JP2004241759A - 半導体素子の金属配線形成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 層間絶縁膜の内に設けられたトレンチの側壁にスペーサーを形成することにより層間絶縁膜の脆弱な機械的な特性を補完し、層間絶縁膜が腐食し或いは金属配線がディッシングされる現象を抑制可能な半導体素子の金属配線形成方法を提供する。
【解決手段】 半導体基板の上にビアプラグ106を形成する段階と、ビアプラグが形成された半導体基板の上に層間絶縁膜108を形成する段階と、層間絶縁膜をパターニングし、ビアプラグに連結される上部配線形成のためのトレンチを形成する段階と、トレンチが形成された半導体基板の上に、層間絶縁膜より機械的なストレスに強い特性を有するスペーサー用の絶縁膜を蒸着する段階と、スペーサー用の絶縁膜を異方性ドライエッチングしてトレンチの側壁にスペーサー110を形成する段階と、トレンチを導電物質で埋め込んで金属配線116を形成する段階とを含む。
【選択図】図5
【解決手段】 半導体基板の上にビアプラグ106を形成する段階と、ビアプラグが形成された半導体基板の上に層間絶縁膜108を形成する段階と、層間絶縁膜をパターニングし、ビアプラグに連結される上部配線形成のためのトレンチを形成する段階と、トレンチが形成された半導体基板の上に、層間絶縁膜より機械的なストレスに強い特性を有するスペーサー用の絶縁膜を蒸着する段階と、スペーサー用の絶縁膜を異方性ドライエッチングしてトレンチの側壁にスペーサー110を形成する段階と、トレンチを導電物質で埋め込んで金属配線116を形成する段階とを含む。
【選択図】図5
Description
本発明は、半導体素子の製造方法に係り、さらに詳しくは、層間絶縁膜の内に設けられたトレンチの側壁にスペーサーを形成することにより層間絶縁膜の脆弱な機械的な特性を補完し、層間絶縁膜が腐食し或いは金属配線がディッシング(dishing)される現像を抑制することが可能な半導体素子の金属配線形成方法に関する。
半導体素子のインダクター(Inductor)は、配線の厚さが厚く、配線と配線間の間隔が狭い。このように薄膜厚さが厚くて配線間隔が狭いため、金属配線形成工程としてのCMP(Chemical Mechanical Polishing)工程中に層間絶縁膜が割れるという問題が生ずる。このような問題は、層間絶縁膜として低誘電率の酸化膜を使用する場合にさらに激しい。一般に、層間絶縁膜として用いられる低誘電酸化膜は、多孔性であり、炭素含量が高くて機械的ストレス (mechanical stress)に脆弱である。特に、このような脆弱な機械的特性は配線の厚さが厚くなるにつれてさらに激しく現れる。ところが、高いクォリティーファクタ(Quality factor:Q)を得るためには、低誘電酸化膜を使用しなければならない。また、金属配線形成工程の一部であるCMP工程中に酸化膜が腐食する問題、及び金属配線がディッシングされる問題が誘発される。
このように層間絶縁膜として低誘電酸化膜を使用することにより現れる脆弱な機械的特性、酸化膜の腐食、金属配線のディッシングなどといった問題を改善する必要がある。
従って、本発明は、かかる問題点を解決するためのもので、その目的は、層間絶縁膜の内に設けられたトレンチの側壁にスペーサーを形成することにより層間絶縁膜の脆弱な機械的な特性を補完し、層間絶縁膜が腐食し或いは金属配線がディッシングされる現象を抑制することが可能な半導体素子の金属配線形成方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明は、半導体基板の上にビアプラグを形成する段階と、前記ビアプラグが形成された半導体基板の上に層間絶縁膜を形成する段階と、前記層間絶縁膜をパターニングし、前記ビアプラグに連結される上部配線形成のためのトレンチを形成する段階と、前記トレンチが形成された半導体基板上に、前記層間絶縁膜より機械的ストレスに強い特性を有するスペーサー用の絶縁膜を蒸着する段階と、前記スペーサー用の絶縁膜を異方性ドライエッチングして前記トレンチの側壁にスペーサーを形成する段階と、前記トレンチを導電物質で埋め込んで金属配線を形成する段階とを含むことを特徴とする半導体素子の金属配線形成方法を提供する。
