JP2004186678A - 窒化物半導体発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の窒化物半導体発光素子は、少なくとも基板、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含むものであって、p電極およびn電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されていることを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
本発明の窒化物半導体発光素子は、以下で順次説明するように原則として一方の表面上にn電極を有する基板の他方の面上において、n型窒化物半導体層、n型窒化物半導体クラッド層、n型窒化物半導体ガイド層、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層、p型窒化物半導体キャリアブロック層、p型窒化物半導体ガイド層、p型窒化物半導体クラッド層、p型窒化物半導体コンタクト層、絶縁層およびp電極等をこの順で積層させた構造を有するものである。そしてこのような構造において、p電極およびn電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されていることを特徴としている。このような構成としたことにより、本発明の窒化物半導体発光素子は後述の自励発振特性を備えたものとなる。また、本発明の窒化物半導体発光素子は、このように分離された電極の1つ以上の領域においてp電極とn電極が電気的に短絡されていることにより、一層良好な自励発振特性を備えることができる。本発明の窒化物半導体発光素子としては、たとえば窒化物半導体レーザ素子が挙げられる。
本発明に用いられる基板としては、この種の用途に用いられる基板であれば特に限定なく種々のものを用いることができる。たとえばGaN基板を用いることができるが、これのみに限られることはなくサファイア基板やSiC基板、GaAs基板、Si基板、ZrB2基板等を用いることができる。
本発明の窒化物半導体発光素子は、上述の基板の一方の表面上にn電極を形成し、もう一方の表面上にたとえばn型窒化物半導体層、n型窒化物半導体クラッド層、n型窒化物半導体ガイド層、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層、p型窒化物半導体キャリアブロック層、p型窒化物半導体ガイド層、p型窒化物半導体クラッド層、p型窒化物半導体コンタクト層、絶縁層およびp電極等をこの順で積層させた構造を有するものである。該積層方法としては、たとえばエピタキシャル成長法を挙げることができるが、これのみに限られるものではない。該エピタキシャル成長法とは、基板上に結晶膜を成長する方法であって、VPE(気相エピタキシャル)法、CVD(化学気相デポジション)法、MOVPE(有機金属気相エピタキシャル)法、MOCVD(有機金属化学気相デポジション)法、Halide−VPE(ハロゲン化学気相エピタキシャル)法、MBE(分子線エピタキシャル)法、MOMBE(有機金属分子線エピタキシャル)法、GSMBE(ガス原料分子線エピタキシャル)法、CBE(化学ビームエピタキシャル)法等を含むものである。
本発明の窒化物半導体発光素子の上記積層構造中、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層が本発明の一つの特徴となる。ここで、InとGaを主に含有する窒化物半導体とは、窒素を除く成分においてInとGaとが、原子数にして好ましくは少なくとも99%を占めているものを示し、その他に不純物が含有されていてもよく、その不純物の種類は特に限定されずまた異なっていてもよく、1%以下のAlが混在していてもよいことを示すものとする。
本発明の窒化物半導体発光素子は、上述の通り、前記基板を挟んでその上下にn電極とp電極とを有した構造を有する。n電極は、該基板を研磨後、その一方の面に薄い金属膜を蒸着することにより形成することができる。たとえば、Hf/Al/Mo/Pt/Au等の積層電極構造を挙げることができるがこれのみに限られるものではない。このような薄い金属膜を膜厚の制御性よく形成するには真空蒸着法が適しているが、この手法に限らずイオンプレーティング法やスパッタ法等の他の手法を用いても形成することができる。一方、p電極としては、たとえばPd/Mo/Au等の積層電極を該基板のp型窒化物半導体コンタクト層上に形成することができる。該形成方法としては、n電極と同様の方法を採用することができる。なお、p電極およびn電極の特性向上のため金属膜形成後500℃でアニールを行なうことにより、良好なオーミック電極を得ることができる。このようなアニールは、p電極形成後、およびn電極形成後にそれぞれ行なってもよく、また上記のようなHf/Al/Mo/Pt/Auからなるn電極においてはAl形成後にアニールを行なった後、Mo/Pt/Auを形成したものとすることができる。
