JP2004235646A - 窒化物半導体及びその結晶成長方法 - Google Patents
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- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims abstract description 134
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 45
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title abstract description 9
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims abstract description 28
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 28
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 27
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 claims description 14
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 9
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 claims description 6
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 89
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QRSFFHRCBYCWBS-UHFFFAOYSA-N [O].[O] Chemical compound [O].[O] QRSFFHRCBYCWBS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002056 binary alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/0242—Crystalline insulating materials
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C30B23/00—Single-crystal growth by condensing evaporated or sublimed materials
- C30B23/02—Epitaxial-layer growth
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C30B25/00—Single-crystal growth by chemical reaction of reactive gases, e.g. chemical vapour-deposition growth
- C30B25/02—Epitaxial-layer growth
- C30B25/18—Epitaxial-layer growth characterised by the substrate
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/40—AIIIBV compounds wherein A is B, Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02458—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
- H01L21/02496—Layer structure
- H01L21/02502—Layer structure consisting of two layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02494—Structure
- H01L21/02496—Layer structure
- H01L21/02505—Layer structure consisting of more than two layers
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
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- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
【解決手段】サファイア基板20の上部にアルミニウムを含む窒化物バッファー層21を成長させる段階と、窒化物バッファー層21の上部に二元系窒化物バッファー層22を成長させる段階と、二元系窒化物バッファー層22の上部に窒化物半導体層23を成長させる段階とで構成される。
【選択図】 図2
Description
一時、良質の窒化物半導体膜の成長と素子の製作が難しかったが、それは、良好な特性を有する単結晶の窒化物基板を得ることが難しかったためである。
しかし、シリコーンカーバイド(SiC)の場合、電気的に導電性があって長所があるが、価格が高すぎるので大部分の素子はサファイア基板上部に成長させたものが利用されている。
したがって、サファイア基板上部に窒化膜を成長させるためには、サファイア基板を高温で熱処理した後、低い温度(450-600℃)でバッファー層を成長させて、また高温で窒化膜を成長させる。
この過程で重要なことはバッファー層である。
SiNxなどのような単一バッファー層を利用して窒化膜の結晶学的特徴はよく向上したが、サファイアとGaNの相異なっている物理学的特性を、単一バッファー層で克服するためには、未だ解決しなければならない間題点が多い。
図2は、本発明の実施形態1による結晶成長方法によって成長させた窒化物半導体層が含まれる、積層構造の断面図である。サファイア基板20の上部に、アルミニウムを含む窒化物バッファー層21を成長させ、前記アルミニウムを含む窒化物バッファー層21の上部に、二元系窒化物バッファー層22を成長させ、前記二元系窒化物バッファー層22上部に、窒化物半導体層23を成長させて構成される。
そして、最終的な窒化物半導体層23は、GaN層が望ましい。
図3は、本発明の実施形態2による結晶成長方法によって成長する窒化物半導体層が含まれた断面図であり、この実施形態2では、実施形態1の構造のアルミニウムが含まれた窒化物バッファー層21と二元系窒化物バッファー層22との間に、アルミニウム(A1)を含まない窒化物バッファー層31をさらに形成する。
その時、前記アルミニウムを含まない窒化物バッファー層31は、GaxInyN層(0≦x≦1,0≦y≦!)が望ましい。
