JP2004316711A - 歯車付クロスローラーベアリング及び該ベアリングを用いたテーブル装置 - Google Patents

Abstract

【課題】芯出し作業することなく、クロスローラーベアリングを組み込んだ装置のテーブル等の回転精度を向上させることができ、また該装置を小型にすることができるクロスローラーベアリングを提供する。
【解決手段】クロスローラーベアリングは、外輪１と、外輪１に対して相対的に回転可能な内輪２と、外輪１に形成された外輪側ローラー転走部１ａ、及び内輪２に形成された内輪側ローラー転走溝２ａとの間のローラー循環路３，３に、ローラー４ａ，４ｂ・・・の回転軸が交差するように収容された複数のローラー４ａ，４ｂ・・・とを備える。外輪１又は内輪２のいずれか一方には、歯車６が一体に形成される。
【選択図】 図１

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、内輪と外輪との間に複数のローラーを収容したクロスローラーベアリングに関する。
【０００２】
【従来の技術】
クロスローラーベアリングは、外輪に形成された９０°のＶ字形状のローラー転走部と、内輪に形成された９０°のＶ字形状のローラー転走部との間に、複数のローラーを収容して構成される。隣接するローラーの回転軸は、互いに直交するように収容されている。これによりクロスローラーベアリングは、１個のベアリングでラジアル荷重、アキシアル荷重及びモーメント荷重などのあらゆる方向の荷重を負荷することができる（特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】
特開２０００−１６１３６６号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
クロスローラーベアリングを組み込んで、例えば工業用ロボットの関節部、マシニングセンタの旋回テーブル、マニピュレータ回転部、精密テーブル装置、ＩＣ製造装置等を構成する場合、テーブル等の回転を案内するクロスローラーベアリングとは別に、テーブル等を駆動させるモータ等の駆動源、駆動源からの駆動力をテーブル等に伝達するための歯車が必要になる。
【０００５】
クロスローラーベアリングと歯車とが別々に分かれていると、テーブルの回転振れを防止するために、装置の組立時にクロスローラーベアリングの回転中心と歯車の回転中心とを一致させる芯出し作業が必要になる。また各部品が別々に分かれていると、装置を小型化する妨げになる。
【０００６】
そこで本発明は、芯出し作業することなく、クロスローラーベアリングを組み込んだ装置のテーブル等の回転精度を向上させることができ、また該装置を小型にすることができるクロスローラーベアリングを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
以下、本発明について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照番号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものでない。
【０００８】
上記課題を解決するために本発明のクロスローラーベアリングは、外輪（１，１１，１９）と、外輪（１，１１，１９）に対して相対的に回転可能な内輪（２，１２，２２）と、前記外輪（１，１１，１９）に形成された外輪側ローラー転走部（１ａ，１１ａ，２０ａ，２１ａ）及び前記内輪（２，１２，２２）に形成された内輪側ローラー転走部（２ａ，１２ａ，２２ａ，２２ｂ）との間のローラー循環路（３，１３，２５）に、ローラーの回転軸が交差するように収容された複数のローラー（４ａ，４ｂ・・・）とを備え、前記外輪（１，１１，１９）又は前記内輪（２，１２，２２）のいずれか一方には、歯車（６，１４，２３）が一体に形成されることを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、クロスローラーベアリングの外輪又は内輪のいずれか一方に歯車が一体に形成されるので、クロスローラーベアリングと歯車との芯出し作業をしなくても、テーブル等の回転精度を向上させることができる。また歯車には、互いに噛み合う相手の歯車から推力が加わるが、クロスローラーベアリングを用いることで、歯車に加わる推力も安定して負荷することができる。さらにクロスローラーベアリングと歯車とが別体の場合に比べ、装置に組み込んだ際に高さ方向の寸法もコンパクトになる。
