RU178706U1 - Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения на основе световодной пластины с синтезированными голограммами - Google Patents
Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения на основе световодной пластины с синтезированными голограммами Download PDFInfo
- Publication number
- RU178706U1 RU178706U1 RU2017146786U RU2017146786U RU178706U1 RU 178706 U1 RU178706 U1 RU 178706U1 RU 2017146786 U RU2017146786 U RU 2017146786U RU 2017146786 U RU2017146786 U RU 2017146786U RU 178706 U1 RU178706 U1 RU 178706U1
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- plate
- optical
- aberrations
- optical radiation
- wavefront
- Prior art date
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 61
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 238000010586 diagram Methods 0.000 title description 2
- 239000011505 plaster Substances 0.000 title 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims abstract description 43
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims abstract description 9
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 2
- 239000012491 analyte Substances 0.000 claims 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 2
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/32—Holograms used as optical elements
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03H—HOLOGRAPHIC PROCESSES OR APPARATUS
- G03H1/00—Holographic processes or apparatus using light, infrared or ultraviolet waves for obtaining holograms or for obtaining an image from them; Details peculiar thereto
- G03H1/04—Processes or apparatus for producing holograms
- G03H1/08—Synthesising holograms, i.e. holograms synthesized from objects or objects from holograms
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Holo Graphy (AREA)
Abstract
Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения для регистрации и анализа аберраций плоского волнового фронта видимого диапазона включает компьютерно-синтезированные голограммы (КСГ), «закодированные» аберрациями волнового фронта на основе мод ортогональных круговых полиномов Цернике, последующее выделение указанных аберраций дифрагирующих +1 и -1 порядками на КСГ волновых фронтов и регистрацию аберраций в виде точек в соответствующих ячейках матричных фотодетекторов. Схема содержит световодную плоскопараллельную пластину и дифракционный оптический элемент, расположенный на ее поверхности для ввода анализируемого оптического излучения в пластину с условием его полного внутреннего отражения внутри пластины. Матричные фотодетекторы расположены снаружи пластины с плоскостями приема параллельно и напротив соответствующих КСГ, записанных на поверхности пластины вдоль хода распространения оптического излучения внутри пластины. Технический результат - отсутствие максимума нулевого порядка дифракции в плоскости фотоприемников, потенциально лучшее распознавание аберраций и сниженное энергопотребление схемы. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.
Description
Область техники
Предлагаемое устройство относится к области измерительных оптических систем и может применяться в системах контроля качества и других областях оптической промышленности.
Уровень техники
Основная идея всех методов измерения аберраций/фазовых искажений оптического излучения заключается в осуществлении такого преобразования исходного волнового поля, в результате которого будет сформировано волновое поле, пространственное распределение интенсивности которого определяется фазовой функцией исходного поля.
На сегодняшний день для регистрации фазового фронта, как сечения волнового поля, чаще всего используются интерферометрические устройства, использующие когерентное сложение волн. Другой широко распространенный класс фазометрических устройств -датчики Гартмана, позволяющие измерять локальный наклон волнового фронта на основе принципов геометрической оптики.
При этом следует учесть, что большинство источников оптического излучения являются некогерентными или частично когерентными. Представляет интерес задача измерения параметров некогерентного волнового поля. Единственным из фазометрических методов, пригодным для работы с некогерентными волновыми полями, является метод Гартмана и его реализации в датчиках Шака-Гартмана и сканирующих датчиках Гартмана. Однако все эти устройства позволяют только измерять наклон фазового фронта оптического излучения. В общем случае такое измерение светового поля не является достаточно полным. Поэтому до сих пор актуальна задача разработки альтернативных методов и устройств измерения аберраций/фазовых искажений световых волновых полей произвольного волнового поля видимого оптического диапазона.
Основная идея предлагаемой полезной модели - разработка реализации оптической схемы устройства для решения задачи анализа световых оптических полей, содержащих произвольные аберрации/фазовых искажений падающего волнового фронта, посредством их разложения по некоторому ортогональному базису. Предлагаемый вариант такого решения - это устройство, анализирующее с помощью фазовых синтезированных голограмм лазерные пучки светового поля на основе его разложения по базису ортогональных круговых полиномов Цернике (Zernike).
В ходе патентно-информационного поиска были отобраны по решаемой задаче (предназначению) несколько потенциальных аналогов предлагаемого устройства.
