非球面5和部分补偿透镜P 2之间的距离为被测非球面5的最佳补偿位置d1 6;
在参考平面镜1和部分补偿透镜P 2之间插入全反射角定位系统后,平行线偏振激光经过参考平面镜1、偏振分光镜7、四分之一波片8后被聚焦物镜9会聚到部分补偿透镜P的第二面,从部分补偿透镜P的第二面反射的光透过聚焦物镜9、四分之一波片8后被偏振分光镜7反射,入射直角棱镜12,经直角棱镜12的斜边全反射后分别被第一探测器10和第二探测器11记录,此时第一探测器10和第二探测器11探测到的光强相等,记录此时全反射角定位系统的轴向位置为A轴向位置;向部分补偿透镜P端轴向移动全反射角定位系统,直到第一探测器10和第二探测器11探测到的光强再次相等,记录此时全反射角定位系统的轴向位置为B轴向位置;根据A轴向位置、B轴向位置、聚焦物镜和部分补偿镜的参数,计算得到实际最佳补偿距离d1。
以下详细说明本发明的一个具体实施例。
结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,按以下方式实现:
建立结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法流程如附图1所示,具体实施步骤为:
步骤1:获取被测非球面名义参数,利用光学设计软件设计部分补偿透镜2,得到设计后的部分补偿透镜2的设计参数,并构建设计的非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路模型,如附图2所示。
步骤1.1:获取被测非球面名义参数。
获取被测非球面名义参数包括被测非球面的口径、顶点曲率半径、二次曲面常数和高次非球面系数。
在本实施例中,被测面为凸非球面:口径2D=80mm;顶点曲率半径R0=850mm;二次曲面常数K0=–1.2;高次非球面系数A2i=0,i=2,3,4,……。
步骤1.2:利用获取被测非球面名义参数,结合光学设计软件设计部分补偿透镜2。
相关参数包括部分补偿透镜2的第一面曲率半径,厚度,材料,第二面曲率半径和口径。
在本实施例中,采用的光学设计软件为ZEMAX,部分补偿透镜2为双凸单透镜,参数为第一面曲率半径578.4mm,厚度22.0mm,材料K9玻璃,折射率n=1.51630,第二面曲率半径3350.0,口径100mm。
步骤1.3:利用获取被测非球面名义参数,结合光学设计软件构建非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路模型。
通过近轴光学公式,确定部分补偿透镜第二面到部分补偿透镜近轴焦点的距离LP=944.76mm。
根据被测凸非球面名义参数和部分补偿透镜P的相关参数,确定理想非球面的最佳补偿位置d0=944.76–850.84=93.92mm。
步骤2:根据步骤1得到的设计后部分补偿透镜的设计参数,加工出部分补偿透镜的实物,与参考平面镜1、实际被测非球面5共同搭建非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,如附图3所示。
利用参考平面镜1形成参考光,部分补偿透镜2和被测非球面5形成测量光,根据参考光与测量光干涉形成的干涉图进行定位,当干涉图的条纹最稀疏的时候,实际被测非球面5处于最佳补偿位置,此时部分补偿透镜P第二面到实际被测非球面顶点的距离为实际最佳补偿距离d1 6。
步骤3:在参考平面镜1和部分补偿透镜之间插入全反射角定位系统,建立结合全反射角定位的非球面误差干涉测量系统。全反射角定位系统包括偏振分光棱镜7,四分之一波片8,聚焦物镜9,直角棱镜12,第一探测器10,第二探测器11。
步骤4:调节全反射角定位系统的轴向位置,从参考平面镜端移动到部分补偿透镜端,过程中会出现3次第一探测器和第二探测器光强相等。其中第2次光强相等位置如附图4所示,第3次光强相等位置如附图5所示。记录下全反射角定位系统第一探测器和第二探测器第2次,第3次光强相等的轴向位置,根据聚焦物镜和部分补偿镜的参数,计算得到实际最佳补偿距离d1=91.87mm,进而获得最佳补偿位置变化Δd=d1-d0;
步骤5:测量被测非球面5与理想非球面之间的面形变化,并计算面形变化S4分量的系数ΔD4=–2.17×10–11mm–3。
步骤6:根据方程组的联立,计算被测非球面5的面型参数误差,方程组的具体形式为:
其中,ΔR是顶点曲率半径误差;ΔK是二次曲面常数误差。
计算被测非球面5的面型参数误差,顶点曲率半径误差ΔR=1.9981mm,二次曲面常数误差ΔK=–0.1497。
本实施例中,被测非球面5使用的是凸非球面,但本方法并不限于这一种类型的非球面,也可以使用凹非球面。
以上所述,仅是本发明的较佳实施例,并非对本发明作任何形式上的限制,凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属本发明技术方案的保护范围。
Claims (5)
1.结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,其特征在于:其包括以下步骤:
(1)获取被测非球面名义参数,利用光学设计软件设计部分补偿透镜P,得到设计后的部分补偿透镜P的设计参数,建立非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,得到名义最佳补偿距离d0,d0是部分补偿镜P第二面到理想非球面顶点的距离;