前記スペーサー用の絶縁膜は、前記層間絶縁膜より機械的強度が大きく且つ金属拡散防止膜として使用できるSi3N4膜又はSiC膜を使用することが好ましい。前記スペーサー用の絶縁膜は、温度200〜450℃、圧力0.01〜500torr程度の範囲でPE−CVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)法によって蒸着することが好ましい。前記スペーサー用の絶縁膜は50Å〜1500Å程度の厚さに蒸着することが好ましい。
前記異方性ドライエッチングとしては反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching)を使用することができる。
本発明に係る半導体素子の金属配線形成方法によれば、Si3N4膜のような機械的強度の強い物質を層間絶縁膜のスペーサーとして使用し、CMP工程によって低誘誘電膜の低い機械的強度を補充することにより、層間絶縁膜の割れ現象発生とCMP工程による酸化膜の腐食 (erosion)発生を最少化することができる。また、このようなスペーサー用の絶縁膜は後続の熱処理工程においてCu原子の拡散を抑制し、素子の配線信頼性を向上させることができる。
また、本発明によれば、金属配線のディッシングを最小化して高いクォリティーファクタQ値を得ることができ、金属配線の物理的なフェールを最小化することができる。
また、トレンチ側壁のスペーサー酸化膜はCuインダクター配線においてCu拡散防止膜のステップカバレージを向上させて拡散防止膜の特性を向上させることができる。
以下、添付する図面に基づいて本発明の好適な実施例を説明する。ところが、下記の実施例は当技術分野で通常の知識を有する者に本発明が十分理解されるように提供されるもので、様々な変形実施が可能である。本発明の範囲が下記の実施例に限定されるものではない。下記の説明で一つの層が他の層の上に存在すると記述されるとき、これは他の層の真上に存在することができ、その間に第3の層が介在されることもできる。また、図面において、各層の厚さ又は大きさは説明の便宜及び明確性のために誇張された。図面上において、同一の符号は同一の要素を示す。
図1ないし図6は本発明の好ましい実施例に係る半導体素子の金属配線形成方法を説明するために示す断面図である。
図1を参照すると、トランジスタ−(図示せず)などを含む半導体素子が形成された半導体基板100を用意する。半導体基板100の上に下部配線102を形成する。下部配線102はCu膜、Al膜又はW膜などの導電膜で形成する。次に、前記下部配線102の上に第1層間絶縁膜104を形成する。第1層間絶縁膜104はSOG(Spin On Glass)膜、TEOS(Tetra Ethyl Orthod Silicate)膜、F−TEOS(Fluorine doped Tetra Ethyl Ortho Silicate)膜、PSG(Phosphorus Silicate Glass)膜、BPSG(Boron Phosphorus Silicate Glass)膜などで形成する。第1層間絶縁膜104は3000Å〜10,000Å程度の厚さにデザインルールによって蒸着して形成する。
第1層間絶縁膜104の上に、下部配線102を露出させるビアホールを定義する第1感光膜パターン(図示せず)を形成する。前記第1感光膜パターンをエッチングマスクとして第1層間絶縁膜104をエッチングしてビアホールを形成する。ビアホール形成のためのエッチングはC4F8又はC5F8ガスとO2ガス、N2ガス及びArガスを使用する。具体的に、例えば10〜400mTの圧力、100〜3000Wのソースパワー及び500〜1800Wのバイアスパワーの下で3〜200sccmのC4F8又はC5F8ガス、5〜500sccmのO2ガス、10〜2000sccmのN2ガス及び100〜3000sccmのArガスを注入してエッチングすることができる。
前記ビアホールを導電物質で埋め込んでビアプラグ106を形成する。前記ビアプラグ106はCu膜、Pt膜、Au膜、Ag膜、Al膜またはW膜などで形成する。