図4は、本発明の実施形態3による結晶成長方法によって成長された窒化物半導体層が含まれる積層構造の断面図である。この実施形態3では、実施形態1または実施形態2の構造において、アルミニウムが含まれた窒化物バッファー層21とサファイア基板20との問に、窒化膜32をさらに形成する。窒化膜32を形成する方法は、サファイア基板20を高温で熱処理した後、アンモニア(NH3)を流せば、前記サファイア基板20の上部には窒化膜32が形成される。
よって、本発明によって成長された窒化物半導体層は、従来技術により成長された窒化物半導体層より電気的及び結晶学的特性を向上することができる。
21 窒化物バッファー層
22 二元系窒化物バッファー層
23 窒化物半導体層
31 アルミニウムを含まない窒化物バッファー層
32 窒化膜
Claims (19)
- 金属酸化物層と、
この金属酸化物層上に形成される前記金属を含む第1窒化物バッファー層と、
前記金属を含む窒化物バッファー層上に形成される第2窒化物バッファー層と、
前記第2窒化物バッファー層上に形成される窒化物層と、を含むことを特徴とする窒化物半導体。 - 前記金属酸化物層はサファイア基板であり、前記金属はアルミニウムであることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体。
- 前記第1窒化物バッファー層及び前記第2窒化物バッファー層には、インジウムが含まれていることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体。
- 前記第2窒化物バッファー層は、二元系窒化物層であることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体。
- 前記第1窒化物バッファー層と前記第2窒化物バッファー層との間に、前記金属を含まない第3窒化物バッファー層がさらに含まれていることを特徴とする請求項4に記載の窒化物半導体。
- 前記金属酸化物層と前記第1窒化物バッファー層との間に形成される窒化膜をさらに含んでいることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体。
- 金属酸化物層上に、前記金属を含む第1窒化物バッファー層を形成する第1段階と、
前記第1窒化物バッファー層上に第2窒化物バッファー層を形成する第2段階と、
前記第2窒化物バッファー層上に、窒化物半導体層を形成する第3段階と、を含むことを特徴とする窒化物半導体の結晶成長方法。 - 前記金属酸化物層はサファイア基板であり、前記金属はアルミニウムであることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記第1段階は、前記金属を含む第1窒化物バッファー層を結晶成長方法によって形成し、前記第2段階は、前記第2窒化物バッファー層を結晶成長方法によって形成し、前記第3段階は、前記窒化物半導体層を結晶成長方法によって形成することを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記金属を含む第1窒化物バッファー層及び前記第2窒化物バッファー層には、インジウムが含まれていることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記第2窒化物バッファー層は二元系窒化物層であることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記第1段階以後に、
前記金属を含まない第3窒化物バッファー層を、前記金属を含む第1窒化物バッファー層上に形成する段階が、さらに含まれていることを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記アルミニウムを含む第1窒化物バッファー層は、AlxGayInzN(0<x≦1,0≦y≦1,O≦z≦1)層であることを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記アルミニウムを含まない第3窒化物バッファー層は、GaxInyN層(O≦x≦1,0≦y≦1)であることを特徴とする請求項13に記載の方法。
- 前記第2窒化物バッファー層は、AlN,GaN,InN、及びSiNxのいずれかを選択することを特徴にする請求項14に記載の方法。
- 前記窒化物半導体層は、GaN層であることを特徴とする請求項15に記載の方法。
- 前記第2段階以後に、窒化膜を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項7に記載の方法。
- 前記窒化膜はサファイア基板を高温で熱処理した後、アンモニア(NH3)を流して前記金属酸化物層の上部に形成することを特徴とする請求項17に記載の方法。
- 前記第1窒化物バッファー層と、第2窒化物バッファー層、及び第3窒化物バッファー層とは、400-600℃の温度で、10-1000オングストローム(1nm〜100nm)厚さに成長させることを特徴とする請求項12に記載の方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2003-0005948A KR100504180B1 (ko) | 2003-01-29 | 2003-01-29 | 질화물 화합물 반도체의 결정성장 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004235646A true JP2004235646A (ja) | 2004-08-19 |
Family
ID=36573189
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004021218A Pending JP2004235646A (ja) | 2003-01-29 | 2004-01-29 | 窒化物半導体及びその結晶成長方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7023025B2 (ja) |
EP (1) | EP1445355A3 (ja) |
JP (1) | JP2004235646A (ja) |
KR (1) | KR100504180B1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008034834A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-14 | Samsung Electro Mech Co Ltd | シリコン基板上の窒化物単結晶成長方法、これを用いた窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005011944A (ja) * | 2003-06-18 | 2005-01-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光装置 |
KR100506739B1 (ko) * | 2003-12-23 | 2005-08-08 | 삼성전기주식회사 | 알루미늄(Al)을 함유한 질화물 반도체 결정 성장방법 |
KR100616686B1 (ko) * | 2005-06-10 | 2006-08-28 | 삼성전기주식회사 | 질화물계 반도체 장치의 제조 방법 |