В патенте США US6911637 (В1) (МПК G01J 9/00; G02B 26/06; (IPC 1-7): G01J 1/20, опубликовано 2005-06-28) WAVEFRONT PHASE SENSORS USING OPTICALLY OR ELECTRICALLY CONTROLLED PHASE SPATIAL LIGHT MODULATORS представлена система для анализа и управления оптическим волновым фронтом на основе метода фазовой контрастной фурье-фильтрации с использованием оптического или электронно-управляемого фазового пространственного модулятора света. Использование таких модуляторов обеспечивает значительное улучшение производительности, включая значительно уменьшенную чувствительность к смещениям и наклонам измеряемого волнового фронта.
Недостатком устройства в данном изобретении является низкая дифракционная эффективность электронно-управляемых фазовых пространственных модуляторов света, что приводит к большим потерям энергии в оптической системе.
В китайском патенте CN 104111161 (В) (МПК G01M 11/02; G03F 7/20, опубликовано 2017-02-08) WAVE ABERRATION MEASURING DEVICE предлагается устройство измерения аберраций волнового фронта проекционного фотолитографического устройства с использованием специальной тестовой маски, не содержащая нулевого порядка дифракции, увеличив тем самым интенсивность дифрагированного света в +1 и -1 порядках, что позволит уменьшить требования к фотоприемному устройству и повысит контраст интерференционных полос, тем самым повысив точность измерения волнового фронта.
Недостатком устройства в данном изобретении также является низкая энергетическая эффективность оптической системы из-за использования специальной метки, что приводит к большим потерям энергии в оптической системе, кроме того, данная система с указанной маской работает под одну длину волны оптического поля.
В российском патенте RU 2534435 (МПК G02B 27/44; G02B 5/18, опубликовано 2014-11-27) ЭТАЛОННЫЙ ДИФРАКЦИОННЫЙ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ (ВАРИАНТЫ) используется при изготовлении высокоточных дифракционных оптических элементов (ДОЭ), таких как корректоры волнового фронта (аберраций) и дифракционные эталонные линзы для контроля качества оптических поверхностей интерферометрическим методом с использованием интерферометров Физо. ДОЭ состоит из клинообразной оптической пластины с поверхностным слоем, содержащим дифракционную структуру, выполненную в виде набора зон. ДОЭ является амплитудной и/или фазовой (рельефной) дифракционной структурой выполненной в поверхностном слое оптической подложки. Дифракционная структура ДОЭ рассчитывается с помощью компьютера (как компьютерно-синтезированная голограмма) и изготавливается методами прецизионной лазерной или электронно-лучевой литографии и реактивно-ионного травления. Недостатком ДОЭ-аналогов является отсутствие возможности формирования измерительного сферического и/или асферического волнового фронта на выходе и плоского опорного волнового фронта на отражение. Перед авторами ставилась задача разработать устройство - эталонный дифракционный оптический элемент (ДОЭ), способный формировать эталонный сферический и/или асферический измерительный волновой фронт на выходе и плоский опорный волновой фронт на отражение, а также больший световой диаметр измерительного волнового фронта, равный входному. Измерительный волновой фронт должен служить эталоном для проверки сферических и/или асферических оптических поверхностей интерферометрическим методом. Устройство должно иметь малые габариты и вес.
Недостатком устройства в данном изобретении является его относительная сложность и контроль качества оптических поверхностей интерферометрическим методом.
В китайском патенте CN 103983366 (В) (МПК G01J 9/02, опубликовано 2017-03-15) OBLIQUE INCIDENCE AND REFLECTION TYPE POINT DIFFRACTION PLATE AND INTERFERENCE MEASURING METHOD THEREOF задача возможно более близкого аналога к предлагаемой полезной модели аналогичная - измерение аберраций/фазовых искажений падающего волнового фронта с использованием плоскопараллельной оптически прозрачной пластины, но в китайском патенте это делают с помощью наклонной пластины со сложными диэлектрическими, отражающими покрытиями и специфическим овальным отверстием для формирования интерференционной картины в плоскости фотодетектора (CCD-камеры), по которой и восстанавливается в специальной компьютерной программе волновой фронт и его фазовые искажения (аберрации).
Недостатками устройства в данном патенте являются:
1. CCD-камера будет регистрировать не только интерференционную картину, но и отражение от пластины, причем отраженный пучок может быть достаточно интенсивным, что будет мешать распознаванию интерференции на его фоне;
2. Из-за прохождения излучения через овальное (эллиптическое) отверстие контраст интерференционной картины будет минимальным;
3. Невысокое быстродействие работы устройства и метода из-за необходимости восстановления в специальной компьютерной программе волнового фронта с его фазовыми искажениями (аберрациями).
