JP2004268163A - 表面加工方法 - Google Patents
表面加工方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004268163A JP2004268163A JP2003058961A JP2003058961A JP2004268163A JP 2004268163 A JP2004268163 A JP 2004268163A JP 2003058961 A JP2003058961 A JP 2003058961A JP 2003058961 A JP2003058961 A JP 2003058961A JP 2004268163 A JP2004268163 A JP 2004268163A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- clogging
- wrapping film
- processing
- supply unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】加工途中にラッピングフィルム表面の砥粒の状態にばらつきが生じても安定した表面粗さを得ることができるラッピング加工方法の提供を目的とする。
【解決手段】本発明のラッピング加工方法は、一面に砥粒が接着されたラッピングフィルムを砥粒と反対側から押付部材によりワークに押し付け(ステップS1、S2)、ワークに回転を与えると同時に、前記ワークに対して相対的な振動を前記ラッピングフィルムに与えて(ステップS3)、ワークの表面を加工する表面加工方法であって、ワークに回転動力を与える回転駆動ユニットおよびワークに相対的な振動を与えるオシレーションユニットの少なくとも一方に用いられるモータの電流を検出する工程と(ステップS4)、検出結果に基づいて、加工途中のラッピングフィルムの目詰まりを判断する工程(ステップS5)と、を有する。
【選択図】 図3
【解決手段】本発明のラッピング加工方法は、一面に砥粒が接着されたラッピングフィルムを砥粒と反対側から押付部材によりワークに押し付け(ステップS1、S2)、ワークに回転を与えると同時に、前記ワークに対して相対的な振動を前記ラッピングフィルムに与えて(ステップS3)、ワークの表面を加工する表面加工方法であって、ワークに回転動力を与える回転駆動ユニットおよびワークに相対的な振動を与えるオシレーションユニットの少なくとも一方に用いられるモータの電流を検出する工程と(ステップS4)、検出結果に基づいて、加工途中のラッピングフィルムの目詰まりを判断する工程(ステップS5)と、を有する。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの表面加工方法に関し、特に、ラッピングフィルムを用いたワークの表面仕上げ加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種機械部品の高精度化、高能率化の要求により、加工の精密性向上の必要が高まっている。加工の精密性を向上するものとして、ラッピングフィルムによる超仕上げ加工、いわゆるラッピング加工が注目されている。
【0003】
ラッピングフィルムを用いた超仕上げ加工は、片面に砥粒が接着されたラッピングフィルムを砥粒と反対側からシューによりワークに押し付け、ワークに回転を与えると同時に、オシレーション(振動)も与えて微細な切削を行う加工である。
【0004】
ラッピングフィルムは、ロールテープ状に形成されており、供給リールから巻取りリールまで送り出しが可能となっている。ラッピングフィルムは、ワークの加工中には送り出されないように固定され、一つの加工が終わると所定量送り出されて次の加工に用いられている。(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
しかし、このようなラッピング加工では、ある1つの加工が始まると、これが完了するまではラッピングフィルムの位置は固定されたままである。これでは、加工途中にラッピングフィルムが目詰まりし、または砥粒が脱落あるいは磨耗して加工能力が低下した場合でも、そのまま加工が続行されることとなり、所望の表面粗さを得ることができない。
【0006】
【特許文献1】
特開平7−237116号公報(図1、図2参照)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、加工途中にラッピングフィルム表面の砥粒の状態にばらつきが生じても安定した表面粗さを得ることができる表面加工方法の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の表面加工方法は、一面に砥粒が接着されたラッピングフィルムを砥粒と反対側から押付部材によりワークに押し付け、前記ワークに回転を与えると同時に、前記ワークに対して相対的な振動を前記ラッピングフィルムに与えて、前記ワークの表面を加工する表面加工方法であって、前記ワークに回転動力を与える回転動力供給手段および前記ワークに相対的な振動を与える振動供給手段の少なくとも一方の状態を検出する工程と、検出結果に基づいて、加工途中の前記ラッピングフィルムの目詰まりを判断する工程と、を有する。
【0009】
【発明の効果】
本発明の表面加工方法では、加工途中のラッピングフィルムの目詰まりを判断できるので、目詰まりに対応して、安定した加工を実施することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【0011】
(第1の実施の形態)
図1は本発明のラッピング加工装置の概略構成図、図2は図1に示すフィルム保持部50のA−A断面図である。なお、説明の便宜上、ワークの軸線方向(図1において左右方向)をX方向と定義し、X方向に対して直交する水平方向(図1において紙面に直交する方向)をY方向と定義し、X方向に対して直交する鉛直方向(図1において上下方向)をZ方向と定義する。また、図2においては、説明の便宜のために、フィルム保持部の断面図以外に、ラッピングフィルムの送り出し機構も示している。