KR100682272B1 (ko) * | 2005-07-29 | 2007-02-15 | 엘지전자 주식회사 | 질화물계 기판 제조 방법 및 이에 따른 질화물계 기판 |
KR100870111B1 (ko) * | 2007-03-15 | 2008-11-25 | (주)실리콘화일 | 반도체의 결정성장 방법 |
ES2382889T3 (es) * | 2007-08-31 | 2012-06-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Componente semiconductor y su uso |
JP5928366B2 (ja) * | 2013-02-13 | 2016-06-01 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物半導体の製造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05110138A (ja) * | 1991-10-12 | 1993-04-30 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化ガリウム系化合物半導体の結晶成長方法およびその素子。 |
JPH07235692A (ja) * | 1993-12-30 | 1995-09-05 | Sony Corp | 化合物半導体装置及びその形成方法 |
JPH09199759A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Toyoda Gosei Co Ltd | 3族窒化物半導体の製造方法及び半導体素子 |
JP2000228535A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体素子およびその製造方法 |
JP2001077412A (ja) * | 1999-09-02 | 2001-03-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体素子およびその製造方法 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5173751A (en) * | 1991-01-21 | 1992-12-22 | Pioneer Electronic Corporation | Semiconductor light emitting device |
US5290393A (en) * | 1991-01-31 | 1994-03-01 | Nichia Kagaku Kogyo K.K. | Crystal growth method for gallium nitride-based compound semiconductor |
US6958093B2 (en) * | 1994-01-27 | 2005-10-25 | Cree, Inc. | Free-standing (Al, Ga, In)N and parting method for forming same |
US5656832A (en) * | 1994-03-09 | 1997-08-12 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor heterojunction device with ALN buffer layer of 3nm-10nm average film thickness |
US5909040A (en) * | 1994-03-09 | 1999-06-01 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device including quaternary buffer layer with pinholes |
US6900465B2 (en) * | 1994-12-02 | 2005-05-31 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor light-emitting device |
US5787104A (en) * | 1995-01-19 | 1998-07-28 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor light emitting element and method for fabricating the same |
US5739554A (en) * | 1995-05-08 | 1998-04-14 | Cree Research, Inc. | Double heterojunction light emitting diode with gallium nitride active layer |
SG65697A1 (en) * | 1996-11-15 | 1999-06-22 | Canon Kk | Process for producing semiconductor article |
KR100304161B1 (ko) * | 1996-12-18 | 2001-11-30 | 미다라이 후지오 | 반도체부재의제조방법 |
US6348096B1 (en) * | 1997-03-13 | 2002-02-19 | Nec Corporation | Method for manufacturing group III-V compound semiconductors |
TW408497B (en) * | 1997-11-25 | 2000-10-11 | Matsushita Electric Works Ltd | LED illuminating apparatus |
JP4352473B2 (ja) * | 1998-06-26 | 2009-10-28 | ソニー株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2000082679A (ja) * | 1998-07-08 | 2000-03-21 | Canon Inc | 半導体基板とその作製方法 |
US6252261B1 (en) * | 1998-09-30 | 2001-06-26 | Nec Corporation | GaN crystal film, a group III element nitride semiconductor wafer and a manufacturing process therefor |
KR100304881B1 (ko) * | 1998-10-15 | 2001-10-12 | 구자홍 | Gan계화합물반도체및그의결정성장방법 |
US6940098B1 (en) * | 1999-03-17 | 2005-09-06 | Mitsubishi Cable Industries, Ltd. | Semiconductor base and its manufacturing method, and semiconductor crystal manufacturing method |
