JP2004158541A - 積層型電子部品とその製造方法 - Google Patents

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修美 熊谷
Masayuki Sumiishi
正幸 住石
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徹 高橋
Shinichi Sato
真一 佐藤
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【課題】チップのマーク材が剥離するおそれがない構造のセラミックベースの積層型電子部品とその製造方法を提供する。
【解決手段】方向性、品名もしくは製造番号の少なくともいずれか1つを示すマーク3の表面を、セラミックまたはガラスからなる保護層1mにより覆う。これにより、グリーン状態でチップをバレル処理する際に、チップのマークが剥離することを回避する。マーク3の保護層は、シート積層法におけるグリーンシートにより形成するかもしくは印刷により形成する。また、印刷法による場合にはペーストの印刷により保護層を形成する。
【選択図】図1

Description

【0001】
【発明が属する技術分野】
本発明は、セラミックをベース(絶縁素体)とするインダクタやコンデンサあるいはフィルタ等の積層型電子部品のその製造方法に関わり、より詳しくはその方向性、品名もしくは製造番号の少なくともいずれかを表示するマークの構造とマークの形成方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
セラミックベースのインダクタやコンデンサあるいはその両者を内蔵したフィルタ等の積層型電子部品においては、その方向性、品名あるいは製造番号を示すマークが表面に付される(例えば特許文献1参照。)。
【0003】
【特許文献1】
特開平8−330459号公報。
【0004】
このようなマークを積層型電子部品の表面に設けるため、従来はフィルムを有するグリーンシートの表面にマークを印刷し、そのマークを付した面を下にして上側のフィルムを剥離し、その上にコイル導体やコンデンサ電極となる導体パターンを印刷したグリーンシートを複数枚重ねて圧着する。そして圧着した後にチップ単位に切断し、切断後の切断かすの除去やチップの角を丸める目的で未焼成のグリーン状態でバレル研磨を行う。この研磨工程ではグリーン状態のチップとメディアと水とをバレルに入れ、このバレル研磨を例えば20分行った後、チップのみを取り出し、乾燥して焼成工程へと進む。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし前記バレル工程において、チップのマークは、チップどうしが擦れるかまたはチップがメディアと擦れることにより剥離し、前記マークが不明になることがある。この剥離を回避するため、グリーン状態でのマーク材の接着強度を上げる目的で、可塑材の量や材質を適正に設計すれば良いが、グリーン状態で物理的な擦れに対する強度を向上させることは困難であり、マーク材の剥離により表示内容を不明になることを防ぐことは難しい。
【0006】
本発明は、このような従来技術の問題点に鑑み、チップのマーク材が剥離するおそれがない構造の積層型電子部品とその製造方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】(1)本発明による積層型電子部品は、セラミックベースの積層型電子部品において、
方向性、品名もしくは製造番号の少なくともいずれか1つを示すマークの表面が、セラミックまたはガラスからなる保護層により覆われていることを特徴とする。
【0008】
このように、セラミックベースの積層型電子部品において、マークの表面をセラミックまたはガラスによって覆うことにより、バレル工程において、チップのマークの剥離を回避することができる。
【0009】
(2)本発明の積層型電子部品において、
前記保護層は焼成後に透明もしくは半透明であることが好ましい。
【0010】
このように、保護層の焼成後の材質を透明または半透明とすることにより、マークの読みとりが容易となり、測定やテーピング工程における方向整列等も現行設備仕様のままで対応が可能となる。また、保護層の材質を透明または半透明とすることにより、保護層の厚みを大とすることもでき、厚みの選択の自由度が上がる。
【0011】