図2を参照すると、ビアプラグ106及び第1層間絶縁膜104の上に第2層間絶縁膜108を形成する。第2層間絶縁膜108として低誘電酸化膜を使用する。例えば、第2層間絶縁膜108はSOG(Spin On Glass)膜、F−TEOS(Fluorine doped Tetra Ethyl Orthod Silicate)膜、COD(Carbon Doped Dielectric)膜または多孔性低誘電酸化膜などで形成する。第2層間絶縁膜108はクォリティーファクタQを満足させるために0.5μm〜数十μm程度の厚さに蒸着する。
次に、半導体基板100の上に、トレンチ109を定義する第2感光膜パターン(図示せず)を形成する。前記第2感光膜パターンをエッチングマスクとして第2層間絶縁膜108をエッチングし、ビアプラグ106を露出させるトレンチ109を形成する。具体的に、例えばC4F8、O2ガス、N2ガス又はArガスを活性化したプラズマを用いて第2層間絶縁膜108をエッチングしてトレンチ109を形成する。一方、エッチング選択比に応じて第2層間絶縁膜108の下部にエッチング防止膜を形成し、トレンチ形成の際にエッチング停止層として使用することもできる。
図3を参照すると、トレンチ109が形成された結果物の上に段差に沿ってスペーサー用の絶縁膜を蒸着した後、異方性ドライエッチングしてトレンチの側壁にスペーサー110を形成する。前記スペーサー用の絶縁膜は第2層間絶縁膜108より機械的強度が大きく、金属拡散防止膜として使用できるSi3N4膜またはSiC膜で形成する。低誘電率を有する第2層間絶縁膜108はCMP(Chemical Mechanical Polishing)のような機械的なストレスに脆弱なので、これを補完するために第2層間絶縁膜108の内に設けられたトレンチの側壁にスペーサー110を形成する。前記スペーサー陽絶縁膜は温度200〜450℃、圧力0.01〜500torr程度の範囲でPE−CVD法によって蒸着することが好ましい。スペーサー用の絶縁膜は50Å〜1500Å程度の厚さに蒸着する。前記異方性ドライエッチングは反応性イオンエッチング法を使用する。
図4を参照すると、スペーサー110が形成された結果物上に段差に沿って拡散防止膜112を蒸着する。拡散防止膜112は100〜1500Å程度の厚さを蒸着する。拡散防止膜112は第2層間絶縁膜108との接着特性に優れ、後続の工程で形成される金属配線との接着特性に優れ、金属の拡散を防止することが可能なTa膜、Ti膜、TaN膜またはTiN膜などで形成することができる。
拡散防止膜112の上に銅シード層114を形成する。銅シード層114は500Å〜2000Å程度の厚さに形成する。
図5を参照すると、前記銅シード層114の上に電気メッキ法を用いてトレンチの内を銅膜116で埋め込む。銅膜116は第2層間絶縁膜108の厚さより厚く、例えば0.5μm〜数十μm程度の厚さに形成する。次に、アニーリング工程を行って銅膜116を緻密化させる。
CMP工程を行って第2層間絶縁膜108上の銅膜116、銅シード層114及び拡散防止膜112を除去する。前記CMP工程によって平坦化された上部配線が形成される。
図6を参照すると、上部配線が形成された結果物の上に第1パッシベーション膜118を形成する。第1パッシベーション膜118はSi3N4膜またはSiC膜で形成し、500〜1500Å程度の厚さに形成する。次に、第1パッシベーション膜118の上に第2パッシベーション膜120を形成する。第2パッシベーション膜120は配線結合の為TEOS膜で形成し、1000〜10000Å程度の厚さに形成する。結合の方式が変わる場合、パッシベーション膜の厚さと構造が変わる可能性もある。
第2パッシベーション膜120及び第1パッシベーション膜118をパターニングしてパッド形成のための開口部(図示せず)を形成する。パッド形成のための開口部が形成された結果物上に段差に沿って拡散防止膜(図示せず)を蒸着する。前記拡散防止膜は100〜1000Å程度の厚さに蒸着する。前記拡散防止膜は金属配線との接着特性に優れ、パッドとして形成される金属の拡散を防止することが可能なTa膜、Ti膜、TaN膜またはTiN膜などで形成することができる。