Наиболее близким аналогом может быть признана оптическая схема голографического датчика волнового фронта (ДВФ), описанная в патенте США US7268937 (МПК G02B 5/32, опубликовано 2007-09-11), включающая компьютерно-синтезированные голограммы (КСГ), «закодированные» определенными аберрациями волнового фронта на основе мод ортогональных круговых полиномов Цернике, для последующего выделения указанных возможных аберраций дифрагирующих +1 и -1 порядками на КСГ волновых фронтов оптического излучения и регистрации наличия этих аберраций в виде точек в соответствующих ячейках одного или нескольких регистрирующих матричных фотодетекторов.
Недостатком этого аналога является наличие в данной схеме регистрации аберраций нулевого порядка дифракции, что ухудшает распознавание аберраций из-за большой разницы по энергетике.
Раскрытие полезной модели
Техническим результатом предлагаемой полезной модели являются отсутствие максимума нулевого порядка дифракции в плоскости фотоприемников, потенциально лучшее распознавание аберраций и сниженное энергопотребление схемы.
Указанный технический результат достигается в разработанной оптической схеме анализатора волнового поля оптического излучения для регистрации и анализа аберраций плоского волнового фронта видимого диапазона, включающей компьютерно-синтезированные голограммы (КСГ), «закодированные» определенными аберрациями волнового фронта на основе мод ортогональных круговых полиномов Цернике, для последующего выделения указанных возможных аберраций дифрагирующих +1 и -1 порядками на КСГ волновых фронтов оптического излучения и регистрации наличия этих аберраций в виде точек в соответствующих ячейках одного или нескольких регистрирующих матричных фотодетекторов. При этом реализация оптической схемы выполнена на основе световодной плоскопараллельной пластины и дифракционного оптического элемента, расположенного на поверхности пластины и осуществляющего функцию ввода анализируемого оптического излучения в пластину с условием его полного внутреннего отражения при распространении внутри пластины. Матричные фотодетекторы в виде матричных фотоприемников расположены снаружи пластины с плоскостями приема параллельно и напротив соответствующих КСГ, записанных на поверхности пластины вдоль хода распространения анализируемого оптического излучения внутри указанной пластины.
Число разных типов КСГ соответствует числу анализируемых мод разложения оптического излучения по базису ортогональных круговых полиномов Цернике.
Все устройство схемы установлено в едином общем светозащищающем корпусе.
Перечень фигур
Фиг. 1 - конструктивная оптическая схема предлагаемого устройства;
Фиг. 2 - представления аберраций/фазовых искажений на фотоприемном устройстве;
Фиг. 3 - ход дифрагирующих на КСГ лучей волнового фронта порядков +1, -1 (аберрации наружу пластины) и 0 (излучение внутри пластины).
Осуществление полезной модели
Заявляемое решение основано на использовании усовершенствованной схемы анализатора с компьютерно-синтезированными голограммами, дифракционным оптическим элементом и фотоприемным устройством, формирующего голографическое изображение аберраций контролируемого волнового поля оптического излучения. Это происходит благодаря способности голограмм восстанавливать реальные волновые фронты, наблюдение которых не противоречит естественному наблюдению реальных объектов.
Согласно заявляемому устройству световодная пластина представляет собой оптическую среду для переноса светового излучения и выполнена в виде плоскопараллельной пластины, указанная пластина выполнена из оптически прозрачного материала с более высоким показателем преломления, чем окружающая среда, и предназначена для передачи оптического излучения на основе явления полного внутреннего отражения, кроме того в устройстве дифракционный оптический элемент предназначен для ввода в световод излучения, поступающего от источника когерентного или некогерентного излучения и без преобразования формы направляющего волновой фронт внутри световода с целью однородного освещения компьютерно-синтезированных голограмм с целью их восстановления на фотоприемнике(-ах).
На фиг. 1 и 2 обозначены номерами позиций следующие элементы предлагаемого устройства (прим.: общий светозащищающий корпус всего устройства на фигурах не показан): 1 - анализируемый волновой фронт видимого диапазона; 2 - дифракционный оптический элемент; 3 - световодная пластина; 4 - компьютерно-синтезированные голограммы; 5, 6 - восстановленные сходящиеся волны, которые характеризуют наличие той или иной аберрации волнового фронта; 7 - фотоприемник(-и); 8 - положение на фотоприемнике положительной (+1) аберрации; 9 - положение на фотоприемнике отрицательной (-1) аберрации.