【００１０】
前記ローラー循環路（３，１３，２５）は、前記外輪（１，１１，１９）又は前記内輪（２，１２，２２）の軸線の方向に複数列設けられることが望ましい。
【００１１】
内輪又は外輪に歯車を一体に形成すると、歯車の推力によって内輪又は外輪にモーメント荷重、あるいはラジアル荷重が発生する。ローラー循環路を軸線の方向に複数列設けることで、単列に比べてクロスローラーベアリングの剛性を向上させることができ、これにより内輪又は外輪に上述の荷重が働いてもテーブル等の回転精度を向上させることができる。
【００１２】
前記外輪（１）の外周に形成された前記歯車（６）の歯当たり面中心（８）と、２列の前記ローラー循環路（３，３）の軸線方向における中心とが軸線方向において一致していることが望ましい。
【００１３】
この発明によれば、相手の歯車から内輪又は外輪に一体に形成された歯車に与えられる推力の耐荷重を上げることができる。
【００１４】
前記内輪（１２）は、前記外輪（１１）よりも軸線方向に突出した突出部（１２ｂ）を有し、前記歯車（１４）は、前記突出部（１２ｂ）の外周に形成されるのが望ましい。
【００１５】
この発明によれば、内輪の内径側に噛み合う相手のピニオン等の歯車を配置しなくて済むので、内輪の内径側を貫通穴として他の用途（例えば配線用あるいは配管用等）に有効に活用することができる。
【００１６】
前記外輪（１９）は、第１の外輪側ローラー転走部（２０ａ）が形成された第１の外輪（２０）と、第２の外輪側ローラー転走部（２１ａ）が形成された第２の外輪（２１）とを有し、前記内輪（２２）には、前記第１の外輪側ローラー転走部（２０ａ）に対向する第１の内輪側ローラー転走部（２２ａ）、及び前記第２の外輪側ローラー転走部（２１ａ）に対向する第２の内輪側ローラー転走部（２２ｂ）が形成され、前記第１の内輪側ローラー転走部（２２ａ）と前記第２の内輪側ローラー転走部（２２ｂ）との間に、前記内輪（２２）の外周に形成された前記歯車（２３）が配置されることが望ましい。
【００１７】
この発明によれば、第１の外輪と第２の外輪との間に挟まれるように歯車が配置されるので、第１の外輪と第２の外輪とを離すことができる。したがって、クロスローラーベアリングの剛性をより向上させることができる。
【００１８】
前記内輪（２，１２，２２）又は前記外輪（１，１１，１９）の他方には、前記ローラー循環路（３，１３，２５）に前記複数のローラー（４ａ，４ｂ・・・）を収容するための入れ込み穴（９，１７，２６）が形成されるのが望ましい。
【００１９】
内輪又は外輪の他方を分割することなく、入れ込み穴からローラーを収容すると、内輪又は外輪に形成されるボール転走部の精度を向上させることができるので、歯車が形成される内輪又は外輪の一方の振れ、ひいては歯車の振れを抑制することができる。したがって内輪又は外輪の他方と歯車との同軸精度を向上させることができる。
【００２０】
歯車の形式は特に限定されるものではないが、本発明は相手の歯車から推力が働き易いハイポイド歯車に好適に用いることができる。
【００２１】
また本発明は、ベッド（３１）と、軸線回りに回転可能なテーブル（３２）と、前記ベッド（３１）に対して前記テーブル（３２）が相対的に回転するのを案内するクロスローラーベアリング（３３）とを備えるテーブル装置において、前記クロスローラーベアリング（３３）は、外輪（２０，２１）と、外輪（２０，２１）に対して相対的に回転可能な内輪（２２）と、前記外輪（２０，２１）に形成された外輪側ローラー転走部（２０ａ，２１ａ）、及び前記内輪（２２）に形成された内輪側ローラー転走部（２２ａ，２２ｂ）との間のローラー循環路（２５，２５）に、隣接するローラーの回転軸が互いに交差するように収容された複数のローラー（４ａ，４ｂ・・・）とを有し、前記外輪（２０，２１）又は前記内輪（２２）のいずれか一方には、歯車（２３）が一体に形成されることを特徴とするテーブル装置としても構成することができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
