JP2004339226A - アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物および現像剤におけるその使用 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 構造
【化1】
(ここでrおよびtは1もしくは2、(n+m)は1〜30そして(p+q)は1〜30である)で表わされるアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物を、表面張力を低下させる量で配合してなる。フォトレジスト現像剤/エレクトロニクス洗浄用組成物における界面活性剤としてのこのような付加物使用は特に有利である。
さらに、トリアルキルアミンもしくはルイス酸の存在下にアセチレン列ジオールをEOおよび/またはPOと反応させることにより、アセチレン列ジオールのランダムおよびブロックEO/PO付加物を製造する方法も開示される。
【選択図】 なし
Description
多くの用途に関して、代わりの性質を有するアセチレン列ジオール誘導体を製造するのが望ましい。たとえば、優れた動的特性が要求される用途において、比較的高い臨界凝集濃度(溶解限度もしくは臨界ミセル濃度)を有する界面活性剤を有するのが望ましいことが多い。なぜなら、比較的高いバルク界面活性剤濃度は、比較的高い界面活性剤拡散フラックスを与え、新たに創り出される表面、そしてつづいて比較的低い動的表面張力をもたらすからである。
良好な動的特性および低発泡を要求する用途において、アセチレン列グリコールにもとづく表面活性剤は工業的に標準となった。下記の特許および論文は界面活性剤として種々のアセチレン列アルコールおよびそれらのエトキシレートを説明する:
米国特許第3,268,593号明細書(特許文献3)およびLeedsらのI&EC Product Research and Development 4,237頁(1965)(非特許文献5)は、構造式
で示される3級アセチレン列アルコールのエチレンオキシド付加物を開示する。具体的なエチレンオキシド付加物は、3−メチル−1−ノニン−3−オール、7,10−ジメチル−8−ヘキサデシン−7,10−ジオール、2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールおよび4,7−ジメチル−5−デシン−4,7−ジオールのエチレンオキシド付加物を含む。好適には、エチレン−オキシド付加物は3〜20単位に及ぶ。さらに、トリアルキルアミン触媒を用いてこの種類の物質を製造する方法が開示されている。
で示されるアセチレン列グリコールの3〜30モルエチレンオキシド(EO)付加物を開示する。このアセチレン列グリコールは、界面活性剤、分散剤、ノニオン性消泡剤および粘度安定剤として有用であると認識されている。
米国特許第5,650,543号明細書(特許文献5)は、式
、のエトキシ化アセチレン列グリコールを開示する。これらの界面活性剤は、高速使用ができる塗料およびインク組成物を配合する能力を付与するので注目に値する。
日本特許第2636954号(特許文献6)は、式
、のプロピレンオキシド付加物を開示する。これらの化合物はBF3 のようなルイス酸触媒の存在下にアセチレン列グリココールおよびプロピレンオキシドを反応させることにより製造される。アミン触媒はプロピレンオキシドのアセチレン列ジオールの付加に対して不活性であることが述べられている。そのプロピレンオキシド付加物は、防錆オイル、消泡剤、殺虫剤用展着剤および接着剤用の湿潤化剤のためのぬれ向上剤として有用であるといわれている。それらはオイル類のぬれを向上するために有効であり、改良された消泡能力を有する。
、のアセチレン列ジオールのプロピレンオキシド(PO)誘導体を含有する感熱記録紙のための染料もしくは現像剤分散体を示す。
特開平4−71894号公報(特許文献8)は、無色の電子供与性染料前駆体の分散体および現像剤の分散体を含有する被覆用溶液を示す。それらの少くとも1つは、少くとも60℃の融点を有する少くとも1つの種類のワックスを含有し、そして式
、のアセチレン列ジオールの少くとも1つのEOもしくはPO誘導体が混合および分散される。
、が添加される。
特開平9−150577号公報(特許文献10)は、感熱層に、ロイコ染料および式
、のアセチレン列グリコールのエトキシ化もしくはプロポキシ化物0.1〜1.0wt%を含有する感熱記録媒体を開示する。
特開平4−91168号公報(特許文献11)は、式
、の化合物で表面処理されたシリカを開示する。