На фиг. 1 представлена конструктивная оптическая схема устройства, позволяющего выявить наличие аберраций в исследуемом волновом фронте и оценить их величину. В этом устройстве исследуемый световой пучок направляют на дифракционный оптический элемент, с помощью которого этот пучок вводится в световодную пластину так, чтобы угол падения пучка на поверхность световодной пластины был больше угла полного внутреннего отражения. В результате исследуемый пучок света распространяется вдоль световодной пластины, отражаясь попеременно от двух ее поверхностей, как показано на фиг. 1. На участке поверхности пластины, на котором происходит отражение светового пучка, получена компьютерно-синтезированная голограмма, у которой в качестве опорной световой волны используется одна из мод Цернике, а в качестве объектной - сходящаяся в точку волна со сферическим волновым фронтом. Если эта мода присутствует в разложении амплитудно-фазового распределения исследуемой волны по полиномам Цернике, то в результате дифракции восстанавливается записанная на голограмму объектная волна, яркость которой пропорциональна удельному весу записанной на голограмму моды Цернике в разложении амплитудно-фазового распределения исследуемой волны. Наилучшее качество фокусировки восстановленной волны достигается, если амплитуда аберрации данного полинома Цернике в записанной голограмме равна этой же величине в разложении исследуемого волнового фронта.
На световодной пластине предварительно записан набор синтезированных голограмм, соответствующих разным типам (до 15 типов) аберраций: дефокусировки, комы, астигматизма, сферической аберрации и т.д. Отдельные типы аберраций влияют на качество изображения совершенно независимо друг от друга.
Компьютерно-синтезированная голограмма представляют собой распределение интенсивности от двух волн - опорной (искаженной - В(х,y)) и предметной (O(х,y)):
где O(x,y) - объектная волна, B(x,y) - опорная волна, знак * означает комплексно-сопряженную величину, 
- комплексная амплитуда объектной волны с вещественной амплитудой ⎢O(x,y)⎢ и фазой 
- означает аналогичным образом комплексную амплитуду опорной волны.
Объектная волна представляет собой излучение точечного источника, положение этого источника задается при кодировании. Таким образом при подсвете голограммы искаженной волной, восстановится изображение предмета - точки. По его положению можно судить о наличии аберрации в анализаторе волнового поля.
Исходная объектная волна (изображение точки на фотоприемном устройстве) восстанавливается путем освещения голограммы опорной волной В(х,y). Для восстановления изображения умножим записанную голограмму, т.е. интенсивность интерференционной картины I(х,y) на значение поля опорной волны В(х,y):
Первое слагаемое в правой части уравнения (1) пропорционально значению В(х,y) опорной волны, второе слагаемое описывает пространственно изменяющееся «облако» вокруг первого порядка дифракции. Вместе они составляют нулевой порядок дифракции или фоновую составляющую. Третье слагаемое с точностью до известного множителя ⎢B(x,y)⎢2 представляет собой точную копию исходного поля O(х,у) и поэтому называется мнимым изображением (или просто изображением) объекта. Четвертое слагаемое относится к еще одному изображению объекта, изображению-двойнику, которое называется действительным изображением. Итоговая КСГ будет представлять собой сумму рассчитанных единичных голограмм:
В результате работы единичных в составе КСГ, записанных на световодной пластине, в фотоприемнике 7, как показано на фиг. 2, регистрируется в ячейках фотоприемника в виде точек геометрическое положение либо положительной (+1) аберрации 8, либо отрицательной (-1) аберрации 9.
Чтобы повысить точность и чувствительность этой регистрации, используется формирование голографического мультиплекса из пары интерферограмм, на одной из которых сложены пучок с искажением амплитуды A1=А и сферический пучок, сходящийся в заданной точке М, а на второй - аналогичный пучок с искажением амплитуды А2=-А и сферический пучок, сходящийся в точке N, отстоящей от точки М на некоторое расстояние в плоскости, перпендикулярной направлению распространения пучков.