図１乃至図３は、本発明の第１の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す。外輪１の内周には、外輪側ローラー転走部として、９０°のＶ字形状のローラー転走溝１ａ，１ａが形成される。内輪２の外周には、内輪側ローラー転走部として、９０°のＶ字形状のローラー転走溝２ａ，２ａが形成される。このローラー転走溝１ａ，２ａの間に、リング状で断面略正方形状のローラー循環路３が形成される。
【００２３】
この実施形態では、外輪１には軸線方向に２列のローラー転走溝１ａ，１ａが間隔を空けて形成され、内輪２にも軸線方向に２列のローラー転走溝２ａ，２ａが間隔を空けて形成されている。このため、ローラー循環路３，３も外輪１及び内輪２の軸線方向に間隔を空けて２列形成されている。
【００２４】
ローラー循環路３には複数のローラー４ａ，４ｂ…が、隣接するローラーの回転軸を互いに直交させながら収納されている。図２に示されるように、ローラー４ａ，４ｂは円柱形状をなし、直径と回転軸方向の長さが等しい。より詳しく述べると、ローラー４ａ，４ｂ…はその回転軸方向の長さが直径よりも僅かに小さく設定される。リング状のローラー循環路３に沿って見たとき、隣接するローラー４ａ，４ｂはその軸線が互いに直交する。ローラー４ａ，４ｂ間にはローラー４ａ，４ｂを所定の姿勢に保持するリテーナ５が介在される。
【００２５】
複数のローラー４ａ，４ｂ・・・は、外向きローラー４ａ群と内向きローラー４ｂ群とに分類される。外向きローラー４ａ・・・は、リテーナ５・・・によって、その回転軸が外輪１および内輪２の軸線Ｐ上に位置する旋回中心点を向くような姿勢に保持される。内向きローラー４ｂ・・・も、リテーナ５・・・によって、その回転軸が外輪１および内輪２の軸線Ｐ上に位置する旋回中心点を向くような姿勢に保持される。これにより、ローラー４ａ，４ｂ…がローラー循環路３を循環する際、ローラー４ａ，４ｂ…はその回転軸が円錐状の軌跡を形成するようにローラー転走溝１ａ，２ａ上をすべりながら転動する。
【００２６】
なおローラー４ａ，４ｂ・・・の配列は、本実施形態のように１つずつ交互に回転軸を直交させるのではなく、２つおき、３つおき等に回転軸の向きを変えても良い。
【００２７】
外輪１の外周には、歯車６が一体に形成される。具体的には例えば、外輪１の外周を切削加工したり、転造加工したりして、外輪１に歯車６を創成する。ここで「歯車が一体に」の概念は、外輪１とは別体に歯車を形成し、該歯車をボルト・ナット等で外輪に結合する場合を含まない。
【００２８】
歯車６の種類は、平歯車、はすば歯車、かさ歯車、ウォームギヤ等特に限定されるものではないが、この実施形態では、平行でなく交わりもしない２軸の間に回転を伝えるハイポイド歯車が用いられる。ハイポイド歯車は、軸の食違う２つの円錘を接触させ、これをピッチ円錘として歯を刻んだものであり、２軸が直角をなす場合に用いられる。ハイポイド歯車だとかさ歯車と違って軸を双方に延長することができる利点がある。また外輪１の軸線方向の端面１ｂには、テーブル等の回転対象に連結するための取り付けねじ７等が形成される。
【００２９】
この実施形態では、外輪１の歯車６は、外輪１の外周の軸線方向の全長に渡って、勿論軸線方向における２列のローラー循環路３，３の間を含んで形成される。そして、外輪１の歯車の歯当たり面中心８（すなわち外輪１の歯車６と噛み合う相手の歯車との接触位置の軸線方向における中心）と、２列のローラー循環路３，３の軸線方向における軸線方向における中心とは軸線方向において一致している。これにより、外輪１に一体に形成された歯車６に相手の歯車から与えられる推力の耐荷重を向上することができる。
【００３０】
図３に示されるように、内輪２には、ローラー循環路３，３に複数のローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容するための入れ込み穴９が半径方向に貫通して形成される。内輪２を分割することなく、入れ込み穴９からローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容すると、内輪２と歯車６との同軸精度を向上させることができる。ローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容した後は、この入れ込み穴９は塞がれる。なお内輪２と歯車６との同軸精度が問題にならない場合は、内輪２を軸線と直交する平面で外側輪、中間輪及び外側輪の３つに分割し、ローラー及びリテーナを収容した後、ボルト・ナットで３者を一体に固定してもよい。内輪２には、クロスローラーベアリングをベッド等の固定部に取り付けるための取り付け穴１０・・・が複数形成される。
