JP2004167337A - 洗浄装置および洗浄方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】ウェハボックス等の被洗浄部材の洗浄効果及び洗浄効率を上げる。
【解決手段】洗浄槽100と、内部に空間を有する被洗浄部材10を取り付けるアーム部105とを備え、洗浄槽100は、被洗浄部材10内部の空気を排気する排気部102と、被洗浄部材10の内部および外部を洗浄するシャワー部101とを有し、かつ洗浄槽100の底面部に、洗浄液の注入部103と洗浄液の排出部104とを設け、アーム部105は、被洗浄部材10を回転させる機構を有する。これにより、被洗浄部材10の内部に存在する空気が排気部102を通して外部に排気されるため、被洗浄部材10の内部にも洗浄液が入っていき、被洗浄部材10の内側および上面部にも洗浄液が接し、均一な洗浄をすることができる。また、被洗浄部材10は洗浄槽100内で洗浄期間中、回転させることができるので、洗浄液がよどみなく被洗浄部材10に接する。
【選択図】 図1

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
この発明は、ウェハボックスに使用するボックスカバー等の洗浄装置および洗浄方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
ウェハを持ち運ぶためにウェハボックスが用いられている。これによりできるだけウェハは大気にされされず、パーティクルがつき、歩留まりを落とさないように管理されている(例えば、特許文献1参照)。
【0003】
【特許文献1】
特開平6−196545号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、ウェハボックスは使用により汚れがつくため洗浄する必要が生じる。洗浄は手作業で行われているために、手間がかかるという問題がある。
【0005】
したがって、この発明の目的は、洗浄効果及び洗浄効率を上げ、手間のかからない洗浄装置および洗浄方法を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するためにこの発明の請求項1記載の洗浄装置は、洗浄槽と、内部に空間を有する被洗浄部材を取り付けるアーム部とを備えた洗浄装置であって、前記洗浄槽は、前記被洗浄部材内部の空気を排気する排気部と、前記被洗浄部材の内部および外部を洗浄するシャワー部とを有し、かつ前記洗浄槽の底面部に、洗浄液の注入部と洗浄液の排出部とを設け、前記アーム部は、前記被洗浄部材を回転させ昇降する機構を有する。
【0007】
このように、洗浄槽は、被洗浄部材内部の空気を排気する排気部と、被洗浄部材の内部および外部を洗浄するシャワー部とを有し、かつ洗浄槽の底面部に、洗浄液の注入部と洗浄液の排出部とを設け、アーム部は、被洗浄部材を回転させ昇降する機構を有するので、被洗浄部材の内部に存在する空気が排気部を通して外部に排気される。このため、被洗浄部材の内部にも洗浄液が入っていき、被洗浄部材の内側および上面部にも洗浄液が接し、均一な洗浄をすることができる。
【0008】
また、被洗浄部材は洗浄槽内で洗浄期間中、回転させることができるので、洗浄液がよどみなく被洗浄部材に接する。このため、被洗浄部材表面の洗浄を均一に行うことができる。
【0009】
また、洗浄槽で洗浄液による洗浄の前に、シャワー部から発せられるシャワー水により取れやすい汚れを落とすことができるので、洗浄液内での洗浄時間を短くすることができる。
【0010】
請求項2記載の洗浄装置は、請求項1記載の洗浄装置において、洗浄槽の中央部とコーナー部に配置されている。このように、洗浄槽の中央部とコーナー部に配置されているので、被洗浄部材の内部および外部に均一にシャワーを浴びせることができる。
【0011】
請求項3記載の洗浄装置は、請求項1記載の洗浄装置において、排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する部分と、前記気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出可能な部分とを有する。このように、排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する部分と、前記気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出可能な部分とを有するので、気体を送風することにより排気部内が減圧状態になり、被洗浄部材内部の空気とともに洗浄液の排出もできる。
【0012】
請求項4記載の洗浄装置は、請求項1記載の洗浄装置において、アーム部は、被洗浄部材を昇降させる機能を有する。このように、アーム部は、被洗浄部材を昇降させる機能を有するので、アーム部を取り付けた被洗浄部材の上面部等にも洗浄液が接し、さらに均一に洗浄することができる。
【0013】
請求項5記載の洗浄方法は、洗浄槽に内部に空間を有する被洗浄部材を挿入し、前記被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄し、前記洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、この洗浄液が前記被洗浄部材の内部に入ってきたときに、前記被洗浄部材内部の空気を前記洗浄槽外部に排気して、前記被洗浄部材を前記洗浄槽内で洗浄液により洗浄し、洗浄後に洗浄液を前記洗浄槽から排出する。
【0014】
このように、洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、この洗浄液が被洗浄部材の内部に入ってきたときに、被洗浄部材内部の空気を洗浄槽外部に排気するので、被洗浄部材の内部に存在する空気が外部に排気される。このため、被洗浄部材内の空気により被洗浄部材が持ち上げられることを防止でき、被洗浄部材の内部にも洗浄液が入っていき、被洗浄部材の内側および上面部にも洗浄液が接し、均一な洗浄をすることができる。
【0015】
また、洗浄槽で洗浄液による洗浄の前に、被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄するので、取れやすい汚れを予め落とすことができ、洗浄液内での洗浄時間を短くすることができる。
【0016】
請求項6記載の洗浄方法は、洗浄槽に内部に空間を有する被洗浄部材を回転させながら挿入し、前記被洗浄部材を回転させたまま前記被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄し、シャワーを停止させた後、前記洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、前記被洗浄部材内部の空気を排気部を通して排気し、前記被洗浄部材を回転させたまま一定時間洗浄槽内で洗浄液により洗浄し、洗浄後に洗浄液を前記洗浄槽から排出する。
【0017】
このように、洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、被洗浄部材内部の空気を排気部を通して排気するので、被洗浄部材の内部に存在する空気が排気部を通して外部に排気される。このため、被洗浄部材内の空気により被洗浄部材が持ち上げられることを防止でき、被洗浄部材の内部にも洗浄液が入っていき、均一な洗浄をすることができる。
【0018】
また、被洗浄部材は洗浄槽内で洗浄期間中、回転しているので、洗浄液がよどみなく被洗浄部材に接する。このため、被洗浄部材表面の洗浄を均一に行うことができる。
【0019】
また、洗浄槽で洗浄液による洗浄の前に、被洗浄部材を回転させたまま被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄するので、取れやすい汚れを落とすことができ、洗浄液内での回転洗浄の時間を短くすることができる。
【0020】
請求項7記載の洗浄方法は、請求項6記載の洗浄方法において、排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する第1の部分と、前記気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出可能な第2の部分とを有し、前記洗浄液が前記被洗浄部材の内部に入ってきたときに、前記第1の部分に空気を流し、前記被洗浄部材内部の空気を第2の部分から排気する。
【0021】
このように、排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する第1の部分と、気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出可能な第2の部分とを有し、洗浄液が被洗浄部材の内部に入ってきたときに、第1の部分に空気を流し、被洗浄部材内部の空気を第2の部分から排気するので、被洗浄部材内の空気により被洗浄部材が持ち上げられることを防止できる。また、第1の部分から気体を送風することにより排気部の第2の部分が減圧状態になり、被洗浄部材内部の空気とともに洗浄液の排出もできる。
【0022】
請求項8記載の洗浄方法は、請求項6記載の洗浄方法において、洗浄液を洗浄槽のドレイン部から排出し、排出後、被洗浄部材を上昇させる。このように、洗浄液を洗浄槽のドレイン部から排出し、排出後、被洗浄部材を上昇させるので、被洗浄部材が洗浄槽から出されて容易に取り外すことができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を図1〜図7に基づいて説明する。図1はこの発明の実施の形態の洗浄装置の断面図、図2は図1の平面図である。
【0024】
図1に示すように、この洗浄装置は、純水などの洗浄液を貯める洗浄槽100と、内部に空間を有する被洗浄部材であるボックスカバー10を取り付け、洗浄槽100に入れて行くアーム部105とを備えている。
【0025】
図2に示すように、洗浄槽100は、純水などの洗浄液を貯めるものであるが、この洗浄槽100の中央部に、排気ノズルを立設した排気部102が設けられている。排気部102は、洗浄槽100外部に気体を送風する第1の部分(エア注入部111)と、気体により洗浄液を排出する第2の部分(排気部本体112)とを有する。またこの排気部102を囲むようにシャワー部101が設けられている。排気部102は、ボックスカバー10内部の空気を排気する。シャワー部101は、排気部102の近傍に配置した第1のシャワーヘッド101aと、洗浄槽100の四隅のコーナー部に配置した第2のシャワーヘッド101bとを有し、ボックスカバー10の内部および外部を洗浄する。
【0026】
また洗浄槽100の底部には、2箇所に洗浄槽100に洗浄液を貯めるための注入部(洗浄液供給バルブ)103がある。また、底部の他の箇所に洗浄液を排出する排出部であるドレイン部104が設けられている。また、オーバーフローした洗浄液は排気部102から排水可能である。
【0027】
アーム部105は、ボックスカバー10を回転させる機構と、ボックスカバー10を昇降させる機能とを有する。
【0028】
次にこの洗浄装置を用いてウェハボックスのカバーを洗浄する方法について説明する。図3〜図7はこの発明の実施の形態の洗浄方法を示す工程断面図である。
【0029】
この洗浄方法は、洗浄槽100にボックスカバー10をアーム部105により挿入し、ボックスカバー10の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄し、洗浄槽100の底部から洗浄液を注入し、この洗浄液がボックスカバー10の内部に入ってきたときに、ボックスカバー10内部の空気を洗浄槽100外部に排気して、ボックスカバー10を洗浄槽100内で洗浄液により洗浄し、洗浄後に洗浄液を洗浄槽100から排出する。
【0030】
この場合、予め大雑把に手洗いされたボックス10を洗浄装置のアーム部105に取り付ける。ボックスカバー10は四方が壁部であり、上面部に壁部を設けた構成である。断面は下方が開口したコの字型になり、直方体の一面が無い構成である。
【0031】
図1に示すように、ボックスカバー10の一面(この面はウェハボックスの上面となる)を洗浄装置の一部であるアーム部105に取り付ける。アーム部105は回転する。よってボックスカバー10はアーム部105とともに回転しながら下降し、洗浄槽100に入って来る。洗浄槽100にはまだ洗浄液はなく、空の状態である。
【0032】
図3に示すように、ボックスカバー10が洗浄槽100に入ってくると同時に洗浄槽100の中央部と四隅に設けられているシャワー部101から圧力を印加された純水が勢い良く発せられる。それによりボックスカバー10についた汚れを純水の勢いではじき飛ばす。この間、ボックスカバー10はアーム部105により回転し続けている。ボックスカバー10が洗浄槽100の下(底面部)まで挿入されると、シャワー部105からの純水は停止する。この間もボックスカバー10は回転し続けている。
【0033】
図4に示すように、次に洗浄槽100の底部の注入部103から純水(洗浄液)110aが注入される。純水110aは洗浄槽100からあふれても注入され続ける。ボックスカバー10の外側だけでなく内側にも純水110aがたまってくる。ボックスカバー10の内側には空気が存在するため、純水110aが洗浄槽100内にたまってくるにしたがって空気によりボックスカバー10が上に持ち上げられることになる。そこで、洗浄槽100の中心部に設けられている排気部102から、ボックスカバー10内の空気を抜くことになる。そのためには、排気部102に接続されたエア注入部111からエアを排気部本体112に送り込む。それにより、排気部102内が減圧状態になるため、ボックス10内の空気がこの排気部102を通して外部に排出される。そのときに洗浄槽100内のボックスカバー10の内側にある純水も排気部102と通して外部に排気されるが問題はない。
【0034】
このようにすることで、ボックスカバー10内の空気によりボックスカバー10が上に持ち上げられる問題は防止できる。ボックスカバー10内の空気がすべて外部に排気されたときにエアの注入を停止してもよいし、注入し続けてもよい。この間もボックスカバー10は回転し続け、一定時間洗浄槽100内で洗浄する。ボックスカバー10の回転はボックスカバー10に接する洗浄液110aによどみがないようにして洗浄効率をアップするために行われている。
【0035】
図5に示すように、洗浄中には、水(洗浄液)110aは洗浄槽100にどんどん入ってくる。入ってきた洗浄液110aはボックスカバー10の内側を洗浄しながらオーバーフローし、排気部102の排気ノズルからも排水されるとともに、ボックスカバー10の外部を洗浄した洗浄液は洗浄槽100の外壁よりオーバーフローする。このとき、空気はエア注入部111に入れ続けられる。
【0036】
図6に示すように、ボックスカバー10の洗浄が終了すると洗浄槽100への洗浄液の注入は停止し、洗浄液110bは洗浄槽100底部のドレイン部104から外部に排出される。排出後、図7の通り、ボックスカバー10の回転も停止する。ボックスカバー10はアーム部105により上昇し、アーム部105から取り外される。
【0037】
以上のような工程により、ボックスカバー10の内部の空気も洗浄槽100から外部に排気されるため、洗浄液がボックスカバー10の内部にも入り込む。このため、ボックスカバー10の内側、および上面部(アーム部105に取り付けている面)にも洗浄液が接触し(ボックスカバー10は回転をしている)、ボックスカバー10の内側も均一に洗浄することができる。
【0038】
なお、シャワー部101、注入部103、ドレイン部104の数や位置は変更してもよい。
【0039】
【発明の効果】
この発明の請求項1記載の洗浄装置によれば、洗浄槽は、被洗浄部材内部の空気を排気する排気部と、被洗浄部材の内部および外部を洗浄するシャワー部とを有し、かつ洗浄槽の底面部に、洗浄液の注入部と洗浄液の排出部とを設け、アーム部は、被洗浄部材を回転させる機構を有するので、被洗浄部材の内部に存在する空気が排気部を通して外部に排気される。このため、被洗浄部材の内部にも洗浄液が入っていき、均一な洗浄をすることができる。
【0040】
また、被洗浄部材は洗浄槽内で洗浄期間中、回転させることができるので、洗浄液がよどみなく被洗浄部材に接する。このため、被洗浄部材表面の洗浄を均一に行うことができる。
【0041】
また、洗浄槽で洗浄液による洗浄の前に、シャワー部から発せられるシャワー水により取れやすい汚れを落とすことができるので、洗浄液内での洗浄時間を短くすることができる。
【0042】
請求項2では、洗浄槽の中央部とコーナー部に配置されているので、被洗浄部材の内部および外部に均一にシャワーを浴びせることができる。
【0043】
請求項3では、排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する部分と、前記気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出する部分とを有するので、気体を送風することにより排気部内が減圧状態になり、被洗浄部材内部の空気とともに洗浄液の排出もできる。
【0044】
請求項4では、アーム部は、被洗浄部材を昇降させる機能を有するので、アーム部を取り付けた被洗浄部材の上面部等にも洗浄液が接し、さらに均一に洗浄することができる。
【0045】
この発明の請求項5記載の洗浄方法によれば、洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、この洗浄液が被洗浄部材の内部に入ってきたときに、被洗浄部材内部の空気を洗浄槽外部に排気するので、被洗浄部材の内部に存在する空気が外部に排気される。このため、被洗浄部材内の空気により被洗浄部材が持ち上げられることを防止でき、被洗浄部材の内部にも洗浄液が入っていき、被洗浄部材の内側および上面部にも洗浄液が接し、均一な洗浄をすることができる。
【0046】
また、洗浄槽で洗浄液による洗浄の前に、被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄するので、取れやすい汚れを予め落とすことができ、洗浄液内での洗浄時間を短くすることができる。
【0047】
この発明の請求項6記載の洗浄方法によれば、洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、被洗浄部材内部の空気を排気部を通して排気するので、被洗浄部材の内部に存在する空気が排気部を通して外部に排気される。このため、被洗浄部材内の空気により被洗浄部材が持ち上げられることを防止でき、被洗浄部材の内部にも洗浄液が入っていき、均一な洗浄をすることができる。
【0048】
また、被洗浄部材は洗浄槽内で洗浄期間中、回転しているので、洗浄液がよどみなく被洗浄部材に接する。このため、被洗浄部材表面の洗浄を均一に行うことができる。
【0049】
また、洗浄槽で洗浄液による洗浄の前に、被洗浄部材を回転させたまま被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄するので、取れやすい汚れを落とすことができ、洗浄液内での回転洗浄の時間を短くすることができる。
【0050】
請求項7では、排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する第1の部分と、気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出可能な第2の部分とを有し、洗浄液が被洗浄部材の内部に入ってきたときに、第1の部分に空気を流し、被洗浄部材内部の空気を第2の部分から排気するので、被洗浄部材内の空気により被洗浄部材が持ち上げられることを防止できる。また、第1の部分から気体を送風することにより排気部の第2の部分が減圧状態になり、被洗浄部材内部の空気とともに洗浄液の排出もできる。
【0051】
請求項8では、洗浄液を洗浄槽のドレイン部から排出し、排出後、被洗浄部材を上昇させるので、被洗浄部材が洗浄槽から出されて容易に取り外すことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施の形態の洗浄装置の断面図である。
【図2】図1の平面図である。
【図3】この発明の実施の形態の洗浄方法を示す工程断面図である。
【図4】図3の次工程を示す工程断面図である。
【図5】図4の次工程を示す工程断面図である。
【図6】図5の次工程を示す工程断面図である。
【図7】図6の次工程を示す工程断面図である。
【符号の説明】
10 ボックスカバー(被洗浄部材)
100 洗浄槽
101 シャワー部
101a 第1のシャワーヘッド
101b 第2のシャワーヘッド
102 排気部
103 注入部
104 ドレイン部(排出部)
105 アーム部

Claims (8)

  1. 洗浄槽と、内部に空間を有する被洗浄部材を取り付けるアーム部とを備えた洗浄装置であって、前記洗浄槽は、前記被洗浄部材内部の空気を排気する排気部と、前記被洗浄部材の内部および外部を洗浄するシャワー部とを有し、かつ前記洗浄槽の底面部に、洗浄液の注入部と洗浄液の排出部とを設け、前記アーム部は、前記被洗浄部材を回転させる機構を有することを特徴とする洗浄装置。
  2. シャワー部は、洗浄槽の中央部とコーナー部に配置されている請求項1記載の洗浄装置。
  3. 排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する部分と、前記気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出可能な部分とを有する請求項1記載の洗浄装置。
  4. アーム部は、被洗浄部材を昇降させる機能を有する請求項1記載の洗浄装置。
  5. 洗浄槽に内部に空間を有する被洗浄部材を挿入し、前記被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄し、前記洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、この洗浄液が前記被洗浄部材の内部に入ってきたときに、前記被洗浄部材内部の空気を前記洗浄槽外部に排気して、前記被洗浄部材を前記洗浄槽内で洗浄液により洗浄し、洗浄後に洗浄液を前記洗浄槽から排出することを特徴とする洗浄方法。
  6. 洗浄槽に内部に空間を有する被洗浄部材を回転させながら挿入し、前記被洗浄部材を回転させたまま前記被洗浄部材の内部および外部にシャワーを浴びせて洗浄し、シャワーを停止させた後、前記洗浄槽の底部から洗浄液を注入し、前記被洗浄部材内部の空気を排気部を通して排気し、前記被洗浄部材を回転させたまま一定時間洗浄槽内で洗浄液により洗浄し、洗浄後に洗浄液を前記洗浄槽から排出することを特徴とする洗浄方法。
  7. 排気部は、洗浄槽外部に気体を送風する第1の部分と、前記気体により被洗浄部材内部の空気と洗浄液を排出可能な第2の部分とを有し、前記洗浄液が前記被洗浄部材の内部に入ってきたときに、前記第1の部分に空気を流し、前記被洗浄部材内部の空気を第2の部分から排気する請求項6記載の洗浄方法。
  8. 洗浄液を洗浄槽のドレイン部から排出し、排出後、被洗浄部材を上昇させる請求項6記載の洗浄方法。
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