(2)根据步骤(1)得到的设计后部分补偿透镜P的设计参数,加工出部分补偿透镜P的实物,与参考平面镜、实际被测非球面共同搭建非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,根据干涉条纹最稀疏准则找到最佳补偿位置,此时部分补偿透镜P第二面到实际被测非球面顶点的距离为实际最佳补偿距离d1;
(3)在参考平面镜和部分补偿透镜之间插入全反射角定位系统,建立结合全反射角定位的非球面误差干涉测量系统;
(4)调节全反射角定位系统的轴向位置,从参考平面镜端移动到部分补偿透镜端,过程中出现3次第一探测器和第二探测器光强相等,记录下全反射角定位系统第一探测器和第二探测器第2次,第3次光强相等的轴向位置,根据聚焦物镜和部分补偿镜的参数,计算得到实际最佳补偿距离d1,进而获得最佳补偿位置变化Δd=d1-d0;
(5)测量被测非球面与理想非球面之间的面形变化,并计算面形变化S4分量的系数ΔD4;
(6)根据联立的方程组(1)、(2),计算非球面的面型参数误差,实现对非球面的面型参数误差的测量,联立的方程组(1)、(2)的具体形式为:
其中,R0是非球面的顶点曲率半径,ΔR是顶点曲率半径误差;K0是二次曲面常数,ΔK是二次曲面常数误差;SA是非球面的特征点到旋转对称轴的径向距离;±的符号选择原则为:凹非球面的符号选择为+,凸非球面的符号选择为–;
该方法对应的系统包括:参考平面镜(1)、全反射角定位系统、部分补偿透镜P(2)、实际被测非球面(5)、实际干涉仪IR;全反射角定位系统包括:偏振分光镜(7)、四分之一波片(8)、聚焦物镜(9)、直角棱镜(12)、第一探测器(10)和第二探测器(11);其中,实际干涉仪IR、参考平面镜(1)、部分补偿透镜P(2)和实际被测非球面(5)构成非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路,根据实际干涉仪IR的干涉图对实际被测非球面(5)进行定位,当干涉条纹最稀疏的时候,确定实际被测非球面(5)和部分补偿透镜P(2)之间的距离为被测非球面(5)的最佳补偿位置d1(6);在参考平面镜(1)和部分补偿透镜P(2)之间插入全反射角定位系统后,平行线偏振激光经过参考平面镜(1)、偏振分光镜(7)、四分之一波片(8)后被聚焦物镜(9)会聚到部分补偿透镜P(2)的第二面,从部分补偿透镜P(2)的第二面反射的光透过聚焦物镜(9)、四分之一波片(8)后被偏振分光镜(7)反射,入射直角棱镜(12),经直角棱镜(12)的斜边全反射后分别被第一探测器(10)和第二探测器(11)记录,此时第一探测器(10)和第二探测器(11)探测到的光强相等,记录此时全反射角定位系统的轴向位置为A轴向位置;向部分补偿透镜P(2)端轴向移动全反射角定位系统,直到第一探测器(10)和第二探测器(11)探测到的光强再次相等,记录此时全反射角定位系统的轴向位置为B轴向位置;根据A轴向位置、B轴向位置、聚焦物镜和部分补偿镜的参数,计算得到实际最佳补偿距离d1。
2.根据权利要求1所述的结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,其特征在于:所述步骤(1)包括以下分步骤:
(1.1)获取被测非球面名义参数,其包括:被测非球面的口径、顶点曲率半径、二次曲面常数和高次非球面系数;
(1.2)利用获取被测非球面名义参数,结合光学设计软件设计部分补偿透镜P,得到设计后的部分补偿透镜P的设计参数,部分补偿透镜P的设计参数包括:部分补偿透镜P的第一面曲率半径、厚度、材料、第二面曲率半径和口径;
(1.3)结合光学设计软件构建非球面参数误差干涉测量系统模型:光学设计软件中构建包含部分补偿透镜P的虚拟干涉仪IR,并确定理想非球面的最佳补偿位置,作为部分补偿透镜第二面到理想非球面顶点的轴向距离d0:
其中,d0是部分补偿透镜第二面到理想非球面顶点的轴向距离;LP是部分补偿透镜第二面到部分补偿透镜近轴焦点的距离,通过近轴光学公式进行确定;R0是非球面的顶点曲率半径,K0是二次曲面常数;
A4是四次非球面系数;SA是非球面的特征点到旋转对称轴的径向距离,通过斜率非球面度定义进行确定。
3.根据权利要求2所述的结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,其特征在于:所述步骤(2)中,根据步骤(1)得到的设计后部分补偿透镜的设计参数,加工出部分补偿透镜的实物,与参考平面镜、实际被测非球面共同搭建非球面参数误差干涉测量系统的干涉测量光路;利用参考平面镜形成参考光,部分补偿透镜和被测非球面形成测量光,根据参考光与测量光干涉形成的干涉图进行定位,当干涉图的条纹最稀疏的时候,实际被测非球面处于最佳补偿位置,此时部分补偿透镜P第二面到实际被测非球面顶点的距离为实际最佳补偿距离d1。
4.根据权利要求3所述的结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,其特征在于:所述步骤(3)中,在参考平面镜和部分补偿透镜之间插入全反射角定位系统,建立结合全反射角定位的非球面误差干涉测量系统;全反射角定位系统包括:偏振分光棱镜、四分之一波片、聚焦物镜、直角棱镜、第一探测器、第二探测器。