本発明の電極は、p電極およびn電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されていることを特徴としている。ここで、電気的に2領域以上に分離されているとは、上記のような金属電極がストライプ方向(水平方向)に少なくとも2以上の領域に分離されていることを示すとともに、上記のような活性層から電極までの窒化物半導体層と電極とが一体として、ストライプ方向に少なくとも2以上の領域に分離されている場合も含まれる。なお、このような分離は、電極を形成させる際に予め該電極の下層をマスキングする等して別個の領域に2以上の電極を形成することにより行なうことができるとともに、予め一体的に形成した電極をレーザスクライブ法やレーザアブレーション法等によって分離させることにより行なうことができる。
本発明においては、上述の通りp電極およびn電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ該分離された電極の1つ以上の領域においてp電極とn電極が電気的に短絡されていることを特徴としている。ここで、分離された電極の1つ以上の領域においてp電極とn電極が電気的に短絡されているとは、少なくとも1領域以上の電極と、それと対になる電極(すなわち、分離された電極がp電極であれば、対になる電極はn電極を示す。)とが、短絡していることを示す。このように2電極間が短絡されると、前述の通り短絡された電極下の活性層が可飽和吸収体として働くため好ましい。このような短絡は、たとえばワイヤーボンディングにより行なうことができるが、これのみに限られず何等かの導電性材料により両電極間を接続させることにより短絡することができる。
本発明においては、前記電気的に2領域以上に分離された電極の1つ以上の領域において、p電極とn電極の間に抵抗が設けられているものとすることができる。該抵抗としては、後述の自励発振特性が得られる限り、p−n電極間を通常の抵抗で接続することができる。該抵抗は、後述の自励発振特性を調整する作用を有するものである。
本発明においては、前記電気的に2領域以上に分離された電極の1つが共振器を形成する2つの端面の出射面と反対側の端面に接触しているとともに、該端面は導電性材料を含有する反射膜を備えており、かつ該反射膜によりp電極とn電極が電気的に接続されていることを特徴とすることができる。上述の通り、後述の自励発振特性は、p−n電極間を通常の抵抗で接続することによっても得られるが、製造工程の増加やパッケージサイズの大型化は否めない。このため、導電性材料を含有する反射膜によりp電極とn電極が電気的に接続されていることが好ましく、このような反射膜としてはAlが特に好ましい。Alからなる反射膜を窒化物半導体発光素子の端面に直接設けても80%以上の反射率が得られる。ところで、反射膜のAlは縞状に形成される場合があり電気的に断線する恐れがあるため、Niなどの皮膜率が高く、縞状になりやすい材質をあらかじめ薄く積層した上に、Alを積層することで電気的な断線を防止したAl薄膜を形成できる。さらに端面損失を防ぐには誘電体材料と導電体材料を組み合わせた高反射膜を用いてもよい。なお、このような反射膜は、Al以外の導電性材料によっても形成することができる。このような導電性材料としては、たとえばAg等を挙げることができる。なお、反射膜として用いたAl等の導電性材料は、誘電体と組み合わせて用いることができる。誘電体を含む反射膜は屈折率の低い材質と高い材質を光学1/4波長ごとに組み合わされたものであり、その終端にAlなどの導電性材料を設けてもよく、第2のp電極と前記導電性材料が電気的に接触していればよい。このような誘電体材料としては、SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3、ZrO2等を挙げることができる。
本発明の窒化物半導体発光素子は、前述の通り自励発振特性を備えていることを特徴としている。ここで自励発振特性とは、該窒化物半導体発光素子に含まれる活性層と可飽和吸収体の相互作用によりDC注入時に自発的に光強度が振動する現象である。このような自励発振状態では、レーザ光の可干渉性が低下するために外部帰還された光との相互作用により生じる雑音(単に戻り光雑音と記す)が軽減されることになる。また、該戻り光と可飽和吸収体の相互作用による該自励発振特性の停止を防止するためには、可飽和吸収体の吸収領域の位置を出射面から遠ざけることによりその効果を一層向上させることができる。
本発明の窒化物半導体発光素子は、下記のような方法で分割することができる。まず表面からダイヤモンドポイントでスクライブラインを入れウエハーに適宜力を入れ、スクライブラインに沿ってウエハーを分割した。スクライブラインは裏面から入れてもよい。他の手法としてはワイヤソーもしくは薄板ブレードを用いて傷入れもしくは切断を行なうダイシング法、エキシマレーザ等のレーザ光の照射加熱とその後の急冷により照射部にクラックを生じさせこれをスクライブラインとするレーザスクライビング法、高エネルギー密度のレーザ光を照射し、この部分を蒸発させて溝入れ加工を行なうレーザアブレーション法等を用いても同様にチップ分割することができる。
本実施例を図1(a)および(b)に基づいて説明する。図1(a)は、本実施例の窒化物半導体発光素子である半導体レーザ素子を共振器と垂直方向から見た断面図であり、図1(b)は共振器方向から見た断面図である。基板側から説明すると、n電極1、GaN基板2、n型GaN層3、n型AlGaNクラッド層4、n型GaNガイド層5、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層6、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる可飽和吸収体7、p型AlGaNキャリアブロック層8、p型GaNガイド層9、p型AlGaNクラッド層10、p型GaNコンタクト層11、絶縁層12、第1のp電極13、第2のp電極14である。