Технология получения синтезированных голограмм может быть основана на использовании пространственных модуляторов света (ПМС) LC 2012 или PLUTO-2, у которых соответственно размер ячейки 36 мкм и 8 мкм, что в свою очередь и определяет размер голограммы. А в свою очередь рассчитанные голограммы определяют размер световодной пластины и дифракционного оптического элемента, т.е.:
- при погрешности измерения волнового фронта (ВФ) λ и 0,1λ целесообразно использовать наложенные/мультиплексные голограммы (до 15), т.е. размеры световодной пластины будет 10 мм (определяется расчетом, т.е. 9,2 мм) на 20 мм (к 9,2 мм добавляем 10 мм для установки дифракционного оптического элементы);
- при погрешности измерения ВФ 0,01λ, целесообразно использовать наложенные голограммы (до 4), чтобы не снижать дифракционную эффективность, т.е. необходимо использование 4 наложенных голограмм, т.е. 4×6,1=24,5 мм. Т.е. размеры световодной пластины будут 35 мм;
- в соответствии с вышеуказанным положение фотоприемного устройства будет определяться следующим:
Расстояние в 10 мм обеспечит устойчивое считывание положения изображения аберраций в плоскости ФПУ.
Технология получения синтезированных голограмм может быть основана на лазерной литографии, где разрешение определяется 1,5 мкм, т.е. достаточным будет использование одиночных голограмм (15 шт. ), не наложенных, чтобы обеспечить минимальные массогабаритные параметры анализатора. Размер области с синтезированными голограммами 1,2 мм × 15=18 мм + 10 мм (размер ДОЭ) = 28 мм.
Экспериментальный образец устройства имеет также следующие параметры:
1) спектральный диапазон - от 400 до 700 нм;
2) погрешность измерений ВФ согласно таблице и это в основном и определяет габариты системы, а именно:
Данная полезная модель разработана в рамках выполнения темы «Разработка технологии и создание голографического микродатчика волнового фронта с функцией коррекции фазовых искажений в системах фотоники» по соглашению №14.577.21.0258 между МГТУ им. Н.Э. Баумана и Министерством образования и науки Российской Федерации в рамках ФЦП «Исследования и разработки по приоритетным направлениям развития научно-технологического комплекса России на 2014-2020 годы».
Claims (3)
1. Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения для регистрации и анализа аберраций плоского волнового фронта видимого диапазона, включающая компьютерно-синтезированные голограммы (КСГ), «закодированные» определенными аберрациями волнового фронта на основе мод ортогональных круговых полиномов Цернике, для последующего выделения указанных возможных аберраций дифрагирующих +1 и -1 порядками на КСГ волновых фронтов оптического излучения и регистрации наличия этих аберраций в виде точек в соответствующих ячейках одного или нескольких регистрирующих матричных фотодетекторов, отличающаяся тем, что реализация оптической схемы выполнена на основе световодной плоскопараллельной пластины и дифракционного оптического элемента, расположенного на поверхности пластины и осуществляющего функцию ввода анализируемого оптического излучения в пластину с условием его полного внутреннего отражения при распространении внутри пластины, матричные фотодетекторы в виде матричных фотоприемников расположены снаружи пластины с плоскостями приема параллельно и напротив соответствующих КСГ, записанных на поверхности пластины вдоль хода распространения анализируемого оптического излучения внутри указанной пластины.
2. Оптическая схема по п. 1, отличающаяся тем, что число разных типов КСГ соответствует числу анализируемых мод разложения оптического излучения по базису ортогональных круговых полиномов Цернике.