【００３１】
図４及び図５は、本発明の第２の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す。外輪１１の内周には、外輪側ローラー転走部として９０°のＶ字形状の２列のローラー転走溝１１ａ，１１ａが形成され、内輪１２の外周には、内輪側ローラー転走部として９０°のＶ字形状の２列のローラー転走溝１２ａ，１２ａが形成される。このローラー転走溝１１ａ，１２ａの間に、リング状で断面略正方形状のローラー循環路１３，１３が形成される。
【００３２】
ローラー循環路１３，１３には、複数のローラー４ａ，４ｂ…が隣接するローラーの回転軸を互いに直交させながら収容されている。ローラー４ａ，４ｂ及びリテーナ５の構成及び配列方法は上記第１の実施形態と同様なので同一の符号を附してその説明を省略する。
【００３３】
内輪１２は、外輪１１よりも軸線方向に突出した突出部１２ｂを有する。突出部１２ｂの外周には、歯車１４が一体に形成される。例えば突出部１２ｂの外周を切削加工したり、転造加工したりして、内輪１２に歯車１４を創成する。ここで「歯車が一体に」の概念は、内輪１２とは別体に歯車を形成し、該歯車をボルト・ナット等で内輪に結合する場合を含まない。歯車１４の種類は、平歯車、はすば歯車、かさ歯車、ウォームギヤ等特に限定されるものではないが、この実施形態でも平行でなく交わりもしない２軸の間に回転を伝えるハイポイド歯車が用いられる。また内輪１２の軸線方向の端面には、テーブル等の回転対象に連結するための取り付けねじ１５等が形成される。
【００３４】
図５に示されるように、外輪１１には、ローラー循環路１３，１３に複数のローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナを収容するための入れ込み穴１７が半径方向に貫通して形成される。外輪１１を分割することなく、入れ込み穴１７からローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容すると、外輪１１と歯車１４との同軸精度を向上させることができる。ローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容した後は、この入れ込み穴は塞がれる。なお、外輪１１と歯車１４との同軸精度が余り問題にならない場合、軸線と直交する平面で外輪１１を外側輪、中間輪及び外側輪の３つに分割し、ローラー及びリテーナを収容した後、ボルト・ナットで３者を一体に固定してもよい。外輪１１には、クロスローラーベアリングをベッド等の固定部に取り付けるための取り付け穴１８・・・が複数形成される。
【００３５】
図６及び図７は、本発明の第３の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す。この実施形態では内輪２２には、軸線方向に間隔を空けて９０°のＶ字形状の第１の内輪側ローラー転走溝２２ａ及び第２の内輪側ローラー転走溝２２ｂが形成される。内輪２２の外周の、第１の内輪側ローラー転走溝２２ａと第２の内輪側ローラー転走溝２２ｂとの間には、歯車２３が一体に形成される。例えば内輪２２の外周を切削加工したり、転造加工したりして、内輪２２に歯車を創成する。ここで「歯車が一体に」の概念は、内輪２２とは別体に歯車を形成し、該歯車をボルト・ナット等で内輪に結合する場合を含まない。歯車２３の種類は、平歯車、はすば歯車、かさ歯車、ウォームギヤ等特に限定されるものではないが、この実施形態でも平行でなく交わりもしない２軸の間に回転を伝えるハイポイド歯車が用いられる。また内輪２２の軸線方向の端面には、テーブル等の回転対象に連結するための取り付けねじ２４等が形成される。
【００３６】
外輪１９は、別体の第１の外輪２０と第２の外輪２１とで構成される。第１の外輪２０には、内輪２２に形成された第１の内輪側ローラー転走溝２２ａに対向する第１の外輪側ローラー転走溝２０ａが形成される。第２の外輪２１には、内輪２２に形成された第２の内輪側ローラー転走溝２２ｂに対向する第２の外輪側ローラー転走溝２１ａが形成される。
【００３７】