上記実施例1ではリッジ導波路構造を用いているが、本実施例では図8のようなブロック構造を採用した。図8(a)は、窒化物半導体発光素子である半導体レーザ素子を共振器と垂直方向から見た断面図であり、図8(b)は共振器方向から見た断面図である。基板側から説明すると、n電極1、GaN基板2、n型GaN層3、n型AlGaNクラッド層4、n型GaNガイド層5、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層6、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる可飽和吸収体7、p型AlGaNキャリアブロック層8、p型GaNガイド層9、p型AlGaNクラッド層10、p型GaNコンタクト層11、ブロック層15、第1のp電極13、第2のp電極14である。なお、各層の形成は、実施例1と同様にして製造した。
本実施例は、実施例1における第2のp電極とn電極間の電気的な短絡をより簡易な方法で行ない、コストを削減したものである。すなわち、本実施例は、図9に示した窒化物半導体発光素子である半導体レーザ素子に関する。図9(a)は、該半導体レーザ素子を共振器と垂直方向から見た断面図であり、図9(b)は共振器方向から見た断面図である。基板側から説明すると、n電極1、GaN基板2、n型GaN層3、n型AlGaNクラッド層4、n型GaNガイド層5、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層6、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる可飽和吸収体7、p型AlGaNキャリアブロック層8、p型GaNガイド層9、p型AlGaNクラッド層10、p型GaNコンタクト層11、第1のp電極13、第2のp電極14、Al反射膜16である。本半導体レーザ素子は、電極を形成するところまでは実施例1と同様にして製造することができ、さらに下記のプロセスを行なった。
本実施例は、実施例3において反射膜として用いられていたAlに代えて、誘電体材料とAlとを組合せて反射膜を形成させたものである。以下、図10に基づいて説明する。図10は、図9(a)おける反射膜16に代えて誘電体からなる反射膜17とAlからなる反射膜18とが形成されていることを除き、その他は全て図9と同じ構成を有する窒化物半導体レーザ素子を示している。誘電体としては、SiO2、TiO2、Ta2O5、Al2O3、ZrO2から選ばれる任意のものを使用することができた。なお、Alからなる反射膜18は半田によりn電極1と電気的に接触するように形成した。このように製造された窒化物半導体レーザは実施例1と同様の効果を示すことができ、第2のp電極とn電極とを電気的に短絡する工程が省かれるためにコストを削減することができた。
本実施例は、実施例1において用いられていたGaNからなる基板を、サファイア基板に置き換えた窒化物半導体発光素子に関するものである。以下、図11に基づいて説明する。
本実施例は、実施例3において用いられていたGaNからなる基板を、サファイア基板に置き換えた窒化物半導体発光素子に関するものである。以下、図12に基づいて説明する。
本実施例は、実施例3においてさらにスペーサー層を形成させた窒化物半導体発光素子に関する。以下、図13に基づいて説明する。
本実施例は、窒化物半導体レーザの共振器長を700μm、第1のp電極13の共振器方向の長さ(すなわち、領域分離された電極のうち、短絡されていない領域の合計長さL2)を600μm、第2のp電極14の共振器方向の長さ(すなわち、領域分離された電極のうち、p電極とn電極とが短絡されている領域の合計長さL1)を90μmとした、実施例3に従った窒化物半導体発光素子である半導体レーザに関する(図9)。
本実施例は、可飽和吸収領域においてさらにキャリア寿命を短くするために、実施例1の半導体レーザ素子に対して、さらに第2のp電極14とn電極1の間に逆バイアスをかけられる構造としたものである。
本実施例は、実施例9の駆動回路をモディファイしたものであって、第1のp電極13から順バイアスでp−nジャンクションに十分なキャリアが注入され、その半導体レーザが高出力で発振している際には、第2のp電極14のp−nジャンクションにも順バイアスをかけて吸収が少なくなるように構成したものである。
Claims (18)