特開平6−279081号公報(特許文献12)は、セメントモルタル−コンクリート硬化材料の製造方法を開示し、それにはアセチレン列アルコールもしくはジオールアルコキシレート0.5〜10wt%が、フッ素系界面活性剤および/またはケイ素系界面活性剤とともに添加されている。そのアセチレン列物質は式
で表わされうる。
特開平3−63187号公報(特許文献13)は、オフセット印刷のための濃縮された水性貯蔵溶液(fountain solution)組成物におけるアセチレン列グリコールエチレンオキシドおよび/またはプロピレンオキシド付加生成物を使用することを開示する。1つの例において、3,5−ジメチル−4−オクチン−3,5−ジオールのエチレンオキシド8〜12モル/プロピレンオキシド1〜2モル付加物が貯蔵溶液に使用される。他の例はアセチレン列ジオールのエチレンオキシドのみの誘導体の使用を示す。
フォトレジスト現像剤組成物における界面活性剤の使用は少くとも20年間知られている。
米国特許第5,756,267号明細書(特許文献17)は、液晶ディスプレイの製造において有用な現像剤溶液を開示する。これらの溶液は、水、TMAHのような四級アンモニウム塩基、四級アンモニウム塩界面活性剤、アルカノールアミンおよび067特許に開示されるのと同一であるアセチレン列アルコールにもとづく界面活性剤を含有する。
、の水にもとづく組成物に対する界面活性剤として作用するアルコキシ化アセチレン列ジオールを提供する。EOおよびPO単位は、EOおよびPOのブロックのアルキレンオキシド鎖に沿って、もしくはランダムに分布されうる。
さらに、表面を水にもとづく組成物で部分的にもしくは全部被覆するために、水にもとづく無機もしくは有機化合物含有組成物の塗料を表面に塗布する方法が提供され、その組成物は、その水にもとづく組成物の動的表面張力を低下させるために、上記構造のアルコキシ化アセチレン列ジオール化合物を有効量含有する。
・水性組成物を配合する能力であり、その組成物は種々の基質に付着させ得、汚染された低エネルギー表面を含む基質表面に優れたぬれを与える;
・オレンジピールおよび流動/水平化のような欠陥のような、被覆もしくは印刷の欠陥を減少させる能力;
・低い揮発性有機含量を有する水性塗料、貯蔵溶液およびインク配合する能力であり、これらのアルコキシ化アセチレン列ジオール界面活性剤を環境上好ましくする;
・高速塗布できる塗料、貯蔵液およびインク組成物を配合する能力;
・水にもとづく組成物の気泡形成特性を制御する能力;
・良好なぬれと非常に低い気泡を有する、半導体製造用の低表面張力の、水性エレクトロニクス洗浄および処理用溶液(フォトレジスト現像溶液を含む)を配合する能力;ならびに
・アセチレン列ジオールエトキシレートを製造するのに用いられるのと同様の化学的方法を用いるクラスのいくつかのメンバーを製造する能力。
EOおよびPO単位がそれぞれ分かれている生成物はブロックアルコキシ化誘導体といわれる。EOおよびPO単位がランダムに重合体鎖にそって分布している生成物は「ランダム」アルコキシ化誘導体といわれる。ランダム誘導体は式Bで表わされうる。
構造Aのブロック組成物は、適切な触媒の存在下に2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールもしくは2,5,8,11−テトラメチル−6−ドデシン−5,8−ジオールを、エチレンオキシド、ついでプロピレンオキシドの必要量と反応させることにより製造されうる。適切な触媒は、トリアルキルアミンおよびルイス酸、特にBF3 を含む。あるいは、組成物は、適切な触媒の存在下に、予め生成したアセチレン列ジオールエトキシレートをプロピレンオキシドと反応させることによって製造されうる。この予め生成したアセチレン列ジオールエトキシレートの場合には、もし添加されるエチレンオキシドの量が3級アルコール官能基の本質的にすべてにわたるのに十分であれば、プロピレンオキシドとの反応に作用するためにKOHもしくは他のアルカリ触媒を用いることが可能である。
アルコキシ化アセチレン列ジオールは、有機化合物を含む水に基づく組成物、特に重合体レジン、マクロ分子、有機塩基、除草剤、殺菌剤、もしくは植物生長調節剤のような有機化合物を含有する水性塗料、インク、貯蔵液溶液、農業用およびエレクトロニクス用処理組成物における平衡および動的表面張力を低下させるのに有用である。アルコキシ化アセチレン列ジオールは、23℃の水中で0.5%以下の濃度で35dynes/cm より小さい動的表面張力、ならびに最大気泡圧力法による1気泡/秒、を示すのが望ましい。表面張力を測定する最大気泡圧力法は、Langmuir2,428〜432頁(1986)に記載されており、引用により組入れられる。