3. Оптическая схема по п. 1, отличающаяся тем, что все устройство схемы установлено в едином общем светозащищающем корпусе.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017146786U RU178706U1 (ru) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения на основе световодной пластины с синтезированными голограммами |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2017146786U RU178706U1 (ru) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения на основе световодной пластины с синтезированными голограммами |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU178706U1 true RU178706U1 (ru) | 2018-04-17 |
Family
ID=61974929
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2017146786U RU178706U1 (ru) | 2017-12-28 | 2017-12-28 | Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения на основе световодной пластины с синтезированными голограммами |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| RU (1) | RU178706U1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU184830U1 (ru) * | 2018-07-31 | 2018-11-12 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) | Оптическая схема измерителя фазовых искажений оптических волновых полей на основе световодной пластины и пространственного модулятора света |
| RU2746169C1 (ru) * | 2020-09-02 | 2021-04-08 | Вячеслав Васильевич Орлов | Способ измерения мод волнового фронта световой волны голографическим модовым датчиком волнового фронта и устройство для осуществления способа |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6653613B1 (en) * | 1997-09-24 | 2003-11-25 | Imagine Optic | Method and device for wavefront optical analysis |
| US20050122473A1 (en) * | 2003-11-24 | 2005-06-09 | Curatu Eugene O. | Method and apparatus for aberroscope calibration and discrete compensation |
| US7268937B1 (en) * | 2005-05-27 | 2007-09-11 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Holographic wavefront sensor |
| JP2010061718A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | ホログラム再生装置 |
| CN103983366A (zh) * | 2014-05-30 | 2014-08-13 | 南京理工大学 | 斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法 |
-
2017
- 2017-12-28 RU RU2017146786U patent/RU178706U1/ru not_active IP Right Cessation
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6653613B1 (en) * | 1997-09-24 | 2003-11-25 | Imagine Optic | Method and device for wavefront optical analysis |
| US20050122473A1 (en) * | 2003-11-24 | 2005-06-09 | Curatu Eugene O. | Method and apparatus for aberroscope calibration and discrete compensation |
| US7268937B1 (en) * | 2005-05-27 | 2007-09-11 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Holographic wavefront sensor |
| JP2010061718A (ja) * | 2008-09-02 | 2010-03-18 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | ホログラム再生装置 |
| CN103983366A (zh) * | 2014-05-30 | 2014-08-13 | 南京理工大学 | 斜入射反射型点衍射板及其干涉测量方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU184830U1 (ru) * | 2018-07-31 | 2018-11-12 | федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)" (МГТУ им. Н.Э. Баумана) | Оптическая схема измерителя фазовых искажений оптических волновых полей на основе световодной пластины и пространственного модулятора света |
| RU2746169C1 (ru) * | 2020-09-02 | 2021-04-08 | Вячеслав Васильевич Орлов | Способ измерения мод волнового фронта световой волны голографическим модовым датчиком волнового фронта и устройство для осуществления способа |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Sirohi | Introduction to optical metrology | |
| CN111751012B (zh) | 动态高分辨光学波前相位测量方法 | |
| RU178706U1 (ru) | Оптическая схема анализатора волнового поля оптического излучения на основе световодной пластины с синтезированными голограммами | |
| CN105352915A (zh) | 一种折射率二维分布的动态测量方法 | |
| Zhu et al. | 600-mm aperture simultaneous phase-shifting Fizeau interferometer | |
| Xu et al. | Enhanced multiple-plane phase retrieval using a transmission grating | |
| RU184830U1 (ru) | Оптическая схема измерителя фазовых искажений оптических волновых полей на основе световодной пластины и пространственного модулятора света | |
| But’ et al. | Improvement of accuracy of interferometric measurement of wedge angle of plates | |
| Almoro et al. | Object wave reconstruction by speckle illumination and phase retrieval | |
| CN103411687A (zh) | 基于三角数字全息测量空间相干性的系统与方法 | |
| CN105806493B (zh) | 基于空间相位调制的紧凑非等光程光纤点衍射干涉仪 | |
| RU184828U1 (ru) | Оптическая схема голографического датчика волнового фронта с управляемым фазовым модулятором | |
| Jayaswal et al. | Design and analysis of modified version of double aperture speckle interferometer consisting of holographic optical element: application to measurement of in plane displacement component | |
| RU2536764C1 (ru) | Способ интерференционной микроскопии | |
| Rana et al. | Automated collimation testing in Lau interferometry using phase shifting technique | |
| Doerband et al. | Characterizing lateral resolution of interferometers: the Height Transfer Function (HTF) | |
| CN203133474U (zh) | 投影物镜波像差在线检测装置 | |
| CN112504164A (zh) | 可动态测量平面光学元件面形的测量装置及方法 | |
| RU196631U1 (ru) | Двухкомпонентный голографический датчик волнового фронта с управляемым фазовым модулятором | |
| Krasin et al. | Development of the methods of holographic optics for wavefront control in photonic systems | |
| Patorski | Moiré methods in interferometry | |
| Arcidiacono | Beam divergence and vertex angle measurements for refractive pyramids | |
| RU188489U1 (ru) | Оптическая схема прецизионного интерференционного угломера | |
| Czarnek | Super high sensitivity moiré interferometry with optical multiplication | |
| Yang et al. | Phase recovery based on support constraint and random binary amplitude modulation ptychography principle |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PC91 | Official registration of the transfer of exclusive right (utility model) |
Effective date: 20180925 |
|
| MM9K | Utility model has become invalid (non-payment of fees) |
Effective date: 20191229 |