(3)本発明の積層型電子部品において、測定時等におけるマークの判別を確実に行う意味で前記保護層の厚みが焼成後で40μm以下であることが好ましい。また、保護層としての機能を持たせるには、保護層の厚みはグリーン状態で6μm(焼成後で3μm)以上であることが好ましい。
【0012】
(4)本発明による積層型電子部品の製造方法は、前記(1)から(3)までのいずれかに記載の積層型電子部品をシート積層法により製造する方法であって、
片面にフィルムを有するグリーンシートを形成する工程と、
該グリーンシート上に導体パターンを形成する工程と、
該導体パターン形成後にグリーンシートのフィルム側を上に向けて下側のグリーンシートを積み重ねる工程と、
前記グリーンシートの積み重ね工程の最後に、マークを有するセラミックグリーンシートもしくはガラスグリーンシートを積み重ねる工程と、
前記積み重ねられた複数枚のグリーンシートを圧着し、チップ単位に切断し、焼成する各工程とを含むことを特徴とする。
【0013】
(5)また、本発明による積層型電子部品の製造方法は、前記(4)に記載の積層型電子部品の製造方法において、
積み重ね工程の最後にマークを有するグリーンシートを積み重ねる代わりに、前記マークを設けてその上にセラミックペーストもしくはガラスペーストを塗布して前記マークを覆ったグリーンシートを、前記マーク形成面を下にして積み重ね工程の最初にセットすることを特徴とする。
【0014】
(6)また、本発明による積層型電子部品の製造方法は、前記(4)に記載の積層型電子部品の製造方法において、
積み重ね工程の最後にマークを有するグリーンシートを積み重ねる代わりに、前記マークを有するグリーンシートを、前記マーク形成面を下にして最初にセットし、その上に前記導体パターンを有する複数枚のグリーンシートを積み重ねて圧着後、圧着されたグリーンシートを反転して前記マークを設けた面上にセラミックペーストもしくはガラスペーストを塗布して前記マークを覆うことを特徴とする。
【0015】
(7)また、本発明による積層型電子部品の製造方法は、前記(1)から(3)までのいずれかに記載の積層型電子部品を印刷法により製造する方法であって、
セラミックペーストもしくはガラスペーストを印刷後、その上に前記マークを印刷し、
その上にセラミックペーストの印刷と導体ペーストの印刷を繰り返して内部回路を形成し、
該内部回路を形成した積層体をチップ単位に切断することを特徴とする。
【0016】
(8)また、本発明による積層型電子部品の製造方法は、前記(1)から(3)までのいずれかに記載の積層型電子部品を印刷法により製造する方法であって、
セラミックペーストの印刷と導体ペーストの印刷を繰り返して内部回路を形成し、
その上に前記マークを印刷し、そのマーク全体を覆うセラミックペーストもしくはガラスペーストを印刷後、チップ単位に切断することを特徴とする。
【0017】
上記した本発明による積層型電子部品の製造方法によれば、マークの表面を覆う保護層の形成を、グリーンシートの積み重ねや印刷によって容易に行うことができる。
【0018】
【発明の実施の形態】図1(A)は本発明による積層型電子部品の一実施の形態を示す斜視図、図1(B)はその断面図である。1はセラミックベースの積層体であり、本実施の形態においては、内部にコイル2を有するチップインダクタである場合について示す。積層体1の表面近傍には保護層(絶縁層)1mにより覆われたマーク3が形成されている。4は積層体1の両端に設けられた端子電極である。
【0019】
図2は本実施の形態の積層型電子部品の層構造図であり、シート積層法により積層型電子部品を作製する場合について示している。この層構造図は実際の製品と上下が反転している。図2において、1a〜1lは磁性体または誘電体からなる絶縁層であって、そのうち、図面上、最下層(製品の最上層)の絶縁層1mは保護層となる。2a〜2iは前記コイル2となる回路を構成する導体パターン、5a〜5hは隣接する絶縁層上の導体パターン2aと2b、…2hと2i間を接続するスルーホールである。
【0020】
図3は図2のように個々の層のパターンではなく、コイルパターンを縦横に形成したグリーンシート全体について示す層構造図であり、製品と上下が反転して描かれている。図3において、6は図面において最上層に設けられた切断マークであり、他の符号の意味は前記の通りである。
【0021】