アルコキシ化アセチレン列ジオールは、水性組成物における使用に適する。組成物は、鉱石もしくは顔料である無機化合物、または顔料、付加、縮合およびビニルモノマーのような重合性モノマー、オリゴマーレジン、重合体レジン、アラビアゴムおよびカルボキシメチルセルロースのようなマクロ分子、洗剤、苛性洗浄剤、水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)のような溶解剤、除草剤、殺かび材、殺虫剤もしくは植物生長調節剤を含む。
本発明のアルコキシ化アセチレン列ジオール界面活性剤が添加されうる、典型的な水にもとづく保護もしくは装飾用有機塗料組成物は、次の成分の塗料組成物30〜80wt%を水性媒体中に含む:
水にもとづく有機塗料組成物
0〜50wt% 顔料分散剤/粉砕レジン
0〜80wt% 着色顔料/体質顔料/さび止め顔料/他の顔料
5〜99.9wt% 水性/水分散性/水溶性レジン
0〜30wt% すべり添加剤/殺菌剤/処理助剤/泡消し剤
0〜50wt% 集合(coalescing)もしくは他の溶媒
0.01〜10wt% 界面活性剤/湿潤剤/流動および水平化剤
0.01〜5wt% アセチレン列ジオールEO/PO誘導体
本発明のアルコキシ化アセチレン列ジオール界面活性剤が添加されうる典型的な、水にもとづくインク組成物は、次の成分20〜60wt%を水性媒体中に含む:
水にもとづくインク組成物
1〜50wt% 顔料
0〜50wt% 顔料分散剤/粉砕レジン
0〜50wt% 適切なレジン溶液ベクヒル中のクレー基剤
5〜99.9wt% 水性/水分散性/水溶性レジン
0〜30wt% 集合溶媒
0.01〜10wt% 界面活性剤/湿潤剤
0.01〜10wt% 処理助剤/脱泡剤/可溶化剤
0.01〜5wt% アセチレン列ジオールEO/PO誘導体
本発明のアルコキシ化アセチレン列ジオール界面活性剤が添加されうる典型的な、水にもとづく農業用組成物は、次の成分を0.1〜80wt%水性媒体中に含む。
0.1〜50wt% 殺虫剤、除草剤もしくは植物生長調節剤
0.01〜10wt% 界面活性剤
0〜5wt% 染料
0〜20wt% 増粘剤/可溶化剤/共界面活性剤/ゲル阻害剤/泡消し剤
0〜25wt% 凍結防止剤
0.01〜50wt% アルコキシ化アセチレン列ジオールEO/PO誘導体
本発明のアルコキシ化したアセチレン列ジオールが添加されうる、平版印刷のための典型的な水にもとづく貯蔵液組成物は、次の成分を30〜70wt%水性媒体中に含む。
0.05〜30wt% フィルムを形成しうる、水溶性高分子
1〜25wt% 2〜12の炭素原子を有するアルコール、グリコールもしく はポリオール(水溶性もしくは水溶性にされうる)
0.01〜20wt% 水溶性有機酸、無機酸、もしくはその塩
0.01〜5wt% アルコキシ化アセチレン列ジオールEO/PO誘導体
界面活性剤としてアセチレン列ジオールEO/PO付加物の使用が特に有利である、他の組成物は、半導体産産で使用されるフォトレジスト用現像剤である。このような現像剤およびその使用は、この分野で周知であり、詳細に説明する必要がない。実際に、本発明の開示の背景部分で指摘されるように、そのように配合におけるエトキシ化アセチレン列ジオール付加物の使用は公知であり、よく文献で裏づけられる。本発明により提供される改良は、予見され得なかったが、あるプロポキシ基をも含む、あるアセチレン列ジオール付加物のこれらの現像剤組成物における使用を含む。
水にもとづくフォトレジスト現像剤組成物
0.1〜3wt% テトラメチルアンモニウム水酸化物
0〜4wt% フェノール化合物
10〜10,000ppm アルコキシ化アセチレン列ジオールEO/PO誘導体
簡単にいえば、集積回路の製造法は、シリコンウェハのような適切な基板にフォトレジスト組成物の膜の使用をすることを含み、ついで基板は、フォトレジスト膜に形成された設計パターンで、光活性の放射に露光する。フォトレジストがポジ型もしくはネガ型かに依存して、放射は次に適用される現像剤溶液におけるその溶解度を増大もしくは減少させる。したがって、ポジ型のフォトレジストにおいて、放射からマスキングされた領域は現像後に残り、一方露光された領域は溶解除去される。ネガ型のフォトレジストでは、その反対が生じる。本発明の界面活性剤は、どちらの型のフォトレジストのための現像剤にも使用されうる。現像剤の性格は、形成される回路の品質を決定するのに非常に重要であり、現像の精密な制御は必須である。現像剤によりさらに良好な界面ぬれを得ることは、溶液の表面張力を減少させるために、配合物に界面活性剤を添加するのは一般的であった。しかし、この添加は、回路欠陥に導く泡を現像剤に生じさせうる。この泡立ちの問題も、この分野で認識され、産業において、かなりの注意がその溶液にも向けられた。