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されていることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ自励発振特性を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有するバンドギャップが2.6eV以上の窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ自励発振特性を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有するバンドギャップが2.6eV以上の窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ少なくとも5mW以上の光出力範囲で自励発振特性を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ該分離された電極の1つ以上の領域において前記p電極と前記n電極が電気的に短絡されていることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有する窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ該分離された電極の1つ以上の領域において前記p電極と前記n電極が電気的に短絡されているとともに、自励発振特性を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有するバンドギャップが2.6eV以上の窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ該分離された電極の1つ以上の領域において前記p電極と前記n電極が電気的に短絡されているとともに、自励発振特性を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 少なくとも基板、InとGaを主に含有するバンドギャップが2.6eV以上の窒化物半導体からなる活性層、p電極およびn電極を含む窒化物半導体発光素子であって、前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ該分離された電極の1つ以上の領域において前記p電極と前記n電極が電気的に短絡されているとともに、少なくとも5mW以上の光出力範囲で自励発振特性を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 前記電気的に2領域以上に分離された電極の1つが共振器を形成する2つの端面の1つに接触しているとともに該端面は導電性材料を含有する反射膜を備えており、かつ該反射膜により前記p電極と前記n電極が電気的に接続されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記電気的に2領域以上に分離された電極の1つが共振器を形成する2つの端面の出射面と反対側の端面に接触しているとともに、該端面は導電性材料を含有する反射膜を備えており、かつ該反射膜により前記p電極と前記n電極が電気的に接続されていることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記導電性材料はAlを含有することを特徴とする請求項9または10に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記電気的に2領域以上に分離された電極の1つ以上の領域において、前記p電極と前記n電極の間に抵抗が設けられていることを特徴とする請求項1〜4、9〜11のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記p電極と前記n電極の間に設けられた抵抗によって自励発振特性を調整することを特徴とする請求項12に記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記活性層にはn型不純物としてSiを添加しているとともに、そのSiの濃度が1×1017/cm3〜5×1018/cm3であることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- p−nジャンクションから前記活性層までを含む領域において、n型不純物としてSiが添加されているとともに、そのSiの平均濃度が1×1017/cm3〜5×1018/cm3であることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記p電極および前記n電極の少なくとも一方が電気的に2領域以上に分離されており、かつ該分離された電極の1つ以上の領域において前記p電極と前記n電極が電気的に短絡されているとともに、その領域分離された電極のうち、前記p電極と前記n電極とが短絡されている領域の合計長さL1が、短絡されていない領域の合計長さL2に対して0.02≦L1/L2≦0.30の範囲にあることを特徴とする請求項5〜15のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記少なくとも2領域以上に分離された電極の少なくとも一つは、前記活性層に逆バイアスがかけられ、他方は前記活性層に順バイアスがかけられるように配線されていることを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 前記少なくとも2領域以上に分離された電極の少なくとも一つは、前記活性層に逆バイアスと順バイアスとを切り替えてかけられるように配線されていることを特徴とする請求項17に記載の窒化物半導体発光素子。
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