前記拡散防止膜上に導電幕を蒸着し、パターニングしてパッド(図示せず)を形成する。前記パッドはAl膜などの金属膜で形成することができる。
以上、本発明の好適な実施例を挙げて詳細に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で当分野で通常の知識を有する者によって様々な変形が可能である。
100 半導体基板
102 下部配線
104 第1層間絶縁膜
106 ビアプラグ
108 第2層間絶縁膜
109 トレンチ
110 スペーサー
112 拡散防止膜
114 銅シード層
116 銅膜
118 第1パッシベーション膜
120 第2パッシベーション膜
102 下部配線
104 第1層間絶縁膜
106 ビアプラグ
108 第2層間絶縁膜
109 トレンチ
110 スペーサー
112 拡散防止膜
114 銅シード層
116 銅膜
118 第1パッシベーション膜
120 第2パッシベーション膜
Claims (8)
- 半導体基板の上にビアプラグを形成する段階と、
前記ビアプラグが形成された半導体基板の上に層間絶縁膜を形成する段階と、
前記層間絶縁膜をパターニングし、前記ビアプラグに連結される上部配線形成のためのトレンチを形成する段階と、
前記トレンチが形成された半導体基板の上に、前記層間絶縁膜より機械的なストレスに強い特性を有するスペーサー用の絶縁膜を蒸着する段階と、
前記スペーサー用の絶縁膜を異方性ドライエッチングして前記トレンチの側壁にスペーサーを形成する段階と、
前記トレンチを導電物質で埋め込んで金属配線を形成する段階とを含んで構成されることを特徴とする半導体素子の金属配線形成方法。 - 前記スペーサー用の絶縁膜は、前記層間絶縁膜より機械的な強度が大きく、金属拡散防止膜として使用できるSi3N4膜又はSiC膜を使用することを特徴とする請求項1記載の半導体素子の金属配線形成方法。
- 前記スペーサー用の絶縁膜は、温度200〜450℃、圧力0.01〜500torr程度の範囲でPE−CVD(Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)法によって蒸着することを特徴とする請求項2記載の半導体素子の金属配線形成方法。
- 前記スペーサー用の絶縁膜は50Å〜1500Å程度の厚さに蒸着することを特徴とする請求項1記載の半導体素子の金属配線形成方法。
- 前記異方性ドライエッチングは反応性イオンエッチング(Reactive Ion Etching)であることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の金属配線形成方法。
- 前記層間絶縁膜は、低誘電率を有する酸化膜としてSOG(Spin On Glass)膜、F−TEOS(Fluorine doped Tetra Ethyl Ortho Silicate)膜、COD(Carbon Doped Dielectric)膜または多孔性低誘電酸化膜を使用することを特徴とする請求項1記載の半導体素子の金属配線形成方法。
- 前記ビアプラグを形成する段階は、
半導体基板の上に下部配線を形成する段階と、
前記下部配線が形成された半導体基板の上に第2層間絶縁膜を形成する段階と、
前記第2層間絶縁膜をパターニングし、前記下部配線に連結される上部配線形成のためのビアホールを形成する段階と、
前記ビアホールの内を導電物質で埋め込んでビアプラグを形成する段階とを含んでなることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の金属配線形成方法。 - 前記金属配線を形成する段階は、
前記スペーサーが形成された半導体基板の段差に沿って拡散防止膜を蒸着する段階と、
前記拡散防止膜の上に銅シード層を蒸着する段階と、
前記銅シード層の上に電気メッキ法によって銅膜を形成して前記開口部を埋め込む段階と、
前記銅膜を平坦化して金属配線を形成する段階とを含んでなることを特徴とする請求項1記載の半導体素子の金属配線形成方法。
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