この実施例は、トリアルキルアミン触媒を用いるときに、アセチレン列ジオールエトキシレートの2モルのプロポキシレートが高選択率で製造されうることを示す。この実施例において、2,4,7,9−テトラメチル−4−デシン−4,7−ジオールの10モルエトキシレートであるSurfynol(登録商標)465の7モルのプロポキシレートの製造が試みられた。
実施例2〜5
実施例3は、トリメチルアミン触媒および予め形成されたエトキシレートを用いてプロピレンオキシド2モルでおおわれた2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールの3.5モルエトキシレートの製造を示す。2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールの3.5モルエトキシレートは、Air Products and Chemicals,Inc.から商業的に入手し得、Surfynol(登録商標)440界面活性剤として上市されている。
日本特許第2636954号は、アミンはプロピレンオキシドの付加に不活性であると述べているので、トリメチルアミンが2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールEO/PO誘導体の製造のための有効な触媒であることは予測されないであろう。
これらの実施例は、BF3触媒を用いる、2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオール(S104という)および2,5,8,11−テトラメチル−6−デシン−5,8−ジオール(S124という)の製造を示す。我々が知る限り、BF3のようなルイス酸を用いるアセチレン列ジオールのエチレンオキシド/プロピレンオキシド誘導体の製造方法は従来開示されていない。その方法は、2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオール(S104)の5モルエチレンオキシドおよび2モルプロピレンオキシド付加物の製造を示し、そこではEOおよびPO単位はアルキレンオキシド鎖に沿ってランダムに位置される。
比較例25
動的表面張力データは最大気泡圧力法を用いて、実施例22(S82/10EO/2PO/B)組成物の水性溶液について得られた。この物質は,日本特許第3063187号に開示されており、水性貯蔵溶液組成物における成分として教示されている。表面張力は0.1気泡/秒(b/s)〜20b/sの気泡速度で測定された。そのデータは表3に示される。
実施例26
2,4,7,9−テトラメチルー5−デシンー4,7−ジオールの10モルEO/2モルPOブロック誘導体(実施例5)の蒸留水溶液が調製され、そして動的表面張力特性が、上述の方法を用いて測定された。そのデータは表4に示される。
比較例27〜31
2,4,7,9−テトラメチルー5−デシンー4,7―ジオールの1.3,3.5,5.1および10モルエトキシレートの蒸留水溶液が調製された。1.3,3.5および10モルエトキシレートは、それぞれ、Surfynol(登録商標)420,440および465界面活性剤として、Air Products and Chemicals,Inc.より上市されている。それらの動的表面張力は上述の方法を用いて測定され、これらのデータは表5に示される量を決定するのに用いられた。
表面張力および気泡データが、2,4,7,9−テトラメチルー5−デシンー4,7−ジオールにもとづく実施例1〜4の界面活性剤について同様な方法で得られた。データは表6に示される。
実施例37〜52
実施例37〜52の物質の蒸留水溶液が調製され、これらの表面張力および気泡性能が上述の実施例のように評価された。結果は表7に示される。
実施例53
2,4,7,9−テトラメチルー5−デシンー4,7−ジオールが、トリメチルアミン触媒および実施例2〜5の方法と同様な方法を用いて5.1モルエトキシレートを製造するためにエトキシ化された。小さな試料が回収され、十分なプロピレンオキシドが0.4モルプロキシレートを製造するために添加された。再び試料が回収された。同様に、比較的多くのプロピレンオキシドが、0.9および1.4モルプロピレンオキシド付加物を製造するために添加された。別の実験で、5.1モルエトキシレートの2.0モルプロポキシレートが調製された。
実施例54