【0012】
図1および図2を参照して本実施形態のラッピング加工装置1について概説すれば、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルム10と、ラッピングフィルム10の背面側に配置されたシュー20a、20b(押付け部材)と、ワークWを回転駆動する回転駆動ユニット30(回転動力供給手段)と、ワークWおよびラッピングフィルム10のうちの少なくとも一方にワークWの軸線方向に沿うオシレーションを付与するオシレーションユニット40(振動供給手段)と、を有し、一面に砥粒が接着されたラッピングフィルム10を砥粒と反対側からシュー20a、20bによりワークWに押し付け、ワークWに回転を与えると同時に、ワークWに対して相対的な振動をラッピングフィルム10に与えて、ワークWの表面を加工している。本実施形態のラッピング加工装置1は、円筒状の加工面を有するワークWや、断面非真円の円弧状の加工面を有するワークWに対してラッピング加工を施すために好適に用いられる。本実施形態では、円筒状の加工面を有するワークWを加工する場合について説明する。
【0013】
以下、ラッピング加工装置1について詳述する。
【0014】
図1を参照して、上記回転駆動ユニット30は、制御部Cにより制御されて回転動力を発生する主軸モータM1と、モータM1の回転動力を伝達する主軸31と、主軸31の先端に連結されワークWの一端を把持するチャック32と、ワークWの他端を支持するセンタ33と、を有している。ワークWは、主軸モータM1の回転動力が主軸31を介して伝達されて回転駆動される。
【0015】
主軸31には、加工中におけるワークWの回転回数を検出するロータリエンコーダS1が取り付けられている。ロータリエンコーダS1の検出結果は制御部Cに逐次送信され、記録装置Rに記録される。
【0016】
主軸31およびセンタ33のそれぞれは、Y方向に沿ってスライド移動自在なテーブル34、35上に設けられ、これらテーブル34、35は、X方向に沿ってスライド移動自在なテーブル36上に配置されている。ワークWを主軸31およびセンタ33の間にセットしたり、ワークWを加工位置に移動したりするために、各テーブル34、35、36が移動される。
【0017】
上記オシレーションユニット40は、オシレーションモータM2と、M2の主軸41に固定されている偏心体42と、偏心体42に固定されているピン43と、ピン43にピン連結されている連結棒44と、偏心体42から離れてピン45により連結棒44にピン連結されている受け台46と、受け台46が載置されている振動テーブル47と、振動テーブル47をX方向に振動可能に支持する支持台48と、振動テーブル47上に固定されているフィルム保持部50と、を有してなる。
【0018】
上記オシレーションモータM2には、主軸41にロータリエンコーダS2が取り付けられている。ロータリエンコーダS2の検出結果は制御部Cに逐次送信され、記録装置Rに記録される。オシレーションモータM2が回転動力を供給することによって、主軸41に固定された偏心体42が回転し、この回転に従って偏心体42によりピン連結されている連結棒44が揺動し、この揺動に従って受け台46がX方向にオシレーション(振動)する。オシレーションは、振動テーブル47を介してフィルム保持部50に伝達される。
【0019】
上記フィルム保持部50は、図2に示すように、ワークの両側に位置する一組のシュー20a、20bを保持する保持部本体51と、保持部本体51内の上部に配置されるガイドローラ52と、を有してなる。
【0020】
保持部本体51は、天板53と2つの側壁54とからなる。側壁54には、それぞれ、窓部55(図1参照)が形成されており、この窓部55からラッピングフィルム10が保持部本体51外に出されている。また側壁54はそれぞれ、天板53に対してY方向にスライド自在であり、側壁54のスライドによりシュー20a、20bがラッピングフィルム10をワークWに押付ける押付け圧を調整することができる。
【0021】
上記ガイドローラ52は、ラッピングフィルム10をガイドすると共に、加工時にはラッピングフィルム10が保持部本体51とずれないようにこれを挟持することによって固定する。このようにラッピングフィルム10が固定されているので、ワークWの加工時にオシレーションモータM2を駆動してオシレーションを開始すると、ラッピングフィルム10が保持部本体51等と共にワークWに対して振動する。
【0022】
シュー20a、20bは、その先端部の形状から凸シューと凹シューとに分類されるが、図示する実施形態では、上記シュー20a、20bは保持部本体51に固定されている凸シュー20a、20bである。
【0023】
上記ラッピングフィルム10は、種々のタイプがあるが、本実施形態では、基材が非伸縮性の高い材料、例えば、板厚が25μm〜130μm程度のポリエステルなどから構成され、この基材の一面には、数μm〜200μm程度の粒径を有する多数の砥粒(具体的には、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド、ダイアモンドなどからなる)が接着剤により取り付けられている。基材の他面には、シュー20a、20bに対する滑り止めのため、ゴムあるいは合成樹脂等からなる抵抗材料(図示せず)を取り付けるバックコーティングか、場合によっては滑り止め加工が施されている。
【0024】
図2を参照して、ラッピングフィルム10は、供給リール60から引き出され、シュー20a、ガイドローラ52、シュー20bを通過して、巻取りリール61に巻き取られる。巻取りリール61にはモータM3が接続されており、加工停止時に該モータM3を作動し巻取りリール61を回転すると、供給リール60からラッピングフィルムが順次繰り出される。
【0025】