5.根据权利要求1所述的结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法,其特征在于:所述光学设计软件包括ZEMAX、CODE V。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911159776.7A CN110686618B (zh) | 2019-11-22 | 2019-11-22 | 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201911159776.7A CN110686618B (zh) | 2019-11-22 | 2019-11-22 | 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110686618A CN110686618A (zh) | 2020-01-14 |
CN110686618B true CN110686618B (zh) | 2020-09-15 |
Family
ID=69117506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201911159776.7A Active CN110686618B (zh) | 2019-11-22 | 2019-11-22 | 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110686618B (zh) |
Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4743117A (en) * | 1986-01-20 | 1988-05-10 | Ricoh Company, Ltd. | Device for optically measuring aspheric surface |
US4776699A (en) * | 1985-07-05 | 1988-10-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Optical measuring device |
JPH10185529A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Canon Inc | 干渉計及び形状測定装置 |
CN1269517A (zh) * | 2000-04-26 | 2000-10-11 | 西安交通大学 | 光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法和装置 |
EP1281931A1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-02-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Interferometer using an aspherical wavefront for measuring aspherical surfaces |
JP2003322587A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Canon Inc | 面形状測定装置 |
US6771375B2 (en) * | 2001-06-20 | 2004-08-03 | Zygo Corporation | Apparatus and method for measuring aspherical optical surfaces and wavefronts |
CN101876540A (zh) * | 2010-05-07 | 2010-11-03 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统 |
EP2276999A1 (de) * | 2008-04-30 | 2011-01-26 | Robert Bosch GmbH | Optische anordnung zur beleuchtung eines messobjektes und interferometrische anordnung zur vermessung von flächen eines messobjektes |
CN102865820A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-09 | 哈尔滨工业大学 | 基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置 |
CN103344176A (zh) * | 2013-07-25 | 2013-10-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于球面形貌特征检测的倍程式短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法 |
KR101396536B1 (ko) * | 2008-10-31 | 2014-05-21 | 삼성테크윈 주식회사 | 부품실장기의 이형 부품 자동 등록방법 |
CN105807412A (zh) * | 2016-04-07 | 2016-07-27 | 浙江大学 | 一种基于自由曲面整形的全内反射显微方法与装置 |
CN106595473A (zh) * | 2016-09-29 | 2017-04-26 | 浙江科技学院(浙江中德科技促进中心) | 非球面模具的在位测量系统及其测量方法和测量检验方法 |