(a)ノボラック型クレゾール/ホルムアルデヒド樹脂およびジアゾナフトキノン(DNQ)感光剤(SPR510A,Shipley)が製造者の指示に従って膜厚約1μmで4インチシリコンウェハに被覆された。ついで、レジストの異なる領域が、開口の下にウェハを置き、シャッタを操作することにより種々の強度レベルで365nm(水銀i−線)を中心とするUV放射にさらされた。得られる露光ウェハは、現像剤の表面張力を42dynes/cm に低下させるために十分なPO末端アセチレン列アルコール誘導体(実施例4付加物)を含有する0.262M水酸化テトラメチルアンモニウム(TMAH)のパドル中で現像された(60秒)。ついで、ウェハの種々の部分は、Filmetrics F20 薄膜測定システム(San Diego,CA)を用いて膜厚を試験され、その結果は露光及び現像前の膜厚と比較された。標準化膜厚は無次元の比であり、露光前の膜厚を現像後の膜厚で割って計算された。その結果は表9、実施例54(a)に示される。
0.262MのTMAH溶液における表面張力の減少において、実施例4の付加物の有効性について従来技術のエトキシ化付加物と比較された。表10のデータからわかるように、有意に比較的多量の従来技術エトキシ化付加物が、エトキシ化およびプロポキシ化されており、1分子に5.1モルEOおよび2.0モルPOを含有する実施例4の付加物に匹敵する表面張力を得るのに要求された。従来技術の付加物は、比較例29,30および31について表5に示されたものであり、それぞれ1分子にEO3.5、5.1および10モルを含有していた。
気泡試験は、界面活性剤として実施例4のEO/PO付加物および実施例31のEO付加物、ならびに界面活性剤を含有する6つの市販現像剤溶液を配合されたTMAH現像剤溶液においてなされた。データは気泡発生装置を用いて集められ、それにより窒素ガスはフリットを通過し、50mL/分で100mLの溶液を泡立たせた。受領したまま使用された市販現像液を除いて、すべての溶液は、表面張力を41〜43dyne/cmに低下させるのに十分な界面活性剤とともに水中に2.4wt%TMAHを含んでいた。結果は表11に示される。
実施例57
さらなる実験が、実施例4,29、および30の界面活性剤を含有するフォトレジスト現像剤の泡立ち傾向を試験するために行われた。これらの測定はRoss−Miles 法を用いてなされ、0.262NのTMAH溶液中で試験された。結果は表12に示される。
Claims (19)
- (n+m)が1.3〜15である請求項1記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物。
- (n+m)が1.3〜10である請求項2記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物。
- アセチレン列ジオール部分が2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールから誘導される請求項2記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物。
- アセチレン列ジオール部分が2,5,8,11−テトラメチル−6−ドデシン−5,8−ジオールから誘導される請求項2記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物。
- (n+m)が1.3〜10である請求項4記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物。
- (n+m)が1.3〜10である請求項5記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物。
- 2,4,7,9−テトラメチル−5−ドデシン−4,7−ジオールの5モルエトキシレート/2モルプロポキシレート付加物である請求項1記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物。
- 2つのプロピレンオキシド単位でキャップされるアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物の製造方法であり、触媒として有効量のトリアルキルアミンの存在下にアセチレンジオールエチレンオキシド付加物をプロピレンオキシドと反応させることを含み、そのアセチレン列ジオール部分は2,4,7,9−テトラメチル−5−デシン−4,7−ジオールもしくは2,5,8,11−テトラメチル−6−ドデシン−5,8−ジオールから誘導されることを特徴とするアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物の製造方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物を界面活性剤として含む水性フォトレジスト現像剤組成物。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物である界面活性剤を表面張力を低下させる量で含む水性現像剤溶液をフォトレジスト表面に付着させることを特徴とする放射に露光後のフォトレジストを現像する方法。
- 水中に次の成分、
水酸化テトラメチルアンモニウム0.1〜3wt%
フェノール性化合物0〜4wt%;および
請求項1〜8のいずれかに記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物10〜10,000ppm、
を含む水性エレクトロニクス洗浄組成物。 - 水にもとづく組成物を表面に付着させて、その表面を部分的に、もしくは全部被覆する方法であり、その組成物は無機もしくは有機化合物、ならびに組成物の動的表面張力を低下させるのに有効な量の界面活性剤、を含み、請求項1〜8のいずれかに記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物をその界面活性剤として使用することを特徴とする方法。
- アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物が、23℃の水中で0.5wt%以下の濃度で35 dynes/cmより小さい動的表面張力、ならびに最大−気泡−圧力法により付加物0.01〜1g/100mLで1気泡/秒を示す請求項13記載の方法。
- 鉱石もしくは顔料である無機化合物、または顔料、重合性モノマー、オリゴマーレジン、重合体レジン、洗剤、除草剤、殺虫剤、もしくは植物生長調節剤である有機化合物、ならびに組成物の動的表面張力を低下させるのに有効な量の、請求項1〜8のいずれかに記載のアセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物を水中に含む水性組成物。
- 次の成分30〜80wt%を含む水性有機塗料組成物であり、その成分は、
顔料分散剤、粉砕レジンもしくはそれらの混合物 0〜50wt%;
着色顔料、体質顔料、さび止め顔料、他の顔料もしくはそれらの混合物
0〜80wt%;
水性、水分散性もしくは水溶性レジンまたはそれらの混合物
5〜99.9wt%;
すべり添加剤、殺菌剤、処理助剤、泡消し剤もしくはそれら混合物
0〜30wt%;
集合もしくは他の溶媒 0〜50wt%;
界面活性剤、湿潤剤、流動および水平化剤、またはそれらの混合物
0.01〜10wt%;ならびに
アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物
0.01〜5wt%、
を含む請求項15記載の組成物。 - 次の成分20〜60wt%を含む水性インク組成物であり、その成分は、
顔料 1〜50wt%;
顔料分散剤、粉砕レジンもしくはそれらの混合物 0〜50wt%;
レジン溶液ベヒクル中のクレー基材 0〜50wt%;
水性、水分散性もしくは水溶性レジンまたはそれらの混合物 5〜99.9wt%;
集合溶媒 0〜30wt%;
処理助剤、泡消し剤、可溶化剤またはそれらの混合物 0.01〜10wt%;
界面活性剤、湿潤剤もしくはそれらの混合物 0.01〜10wt%;ならびに
アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物
0.01〜5wt%、
を含む請求項15記載の組成物。 - 次の成分0.1〜80wt%を含む水性農業用組成物であり、その成分は、
クロロフィル含有植物のための除草剤、殺虫剤、植物生長調節剤もしくはそれらの混合物 0.1〜50wt%;
染料 0〜5wt%;
増粘剤、可溶化剤、共界面活性剤、ゲル阻害剤、泡消し剤もしくはそれらの混合物
0〜20wt%;
凍結防止剤 0〜25wt%;
界面活性剤 0.01〜10wt%;ならびに
アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物
0.1〜50wt%、
を含む請求項15記載の組成物。 - 次の成分30〜70wt%を含む平板印刷のための水性貯蔵液組成物であり、その成分は、
フィルムを形成しうる水溶性高分子 0.05〜30wt%;
2〜12の炭素原子を有するアルコール、グリコールもしくはポリオール(水溶性もしくは水溶性にされうる) 1〜75wt%;
水溶性有機酸、無機酸もしくはその塩 0.01〜60wt%;ならびに
アセチレン列ジオールエチレンオキシド/プロピレンオキシド付加物
0.01〜50wt%、
を含む請求項15記載の組成物。
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