図4は前記積層型電子部品の製造方法の一実施の形態を示す図である。図4において、(A)〜(D)は積み重ね工程の前に準備しておく部材を示す。7はフィルム(PETフィルム)であり、その片面にドクターブレード法等によりセラミックペーストを塗布して絶縁層1a〜1mとしてのセラミックグリーンシートを形成する。なお、保護層となる絶縁層1mはガラスを主成分とするガラスペーストを塗布してガラスグリーンシートを形成してもよい。
【0022】
前記セラミックグリーンシートとして、本実施の形態においてはストロンチウム、カルシウム、アルミナ、酸化珪素からなるガラス粉末70重量%、アルミナ粉末30重量%のセラミック粉末に用い、この粉末をバインダーおよび可塑材に混合してペーストとしてフィルム7に塗布することによりセラミックグリーンシートを作製した。
【0023】
また、マーク3に使用する材料としては、前記と同じストロンチウム、カルシウム、アルミナ、酸化珪素からなるガラス粉末70重量%、アルミナ粉末30重量%に微量のクロムとコバルトを混合したセラミック粉末に用い、この粉末をバインダーおよび可塑材に混合してペーストとしてフィルム7に塗布することによりセラミックグリーンシートを作製した。
【0024】
なお、マーク材にガラスグリーンシートまたはガラスペーストを用いる場合は、ガラス粉末として、ストロンチウム、カルシウム、アルミナ、酸化珪素等が用いられる。
【0025】
前記絶縁層1a〜1mとなるグリーンシートのうち、それぞれ図2に示した絶縁層1c〜1jとなるグリーンシートには、図4(B)に示すように、前記スルーホール5a〜5hを設ける。また、図4(C)に示すように、絶縁層1c〜1kとなるグリーンシートには、前記導体パターン2a〜2iとなる導体ペーストを印刷により塗布すると共に、絶縁層1c〜1jとなるグリーンシートにおいてはスルーホール5a〜5hに導体ペーストを印刷により充填する。また、図4(D)に示すように、前記絶縁層(保護層)1mとなるグリーンシートに前記マーク材となるペーストを塗布してマーク3をグリーン状態で形成しておく。
【0026】
このようなシート材料を準備しておき、図4(E)に示すように、前記絶縁層1aとなるグリーンシートを、フィルム7を上側にして積層用テーブル上に剥離用フィルム(いずれも図示せず)を介してセットし、その後、前記フィルム7を剥離する。
【0027】
次にその上に、図4(F)に示すように、絶縁層1bとなるグリーンシートを、フィルム7を上側にして絶縁層1aとなるグリーンシート上に積み重ね、その後、フィルム7を剥離する。
【0028】
次に図4(G)に示すように、前記と同様に、導体パターン2aとスルーホール5aを有する絶縁層1cとなるグリーンシートを、フィルム7を上側にして絶縁層1bとなるグリーンシート上に積み重ね、その後、フィルム7を剥離する。
【0029】
次に図4(H)に示すように、導体パターン2bとスルーホール5bを有する絶縁層1dとなるグリーンシートを、フィルム7を上側にして絶縁層1cとなるグリーンシート上に積み重ね、その後、フィルム7を剥離する。このとき、導体パターン2bが導体パターン2aにスルーホール5aを介して接続される。
【0030】
このような作業を、図4(I)に示すように図1における最上層の保護層である絶縁層1mとなるグリーンシートまで行い内部回路(コイル2)を形成する。
【0031】
続いてこの積層された複数枚のシートを圧着する。この圧着工程においては、前記積層されたシートを加熱して圧着することが好ましい。
【0032】
このように圧着されて得られた積層シートを反転させ、絶縁層1aとなるグリーンシートに付した切断マーク6(図3参照)に沿ってチップ単位に切断する。その後、切断かすの除去やチップの角を丸める目的でグリーン状態でバレル処理を行う。そしてチップのみを取り出して乾燥した後、焼成を行う。そしてチップの両端部に前記端子電極4を設ける。
【0033】
この端子電極4の形成は、チップの両端部にディップ等により導体ペースト(例えば銀ペースト)を塗布し、焼成した後電気めっきを行う。この電気めっきは、ニッケルと錫、銅とニッケルと錫、ニッケルと金、あるいはニッケルと銀等により行われる。勿論他の材質で電気めっきを施してもよい。
【0034】
このように、本発明の積層型電子部品は、マーク3を保護層となる絶縁層1mにより覆ったので、バレル工程において、マーク3が剥離するおそれがなくなる。また、前記保護層1mは、前記材質とすることにより、焼成後の材質を透明または半透明とすることができ、これによりマークの読みとりが容易となり、測定やテーピング工程における方向整列等も現行設備仕様のままで対応が可能となる。また、保護層1mの材質を透明または半透明とすることにより、保護層1mの厚みを大きくすることができ、これにより厚みについての選択の自由度が上がる。
【0035】
前記保護層1mの厚みは、測定時等におけるマークの判別を確実に行う意味で40μm以下であることが好ましい。また、保護層1mとしての機能を持たせるには、グリーン状態で6μm(焼成後で3μm)以上であることが好ましい。
【0036】
本実施の形態の製造方法は、保護層1mをグリーンシートにより形成しているので、従来からのシート積層法を踏襲して実施することができるため、容易に保護層を形成することができる。
【0037】
上記実施の形態においては、積み重ね工程の最後にマーク3と保護層1mを重ねた例を示したが、図5の層構造図は、積み重ね工程の最初にマーク3を有する絶縁層1aとなるグリーンシートをセットする実施の形態である。すなわちこの実施の形態では、予め絶縁層1aとなるグリーンシートにマーク3を設けておき、その上にマーク3を覆う広さ以上の保護層9をセラミックペーストあるいはガラスペーストの印刷により形成しておく。
【0038】
このように、予めマーク3や保護層9を形成した絶縁層1aとなるグリーンシートを用意しておき、そのグリーンシートを保護層9やマーク3の形成面を下にして最初に積層用テーブル上に剥離用フィルムを介してセットし、その上に前記フィルム7を有するグリーンシートを前記と同様に絶縁層1b、1c…1m(この場合には絶縁層1mとなるグリーンシートにはマーク3は設けられない。)の順序で積み重ねて内部回路を形成し、その後前記同様に切断、バレル処理、焼成、端子電極4の形成を行う。このような方法によっても容易に保護層9の形成を行い、マーク3の剥離を防止することができる。
【0039】
図6(A)、(B)は本発明の他の実施の形態を示す図であり、図6(A)に示すように、マーク3が形成されたセラミックグリーンシートを含む複数枚のセラミックグリーンシート1a〜1mを積層して圧着した後、図6(B)に示すように、マーク3全体を覆う以上の広さにセラミックペーストもしくはガラスペーストを塗布して保護層10を形成したものである。この場合、積層用テーブルにはマーク3を設けたグリーンシートが最初にセットされ、その上に内部回路形成用のグリーンシートが積み重ねられる。この方法によっても保護層10を容易に形成することができる。
【0040】
上記実施の形態においては、シート積層法により積層型電子部品を作製する方法について示したが、スクリーン印刷法等の印刷法によってもマーク3を保護層により覆った積層型電子部品を作製することができる。図7はその一実施の形態であり、図7不図示の剥離用フィルム上にまず前記絶縁層1mとなるセラミックペーストもしくはガラスペーストを印刷により塗布し、その上にマーク3となるペーストを印刷し、その後、前記絶縁層1l、1kの順序で印刷する。そしてその絶縁層1k上に導体パターン2iを印刷する。そしてその上に、前記導体パターン2iの接続端が露出する窓8を除いて絶縁層1jを印刷する。そしてその上に、導体パターン2hをその一端が窓8を通して前記導体パターン2iの端部に接続されるように印刷する。
【0041】
このような印刷工程を導体パターン2aさらには絶縁層1aまで行い、その後は前記したものと同様に切断、焼成、端子電極形成を行って製品とする。この場合も最初に形成した絶縁層1mが保護層となる。
【0042】
図8は印刷法による場合の他の実施の形態を説明する図であり、印刷法により絶縁層11〜1aを形成した後、マーク3を印刷し、最後に保護層となるセラミックペーストもしくはガラスペーストを印刷により塗布して絶縁層1mを形成する方法である。この方法によっても保護層を容易に形成できる。
【0043】
本発明は、電子部品がコンデンサあるいはインダクタとコンデンサとの複合部品であるフィルタ等他の積層型電子部品にも適用できる。
【0044】
【発明の効果】
本発明の積層型電子部品は、マークを保護層により覆ったので、バレル工程におけるマークの剥離を回避することができる。また本発明による積層型電子部品の製造方法によれば、保護層を容易に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A)は本発明による積層型電子部品の一実施の形態を示す斜視図、(B)はその断面図である。
【図2】図1の積層型電子部品の1チップ分の層構造図である。
【図3】図1の積層型電子部品のグリーンシートの状態における層構造図である。
【図4】(A)〜(I)は図1の積層型電子部品の製造方法の一実施の形態を示す工程図である。
【図5】本発明の積層型電子部品の他の実施の形態を示す層構造図である。
【図6】(A)、(B)は本発明による積層型電子部品の製造方法の他の実施の形態を示す図である。
【図7】本発明の積層型電子部品の製造方法の他の実施の形態を示す図である。
【図8】本発明の積層型電子部品の製造方法の他の実施の形態を示す図である。
【符号の説明】
1:積層体、1a〜1m:絶縁層、2:コイル、2a〜2i:導体パターン、3:マーク、4:端子電極、5a〜5h:スルーホール、6:切断マーク、7:フィルム、8:窓、9、10:保護層

Claims (8)

  1. セラミックベースの積層型電子部品において、
    方向性、品名もしくは製造番号の少なくともいずれか1つを示すマークの表面が、セラミックまたはガラスからなる保護層により覆われていることを特徴とする積層型電子部品。
  2. 請求項1に記載の積層型電子部品において、
    前記保護層は焼成後に透明もしくは半透明であることを特徴とする積層型電子部品。
  3. 請求項1または2のいずれかに記載の積層型電子部品において、
    前記保護層の厚みが40μm以下であることを特徴とする積層型電子部品。
  4. 請求項1から3までのいずれかに記載の積層型電子部品をシート積層法により製造する方法であって、
    片面にフィルムを有するグリーンシートを形成する工程と、
    該グリーンシート上に導体パターンを形成する工程と、
    該導体パターン形成後にグリーンシートのフィルム側を上に向けて下側のグリーンシートを積み重ねる工程と、
    前記グリーンシートの積み重ね工程の最後に、マークを有するセラミックグリーンシートもしくはガラスグリーンシートを積み重ねる工程と、
    前記積み重ねられた複数枚のグリーンシートを圧着し、チップ単位に切断し、焼成する各工程とを含むことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
  5. 請求項4に記載の積層型電子部品の製造方法において、
    積み重ね工程の最後にマークを有するグリーンシートを積み重ねる代わりに、前記マークを設けてその上にセラミックペーストもしくはガラスペーストを塗布して前記マークを覆ったグリーンシートを、前記マーク形成面を下にして積み重ね工程の最初にセットすることを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
  6. 請求項4に記載の積層型電子部品の製造方法において、
    積み重ね工程の最後にマークを有するグリーンシートを積み重ねる代わりに、前記マークを設けたグリーンシートを、前記マーク形成面を下にして最初にセットし、その上に前記導体パターンを有する複数枚のグリーンシートを積み重ねて圧着後、圧着されたグリーンシートを反転して前記マークを設けた面上にセラミックペーストもしくはガラスペーストを塗布して前記マークを覆うことを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
  7. 請求項1から3までのいずれかに記載の積層型電子部品を印刷法により製造する方法であって、
    セラミックペーストもしくはガラスペーストを印刷後、その上に導体ペーストにより前記マークを印刷し、
    その上にセラミックペーストの印刷と導体ペーストの印刷を繰り返して内部回路を形成し、
    該内部回路を形成した積層体をチップ単位に切断することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
  8. 請求項1から3までのいずれかに記載の積層型電子部品を印刷法により製造する方法であって、
    セラミックペーストの印刷と導体ペーストの印刷を繰り返して最上層にセラミックペーストが印刷された内部回路を形成し、
    さらにその上にペーストにより前記マークを印刷し、そのマーク全体を覆うセラミックペーストもしくはガラスペーストを印刷後、チップ単位に切断することを特徴とする積層型電子部品の製造方法。
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