図1および図2に二点鎖線で示すように、上記モータM1、M2、M3およびロータリエンコーダS1、S2はそれぞれ、制御部Cに接続されている。制御部Cは、モータM1、M2に流れる電流値や、ロータリエンコーダS1の検出結果に基づいて、ラッピング加工装置1の加工時および加工停止時の各構成の動作を制御している。
【0026】
次に、加工時のラッピング加工装置1の各構成の作用について説明する。
【0027】
図3は、ラッピング加工装置1の動作の流れを示すフローチャート、図4は砥粒の目詰まりの状態を示す図、図5はモータに流れる電流値の正常範囲の一例を示す図である。
【0028】
最初に、回転駆動ユニット30によりワークWが回転自在に保持される(ステップS1)。ここで、ワークWを保持する際には、ワークWの長さ以上テーブル34、35を離して、チャック32およびセンタ33の間に配置し、テーブル34、35を近づけて、チャック32およびセンタ33によりワークWを挟持する。
【0029】
ワークWのセットが完了したら、ワークWとシュー20a、20bとの間にラッピングフィルム10が配置され、シュー20a、20bによりラッピングフィルム10の砥粒面がワークWに押付けられる(ステップS2)。
【0030】
回転駆動ユニット30のモータM1が駆動されてワークWの回転が開始され、また、オシレーションモータM2が駆動されてラッピングフィルム10の振動が開始される(ステップS3)。これによりラッピングフィルム10上の砥粒が作用して、ワークWの表面が加工されていく。加工の進行につれて、ラッピングフィルム10は、図4(A)に示すような各砥粒70が適当な隙間を置いて配置された状態から、図4(B)に示すような砥粒70が磨耗し、切屑71が砥粒70間に挟まった状態に変化する。
【0031】
そして、加工中の主軸モータM1またはオシレーションモータM2の電流値が検出され(ステップS4)、検出結果に基づいて、主軸モータM1またはオシレーションモータM2の電流値が所定範囲から外れたか否かが判断される(ステップS5)。なお、本実施形態では、オシレーションモータM2の電流値が検出されている。たとえば、オシレーションモータM2の回転数を120rpm、シュー20a、20bによるラッピングフィルム10の押付け圧力を0.4×106Pa、オシレーションの振動数を10Hz、ラッピングフィルム10の幅を15μmとして加工を実施した場合、正常に加工が行われているときのオシレーションモータM2に流れる電流は0.4A程度である。ラッピングフィルム10に目詰まりが生じると、砥粒70間が詰まりラッピングフィルム10の砥粒面とワークWとの接触面積が大きくなるので、摩擦抵抗が小さくなり、オシレーションモータM2に流れる電流が10%程度低下する。したがって、正常範囲を0.4Aの誤差5%として予め定め、図5に示すように、0.38A〜0.42Aの範囲内であれば正常に加工が行われているとみなし、この範囲から外れたら異常であると判断する。
【0032】
加工途中にオシレーションモータM2の電流値が所定範囲外となった場合(ステップS5:YES)、目詰まり等の異常が生じているので、一旦加工が中断され(ステップS6)、ラッピングフィルム10に押付けられているシュー20a、20bが解放される(ステップS7)。
【0033】
ここで、ラッピングフィルム10の同じ目詰まり箇所で加工を続行したのでは所望の加工が行えないので、他の個所で加工が実施されるようにラッピングフィルム10が送り出される(ステップS8)。
【0034】
送り出し以前、すなわち、加工停止以前には、ラッピングフィルム10により正常に加工が行われているので、送り出し以後に再度通常の全加工時間で加工をすれば、送り出し以前の分だけ余分に加工が行われることとなり、所望の表面粗さが得られない。加工時間は制御部Cにより記録装置Rに記録されているので、この記録に基づいて、全加工時間から加工停止以前の加工時間が減算されて、所望の表面粗さを得るために必要な残りの加工時間が算出され(ステップS9)、ステップS2に戻り加工が再開される。
【0035】
オシレーションモータM2の電流値が所定範囲内である場合(ステップS5:NO)、所定の加工時間が経過したか否か、すなわち加工時間の累積が所定の加工時間に達したか否かが判断される(ステップS10)。所定の加工時間が経過していない場合(ステップS10:NO)には、ステップS5に戻ってそのまま加工を続行する。一方、所定の加工時間が経過した場合(ステップS10:YES)には、シュー20a、20bの押付けを解放し、加工終了とする(ステップS11)。
【0036】
次に、上記ステップS8におけるラッピングフィルム10の送り出しについて具体的に説明する。
【0037】
図6は、ラッピングフィルムの送り出しを示す概念図である。
【0038】
図2に示すようにラッピングフィルム10がシュー20a、20bの順に送り出される場合、ラッピングフィルム10の一部分は最初にシュー20aにより使用済みとなる。したがって、図6(A)に示すように、シュー20aにより使用済みとなって目詰まりが生じた箇所が不連続に発生した状態で、シュー20bの位置に送り出されていく。なお、シュー20aで使用された箇所を1回目使用済み箇所、シュー20bで使用される箇所を2回目使用箇所という。
【0039】
ラッピングフィルム10の送り出しにより、図6(B)に示すように2回目使用箇所が1回目使用済みの箇所と重なる場合、加工を開始すると、1回目使用箇所の目詰まりによりオシレーションモータM2の電流値が上記所定範囲外となるので、すぐに加工が停止されて、ラッピングフィルム10が送り出される。ラッピングフィルム10の送り出し後は、図6(C)に示すように、1回目使用済み箇所でない新しい箇所が加工に使用されるので、オシレーションモータM2の電流値は正常範囲内となり、加工が続行される。
【0040】
なお、図6に示す例では、ラッピングフィルム10の砥粒面が1度だけ使用される場合について説明したが、本発明は、複数回使用されることを前提とする加工にも適用することができる。
【0041】
以上のように、本実施形態では、ラッピングフィルム10の目詰まりをオシレーションモータM2の電流値が予め定めた電流値の範囲から外れたことにより判断し、目詰まりが判断されると加工途中でも一旦加工を停止してラッピングフィルム10を送り出すので、途中の目詰まりに対応して、安定した加工を実施することができる。
【0042】
また、加工時間を計測しており、加工停止時には残りの加工時間を算出しているので、加工停止に関わらず同じ加工時間を確保することができ、安定した加工を実施することができる。
【0043】
なお、上記実施の形態では、オシレーションモータM2の電流を検出して、電流値が所定範囲外かどうかを判断していたが、これに限定されない。ラッピングフィルム10に目詰まりが生じると摩擦抵抗が減少し、主軸モータM1に流れる電流値も減少するので、オシレーションモータM2と同様に主軸モータM1の電流値に基づいて目詰まりか否かを判断するようにしてもよい。また、オシレーションモータM2および主軸モータM1の両者の電流値を検出するようにしてもよい。
【0044】
また、上記実施形態では、加工時間を計測しておき、加工停止後は、算出した残り加工時間だけ加工を行っていたが、これに限定されない。加工時のワークWの回転数を計測しておき、加工停止時には、予め決められている所定の回転数から停止前までの回転数を減算し、再開後は、加工のためにワークWを残り回転数だけ回転させるようにしてもよい。同様に、ラッピングフィルム10の相対的なオシレーション数を検出しておき、再開後に残りオシレーション数だけ振動させるようにしてもよい。
【0045】
また、オシレーションモータM2および主軸モータM1の電流値ではなく、トルクを検出することによって目詰まりか否かを判断してもよい。この場合、ロータリエンコーダS1、S2の代わりにトルク検出器を用いて、トルクを検出する。
【0046】
ワークWとして図1、図2に示すように断面円弧状の加工面を有するものを例示して説明してきたが、本発明は、これだけでなく、断面非真円の円弧状の加工面を有するワーク、例えばカムシャフトのカムロブ部等の加工面にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のラッピング加工装置の概略構成図である。
【図2】図1に示すフィルム保持部のA−A断面図である。
【図3】ラッピング加工装置の動作の流れを示すフローチャートである。
【図4】砥粒の目詰まりの状態を示す図である。
【図5】モータに流れる電流値の正常範囲の一例を示す図である。
【図6】ラッピングフィルムの送り出しを示す概念図である。
【符号の説明】
1…ラッピング加工装置、
10…ラッピングフィルム、
20a、20b…シュー、
30…回転駆動ユニット、
40…オシレーションユニット、
50…フィルム保持部、
60…供給リール、
61…巻取りリール、
70…砥粒、
71…切屑、
C…制御部、
M1…主軸モータ、
M2…オシレーションモータ、
R…記録装置、
S1、S2…ロータリエンコーダ、
W…ワーク。
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの表面加工方法に関し、特に、ラッピングフィルムを用いたワークの表面仕上げ加工方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種機械部品の高精度化、高能率化の要求により、加工の精密性向上の必要が高まっている。加工の精密性を向上するものとして、ラッピングフィルムによる超仕上げ加工、いわゆるラッピング加工が注目されている。
【0003】
ラッピングフィルムを用いた超仕上げ加工は、片面に砥粒が接着されたラッピングフィルムを砥粒と反対側からシューによりワークに押し付け、ワークに回転を与えると同時に、オシレーション(振動)も与えて微細な切削を行う加工である。
【0004】
ラッピングフィルムは、ロールテープ状に形成されており、供給リールから巻取りリールまで送り出しが可能となっている。ラッピングフィルムは、ワークの加工中には送り出されないように固定され、一つの加工が終わると所定量送り出されて次の加工に用いられている。(例えば、特許文献1参照)。
【0005】
しかし、このようなラッピング加工では、ある1つの加工が始まると、これが完了するまではラッピングフィルムの位置は固定されたままである。これでは、加工途中にラッピングフィルムが目詰まりし、または砥粒が脱落あるいは磨耗して加工能力が低下した場合でも、そのまま加工が続行されることとなり、所望の表面粗さを得ることができない。
【0006】
【特許文献1】
特開平7−237116号公報(図1、図2参照)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、加工途中にラッピングフィルム表面の砥粒の状態にばらつきが生じても安定した表面粗さを得ることができる表面加工方法の提供を目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の表面加工方法は、一面に砥粒が接着されたラッピングフィルムを砥粒と反対側から押付部材によりワークに押し付け、前記ワークに回転を与えると同時に、前記ワークに対して相対的な振動を前記ラッピングフィルムに与えて、前記ワークの表面を加工する表面加工方法であって、前記ワークに回転動力を与える回転動力供給手段および前記ワークに相対的な振動を与える振動供給手段の少なくとも一方の状態を検出する工程と、検出結果に基づいて、加工途中の前記ラッピングフィルムの目詰まりを判断する工程と、を有する。
【0009】
【発明の効果】
本発明の表面加工方法では、加工途中のラッピングフィルムの目詰まりを判断できるので、目詰まりに対応して、安定した加工を実施することができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。
【0011】
(第1の実施の形態)
図1は本発明のラッピング加工装置の概略構成図、図2は図1に示すフィルム保持部50のA−A断面図である。なお、説明の便宜上、ワークの軸線方向(図1において左右方向)をX方向と定義し、X方向に対して直交する水平方向(図1において紙面に直交する方向)をY方向と定義し、X方向に対して直交する鉛直方向(図1において上下方向)をZ方向と定義する。また、図2においては、説明の便宜のために、フィルム保持部の断面図以外に、ラッピングフィルムの送り出し機構も示している。
【0012】
図1および図2を参照して本実施形態のラッピング加工装置1について概説すれば、非伸縮性でかつ変形可能な薄肉基材の一面に砥粒が設けられたラッピングフィルム10と、ラッピングフィルム10の背面側に配置されたシュー20a、20b(押付け部材)と、ワークWを回転駆動する回転駆動ユニット30(回転動力供給手段)と、ワークWおよびラッピングフィルム10のうちの少なくとも一方にワークWの軸線方向に沿うオシレーションを付与するオシレーションユニット40(振動供給手段)と、を有し、一面に砥粒が接着されたラッピングフィルム10を砥粒と反対側からシュー20a、20bによりワークWに押し付け、ワークWに回転を与えると同時に、ワークWに対して相対的な振動をラッピングフィルム10に与えて、ワークWの表面を加工している。本実施形態のラッピング加工装置1は、円筒状の加工面を有するワークWや、断面非真円の円弧状の加工面を有するワークWに対してラッピング加工を施すために好適に用いられる。本実施形態では、円筒状の加工面を有するワークWを加工する場合について説明する。
【0013】
以下、ラッピング加工装置1について詳述する。
【0014】
図1を参照して、上記回転駆動ユニット30は、制御部Cにより制御されて回転動力を発生する主軸モータM1と、モータM1の回転動力を伝達する主軸31と、主軸31の先端に連結されワークWの一端を把持するチャック32と、ワークWの他端を支持するセンタ33と、を有している。ワークWは、主軸モータM1の回転動力が主軸31を介して伝達されて回転駆動される。
【0015】
主軸31には、加工中におけるワークWの回転回数を検出するロータリエンコーダS1が取り付けられている。ロータリエンコーダS1の検出結果は制御部Cに逐次送信され、記録装置Rに記録される。
【0016】
主軸31およびセンタ33のそれぞれは、Y方向に沿ってスライド移動自在なテーブル34、35上に設けられ、これらテーブル34、35は、X方向に沿ってスライド移動自在なテーブル36上に配置されている。ワークWを主軸31およびセンタ33の間にセットしたり、ワークWを加工位置に移動したりするために、各テーブル34、35、36が移動される。
【0017】
上記オシレーションユニット40は、オシレーションモータM2と、M2の主軸41に固定されている偏心体42と、偏心体42に固定されているピン43と、ピン43にピン連結されている連結棒44と、偏心体42から離れてピン45により連結棒44にピン連結されている受け台46と、受け台46が載置されている振動テーブル47と、振動テーブル47をX方向に振動可能に支持する支持台48と、振動テーブル47上に固定されているフィルム保持部50と、を有してなる。
【0018】
上記オシレーションモータM2には、主軸41にロータリエンコーダS2が取り付けられている。ロータリエンコーダS2の検出結果は制御部Cに逐次送信され、記録装置Rに記録される。オシレーションモータM2が回転動力を供給することによって、主軸41に固定された偏心体42が回転し、この回転に従って偏心体42によりピン連結されている連結棒44が揺動し、この揺動に従って受け台46がX方向にオシレーション(振動)する。オシレーションは、振動テーブル47を介してフィルム保持部50に伝達される。
【0019】
上記フィルム保持部50は、図2に示すように、ワークの両側に位置する一組のシュー20a、20bを保持する保持部本体51と、保持部本体51内の上部に配置されるガイドローラ52と、を有してなる。
【0020】
保持部本体51は、天板53と2つの側壁54とからなる。側壁54には、それぞれ、窓部55(図1参照)が形成されており、この窓部55からラッピングフィルム10が保持部本体51外に出されている。また側壁54はそれぞれ、天板53に対してY方向にスライド自在であり、側壁54のスライドによりシュー20a、20bがラッピングフィルム10をワークWに押付ける押付け圧を調整することができる。
【0021】
上記ガイドローラ52は、ラッピングフィルム10をガイドすると共に、加工時にはラッピングフィルム10が保持部本体51とずれないようにこれを挟持することによって固定する。このようにラッピングフィルム10が固定されているので、ワークWの加工時にオシレーションモータM2を駆動してオシレーションを開始すると、ラッピングフィルム10が保持部本体51等と共にワークWに対して振動する。
【0022】
シュー20a、20bは、その先端部の形状から凸シューと凹シューとに分類されるが、図示する実施形態では、上記シュー20a、20bは保持部本体51に固定されている凸シュー20a、20bである。
【0023】
上記ラッピングフィルム10は、種々のタイプがあるが、本実施形態では、基材が非伸縮性の高い材料、例えば、板厚が25μm〜130μm程度のポリエステルなどから構成され、この基材の一面には、数μm〜200μm程度の粒径を有する多数の砥粒(具体的には、酸化アルミニウム、シリコンカーバイド、ダイアモンドなどからなる)が接着剤により取り付けられている。基材の他面には、シュー20a、20bに対する滑り止めのため、ゴムあるいは合成樹脂等からなる抵抗材料(図示せず)を取り付けるバックコーティングか、場合によっては滑り止め加工が施されている。
【0024】
図2を参照して、ラッピングフィルム10は、供給リール60から引き出され、シュー20a、ガイドローラ52、シュー20bを通過して、巻取りリール61に巻き取られる。巻取りリール61にはモータM3が接続されており、加工停止時に該モータM3を作動し巻取りリール61を回転すると、供給リール60からラッピングフィルムが順次繰り出される。
【0025】
図1および図2に二点鎖線で示すように、上記モータM1、M2、M3およびロータリエンコーダS1、S2はそれぞれ、制御部Cに接続されている。制御部Cは、モータM1、M2に流れる電流値や、ロータリエンコーダS1の検出結果に基づいて、ラッピング加工装置1の加工時および加工停止時の各構成の動作を制御している。
【0026】
次に、加工時のラッピング加工装置1の各構成の作用について説明する。
【0027】
図3は、ラッピング加工装置1の動作の流れを示すフローチャート、図4は砥粒の目詰まりの状態を示す図、図5はモータに流れる電流値の正常範囲の一例を示す図である。
【0028】
最初に、回転駆動ユニット30によりワークWが回転自在に保持される(ステップS1)。ここで、ワークWを保持する際には、ワークWの長さ以上テーブル34、35を離して、チャック32およびセンタ33の間に配置し、テーブル34、35を近づけて、チャック32およびセンタ33によりワークWを挟持する。
【0029】
ワークWのセットが完了したら、ワークWとシュー20a、20bとの間にラッピングフィルム10が配置され、シュー20a、20bによりラッピングフィルム10の砥粒面がワークWに押付けられる(ステップS2)。
【0030】
回転駆動ユニット30のモータM1が駆動されてワークWの回転が開始され、また、オシレーションモータM2が駆動されてラッピングフィルム10の振動が開始される(ステップS3)。これによりラッピングフィルム10上の砥粒が作用して、ワークWの表面が加工されていく。加工の進行につれて、ラッピングフィルム10は、図4(A)に示すような各砥粒70が適当な隙間を置いて配置された状態から、図4(B)に示すような砥粒70が磨耗し、切屑71が砥粒70間に挟まった状態に変化する。
【0031】
そして、加工中の主軸モータM1またはオシレーションモータM2の電流値が検出され(ステップS4)、検出結果に基づいて、主軸モータM1またはオシレーションモータM2の電流値が所定範囲から外れたか否かが判断される(ステップS5)。なお、本実施形態では、オシレーションモータM2の電流値が検出されている。たとえば、オシレーションモータM2の回転数を120rpm、シュー20a、20bによるラッピングフィルム10の押付け圧力を0.4×106Pa、オシレーションの振動数を10Hz、ラッピングフィルム10の幅を15μmとして加工を実施した場合、正常に加工が行われているときのオシレーションモータM2に流れる電流は0.4A程度である。ラッピングフィルム10に目詰まりが生じると、砥粒70間が詰まりラッピングフィルム10の砥粒面とワークWとの接触面積が大きくなるので、摩擦抵抗が小さくなり、オシレーションモータM2に流れる電流が10%程度低下する。したがって、正常範囲を0.4Aの誤差5%として予め定め、図5に示すように、0.38A〜0.42Aの範囲内であれば正常に加工が行われているとみなし、この範囲から外れたら異常であると判断する。
【0032】
加工途中にオシレーションモータM2の電流値が所定範囲外となった場合(ステップS5:YES)、目詰まり等の異常が生じているので、一旦加工が中断され(ステップS6)、ラッピングフィルム10に押付けられているシュー20a、20bが解放される(ステップS7)。
【0033】
ここで、ラッピングフィルム10の同じ目詰まり箇所で加工を続行したのでは所望の加工が行えないので、他の個所で加工が実施されるようにラッピングフィルム10が送り出される(ステップS8)。
【0034】
送り出し以前、すなわち、加工停止以前には、ラッピングフィルム10により正常に加工が行われているので、送り出し以後に再度通常の全加工時間で加工をすれば、送り出し以前の分だけ余分に加工が行われることとなり、所望の表面粗さが得られない。加工時間は制御部Cにより記録装置Rに記録されているので、この記録に基づいて、全加工時間から加工停止以前の加工時間が減算されて、所望の表面粗さを得るために必要な残りの加工時間が算出され(ステップS9)、ステップS2に戻り加工が再開される。
【0035】
オシレーションモータM2の電流値が所定範囲内である場合(ステップS5:NO)、所定の加工時間が経過したか否か、すなわち加工時間の累積が所定の加工時間に達したか否かが判断される(ステップS10)。所定の加工時間が経過していない場合(ステップS10:NO)には、ステップS5に戻ってそのまま加工を続行する。一方、所定の加工時間が経過した場合(ステップS10:YES)には、シュー20a、20bの押付けを解放し、加工終了とする(ステップS11)。
【0036】
次に、上記ステップS8におけるラッピングフィルム10の送り出しについて具体的に説明する。
【0037】
図6は、ラッピングフィルムの送り出しを示す概念図である。
【0038】
図2に示すようにラッピングフィルム10がシュー20a、20bの順に送り出される場合、ラッピングフィルム10の一部分は最初にシュー20aにより使用済みとなる。したがって、図6(A)に示すように、シュー20aにより使用済みとなって目詰まりが生じた箇所が不連続に発生した状態で、シュー20bの位置に送り出されていく。なお、シュー20aで使用された箇所を1回目使用済み箇所、シュー20bで使用される箇所を2回目使用箇所という。
【0039】
ラッピングフィルム10の送り出しにより、図6(B)に示すように2回目使用箇所が1回目使用済みの箇所と重なる場合、加工を開始すると、1回目使用箇所の目詰まりによりオシレーションモータM2の電流値が上記所定範囲外となるので、すぐに加工が停止されて、ラッピングフィルム10が送り出される。ラッピングフィルム10の送り出し後は、図6(C)に示すように、1回目使用済み箇所でない新しい箇所が加工に使用されるので、オシレーションモータM2の電流値は正常範囲内となり、加工が続行される。
【0040】
なお、図6に示す例では、ラッピングフィルム10の砥粒面が1度だけ使用される場合について説明したが、本発明は、複数回使用されることを前提とする加工にも適用することができる。
【0041】
以上のように、本実施形態では、ラッピングフィルム10の目詰まりをオシレーションモータM2の電流値が予め定めた電流値の範囲から外れたことにより判断し、目詰まりが判断されると加工途中でも一旦加工を停止してラッピングフィルム10を送り出すので、途中の目詰まりに対応して、安定した加工を実施することができる。
【0042】
また、加工時間を計測しており、加工停止時には残りの加工時間を算出しているので、加工停止に関わらず同じ加工時間を確保することができ、安定した加工を実施することができる。
【0043】
なお、上記実施の形態では、オシレーションモータM2の電流を検出して、電流値が所定範囲外かどうかを判断していたが、これに限定されない。ラッピングフィルム10に目詰まりが生じると摩擦抵抗が減少し、主軸モータM1に流れる電流値も減少するので、オシレーションモータM2と同様に主軸モータM1の電流値に基づいて目詰まりか否かを判断するようにしてもよい。また、オシレーションモータM2および主軸モータM1の両者の電流値を検出するようにしてもよい。
【0044】
また、上記実施形態では、加工時間を計測しておき、加工停止後は、算出した残り加工時間だけ加工を行っていたが、これに限定されない。加工時のワークWの回転数を計測しておき、加工停止時には、予め決められている所定の回転数から停止前までの回転数を減算し、再開後は、加工のためにワークWを残り回転数だけ回転させるようにしてもよい。同様に、ラッピングフィルム10の相対的なオシレーション数を検出しておき、再開後に残りオシレーション数だけ振動させるようにしてもよい。
【0045】
また、オシレーションモータM2および主軸モータM1の電流値ではなく、トルクを検出することによって目詰まりか否かを判断してもよい。この場合、ロータリエンコーダS1、S2の代わりにトルク検出器を用いて、トルクを検出する。
【0046】
ワークWとして図1、図2に示すように断面円弧状の加工面を有するものを例示して説明してきたが、本発明は、これだけでなく、断面非真円の円弧状の加工面を有するワーク、例えばカムシャフトのカムロブ部等の加工面にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のラッピング加工装置の概略構成図である。
【図2】図1に示すフィルム保持部のA−A断面図である。
【図3】ラッピング加工装置の動作の流れを示すフローチャートである。
【図4】砥粒の目詰まりの状態を示す図である。
【図5】モータに流れる電流値の正常範囲の一例を示す図である。
【図6】ラッピングフィルムの送り出しを示す概念図である。
【符号の説明】
1…ラッピング加工装置、
10…ラッピングフィルム、
20a、20b…シュー、
30…回転駆動ユニット、
40…オシレーションユニット、
50…フィルム保持部、
60…供給リール、
61…巻取りリール、
70…砥粒、
71…切屑、
C…制御部、
M1…主軸モータ、
M2…オシレーションモータ、
R…記録装置、
S1、S2…ロータリエンコーダ、
W…ワーク。
Claims (6)
- 一面に砥粒が接着されたラッピングフィルムを砥粒と反対側から押付部材によりワークに押し付け、前記ワークに回転を与えると同時に、前記ワークに対して相対的な振動を前記ラッピングフィルムに与えて、前記ワークの表面を加工する表面加工方法であって、
前記ワークに回転動力を与える回転動力供給手段および前記ワークに相対的な振動を与える振動供給手段の少なくとも一方の状態を検出する工程と、
検出結果に基づいて、加工途中の前記ラッピングフィルムの目詰まりを判断する工程と、
を有する表面加工方法。 - 前記回転動力供給手段および前記振動供給手段の少なくとも一方の状態を検出する工程では、前記回転動力供給手段および前記振動供給手段に用いられるモータの少なくとも一方に流れる電流を検出し、
目詰まりを判断する工程では、電流値が所定範囲から外れた場合に目詰まりであると判断することを特徴とする請求項1に記載の表面加工方法。 - 前記回転動力供給手段および前記振動供給手段の少なくとも一方の状態を検出する工程では、前記回転動力供給手段および前記振動供給手段に用いられるモータの少なくとも一方のトルクを検出し、
目詰まりを判断する工程では、トルク値が所定範囲から外れた場合に目詰まりであると判断することを特徴とする請求項1に記載の表面加工方法。 - 前記ラッピングフィルムは、ロールテープ状に形成されており、前記ワークを加工していない状態において、位置の送り出しまたは巻き戻しが可能であり、
目詰まりを判断する工程において前記ラッピングフィルムの目詰まりを検知した場合、加工を停止して、目詰まりしていない位置で前記ワークの加工が行えるように前記ラッピングフィルムを送り出しまたは巻き戻す工程をさらに含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の表面加工方法。 - 目詰まりを判断する工程において前記ラッピングフィルムの目詰まりを検知した場合、目詰まりするまでの加工時間に基づいて、加工再開後の加工時間を決定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の表面加工方法。
- 目詰まりを判断する工程において前記ラッピングフィルムの目詰まりを検知した場合、目詰まりするまでの前記ワークの回転数に基づいて、加工再開後の前記ワークの回転数を決定する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の表面加工方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003058961A JP2004268163A (ja) | 2003-03-05 | 2003-03-05 | 表面加工方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003058961A JP2004268163A (ja) | 2003-03-05 | 2003-03-05 | 表面加工方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004268163A true JP2004268163A (ja) | 2004-09-30 |
Family
ID=33121944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003058961A Pending JP2004268163A (ja) | 2003-03-05 | 2003-03-05 | 表面加工方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004268163A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009019594A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Honda Motor Co Ltd | 燃料噴射ノズルの噴口加工方法及び同噴口流量測定装置 |
JP2013166210A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Olympus Corp | 光学素子製造方法及び光学素子製造装置 |
JP2016140923A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社ジェイテクト | 加工装置 |
-
2003
- 2003-03-05 JP JP2003058961A patent/JP2004268163A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009019594A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Honda Motor Co Ltd | 燃料噴射ノズルの噴口加工方法及び同噴口流量測定装置 |
JP4746591B2 (ja) * | 2007-07-12 | 2011-08-10 | 本田技研工業株式会社 | 燃料噴射ノズルの噴口加工方法及び同噴口流量測定装置 |
JP2013166210A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Olympus Corp | 光学素子製造方法及び光学素子製造装置 |
JP2016140923A (ja) * | 2015-01-30 | 2016-08-08 | 株式会社ジェイテクト | 加工装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009532210A (ja) | 基板の縁部を研摩するための方法及び装置 | |
JP2004142083A (ja) | ウエハ研磨装置およびウエハ研磨方法 | |
TW200905741A (en) | Methods and apparatus for polishing a notch of a substrate by substrate vibration | |
JP2007021676A (ja) | ノズル装置、ワイヤ加工装置、及びワイヤ加工方法 | |
JP2006231470A (ja) | 両面ポリッシュ加工機の定寸方法及び定寸装置 | |
JP5730127B2 (ja) | 研削方法 | |
JP2004268163A (ja) | 表面加工方法 | |
JP2002113659A (ja) | 研削盤における研削方法及び研削盤 | |
JP5356837B2 (ja) | 研磨パッドの処理方法 | |
JP6369649B1 (ja) | フィルムラップ加工装置 | |
JP2003200342A (ja) | ウェーハ加工装置用コンディショナー装置 | |
JP2001038603A (ja) | ドレッサ,ドレッサ付き研磨装置及びドレッシング方法 | |
JP3045236B1 (ja) | 研磨布コンディショナを備えたウェハ研磨装置 | |
JP5758680B2 (ja) | バリ取り装置 | |
JP3690397B2 (ja) | ラッピング加工装置およびラッピング加工方法 | |
JPH1034528A (ja) | 研磨装置と研磨方法 | |
JPH07246555A (ja) | 金属製円筒物の表面加工方法及び装置 | |
JP4960028B2 (ja) | ツルーイング装置及びツルーイング方法 | |
JP4193508B2 (ja) | ラッピング加工装置およびその制御方法 | |
JP3690396B2 (ja) | ラッピング加工装置およびラッピング加工方法 | |
JP4687285B2 (ja) | 研磨加工方法および研磨加工装置 | |
JP2011045957A (ja) | 研磨方法及びその装置 | |
JP3912296B2 (ja) | 研磨装置および研磨方法 | |
JP4224823B2 (ja) | テクスチャ加工装置 | |
JP3736534B2 (ja) | ラッピング加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20060127 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20071227 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20090512 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20090929 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |