JP2004165781A - 誘電体フィルタの製造方法 - Google Patents
誘電体フィルタの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2004165781A JP2004165781A JP2002326601A JP2002326601A JP2004165781A JP 2004165781 A JP2004165781 A JP 2004165781A JP 2002326601 A JP2002326601 A JP 2002326601A JP 2002326601 A JP2002326601 A JP 2002326601A JP 2004165781 A JP2004165781 A JP 2004165781A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dielectric
- conductive film
- block
- parallel
- dielectric block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
Abstract
【課題】電極や、導体パターンの位置精度の向上や、パターンのファイン化を行うことで、特性の安定化を図り、安価で、信頼性が高く、歩留が向上できる誘電体フィルタの製造方法を提供する。
【解決手段】同一方向に並列し平行な2面に開口部を設ける複数の貫通孔12を有する誘電体ブロック11からなり、1個で機能させることができるモノブロックフィルタからなる誘電体フィルタ10の製造方法において、貫通孔12が開口する2面と、並列する複数の貫通孔12に平行する2面の表面を研磨する工程と、誘電体ブロック11の全表面を導電膜13で被覆する工程と、導電膜13の一部をエッチング処理して、誘電体ブロック11の研磨した表面の一部に導電膜13から露出させる露出部18を形成すると同時に、露出部18内に導電膜13からなる島状の導体パターン15及び入出力電極16を形成する工程を有する。
【選択図】 図2
【解決手段】同一方向に並列し平行な2面に開口部を設ける複数の貫通孔12を有する誘電体ブロック11からなり、1個で機能させることができるモノブロックフィルタからなる誘電体フィルタ10の製造方法において、貫通孔12が開口する2面と、並列する複数の貫通孔12に平行する2面の表面を研磨する工程と、誘電体ブロック11の全表面を導電膜13で被覆する工程と、導電膜13の一部をエッチング処理して、誘電体ブロック11の研磨した表面の一部に導電膜13から露出させる露出部18を形成すると同時に、露出部18内に導電膜13からなる島状の導体パターン15及び入出力電極16を形成する工程を有する。
【選択図】 図2
Description
【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、誘電体フィルタの製造方法に関し、より詳細には、携帯電話等の移動体無線通信機器に使用され、1個の誘電体ブロックに形成される複数個の共振器を組み合わせて機能する誘電体フィルタの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、誘電体フィルタは、携帯電話、自動車電話等の移動体無線通信機器等に広く使用されている。これらには、異なる特性インピーダンスを有する誘電体同軸共振器を複数を直列に繋いだ構造のものが多く使用されている。また、1個の誘電体ブロックに複数の貫通孔を設け、それぞれの貫通孔で異なる特性インピーダンスを有する共振器に形成して、モノブロックフィルタからなる誘電体フィルタを形成しているものもある。
【0003】
図3(A)〜(D)を参照しながら、従来のモノブロックフィルタからなる誘電体フィルタ50の製造方法を説明する。図3(A)に示すように、従来の誘電体フィルタ50は、ブロック状にプレス成形し、焼成して形成する誘電体ブロック51を基材としている。この誘電体ブロック51には、プレス成形するのと同時に、対向する2面を貫通する複数の平行な共振器用の貫通孔52が設けられている。次に、図3(B)に示すように、この貫通孔52の内部壁面を含めた誘電体ブロック51の全表面には、Cu等の導電性の金属部材からなる導電膜53がディッピングやスクリーン印刷等で塗布された後、焼成されて形成される。次に、図3(C)に示すように、貫通孔52が開口する上下両面のうちの一面の解放端面54となる面と、入出力電極55(図3(D)参照)となる面の導電膜53と、誘電体ブロック51の表面部分が平面研削されてそれぞれ研磨面56、56aが形成される。
【0004】
次いで、図3(D)に示すように、開放端面54の研磨面56には、開放端面54の外周縁部、及び貫通孔52の周縁部に、導電膜53と同じ金属部材からなる導体ペーストを用いてスクリーン印刷し、焼成して導体パターン57が形成される。また、入出力電極55となる研磨面56aには、同様に、導電膜53と同じ金属部材からなる導体ペーストを用いてスクリーン印刷し焼成して入出力電極55用と、入出力電極55との間に間隔を設けて全面に導体パターン57aが形成されることで、誘電体フィルタ50を作製している。モノブロックフィルタからなるこの誘電体フィルタ50は、開放端面54側の貫通孔52の周縁部に設けられる導体パターン57の面積を変えること等で、それぞれの貫通孔52で異なる特性インピーダンスを有する共振器に形成して、必要とする特性を得ている。
【0005】
なお、従来の誘電体フィルタの中には、誘電体フィルタを実装するときの入出力電極での半田ブリッジを防止するために、誘電体ブロックの側面の入出力電極の周囲に誘電体の凸部を設けることが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−94304号公報(第1−8頁、第1図)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような従来の誘電体フィルタの製造方法は、次のような問題がある。
(1)モノブロックフィルタからなる誘電体フィルタは、開放端面側の貫通孔の周縁部に形成される導体パターンからなる電極の面積の大きさ精度や、導体パターンの位置ズレ、滲み等で特性インピーダンス等の特性が大きく変わるが、スクリーン印刷で形成する導体パターンは、印刷ズレによる位置ズレや、印刷時の滲みが多く発生する。従って、個々の誘電体フィルタの特性を正確に測定する必要があり、更に、特性を整合させるための調整、修理に多くの時間が必要となり、コストが高くなっている。
【0008】
(2)特性インピーダンスの測定には、通常、ネットワークアナライザーが用いられるが、測定に熟練度を要し、信頼性の高い測定結果が出せる測定者を養成するのに時間とコストがかかる。特に、スクリーン印刷で形成する導体パターンは、位置ズレ、滲み等が大きいので、測定バラツキが大きく発生しやすく、測定結果の信頼性を確保するのが難しい。
【0009】
(3)誘電体ブロックは、表面研削を行うと稜線部に欠けが発生しやすく、スクリーン印刷で導体パターンを形成する時に、欠けの部分に導体ペーストが転写できなくて導体ペーストの不着が発生する場合があり、導通がとれない製品が発生して歩留の低下となっている。
【0010】
(4)稜線部に欠けが発生した誘電体ブロックにスクリーン印刷で導体パターンを形成する場合には、欠けの部分の導体ペーストが転写されなくて印刷用版に付着して残存し、この残存導体ペーストが、次の誘電体ブロックを印刷した時に誘電体ブロックに付着して導体パターンの滲みを発生させることがあり、歩留の低下となっている。
【0011】
(5)誘電体ブロックの側面に凸部を設ける場合には、貫通孔を有する誘電体ブロックの側面の一部に凸部をプレス等で成形することが難しく、複雑な成型機が必要となったり、成形後の切削加工が必要となったりして、コストが高くなっている。
【0012】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、電極や、導体パターンの位置精度の向上や、パターンのファイン化を行うことで、特性の安定化を図り、安価で、信頼性が高く、歩留が向上できる誘電体フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う本発明に係る誘電体フィルタの製造方法は、同一方向に並列し平行な2面に開口部を設ける複数の貫通孔を有する誘電体ブロックからなり、誘電体ブロック1個で機能させることができるモノブロックフィルタからなる誘電体フィルタの製造方法において、誘電体ブロックの貫通孔が開口する2面と、並列する複数の貫通孔に平行する2面の表面を研磨する工程と、誘電体ブロックの全表面を導電膜で被覆する工程と、導電膜の一部をエッチング処理して、誘電体ブロックの研磨した表面の一部に導電膜から露出させる露出部を形成すると同時に、露出部内に導電膜からなる島状の導体パターン及び入出力電極を形成する工程を有する。これにより、エッチング処理で導体パターンを形成するので、パターン精度がよく、ファインパターンの導体パターンや、入出力電極を形成できて特性検査を容易化でき、信頼性の高い安価な誘電体フィルタを得ることができる。また、誘電体ブロックの導体パターンや、入出力電極が形成される部分を予め研磨し、その後にディッピング等で導電膜を被覆しているので、稜線部の欠けた部分にも導電膜が形成でき、断線の発生を防止することができ、歩留を向上することができる。更に、導体パターンや、入出力電極は、エッチング処理で形成するので、導体パターンや、入出力電極の位置ズレや、滲みを防止することができ、歩留を向上することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタの平面図、正面図、図2(A)〜(C)はそれぞれ同誘電体フィルタの製造方法の説明図である。
【0015】
図1(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタ10は、高誘電率を有する酸化物誘電体セラミック粉末材料の一例である、BaO−TiO2−Bi2O3−Nd2O3−Gd2O3系等の誘電体セラミックで、例えば、εr=92程度の高誘電率の粉末原料等を用いてブロック形状に成形され、焼成して形成された誘電体ブロック11を基材としている。この誘電体ブロック11は、ブロック形状に成形されるのと同時に、形成される対向する2面を貫通する複数の平行な共振器用の貫通孔12を有し、貫通孔12の壁面には、Cuめっき等で形成される導電膜13を有している。そして、誘電体ブロック11の貫通孔12の一方が開口する上面の開放端面14には、貫通孔12の周縁部に、貫通孔12の壁面に形成された導電膜13と導通する導体パターン15を有している。また、開放端面14には、解放端面14の外周縁部にも導体パターン15aを有している。この解放端面14の外周縁部の導体パターン15aは、誘電体ブロック11の開放端面14以外の面に形成されている導体パターン15bや、導電膜13と導通している。
【0016】
一方、誘電体ブロック11の開放端面14とは直角に交叉し、貫通孔12と平行となる面には、入出力電極16と、入出力電極16との間に間隔を設けて全面にわたって形成されている導体パターン15bを有している。そして、貫通孔12の壁面、及び開放端面14と入出力電極16が形成されている面以外の誘電体ブロック11の表面には、導電膜13を有している。
なお、貫通孔12の位置や、数量、導体パターン15、15a、15bの形状、及び、入出力電極16の形状や、位置は、目標とする特性を得るために自由に変更することができる。また、入出力電極16には、アンテナ用の電極が設けられて、3個となる場合がある。
【0017】
次いで、図2(A)〜(C)を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法を説明する。
図2(A)に示すように、誘電体フィルタ10の基材となる誘電体ブロック11は、高誘電率材料の一例である、BaO−TiO2−Bi2O3−Nd2O3−Gd2O3系や、BaO−TiO2−WO3系等の酸化物系の誘電体セラミックからなる粉末原料が材料として用いられている。そして、この誘電体セラミックの粉末原料は、例えば、上金型、下金型、ダイス、及びコアピンからなるプレス金型の中に充填され、プレスしてブロック形状からなるブロック体に成形されると同時に、ブロック体の上下対向する2面に開口部を有し、同一方向に並列する複数の貫通孔12を成形して成形体を形成している。更に、この成形体は、所定の温度で焼成されて誘電体ブロック11を形成している。誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する2面と、並列する複数の貫通孔12に平行する2面の表面をラッピング機等で平面研削して、研磨面17を形成する。
【0018】
次に、図2(B)に示すように、誘電体ブロック11の貫通孔12の内部壁面を含めた全表面にCuめっき等の導電性金属からなる導電膜13を被覆する。この導電膜13の形成方法は、先ず、誘電体ブロック11の表面にパラジウム等の触媒を付与した後、ホルムアルデヒド等を還元剤とするめっき浴中に浸漬し、化学めっき法である無電解めっきでCu等の導電性金属を誘電体ブロック11の全表面に被覆する。次いで、この無電解Cuめっき被膜に通電して硫酸Cuめっき液や、ピロリン酸Cuめっき液等のめっき浴中に浸漬し、電気めっき法である電解めっきで無電解Cuめっき被膜の上に電解Cuめっき被膜を施して、厚さが7〜13μm程度の導電膜13を形成している。
【0019】
次に、図2(C)に示すように、誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する上下両面のうちの一面の開放端面14となる面と、入出力電極16となる面の導電膜13の上に、フォトリソグラフィ法でエッチングレジストマスクを形成するために、感光性のドライフィルムを展着しパターンマスクを当接して露光、現像を行って、導体パターン15、15a、15bと入出力電極16となる部分以外を開口部とするエッチングレジストマスクを形成する。そして、アルカリエッチング液や、塩化第2Cu液等のエッチング液を用いてエッチング処理を行い、誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する上下両面のうちの一面の開放端面14となる面と、入出力電極16となる面のエッチングレジストマスクの開口部から露出する導電膜13の導体パターン15、15a、15bと、入出力電極16となる部分以外の導電膜13を除去する。これにより、誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する上下両面のうちの一面の開放端面14となる面と、入出力電極16となる面の研磨面17に、導電膜13から露出する露出部18を形成すると同時に、露出部18内に導電膜13からなる島状の導体パターン15及び入出力電極16を精度よく形成することができる。エッチング処理後は、ドライフィルムに剥離液を塗布して、ドライフィルムを膨潤させ、剥離し除去する。
【0020】
上記で作製された誘電体フィルタ10は、1つのブロック形状の中に複数の貫通孔12を設け、それぞれの貫通孔12に接続するそれぞれの導体パターン15の面積を変える等によって、それぞれの貫通孔12の特性インピーダンスを異なるようにした共振器にして、必要とする特性を有する1個の誘電体ブロック11からなるモノブロックフィルタを形成している。
【0021】
上記の本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタ10は、エッチング処理によって、導体パターン15、15a、15b、及び、入出力電極16が形成されて、配線パターンである導体パターン15及び入出力電極16と、グランドパターンである導体パターン15a、15b及び導電膜13との相対距離が安定するので、ネットワークアナライザーを用いて測定して特性を整合させるための調整、修理を行うことを必要としない無調整歩留を向上させることができる。
【0022】
【発明の効果】
請求項1記載の誘電体フィルタの製造方法は、誘電体ブロックの貫通孔が開口する2面と、並列する複数の貫通孔に平行する2面の表面を研磨する工程と、誘電体ブロックの全表面を導電膜で被覆する工程と、導電膜の一部をエッチング処理して、誘電体ブロックの研磨した表面の一部に導電膜から露出させる露出部を形成すると同時に、露出部内に導電膜からなる島状の導体パターン及び入出力電極を形成する工程を有するので、パターン精度がよく、ファインパターンの電極等の導体パターンを形成できて特性検査を容易化でき、信頼性の高い安価な誘電体フィルタを得ることができる。また、稜線部の欠けた部分にも導電膜が形成でき、断線の発生を防止することができ、歩留を向上することができる。更に、導体パターンや、入出力電極の位置ズレや、滲みの発生がなく、歩留を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタの平面図、正面図である。
【図2】(A)〜(C)はそれぞれ同誘電体フィルタの製造方法の説明図である。
【図3】(A)〜(D)はそれぞれ従来の誘電体フィルタの製造方法の説明図である。
【符号の説明】
10:誘電体フィルタ、11:誘電体ブロック、12:貫通孔、13:導電膜、14:開放端面、15、15a、15b:導体パターン、16:入出力電極、17:研磨面、18:露出部
【発明が属する技術分野】
本発明は、誘電体フィルタの製造方法に関し、より詳細には、携帯電話等の移動体無線通信機器に使用され、1個の誘電体ブロックに形成される複数個の共振器を組み合わせて機能する誘電体フィルタの製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、誘電体フィルタは、携帯電話、自動車電話等の移動体無線通信機器等に広く使用されている。これらには、異なる特性インピーダンスを有する誘電体同軸共振器を複数を直列に繋いだ構造のものが多く使用されている。また、1個の誘電体ブロックに複数の貫通孔を設け、それぞれの貫通孔で異なる特性インピーダンスを有する共振器に形成して、モノブロックフィルタからなる誘電体フィルタを形成しているものもある。
【0003】
図3(A)〜(D)を参照しながら、従来のモノブロックフィルタからなる誘電体フィルタ50の製造方法を説明する。図3(A)に示すように、従来の誘電体フィルタ50は、ブロック状にプレス成形し、焼成して形成する誘電体ブロック51を基材としている。この誘電体ブロック51には、プレス成形するのと同時に、対向する2面を貫通する複数の平行な共振器用の貫通孔52が設けられている。次に、図3(B)に示すように、この貫通孔52の内部壁面を含めた誘電体ブロック51の全表面には、Cu等の導電性の金属部材からなる導電膜53がディッピングやスクリーン印刷等で塗布された後、焼成されて形成される。次に、図3(C)に示すように、貫通孔52が開口する上下両面のうちの一面の解放端面54となる面と、入出力電極55(図3(D)参照)となる面の導電膜53と、誘電体ブロック51の表面部分が平面研削されてそれぞれ研磨面56、56aが形成される。
【0004】
次いで、図3(D)に示すように、開放端面54の研磨面56には、開放端面54の外周縁部、及び貫通孔52の周縁部に、導電膜53と同じ金属部材からなる導体ペーストを用いてスクリーン印刷し、焼成して導体パターン57が形成される。また、入出力電極55となる研磨面56aには、同様に、導電膜53と同じ金属部材からなる導体ペーストを用いてスクリーン印刷し焼成して入出力電極55用と、入出力電極55との間に間隔を設けて全面に導体パターン57aが形成されることで、誘電体フィルタ50を作製している。モノブロックフィルタからなるこの誘電体フィルタ50は、開放端面54側の貫通孔52の周縁部に設けられる導体パターン57の面積を変えること等で、それぞれの貫通孔52で異なる特性インピーダンスを有する共振器に形成して、必要とする特性を得ている。
【0005】
なお、従来の誘電体フィルタの中には、誘電体フィルタを実装するときの入出力電極での半田ブリッジを防止するために、誘電体ブロックの側面の入出力電極の周囲に誘電体の凸部を設けることが提案されている(例えば、特許文献1参照)。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−94304号公報(第1−8頁、第1図)
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前述したような従来の誘電体フィルタの製造方法は、次のような問題がある。