US6133589A (en) * | 1999-06-08 | 2000-10-17 | Lumileds Lighting, U.S., Llc | AlGaInN-based LED having thick epitaxial layer for improved light extraction |
US6531719B2 (en) * | 1999-09-29 | 2003-03-11 | Toyoda Gosei Co., Ltd. | Group III nitride compound semiconductor device |
JP4432180B2 (ja) * | 1999-12-24 | 2010-03-17 | 豊田合成株式会社 | Iii族窒化物系化合物半導体の製造方法、iii族窒化物系化合物半導体素子及びiii族窒化物系化合物半導体 |
JP2001185493A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物系化合物半導体の製造方法及びiii族窒化物系化合物半導体素子 |
JP2001267242A (ja) * | 2000-03-14 | 2001-09-28 | Toyoda Gosei Co Ltd | Iii族窒化物系化合物半導体及びその製造方法 |
TW472400B (en) * | 2000-06-23 | 2002-01-11 | United Epitaxy Co Ltd | Method for roughing semiconductor device surface to increase the external quantum efficiency |
US6495867B1 (en) * | 2000-07-26 | 2002-12-17 | Axt, Inc. | InGaN/AlGaN/GaN multilayer buffer for growth of GaN on sapphire |
JP4963763B2 (ja) * | 2000-12-21 | 2012-06-27 | 日本碍子株式会社 | 半導体素子 |
EP1378949A4 (en) * | 2001-03-21 | 2006-03-22 | Mitsubishi Cable Ind Ltd | LIGHT-EMITTING SEMICONDUCTOR ELEMENT |
US6555167B2 (en) * | 2001-06-18 | 2003-04-29 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Method for growing high quality group-III nitride thin film by metal organic chemical vapor deposition |
WO2003025263A1 (fr) * | 2001-09-13 | 2003-03-27 | Japan Science And Technology Agency | Substrat semi-conducteur de nitrure, son procede d'obtention et dispositif optique a semi-conducteur utilisant ledit substrat |
KR20050061994A (ko) * | 2003-12-19 | 2005-06-23 | 삼성전기주식회사 | In 도핑을 통한 GaN 측면 성장 방법 |
KR100576857B1 (ko) * | 2003-12-24 | 2006-05-10 | 삼성전기주식회사 | GaN 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
-
2003
- 2003-01-29 KR KR10-2003-0005948A patent/KR100504180B1/ko active IP Right Grant
-
2004
- 2004-01-21 EP EP04001157A patent/EP1445355A3/en not_active Withdrawn
- 2004-01-28 US US10/765,100 patent/US7023025B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-01-29 JP JP2004021218A patent/JP2004235646A/ja active Pending
-
2006
- 2006-01-05 US US11/325,453 patent/US20060118810A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05110138A (ja) * | 1991-10-12 | 1993-04-30 | Nichia Chem Ind Ltd | 窒化ガリウム系化合物半導体の結晶成長方法およびその素子。 |
JPH07235692A (ja) * | 1993-12-30 | 1995-09-05 | Sony Corp | 化合物半導体装置及びその形成方法 |
JPH09199759A (ja) * | 1996-01-19 | 1997-07-31 | Toyoda Gosei Co Ltd | 3族窒化物半導体の製造方法及び半導体素子 |
JP2000228535A (ja) * | 1999-02-08 | 2000-08-15 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体素子およびその製造方法 |
JP2001077412A (ja) * | 1999-09-02 | 2001-03-23 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体素子およびその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008034834A (ja) * | 2006-07-25 | 2008-02-14 | Samsung Electro Mech Co Ltd | シリコン基板上の窒化物単結晶成長方法、これを用いた窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1445355A2 (en) | 2004-08-11 |
KR100504180B1 (ko) | 2005-07-28 |
EP1445355A3 (en) | 2006-05-24 |
KR20040069526A (ko) | 2004-08-06 |
US20040264248A1 (en) | 2004-12-30 |
US20060118810A1 (en) | 2006-06-08 |
US7023025B2 (en) | 2006-04-04 |
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