このローラー転走溝２２ａ，２０ａ及び２２ｂ，２１ａの間に、リング状で断面略正方形状のローラー循環路２５，２５が形成される。ローラー循環路２５，２５には複数のローラー４ａ，４ｂ…が、隣接するローラーの回転軸を互いに直交させながら収容されている。ローラー４ａ，４ｂ及びリテーナ５・・・の構成及び配列方法は上記第１の実施形態と同様なので同一の符号を附してその説明を省略する。
【００３８】
図７に示されるように外輪２０，２１には、ローラー循環路２５，２５に複数のローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容するための入れ込み穴２６，２６が半径方向に貫通して形成される。内輪２２を分割することなく、入れ込み穴２６，２６からローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容すると、外輪２１と歯車２３との同軸精度を向上させることができる。ローラー４ａ，４ｂ・・・及びリテーナ５・・・を収容した後は、この入れ込み穴２６，２６は塞がれる。外輪２１には、クロスローラーベアリングをベッド等の固定部に取り付けるための取り付け穴２８・・・が複数形成される。なお、外輪２１と歯車２３との同軸精度が余り問題にならない場合、軸線と直交する平面で外輪２１を２つに分割し、ローラー及びリテーナを収容した後、ボルト・ナットで２者を一体に固定してもよい。
【００３９】
図８は、本発明のクロスローラーベアリングを組み込んだテーブル装置を示す。テーブル装置は、被加工物を回転させて加工する工作機械であり、被加工物を予め定められた角度ずつ回転させて加工することもあるし、被加工物を回転させながら連続的に加工することもある。
【００４０】
テーブル装置は、ベッド３１と、軸線回りに回転可能なテーブル３２と、ベッド３１に対してテーブル３２が相対的に回転するのを案内するクロスローラーベアリング３３とを備える。クロスローラーベアリング３３としては、上記第３の実施形態のものを用いているので、同一の符号を附してその説明を省略する。
【００４１】
クロスローラーベアリング３３の外輪２０，２１はベッド３１にボルト・ナット等で固定される。クロスローラーベアリング３３の内輪２２はテーブル３２にボルト等で固定される。またベッド３１には、歯車２３に噛み合うピニオン３４が回転可能に支持されている。このピニオン３４もハイポイド歯車であり、ピニオン３４の軸線は、内輪２２に一体に形成された歯車２３の軸線に平行でなく交わりもしない。
【００４２】
例えば被加工物を加工するときに、工具から被加工物に働く力によって、テーブル３２にはモーメント荷重が働くことがある。テーブル３２に固定されている内輪２２は、軸線方向に間隔が空けられた２列のローラー循環路２５，２５の部分で支持されているので、単列の場合に比べて耐モーメント荷重が向上する。また歯車２３は２列のローラー循環路２５，２５の間に配置されているので、ピニオン３４から歯車２３に推力が働いても、歯車２３が形成された内輪２２が傾くのを抑制することができる。このため、テーブル３２にモーメント荷重が働き、歯車２３に推力が働いても、回転の割り出し精度を維持することができる。
【００４３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、クロスローラーベアリングの外輪又は内輪のいずれか一方に歯車が一体に形成されるので、クロスローラーベアリングと歯車との芯出し作業をしなくても、テーブル等の回転精度を向上させることができる。また歯車には、互いに噛み合う相手の歯車から推力が加わるが、クロスローラーベアリングを用いることで、歯車に加わる推力も安定して負荷することができる。さらにクロスローラーベアリングと歯車とが別体の場合に比べ、装置に組み込んだ際に高さ方向の寸法もコンパクトになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す断面図。
【図２】ローラー循環路に収容されるローラー及びリテーナを示す斜視図。
【図３】本発明の第１の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す図（図中（Ａ）は断面図を示し、図中（Ｂ）は底面図を示す）。
【図４】本発明の第２の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す断面図。