(1)モノブロックフィルタからなる誘電体フィルタは、開放端面側の貫通孔の周縁部に形成される導体パターンからなる電極の面積の大きさ精度や、導体パターンの位置ズレ、滲み等で特性インピーダンス等の特性が大きく変わるが、スクリーン印刷で形成する導体パターンは、印刷ズレによる位置ズレや、印刷時の滲みが多く発生する。従って、個々の誘電体フィルタの特性を正確に測定する必要があり、更に、特性を整合させるための調整、修理に多くの時間が必要となり、コストが高くなっている。
【0008】
(2)特性インピーダンスの測定には、通常、ネットワークアナライザーが用いられるが、測定に熟練度を要し、信頼性の高い測定結果が出せる測定者を養成するのに時間とコストがかかる。特に、スクリーン印刷で形成する導体パターンは、位置ズレ、滲み等が大きいので、測定バラツキが大きく発生しやすく、測定結果の信頼性を確保するのが難しい。
【0009】
(3)誘電体ブロックは、表面研削を行うと稜線部に欠けが発生しやすく、スクリーン印刷で導体パターンを形成する時に、欠けの部分に導体ペーストが転写できなくて導体ペーストの不着が発生する場合があり、導通がとれない製品が発生して歩留の低下となっている。
【0010】
(4)稜線部に欠けが発生した誘電体ブロックにスクリーン印刷で導体パターンを形成する場合には、欠けの部分の導体ペーストが転写されなくて印刷用版に付着して残存し、この残存導体ペーストが、次の誘電体ブロックを印刷した時に誘電体ブロックに付着して導体パターンの滲みを発生させることがあり、歩留の低下となっている。
【0011】
(5)誘電体ブロックの側面に凸部を設ける場合には、貫通孔を有する誘電体ブロックの側面の一部に凸部をプレス等で成形することが難しく、複雑な成型機が必要となったり、成形後の切削加工が必要となったりして、コストが高くなっている。
【0012】
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであって、電極や、導体パターンの位置精度の向上や、パターンのファイン化を行うことで、特性の安定化を図り、安価で、信頼性が高く、歩留が向上できる誘電体フィルタの製造方法を提供することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
前記目的に沿う本発明に係る誘電体フィルタの製造方法は、同一方向に並列し平行な2面に開口部を設ける複数の貫通孔を有する誘電体ブロックからなり、誘電体ブロック1個で機能させることができるモノブロックフィルタからなる誘電体フィルタの製造方法において、誘電体ブロックの貫通孔が開口する2面と、並列する複数の貫通孔に平行する2面の表面を研磨する工程と、誘電体ブロックの全表面を導電膜で被覆する工程と、導電膜の一部をエッチング処理して、誘電体ブロックの研磨した表面の一部に導電膜から露出させる露出部を形成すると同時に、露出部内に導電膜からなる島状の導体パターン及び入出力電極を形成する工程を有する。これにより、エッチング処理で導体パターンを形成するので、パターン精度がよく、ファインパターンの導体パターンや、入出力電極を形成できて特性検査を容易化でき、信頼性の高い安価な誘電体フィルタを得ることができる。また、誘電体ブロックの導体パターンや、入出力電極が形成される部分を予め研磨し、その後にディッピング等で導電膜を被覆しているので、稜線部の欠けた部分にも導電膜が形成でき、断線の発生を防止することができ、歩留を向上することができる。更に、導体パターンや、入出力電極は、エッチング処理で形成するので、導体パターンや、入出力電極の位置ズレや、滲みを防止することができ、歩留を向上することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】
続いて、添付した図面を参照しつつ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本発明の理解に供する。
ここに、図1(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタの平面図、正面図、図2(A)〜(C)はそれぞれ同誘電体フィルタの製造方法の説明図である。
【0015】
図1(A)、(B)に示すように、本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタ10は、高誘電率を有する酸化物誘電体セラミック粉末材料の一例である、BaO−TiO2−Bi2O3−Nd2O3−Gd2O3系等の誘電体セラミックで、例えば、εr=92程度の高誘電率の粉末原料等を用いてブロック形状に成形され、焼成して形成された誘電体ブロック11を基材としている。この誘電体ブロック11は、ブロック形状に成形されるのと同時に、形成される対向する2面を貫通する複数の平行な共振器用の貫通孔12を有し、貫通孔12の壁面には、Cuめっき等で形成される導電膜13を有している。そして、誘電体ブロック11の貫通孔12の一方が開口する上面の開放端面14には、貫通孔12の周縁部に、貫通孔12の壁面に形成された導電膜13と導通する導体パターン15を有している。また、開放端面14には、解放端面14の外周縁部にも導体パターン15aを有している。この解放端面14の外周縁部の導体パターン15aは、誘電体ブロック11の開放端面14以外の面に形成されている導体パターン15bや、導電膜13と導通している。
【0016】
一方、誘電体ブロック11の開放端面14とは直角に交叉し、貫通孔12と平行となる面には、入出力電極16と、入出力電極16との間に間隔を設けて全面にわたって形成されている導体パターン15bを有している。そして、貫通孔12の壁面、及び開放端面14と入出力電極16が形成されている面以外の誘電体ブロック11の表面には、導電膜13を有している。
なお、貫通孔12の位置や、数量、導体パターン15、15a、15bの形状、及び、入出力電極16の形状や、位置は、目標とする特性を得るために自由に変更することができる。また、入出力電極16には、アンテナ用の電極が設けられて、3個となる場合がある。
【0017】
次いで、図2(A)〜(C)を参照しながら、本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法を説明する。
図2(A)に示すように、誘電体フィルタ10の基材となる誘電体ブロック11は、高誘電率材料の一例である、BaO−TiO2−Bi2O3−Nd2O3−Gd2O3系や、BaO−TiO2−WO3系等の酸化物系の誘電体セラミックからなる粉末原料が材料として用いられている。そして、この誘電体セラミックの粉末原料は、例えば、上金型、下金型、ダイス、及びコアピンからなるプレス金型の中に充填され、プレスしてブロック形状からなるブロック体に成形されると同時に、ブロック体の上下対向する2面に開口部を有し、同一方向に並列する複数の貫通孔12を成形して成形体を形成している。更に、この成形体は、所定の温度で焼成されて誘電体ブロック11を形成している。誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する2面と、並列する複数の貫通孔12に平行する2面の表面をラッピング機等で平面研削して、研磨面17を形成する。
【0018】
次に、図2(B)に示すように、誘電体ブロック11の貫通孔12の内部壁面を含めた全表面にCuめっき等の導電性金属からなる導電膜13を被覆する。この導電膜13の形成方法は、先ず、誘電体ブロック11の表面にパラジウム等の触媒を付与した後、ホルムアルデヒド等を還元剤とするめっき浴中に浸漬し、化学めっき法である無電解めっきでCu等の導電性金属を誘電体ブロック11の全表面に被覆する。次いで、この無電解Cuめっき被膜に通電して硫酸Cuめっき液や、ピロリン酸Cuめっき液等のめっき浴中に浸漬し、電気めっき法である電解めっきで無電解Cuめっき被膜の上に電解Cuめっき被膜を施して、厚さが7〜13μm程度の導電膜13を形成している。
【0019】
次に、図2(C)に示すように、誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する上下両面のうちの一面の開放端面14となる面と、入出力電極16となる面の導電膜13の上に、フォトリソグラフィ法でエッチングレジストマスクを形成するために、感光性のドライフィルムを展着しパターンマスクを当接して露光、現像を行って、導体パターン15、15a、15bと入出力電極16となる部分以外を開口部とするエッチングレジストマスクを形成する。そして、アルカリエッチング液や、塩化第2Cu液等のエッチング液を用いてエッチング処理を行い、誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する上下両面のうちの一面の開放端面14となる面と、入出力電極16となる面のエッチングレジストマスクの開口部から露出する導電膜13の導体パターン15、15a、15bと、入出力電極16となる部分以外の導電膜13を除去する。これにより、誘電体ブロック11の貫通孔12が開口する上下両面のうちの一面の開放端面14となる面と、入出力電極16となる面の研磨面17に、導電膜13から露出する露出部18を形成すると同時に、露出部18内に導電膜13からなる島状の導体パターン15及び入出力電極16を精度よく形成することができる。エッチング処理後は、ドライフィルムに剥離液を塗布して、ドライフィルムを膨潤させ、剥離し除去する。
【0020】
上記で作製された誘電体フィルタ10は、1つのブロック形状の中に複数の貫通孔12を設け、それぞれの貫通孔12に接続するそれぞれの導体パターン15の面積を変える等によって、それぞれの貫通孔12の特性インピーダンスを異なるようにした共振器にして、必要とする特性を有する1個の誘電体ブロック11からなるモノブロックフィルタを形成している。
【0021】
上記の本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタ10は、エッチング処理によって、導体パターン15、15a、15b、及び、入出力電極16が形成されて、配線パターンである導体パターン15及び入出力電極16と、グランドパターンである導体パターン15a、15b及び導電膜13との相対距離が安定するので、ネットワークアナライザーを用いて測定して特性を整合させるための調整、修理を行うことを必要としない無調整歩留を向上させることができる。
【0022】
【発明の効果】
請求項1記載の誘電体フィルタの製造方法は、誘電体ブロックの貫通孔が開口する2面と、並列する複数の貫通孔に平行する2面の表面を研磨する工程と、誘電体ブロックの全表面を導電膜で被覆する工程と、導電膜の一部をエッチング処理して、誘電体ブロックの研磨した表面の一部に導電膜から露出させる露出部を形成すると同時に、露出部内に導電膜からなる島状の導体パターン及び入出力電極を形成する工程を有するので、パターン精度がよく、ファインパターンの電極等の導体パターンを形成できて特性検査を容易化でき、信頼性の高い安価な誘電体フィルタを得ることができる。また、稜線部の欠けた部分にも導電膜が形成でき、断線の発生を防止することができ、歩留を向上することができる。更に、導体パターンや、入出力電極の位置ズレや、滲みの発生がなく、歩留を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)、(B)はそれぞれ本発明の一実施の形態に係る誘電体フィルタの製造方法で作製された誘電体フィルタの平面図、正面図である。
【図2】(A)〜(C)はそれぞれ同誘電体フィルタの製造方法の説明図である。
【図3】(A)〜(D)はそれぞれ従来の誘電体フィルタの製造方法の説明図である。
【符号の説明】
10:誘電体フィルタ、11:誘電体ブロック、12:貫通孔、13:導電膜、14:開放端面、15、15a、15b:導体パターン、16:入出力電極、17:研磨面、18:露出部
Claims (1)
- 同一方向に並列し平行な2面に開口部を設ける複数の貫通孔を有する誘電体ブロックからなり、該誘電体ブロック1個で機能させることができるモノブロックフィルタからなる誘電体フィルタの製造方法において、
前記誘電体ブロックの前記貫通孔が開口する2面と、並列する複数の前記貫通孔に平行する2面の表面を研磨する工程と、
前記誘電体ブロックの全表面を導電膜で被覆する工程と、
前記導電膜の一部をエッチング処理して、前記誘電体ブロックの研磨した表面の一部に前記導電膜から露出させる露出部を形成すると同時に、該露出部内に前記導電膜からなる島状の導体パターン及び入出力電極を形成する工程を有することを特徴とする誘電体フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002326601A JP2004165781A (ja) | 2002-11-11 | 2002-11-11 | 誘電体フィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002326601A JP2004165781A (ja) | 2002-11-11 | 2002-11-11 | 誘電体フィルタの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004165781A true JP2004165781A (ja) | 2004-06-10 |
Family
ID=32805483
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002326601A Pending JP2004165781A (ja) | 2002-11-11 | 2002-11-11 | 誘電体フィルタの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004165781A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009013929A1 (ja) * | 2007-07-24 | 2009-01-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 誘電体フィルタ |
JPWO2008155941A1 (ja) * | 2007-06-18 | 2010-08-26 | 株式会社村田製作所 | 誘電体フィルタ |
WO2015065395A1 (en) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nonparallel island etching |
WO2015065394A1 (en) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Island etched filter passages |
-
2002
- 2002-11-11 JP JP2002326601A patent/JP2004165781A/ja active Pending
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2008155941A1 (ja) * | 2007-06-18 | 2010-08-26 | 株式会社村田製作所 | 誘電体フィルタ |
JP4905466B2 (ja) * | 2007-06-18 | 2012-03-28 | 株式会社村田製作所 | 誘電体フィルタ |
WO2009013929A1 (ja) * | 2007-07-24 | 2009-01-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 誘電体フィルタ |
JPWO2009013929A1 (ja) * | 2007-07-24 | 2010-09-30 | 株式会社村田製作所 | 誘電体フィルタ |
US7825752B2 (en) | 2007-07-24 | 2010-11-02 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Dielectric filter having a dielectric block with input/output electrodes of a bent shape at corner portions of the block |
JP4692636B2 (ja) * | 2007-07-24 | 2011-06-01 | 株式会社村田製作所 | 誘電体フィルタ |
WO2015065395A1 (en) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nonparallel island etching |
WO2015065394A1 (en) * | 2013-10-30 | 2015-05-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Island etched filter passages |
CN105682780A (zh) * | 2013-10-30 | 2016-06-15 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 不平行岛蚀刻 |
CN105682769A (zh) * | 2013-10-30 | 2016-06-15 | 惠普发展公司,有限责任合伙企业 | 岛蚀刻的过滤通道 |
JP2016537207A (ja) * | 2013-10-30 | 2016-12-01 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー.Hewlett‐Packard Development Company, L.P. | 非平行アイランドエッチング |
US9938139B2 (en) | 2013-10-30 | 2018-04-10 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Nonparallel island etching |
US10086317B2 (en) | 2013-10-30 | 2018-10-02 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Island etched filter passages |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR20030026855A (ko) | 소형 전자 부품용 배선 기판 및 그 제조 방법 | |
JP4502090B2 (ja) | 電子部品及びその製造方法 | |
JP2004165781A (ja) | 誘電体フィルタの製造方法 | |
JP3236782B2 (ja) | セラミック基板及びその製造方法並びに分割回路基板 | |
US6477031B1 (en) | Electronic component for high frequency signals and method for fabricating the same | |
US20020039057A1 (en) | Band pass filter | |
US6738600B1 (en) | Ceramic microelectromechanical structure | |
JP3236769B2 (ja) | セラミック基板及びその製造方法並びに分割回路基板 | |
JP3563580B2 (ja) | 高周波複合回路基板およびその製造方法 | |
JP3550283B2 (ja) | 高周波複合回路基板 | |
JP2001044644A (ja) | 多層回路基板およびその製法 | |
JPH10275979A (ja) | セラミック基板および分割回路基板 | |
JP2002198637A (ja) | 回路基板およびその製法並びに回路基板装置 | |
JP3667948B2 (ja) | 高周波複合回路ブロック | |
JP3904767B2 (ja) | 多層回路基板 | |
JPH11186733A (ja) | 高周波複合回路ブロック | |
KR100704014B1 (ko) | 다중 유전율을 갖는 인쇄회로기판의 제조방법과 임피던스매칭 | |
JP4610113B2 (ja) | セラミック多層基板の製法 | |
JP3570242B2 (ja) | セラミック多層基板の製造方法 | |
JP2004031699A (ja) | セラミック回路基板及びその製造方法 | |
JP3500244B2 (ja) | セラミック基板の製造方法 | |
JP2003289214A (ja) | 小型アンテナとその製造方法 | |
KR100997988B1 (ko) | 세라믹 그린시트의 회로 패턴 형성 방법 및 세라믹 기판의 제조 방법 | |
JP2001125279A (ja) | スプレー現像装置及び現像方法並びに積層セラミック基板の製法 | |
JP2001185851A (ja) | 多層基板の製法 |