JP2016140923A - 加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】回転するワーク（円すいころ）に対して砥石を接触させて超仕上げ加工を行う技術において、外観検査を省略又は外観検査による作業負担を軽減することを可能とする。
【解決手段】加工装置１０は、円すいころ７を回転させる回転機構３０、円すいころ７の外周面８に接触させる砥石１１、砥石１１を外周面８に押し付けるためのアクチュエーター１５、及び、砥石１１を外周面８に沿って振動させる振動機構１７を備えている。回転機構３０は、円すいころ７を載せる一対のローラ２８，２９と、一対のローラ２８，２９を回転させるモータ２６，２７と、外周面８における傷発生の可能性を検知するためにモータ２６，２７を流れる電流値を検知する検知手段３５とを有している。
【選択図】 図１

Description

本発明は、回転するワーク（例えば、円すいころ）に対して超仕上げ加工を行うための加工装置に関する。

従来、ワークに対して超仕上げ加工を行うために、回転しているワークの加工対象面に砥石を接触させつつ、その砥石を振動させている。例えば、円すいころ軸受の円すいころをワークとする場合、その外周面に対して超仕上げ加工が行われる。この場合、回転する円すいころの外周面に砥石を接触させつつ、その砥石を外周面の母線に平行な方向に沿って振動させる。

このような超仕上げ加工を行うための加工装置として、図５に示すものがある。この加工装置は、砥石９１を振動させるための機構として、ベース材９５、モータ９２、モータ９２により回転する偏心カム９３、砥石９１を保持する砥石台９８、及び砥石台９８を搭載している可動体９４を備えている。可動体９４は、ベース材９５において往復移動可能として支持されており、偏心カム９３の回転運動を可動体９４の往復運動に変換することで砥石９１を振動させている。このような偏心カム９３を用いて砥石９１を振動させる構成を備えている加工装置として、特許文献１に記載のものがある。

また、図５に示す加工装置では、円すいころ９０を回転させるための機構として、一対のローラ９７を備えている。一対のローラ９７は、円すいころ９０を載せて支持していると共に、モータ９６により回転する構成である。

前記のような加工装置によれば、一対のローラ９７により円すいころ９０を回転させることができ、そして、この回転する円すいころ９０に対して砥石９１を押し付け、更に、砥石９１を振動させることで、円すいころ９０の外周面に対して超仕上げ加工を行うことが可能となる。

特開２００４−２０９６３１号公報

超仕上げ加工を終えた円すいころ９０は、加工装置から搬出され、次の検査工程において、外観検査機により外周面の傷の有無等の外観検査を行う必要がある。この外観検査では、超仕上げ加工の際に、円すいころ９０の外周面に生じた傷の検出が行われる。

円すいころ等のワークの生産性を向上させるためには、外観検査を省略したり外観検査による作業負担を軽減したりすればよく、そこで、本発明では、外観検査を省略又は外観検査による作業負担を軽減することが可能となる新たな技術的手段を提供することを目的とする。

回転するワークに対して砥石を接触させて超仕上げ加工を行う技術において、本発明の発明者は、ワークの加工対象面に傷が生じる原因の一つとして、回転するワークのスリップに着目した。すなわち、一定の回転速度で回転するローラに沿ってワークが一定の周速度で回転している状態から、何らかの原因によってワークとローラとの間にスリップ（滑り）が生じると、このスリップによりワークの加工対象面に傷が生じる場合があることに着目し、本発明は、このような着想により得られたものである。

すなわち、本発明の加工装置は、ワークを当該ワークの中心線回りに回転させる回転機構、前記ワークの加工対象面に接触させる砥石、前記砥石を前記加工対象面に押し付けるためのアクチュエーター、及び、前記砥石を前記加工対象面に沿って振動させる振動機構を備え、前記回転機構は、前記ワークを載せる一対のローラと、前記一対のローラを回転させるモータと、前記加工対象面における傷発生の可能性を検知するために前記モータを流れる電気の測定値を検知する検知手段とを有している。

本発明によれば、モータによって一対のローラを回転させることによりこの一対のローラ上のワークを回転させ、更に、アクチュエーターによりこのワークの加工対象面に対して砥石を押し付けた状態とし、振動機構によりこの砥石を振動させることで、ワークの加工対象面に対して超仕上げ加工を行うことが可能となる。そして、この加工の中で、検知手段により、前記モータを流れる電気の測定値に基づいてワークにおける傷発生の可能性を検知する。つまり、アクチュエーターによりワークの加工対象面に対して砥石を押し付けると、このワークを載せて回転しているローラには、砥石の押し付け力に応じたトルク（トルク負荷抵抗）が生じる。ワークが一定の周速度で回転している場合、このトルクは一定であり、ローラを回転させるモータを流れる電気の測定値は定常であるが、ローラに対してワークがスリップすると前記トルクが変動し、この変動によりモータを流れる電気の測定値に変化が生じる。そこで、検知手段によれば、この測定値の変化に基づいてワークにおける傷発生の可能性を検知することが可能となる。このように、ワークにおける傷発生の可能性の検知を、加工中に行うことができることから、加工後の外観検査を省略、又は、外観検査を一部省略することで作業負担を軽減することが可能となる。

また、前記回転機構は、前記モータとして、前記一対のローラのうちの一方の第１ローラを回転させる第１モータと、他方の第２ローラを回転させる第２モータとを有し、前記検知手段は、前記ワークにおける傷発生の可能性を検知するために、前記第１モータを流れる電気の測定値と前記第２モータを流れる電気の測定値との差を検知するのが好ましい。
この場合、ワークがスリップすると第１ローラ及び第２ローラの双方のトルク（トルク負荷抵抗）に影響を与えることから、第１モータを流れる電気の測定値及び第２モータを流れる電気の測定値の双方が変化する。そこで、これら測定値の差に基づいてワークにおける傷発生の可能性を検知することで、その検知精度を高めることが可能となる。つまり、例えば、前記差ではなく、各モータを流れる電気の測定値の変化に基づく場合、その変化がノイズによるものであっても傷発生と誤検知するおそれがあるが、前記構成により第１モータを流れる電気の測定値及び第２モータを流れる電気の測定値の双方の変化を監視することで、誤検知を抑制することが可能となる。

また、前記第１モータを流れる電気の第１測定値が前記第２モータを流れる電気の第２測定値よりも大きく、当該第１測定値と当該第２測定値との差が所定値である状態から、当該差が閾値以上について小さくなると、前記検知手段は、前記ワークにおける傷発生の可能性を検知するのが好ましい。
これは、一対のローラに対してワークが押し付けられた状態で、これらローラによりワークを回転させる際、第１ローラにおけるトルク（トルク負荷抵抗）は大きく、第２ローラにおけるトルク（トルク負荷抵抗）が小さいことを利用している。つまり、このようにしてワークを回転させ超仕上げ加工を行っている途中で、ワークがスリップすると、（トルクが大きかった）第１ローラにおけるトルクは小さくなるように変化するのに対して、（トルクが小さかった）第２ローラにおけるトルクは大きくなるように変化し、第１ローラにおけるトルクと第２ローラにおけるトルクとの差が小さくなる。そこで、この差が閾値以上について小さくなると、検知手段が、ワークにおける傷発生の可能性を検知することができる。

また、前記モータは、サーボモータであるのが好ましい。この場合、ワークのスリップに起因するローラのトルク変動を、サーボモータを流れる電気の測定値に基づいて容易に捉えることが可能となる。

本発明によれば、ワークにおける傷発生の可能性の検知を、加工中に行うことができることから、加工後の外観検査を省略、又は、外観検査を一部省略することで作業負担を軽減することが可能となる。

本発明の加工装置の実施の一形態の一部を示す斜視図である。 砥石、円すいころ、及び一対のローラを、ローラの中心線方向に沿って見た場合の説明図である。 第１及び第２モータを流れる電流値の時間変化を示すグラフである。 検知手段の動作を説明するフロー図である。 従来の加工装置の一部を示す斜視図である。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
図１は、本発明の加工装置の実施の一形態の一部を示す斜視図である。この加工装置１０は、ワークを超仕上げ加工するための装置であり、本実施形態では、ワークが、円すいころ軸受の転動体として用いられる円すいころ７である場合について説明する。

この加工装置１０は、回転する円すいころ７の円錐に沿った外周面８に対して砥石１１を押し付けながら振動させて、この外周面８を超仕上げ加工する。砥石１１を振動させる方向は、円すいころ７の外周面８の砥石１１との接触部における母線に平行な方向である。本実施形態では、円すいころ７の外周面８に接触させる砥石１１は、その外周面８の母線の方向の長さよりも短く構成されている。

この加工装置１０は、円すいころ７を回転させる回転機構３０、砥石１１、砥石１１を円すいころ７の外周面８に押し付けるためのアクチュエーター１５、及び砥石１１を外周面８に沿って振動させる振動機構１７を備えている。

振動機構１７は、フレーム３９、モータ２０、モータ２０により回転する第１偏心カム２１、第１可動部材１３を備えている。本実施形態のモータ２０はサーボモータである。
砥石１１は、砥石台１２に保持されており、アクチュエーター１５に砥石台１２が取り付けられている。アクチュエーター１５は、第１可動部材１３に取り付けられていることから、砥石１１及び砥石台１２は、第１可動部材１３に搭載された構成となっている。アクチュエーター１５は、砥石１１を円すいころ７に押し付けるための推力を生じさせる機能を有している。アクチュエーター１５は、例えば電動シリンダからなる。

第１可動部材１３は、フレーム３９においてガイド部１４により往復直線移動可能として支持されており、第１偏心カム２１の回転運動が第１可動部材１３の往復直線運動に変換される構成となっている。第１可動部材１３が矢印Ｘ１，Ｘ２方向に往復直線運動することにより、この第１可動部材１３に搭載されている砥石１１を振動させることができる。ガイド部１４が第１可動部材１３を移動可能として支持する方向が、砥石１１の振動方向となる。

また、加工装置１０は、更に、前記モータ２０により回転する第２偏心カム２２、カウンタウエイト２３、及びカウンタウエイト２３が取り付けられている第２可動部材２４を備えている。第２可動部材２４は、フレーム３９においてガイド部１４により往復直線移動可能として支持されており、第２偏心カム２２の回転運動が第２可動部材２４の往復直線運動に変換される構成となっている。このように第２可動部材２４が矢印ｘ１，ｘ２方向に往復直線運動することにより、この第２可動部材２４と一体となってカウンタウエイト２３が往復直線運動する。

第１偏心カム２１と第２偏心カム２２とは回転位相が１８０度異なっており、砥石１１等を搭載する第１可動部材１３の振動を打ち消すことを目的として、第２偏心カム２２によりカウンタウエイト２３が往復直線運動する構成となっている。

回転機構３０は、一対のローラ２８，２９と、一対のモータ２６，２７とを有している。第１モータ２６の出力軸２６ａと第１ローラ２８の軸２８ａとは、ベルト等の動力伝達部材２５ａにより連結されており、第２モータ２７の出力軸２７ａと第２ローラ２９の軸２９ａとは、ベルト等の動力伝達部材２５ｂにより連結されている。なお、出力軸２６ａと軸２８ａとの連結及び出力軸２７ａと軸２９ａとの連結は、それぞれの軸に設けられた歯車が噛み合う形態であってもよい。
第１ローラ２８と第２ローラ２９とは同じ形状を有し、本実施形態ではローラ２８，２９は、共に円すい台形状を有しており、円すいころ７の外周面８とローラ２８，２９それぞれの外周面とは線接触するように、ローラ２８，２９の形状が設定されている。

円すいころ７は、ローラ２８，２９の間に位置し、かつ、これらローラ２８，２９の上に載った状態となり、モータ２６，２７の駆動によりローラ２８，２９が回転することによって、円すいころ７を、円すいころ７の中心回りに回転させると共に、この円すいころ７を支持することができる。
そして、超仕上げ加工の際、アクチュエーター１５により、ローラ２８，２９上で回転する円すいころ７に対して砥石１１を押し付けた状態とする。また、ローラ２８，２９の回転速度は一定としている。本実施形態のモータ２６，２７はサーボモータである。

以上より、加工装置１０は、円すいころ７を回転させる回転機構３０、円すいころ７の外周面（加工対象面）８に接触させる砥石１１、この砥石１１を円すいころ７の外周面８に押し付けるためのアクチュエーター１５、及び、砥石１１を円すいころ７の外周面８に沿って振動させる振動機構１７を備えており、回転機構３０によって回転する円すいころ７の外周面８に沿って、振動機構１７により砥石１１をこの外周面８の母線に平行な方向に振動させることができる構成が得られる。

本実施形態の加工装置１０では、前記モータ２０が砥石１１を振動させる動力源となり、前記モータ２６，２７が円すいころ７（ローラ２８，２９）を回転させる動力源となる。そして、前記回転機構３０には、モータ２６，２７の制御を行う第１制御部１８が含まれ、また、前記振動機構１７には、モータ２０の制御を行う第２制御部（図示せず）が含まれる。本実施形態では第１制御部１８が第２制御部を兼ねている。

制御部１８は、プログラマブルロジックデバイス等からなり、円すいころ７の外周面８における傷発生の可能性を検知するために、この制御部１８は、モータ２６，２７を流れる電気の測定値（本実施形態では、モータ２６，２７を流れる電流値）を検知する検知手段３５としての機能を有している。

検知手段３５は、第１ローラ２８を回転させる第１モータ２６を流れる電流値ｉ１を取得可能（計測可能）であり、また、第２ローラ２９を回転させる第２モータ２７を流れる電流値ｉ２を取得可能（計測可能）であり、更に、これらの差Δｉ（＝ｉ１−ｉ２）を求めることができる。
そして、検知手段３５は、第１モータ２６を流れる電流値ｉ１と第２モータ２７を流れる電流値ｉ２との差Δｉを検知し、これにより、円すいころ７の外周面８における傷発生の可能性が検知される。

この検知手段３５の機能について具体的に説明する。図２は、砥石１１、円すいころ７、及び一対のローラ２８，２９を、ローラ２８，２９の中心線方向に沿って見た場合の説明図である。
円すいころ７を一方向（図２において矢印ｒ方向）に回転させるためには、第１ローラ２８の回転方向（図２において矢印Ｒ１方向）と第２ローラ２９の回転方向（図２において矢印Ｒ２方向）とを同じ（図２では時計回り方向）とし、第１ローラ２８と第２ローラ２９とを同じ回転速度で回転させる。図２において、円すいころ７と第１ローラ２８との接触点をＰ１とし、円すいころ７と第２ローラ２９との接触点をＰ２としている。

アクチュエーター１５（図１参照）によって、砥石１１は円すいころ７をローラ２８，２９間に押していることから、ローラ２８，２９それぞれには、円すいころ７からの押し付け力Ｆ１，Ｆ２が作用する。押し付け力Ｆ１，Ｆ２は等しい。
第１ローラ２８に作用する押し付け力Ｆ１の分力ｆ１は、この第１ローラ２８の回転力に抗する力となるのに対して、第２ローラ２９に作用する押し付け力Ｆ２の分力ｆ２は、この第２ローラ２９の回転力を補助する力となる。

このため、一対のローラ２８，２９に対して円すいころ７が押し付けられた状態で、これらローラ２８，２９により円すいころ７を回転させる際、第１ローラ２８におけるトルク（トルク負荷抵抗）は第２ローラ２９よりも大きくなり、第２ローラ２９におけるトルク（トルク負荷抵抗）は第１ローラ２８よりも小さくなる。
したがって、図３の時刻ｔ０〜ｔ１に示すように、円すいころ７がスリップすることなく安定して回転している場合、第１ローラ２８を回転させる第１モータ２６を流れる電流値ｉ１−１は、第２モータ２７を流れる電流値ｉ２−１よりも大きくなる（ｉ１−１＞ｉ２−１）。なお、以下において、円すいころ７がスリップすることなく安定して回転している場合（時刻ｔ０〜ｔ１）の電流値ｉ１−１，ｉ２−１（図３参照）を、定常電流値ともいう。

図４は、検知手段３５の動作を説明するフロー図である。
検知手段３５は、刻々と電流値ｉ１と電流値ｉ２とを取得し（図４のステップＳｔ１）、この取得毎に差Δｉを演算により求め（ステップＳｔ２）、電流値ｉ１と電流値ｉ２との差Δｉの変化を監視する（ステップＳｔ３）。図３において、定常電流値ｉ１−１，ｉ２−１が取得される場合の差Δｉを「Δｉ−１」とする。

円すいころ７に対して超仕上げ加工を行っている途中で、何らかの原因によって、ローラ２８，２９に対して円すいころ７がスリップすると（図３において時刻ｔ１〜ｔ２）、ローラ２８，２９（図２参照）それぞれに対する円すいころ７からの押し付け力Ｆ１，Ｆ２が減少し、これにより、分力ｆ１，ｆ２も小さくなる。
すると、分力ｆ１は第１ローラ２８の回転力に抗する力であることから、この分力ｆ１が小さくなると、第１ローラ２８のトルク（トルク負荷抵抗）が減少し、図３の時刻ｔ１〜ｔ２に示すように、定格電流値ｉ１−１よりも第１モータ２６の電流値（ｉ１−２）が小さくなる（ｉ１−１＞ｉ１−２）。
これに対して、分力ｆ２は第２ローラ２９の回転力を補助する力であり、この分力ｆ２が小さくなると、第２ローラ２９のトルク（トルク負荷抵抗）が増加し、図３の時刻ｔ１〜ｔ２に示すように、定格電流値ｉ２−１よりも第２モータ２７の電流値（ｉ２−２）が大きくなる（ｉ２−１＜ｉ２−２）。なお、図３において、スリップが生じた場合の第１モータ２６の電流値がｉ１−２であり、スリップが生じた場合の第２モータ２７の電流値をｉ２−２である。

前記のとおり、検知手段３５は刻々と電流値（ｉ１−２，ｉ２−２）を取得する（図４のステップＳｔ１）と共にその差Δｉを求める（ステップＳｔ２）ことから、スリップが生じた際の電流値ｉ１−２，ｉ２−２の差も求められる。図３において、この差が「Δｉ−２」である。

検知手段３５は、前回、既に求められている前記差「Δｉ−１」と、今回、新たに求められた差「Δｉ−２」とを比較し（図４のステップＳｔ３）、これらの変化量が所定の閾値α以上であると判定すると（ステップＳｔ３でＹｅｓの場合）、円すいころ７の外周面８における傷発生の可能性を検知する（ステップＳｔ４）。すると、検知手段３５は、その検知結果を報知するための信号を生成し、その信号に基づいて、検知結果を図外の出力装置に出力させ、作業者に傷発生の可能性を報知する（ステップＳｔ５）。出力装置としては、例えば、情報を画像や文字で出力するモニタや、音声で出力するスピーカである。

このように、第１モータ２６を流れる第１電流値（第１測定値）ｉ１−１が第２モータ２７を流れる第２電流値（第２測定値）ｉ２−１よりも大きく（ｉ１−１＞ｉ１−２）、これら第１電流値ｉ１−１と第２電流値ｉ２−１との差が所定値Δｉ−１である状態から、この差Δｉ−１が閾値α以上について小さくなると（（Δｉ−１）−（Δｉ−２）≧α）、検知手段３５は、円すいころ７の外周面８における傷発生の可能性を検知し、そして、作業者に対して傷発生の可能性を報知する。

以上のように構成された加工装置１０によれば、円すいころ７の外周面８に対して超仕上げ加工を行うことが可能となる。つまり、モータ２６，２７により一対のローラ２８，２９を回転させることにより、この一対のローラ２８，２９上の円すいころ７を回転させ、更に、アクチュエーター１５によりこの円すいころ７の外周面８に対して砥石１１を押し付けた状態とし、振動機構１７によりこの砥石１１を振動させることで、円すいころ７の外周面８に対して超仕上げ加工を行うことが可能となる。

そして、この加工の中で、検知手段３５により、モータ２６，２７を流れる電流値（電気の測定値）ｉ１，ｉ２に基づいて、円すいころ７の外周面８における傷発生の可能性が検知される。つまり、アクチュエーター１５により円すいころ７の外周面８に対して砥石１１を押し付けると、この円すいころ７を載せて回転しているローラ２８，２９には、砥石１１の押し付け力に応じたトルク（トルク負荷抵抗）が生じる。
円すいころ７が一定の周速度で回転している場合、このトルクは一定であり、ローラ２８，２９を回転させるモータ２６，２７を流れる電流値はそれぞれ定常であるが（図３において、時刻ｔ０〜ｔ１）、ローラ２８，２９に対して円すいころ７がスリップすると前記トルクが変動し、この変動によりモータ２６，２７を流れる電流値ｉ１，ｉ２に変化が生じる（図３において、時刻ｔ１〜ｔ２）。そこで、検知手段３５によれば、この電流値ｉ１，ｉ２の変化に基づいて円すいころ７の外周面８における傷発生の可能性を検知することが可能となる。

つまり、円すいころ７を回転させ超仕上げ加工を行っている途中で、円すいころ７がスリップすると、トルク（トルク負荷抵抗）が大きかった第１ローラ２８におけるトルク（トルク負荷抵抗）は小さくなるように変化するのに対して、トルク（トルク負荷抵抗）が小さかった第２ローラ２９におけるトルク（トルク負荷抵抗）は大きくなるように変化し、第１ローラにおけるトルクと第２ローラにおけるトルクとの差が小さくなる。そこで、この差が閾値以上について小さくなると、検知手段３５が、円すいころ７における傷発生の可能性を検知することができる。

また、本実施形態では、検知手段３５は、第１モータ２６を流れる電流値ｉ１と第２モータ２７を流れる電流値ｉ２との差Δｉに基づいて、円すいころ７における傷発生の可能性を検知している。これは、円すいころ７がスリップすると第１ローラ２８及び第２ローラ２９の双方のトルク（トルク負荷抵抗）に影響を与え、第１モータ２６を流れる電流値ｉ１及び第２モータ２７を流れる電流値ｉ２の双方が変化するためである。
つまり、これら電流値ｉ１，ｉ２の差Δｉに基づいて円すいころ７における傷発生の可能性を検知することで、その検知精度を高めることが可能となる。例えば、前記差Δｉではなく、モータ２６，２７それぞれを流れる電流値ｉ１，ｉ２の変化に基づく場合、その変化がノイズによるものであっても傷発生と誤検知するおそれがあるが、前記構成によれば、誤検知を抑制することが可能となる。

特に、本実施形態では、第１電流値ｉ１と第２電流値ｉ２との差Δｉが所定値（Δｉ−１）である状態から、この差Δｉが閾値α以上について小さくなると、検知手段３５は、円すいころ７における傷発生の可能性を検知する。
これは、一対のローラ２８，２９に対して円すいころ７が押し付けられた状態で、これらローラ２８，２９により円すいころ７を回転させる際、第１ローラ２８におけるトルク（トルク負荷抵抗）は大きく、第２ローラ２９におけるトルク（トルク負荷抵抗）が小さいことを利用している。
つまり、このようにして円すいころ７を回転させ超仕上げ加工を行っている途中で、円すいころ７がスリップすると、トルクが大きかった第１ローラ２８におけるトルクは小さくなるように変化するのに対して、トルクが小さかった第２ローラ２９におけるトルクは大きくなるように変化し、第１ローラ２８におけるトルクと第２ローラ２９におけるトルクとの差が小さくなる。そこで、この差が閾値α以上について小さくなると、検知手段３５により、円すいころ７の外周面８における傷発生の可能性が検知される。

また、本実施形態では、ローラ２８，２９を回転させるモータ２６，２７は、サーボモータであることから、ローラ２８，２９に対する円すいころ７のスリップに起因するローラ２８，２９のトルク変動を、サーボモータ２６，２７を流れる電流値ｉ１，ｉ２に基づいて容易に捉えることが可能となる。

以上より、本実施形態の加工装置１０によれば、円すいころ７における傷発生の可能性の検知を、加工中に行うことができることから、加工後の外観検査を省略、又は、外観検査を一部省略することで作業負担を軽減することが可能となる。この結果、円すいころ７の生産性を向上させることができる。

本発明の加工装置は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、前記実施形態では、検知手段３５は、モータ２６，２７を流れる電流値ｉ１，ｉ２に基づいて機能する場合について説明したが、電流値以外であってもよく、モータ２６，２７を流れる電気の測定値であればよく、例えば抵抗値を用いてもよい。
また、振動機構１７は、図示した構成以外であってもよい。
また、前記実施形態では、超仕上げ加工を行う対象となるワークを、円すいころ７とする場合について説明したが、ワークはその他のものであってもよく、例えば、転がり軸受の外輪であってもよく、この場合、外輪の軌道面を超仕上げ加工する。

７：円すいころ（ワーク） ８：外周面（加工対象面） １０：加工装置
１１：砥石 １５：アクチュエーター １７：振動機構
２６：第１モータ ２７：第２モータ ２８：第１ローラ
２９：第２ローラ ３０：回転機構 ３５：検知手段

Claims (4)

1. ワークを当該ワークの中心線回りに回転させる回転機構、前記ワークの加工対象面に接触させる砥石、前記砥石を前記加工対象面に押し付けるためのアクチュエーター、及び、前記砥石を前記加工対象面に沿って振動させる振動機構、を備え、
   前記回転機構は、前記ワークを載せる一対のローラと、前記一対のローラを回転させるモータと、前記加工対象面における傷発生の可能性を検知するために前記モータを流れる電気の測定値を検知する検知手段と、を有している、加工装置。
2. 前記回転機構は、前記モータとして、前記一対のローラのうちの一方の第１ローラを回転させる第１モータと、他方の第２ローラを回転させる第２モータと、を有し、
   前記検知手段は、前記ワークにおける傷発生の可能性を検知するために、前記第１モータを流れる電気の測定値と前記第２モータを流れる電気の測定値との差を検知する請求項１に記載の加工装置。
3. 前記第１モータを流れる電気の第１測定値が前記第２モータを流れる電気の第２測定値よりも大きく、当該第１測定値と当該第２測定値との差が所定値である状態から、当該差が閾値以上について小さくなると、前記検知手段は、前記ワークにおける傷発生の可能性を検知する請求項２に記載の加工装置。
4. 前記モータは、サーボモータである請求項１〜３のいずれか一項に記載の加工装置。

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