【図５】本発明の第２の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す図（図中（Ａ）は平面図を示し、図中（Ｂ）は断面図を示し、図中（Ｃ）は底面図を示す）。
【図６】本発明の第３の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す断面図。
【図７】本発明の第３の実施形態におけるクロスローラーベアリングを示す図（図中（Ａ）は平面図を示し、図中（Ｂ）は断面図を示し、図中（Ｃ）は底面図を示す）。
【図８】本発明のクロスローラーベアリングを組み込んだテーブル装置を示す側面図（一部断面図を含む）。
【符号の説明】
１，１１，１９・・・外輪
１ａ，１１ａ・・・ローラー転走溝（外輪側ローラー転走部）
２，１２，２２・・・内輪
２ａ，１２ａ・・・ローラー転走溝（内輪側ローラー転走部）
３，１３，２５・・・ローラー循環路
４ａ，４ｂ・・・ローラー
６，１４，２３・・・歯車
８・・・歯当たり面中心
９，１７，２６・・・入れ込み穴
１２ｂ・・・突出部
２０・・・第１の外輪（外輪）
２０ａ・・・第１の外輪側ローラー転走溝（外輪側ローラー転走部）
２１・・・第２の外輪（外輪）
２１ａ・・・第２の外輪側ローラー転走溝（外輪側ローラー転走部）
２２ａ・・・第１の内輪側ローラー転走溝（内輪側ローラー転走部）
２２ｂ・・・第２の内輪側ローラー転走溝（内輪側ローラー転走部）
３１・・・ベッド
３２・・・テーブル
３３・・・クロスローラーベアリング

Claims (8)

1. 外輪と、
   外輪に対して相対的に回転可能な内輪と、
   前記外輪に形成された外輪側ローラー転走部、及び前記内輪に形成された内輪側ローラー転走部との間のローラー循環路に、ローラーの回転軸が交差するように収容された複数のローラーとを備え、
   前記外輪又は前記内輪のいずれか一方には、歯車が一体に形成されることを特徴とする歯車付クロスローラーベアリング。
2. 前記ローラー循環路は、前記外輪又は前記内輪の軸線の方向に複数列設けられることを特徴とする請求項１に記載の歯車付クロスローラーベアリング。
3. 前記外輪の外周に形成された前記歯車の歯当たり面中心と、２列の前記ローラー循環路の軸線方向における中心とが、軸線方向において一致していることを特徴とする請求項２に記載の歯車付クロスローラーベアリング。
4. 前記内輪は、前記外輪よりも軸線方向に突出した突出部を有し、
   前記歯車は、前記突出部の外周に形成されることを特徴とする請求項１又は２に記載の歯車付クロスローラーベアリング。
5. 前記外輪は、第１の外輪側ローラー転走部が形成された第１の外輪と、第２の外輪側ローラー転走部が形成された第２の外輪とを有し、
   前記内輪には、前記第１の外輪側ローラー転走部に対向する第１の内輪側ローラー転走部、及び前記第２の外輪側ローラー転走部に対向する第２の内輪側ローラー転走部が形成され、
   前記第１の内輪側ローラー転走部と前記第２の内輪側ローラー転走部との間に、前記内輪の外周に形成された前記歯車が配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の歯車付クロスローラーベアリング。
6. 前記内輪又は前記外輪の他方には、前記ローラー循環路に前記複数のローラーを収容するための入れ込み穴が半径方向に貫通して形成されることを特徴とする請求項１ないし５いずれかに記載の歯車付クロスローラーベアリング。
7. 前記歯車は、平行でなく交わりもしない２軸の間に回転を伝えるハイポイド歯車であることを特徴とする請求項１ないし６いずれかに記載の歯車付クロスローラーベアリング。
8. ベッドと、軸線回りに回転可能なテーブルと、前記ベッドに対して前記テーブルが相対的に回転するのを案内するクロスローラーベアリングとを備えるテーブル装置において、
   前記クロスローラーベアリングは、
   外輪と、
   外輪に対して相対的に回転可能な内輪と、
   前記外輪に形成された外輪側ローラー転走部、及び前記内輪に形成された内輪側ローラー転走部との間のローラー循環路に、隣接するローラーの回転軸が互いに交差するように収容された複数のローラーとを有し、前記外輪又は前記内輪のいずれか一方には、歯車が一体に形成されることを特徴とするテーブル装置。

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