CN109029291A (zh) * | 2018-08-16 | 2018-12-18 | 北京理工大学 | 结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法 |
CN109253707A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-01-22 | 成都太科光电技术有限责任公司 | 百微米量程透射式干涉测试装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10327939A1 (de) * | 2003-06-20 | 2005-01-13 | Hofbauer, Engelbert, Dipl.-Ing. (FH) | Verfahren und Meßvorrichtung zur berührungslosen Messung von Winkeln oder Winkeländerungen an Gegenständen |
US7405830B2 (en) * | 2004-08-20 | 2008-07-29 | Korea Advanced Institute Of Science And Technology (Kaist) | Vibration-insensitive interferometer |
CN102262091B (zh) * | 2011-04-12 | 2012-11-14 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 材料微区结构变化动力学过程的检测装置和检测方法 |
CN103278093B (zh) * | 2013-06-09 | 2015-07-08 | 哈尔滨工业大学 | 一种差动双区域共焦轴向测量装置 |
-
2019
- 2019-11-22 CN CN201911159776.7A patent/CN110686618B/zh active Active
Patent Citations (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4776699A (en) * | 1985-07-05 | 1988-10-11 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd | Optical measuring device |
US4743117A (en) * | 1986-01-20 | 1988-05-10 | Ricoh Company, Ltd. | Device for optically measuring aspheric surface |
JPH10185529A (ja) * | 1996-12-27 | 1998-07-14 | Canon Inc | 干渉計及び形状測定装置 |
CN1269517A (zh) * | 2000-04-26 | 2000-10-11 | 西安交通大学 | 光纤面板共焦显微镜测量三维面形的方法和装置 |
US6771375B2 (en) * | 2001-06-20 | 2004-08-03 | Zygo Corporation | Apparatus and method for measuring aspherical optical surfaces and wavefronts |
EP1281931A1 (en) * | 2001-08-01 | 2003-02-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Interferometer using an aspherical wavefront for measuring aspherical surfaces |
JP2003322587A (ja) * | 2002-04-30 | 2003-11-14 | Canon Inc | 面形状測定装置 |
EP2276999A1 (de) * | 2008-04-30 | 2011-01-26 | Robert Bosch GmbH | Optische anordnung zur beleuchtung eines messobjektes und interferometrische anordnung zur vermessung von flächen eines messobjektes |
KR101396536B1 (ko) * | 2008-10-31 | 2014-05-21 | 삼성테크윈 주식회사 | 부품실장기의 이형 부품 자동 등록방법 |
CN101876540A (zh) * | 2010-05-07 | 2010-11-03 | 中国科学院光电技术研究所 | 基于多波前透镜补偿器的非球面绝对测量系统 |
CN102865820A (zh) * | 2012-09-19 | 2013-01-09 | 哈尔滨工业大学 | 基于光路补偿的激光外差干涉测量方法与装置 |
CN103344176A (zh) * | 2013-07-25 | 2013-10-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于球面形貌特征检测的倍程式短相干瞬时移相干涉测量仪及测量方法 |
CN105807412A (zh) * | 2016-04-07 | 2016-07-27 | 浙江大学 | 一种基于自由曲面整形的全内反射显微方法与装置 |
CN106595473A (zh) * | 2016-09-29 | 2017-04-26 | 浙江科技学院(浙江中德科技促进中心) | 非球面模具的在位测量系统及其测量方法和测量检验方法 |
CN109029291A (zh) * | 2018-08-16 | 2018-12-18 | 北京理工大学 | 结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法 |
CN109253707A (zh) * | 2018-10-19 | 2019-01-22 | 成都太科光电技术有限责任公司 | 百微米量程透射式干涉测试装置 |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
A novel aspheric surface testing method using part-compensating lens;Liu, HL,etc.;《Optical Design and Testing II, Pts 1 and 2》;20051231;第5638卷;全文 * |
Testing of aspheric mirror by non-null compensation method;Wang Xiaokun;《Infrared and Laser Engineering》;20150925;第44卷(第9期);全文 * |
利用部分补偿透镜进行非球面面形测量;刘惠兰,郝群,朱秋东,沙定国;《北京理工大学学报》;20040731;第24卷(第7期);全文 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110686618A (zh) | 2020-01-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110487205B (zh) | 结合色散共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法 | |
CN107796329B (zh) | 一种凸非球面反射镜面形检测装置及检测方法 | |
CN109029291B (zh) | 结合激光差动共焦定位的非球面参数误差干涉测量方法 | |
CN101813458B (zh) | 差动共焦内调焦法镜组光轴及间隙测量方法与装置 | |
CN108895972A (zh) | 一种基于计算全息的光学元件顶点半径测量的方法和装置 | |
JP2013186024A (ja) | 非球面形状計測方法、非球面形状計測装置、光学素子加工装置および光学素子 | |
CN111929037A (zh) | 光楔补偿器标定系统及其标定方法 | |
CN108759698B (zh) | 多镜面透镜组镜面间距的低相干光干涉测量方法和装置 | |
CN110686617B (zh) | 结合像散法定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 | |
US6215596B1 (en) | Optical element, optical device provided therewith, and method for evaluating optical element | |
CN112556991A (zh) | 一种镜片折射率测量装置及其测量方法 | |
CN116380419A (zh) | 一种检测两面共体非球面镜光轴一致性的装置和方法 | |
CN110966958B (zh) | 结合液体透镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统 | |
CN112902875B (zh) | 一种非球面反射镜曲率半径检测装置及方法 | |
JPH1163946A (ja) | 形状測定方法及び高精度レンズ製造方法 | |
TWI570397B (zh) | 透鏡和透鏡模具的光學評估技術 | |
CN106767471B (zh) | 一种非球面检测光路中光学间隔测量系统及方法 | |
CN110686618B (zh) | 结合全反射角定位的非球面参数误差干涉测量方法及系统 | |
KR20110065365A (ko) | 비구면체 측정 방법 및 장치 | |
CN110763139B (zh) | 结合可变形镜共焦定位的非球面误差干涉测量方法及系统 | |
CN109883342B (zh) | 横向相减差动共焦镜组间隙测量方法 | |
CN112923871A (zh) | 一种自由曲面反射镜曲率半径检测装置及方法 | |
US8294904B2 (en) | Fizeau lens having aspheric compensation | |
JPH08233513A (ja) | 干渉システム | |
CN210774624U (zh) | 在线泰曼-格林成盘检测干涉仪测量装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |