JP2004266258A - 半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 上記目的を達成するために、本発明は、n型GaN系半導体層とp型GaN系半導体層とで挟まれたGaN系半導体からなる発光層を含む半導体発光素子であって、Ga又はBがドープされたMgzZn1−zO(0≦z<1)電極膜を備える半導体発光素子である。
【選択図】図1
Description
本願第一の発明により、MgzZn1-zO電極膜の面方向に電流を拡散し、併せてMgzZn1-zO電極膜とn型GaN系半導体層、又はp型GaN系半導体層とのポテンシャルバリアを減少させることができる。
本願では、GaN系半導体層とは、InpGaqAlrN(p+q+r=1、p≧0、q≧0、r≧0)を少なくとも1層を含む半導体層をいう。
本願第二の発明により、MgzZn1-zO電極膜への電流供給を容易にすることができる。
本願第三の発明により、MgzZn1-zO電極膜への電流供給を容易にすることができる。
本願第四の発明により、MgzZn1-zO電極膜の抵抗率を減少させることができる。
本願第五の発明では、Gaに替えてGaと同じIIIB族元素であるBをドープすることにより、MgzZn1-zO電極膜の面方向に電流を拡散し、併せてMgzZn1-zO電極膜とn型GaN系半導体層、又はp型GaN系半導体層とのポテンシャルバリアを減少させることができる。
本願第六の発明により、MgzZn1-zO電極膜への電流供給を容易にすることができる。
本願第七の発明により、MgzZn1-zO電極膜への電流供給を容易にすることができる。
本願第八の発明により、MgzZn1-zO電極膜の抵抗率を減少させることができる。
なお、これらの各構成は、可能な限り組み合わせることができる。
12 MgZnO電極膜
13 p型GaN系半導体層
14 発光層
15 n型GaN系半導体層
16 金属電極
17 サファイヤ基板
18 金属電極
19 導電性基板
Claims (8)
- n型GaN系半導体層とp型GaN系半導体層とで挟まれたGaN系半導体からなる発光層を含む半導体発光素子であって、GaがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜を備える半導体発光素子。
- 前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層に電流を供給する金属電極を備え、前記GaがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜は前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層と該金属電極との間に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層に電流を供給する金属電極を備え、該金属電極と前記GaがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜とは隣接し、かつ該金属電極及び前記GaがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜は前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層の面に接するように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記MgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜へのGaのドーピング量がキャリア濃度1×1019cm−3以上、5×1021cm−3以下であることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の半導体発光素子。
- n型GaN系半導体層とp型GaN系半導体層とで挟まれたGaN系半導体からなる発光層を含む半導体発光素子であって、BがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜を備える半導体発光素子。
- 前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層に電流を供給する金属電極を備え、前記BがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜は前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層と該金属電極との間に形成されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子。
- 前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層に電流を供給する金属電極を備え、該金属電極と前記BがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜とは隣接し、かつ該金属電極及び前記BがドープされたMgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜は前記n型GaN系半導体層又は前記p型GaN系半導体層の面に接するように形成されていることを特徴とする請求項5に記載の半導体発光素子。
- 前記MgzZn1-zO(0≦z<1)電極膜へのBのドーピング量がキャリア濃度1×1019cm−3以上、5×1021cm−3以下であることを特徴とする請求項5、6又は7に記載の半導体発光素子。
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