JP2004137497A - ゲル化可能組成物を用いる方法及びデバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 絶縁層、ゲート電極、構造的に秩序化した半導体層、ソース電極及びドレイン電極を備え、半導体層が、自己組織化ポリマー及び液体を含む組成物を選択する工程であって、前記ポリマーは室温では液体への溶解性が低いが高温では液体に優れた溶解性を示し、前記組成物は攪拌することなく高温から第1の低温まで低下させるとゲル化する、前記工程、高温で、液体中のポリマーの少なくとも一部を溶解させる工程、組成物の温度を高温から第1の低温まで低下させる工程、組成物を高温から第1の低温まで低下させる前、同時、又は後のいずれかの時点で組成物の攪拌を開始していかなるゲル化をも分断させる工程、高温より低い第2の低温にある組成物の層を溶液コーティングによって堆積させて半導体層にする工程、及び前記層を少なくとも部分的に乾燥する工程を含む方法により製造される、薄膜トランジスタ。
【選択図】 図1
Description
以下の文献も関連文献とすることができる。
F.Brustolinら「Highly Ordered Structures of Amphiphilic Polythiopnenes in Aqueous Media」、Macromolocules、Vol.35、pp1054−1059(2002年1月3日ウェブ公開)
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絶縁層と、ゲート電極と、構造的に秩序化した半導体層と、ソース電極と、ドレイン電極とを備える薄膜トランジスタであって、ゲート電極及び半導体層がいずれも絶縁層に接触すると共に、ソース電極及びドレイン電極がいずれも半導体層に接触する限り、絶縁層、ゲート電極、半導体層、ソース電極、及びドレイン電極が、どのような順序で並ぶこともでき、半導体層が、次の工程:自己組織化ポリマー及び液体を含む組成物を選択する工程であって、前記ポリマーは室温では液体への溶解性が低いが高温では液体に優れた溶解性を示し、前記組成物は攪拌することなく高温から第1の低温まで低下させるとゲル化する、前記工程、高温で、液体中のポリマーの少なくとも一部を溶解させる工程、組成物の温度を高温から第1の低温まで低下させる工程、組成物を高温から第1の低温まで低下させる前、同時、又は後のいずれかの時点で組成物の攪拌を開始していかなるゲル化をも分断させる工程、高温より低い第2の低温にある組成物の層を溶液コーティングによって堆積させて半導体層にする工程、及び前記層を少なくとも部分的に乾燥する工程を含む方法により製造される、薄膜トランジスタが更に提供される。
本発明では、ゲル化することができるどのようなポリマーも用いることができる。語句「ゲル化することができる」とは、ポリマー及び液体を含む組成物が、まず高温(例示的な高温は、本明細書で述べられる)に曝された後、第1の低温(例示的な第1の低温は、本明細書で述べられる)に曝され、ここで攪拌すること無く温度低下が達成されるとゲル化することをいう。このゲル化は、共有結合が生じないため、物理的ゲル化と呼ばれる。攪拌しなければ、このようなゲル化は、典型的には、例えば約5秒〜約1時間の範囲の時間枠内に起こる。「ゲル化」又は「ゲル」という用語は、水素結合、ファンデルワールス相互作用のような分子間の相互作用により液体中のポリマーが3次元のポリマー網目構造を形成し、同時に、液体がこの3次元網目構造に吸収されることをいう。
濃度が、重量で約0.2パーセントより高い場合には、通常の堆積方法を用いてこの溶液から有用な薄いポリマー層を製造することができるため、ポリマーは妥当な溶解性を示すとみなされる。
「室温」という語句は、約22から約25℃までの範囲の温度を言う。
ポリマーは、例えば、自己組織化ポリマーとすることができる。分子の自己組織化とは、ポリマーに対する液体の溶解性の変化のような刺激に応じて、分子が分子自体を組織化して分子の構造秩序を高度にすることができる能力をいう。自己組織化ポリマーには、例えば、ポリチオフェン類のような共役ポリマーが含まれる。例示的なポリチオフェン類には、例えば、次のものが含まれる。
加熱を行い、高温で、例えば約1分〜約24時間の間、特に約10分〜約4時間の間ポリマーの溶解を助ける。
本明細書で用いる「高温」とは、室温を超え、選択した液体の沸点又はそれ以上までの範囲の温度(1気圧又はそれ以上の圧力で)をいい、例えば、約40〜約180℃、特に約50〜約120℃である。
組成物は、デバイスを作製するのに高温で用いることができるが、高温を用いると、製造コストが増大することになる。従って、製造コストを低減するために、組成物の温度を高温から第1の低温まで下げる。第1の低温は、室温より低い温度から高温より低い温度までの温度範囲とすることができ、例えば約10〜約60℃、詳細には約20〜約30℃、特に室温とすることができる。実施形態において、温度は、例えば、約10〜約150℃、詳細には約20〜約80℃までの範囲の量だけ高温から第1の低温まで低下させる。組成物は、例えば、約10分〜約10時間、詳細には約30分〜約4時間の時間範囲の間、第1の低温に維持される。
本発明の実施形態において、ポリマー分子は、攪拌の間に液体中で互いに集まって構造的に秩序化したポリマー凝集体を形成することができる。ポリマー凝集体は、例えばナノメートルサイズであり、例えば約10nm〜約500nm、詳細には約150nm〜約300nmの範囲である。
実施形態において、この液体と比較してポリマーを溶解する能力が劣るか又は溶解することができない別の液体を加えることができ、即ちこの液体は、この別の液体よりも優れた溶媒である(この液体と別の液体との溶媒特性は、同一温度で比較)。別の液体を加えると、ポリマー鎖の構成を変化させ、分子間の相互作用を阻害又は変化させることができ、これによりゲル化する傾向が最低限に抑制されると考えられている。別の液体は、この液体と別の液体との全量に基づき、容量で約1%〜約80%の範囲の量で、例えば約1分〜約4時間、詳細には約10分〜約1時間の時間をかけて加える。別の液体は、例えば、高温の液体にポリマーの少なくとも一部を分散させる間、又は組成物の温度を高温から第1の低温まで低下させる間のような、任意の適切な時点で加えることができる。別の液体を組成物に加える間の温度は、組成物と同じ又は異なる温度とすることができる。
何らかの適切な技術を用いて、組成物の層を堆積させることができる。実施形態において、溶液コーティングを用いることができる。「溶液コーティング」という語句は、スピンコーティング、ブレードコーティング、ロッドコーティング、スクリーン印刷、インクジェット印刷、スタンプ法等のような何らかの液体組成物に適合性のあるコーティング技術をいう。
図1には、基板16と、該基板に接点する金属接点18(ゲート電極)と、上部に2つの金属接点すなわちソース電極20及びドレイン電極22が堆積された絶縁層14の層とからなる薄膜トランジスタ(「TFT」)構造10を概略的に示す。金属接点20及び22の上及びこれらの間には、ここで示すように有機半導体層12がある。
図3は、基板及びゲート電極の両方として働く高濃度にn型ドープされたシリコンウェーハ56と、熱成長させたシリコン酸化絶縁層54と、上部にソース電極60及びドレイン電極62を置いた有機半導体層52とからなる別のTFT構造50を概略的に示した図である。
図4は、基板76、ゲート電極78、ソース電極80、ドレイン電極82、有機半導体層72、及び絶縁層74からなる別のTFT構造70を概略的に示した図である。
ここでは、半導体層の組成及び形成を説明する。
基板は、例えば、シリコン、ガラスプレート、プラスチックフィルム又はシートからなるものとすることができる。構造的に可撓性のデバイスでは、例えば、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミドシート及び同様のもののようなプラスチック基板が好ましいとすることができる。基板の厚さは、約10マイクロメートルから10ミリメートルを超える厚さとすることができ、例示的な厚さは、特に可撓性のプラスチック基板については約50〜約100マイクロメートルであり、ガラス又はシリコンのような硬い基板については約1〜約10ミリメートルとすることができる。
絶縁層、ゲート電極、半導体層、ソース電極、及びドレイン電極は、ゲート電極及び半導体層がいずれも絶縁層に接触し、ソース電極とドレイン電極とがいずれも半導体層に接触する限り、どのような順番でも形成される。「どのような順番でも」という語句には、連続的形成及び同時形成を含む。例えば、ソース電極及びドレイン電極は、同時に又は連続的に形成することができる。電界効果トランジスタの組成、製造、及び作用は、Baoらの米国特許第6,107,117号に記載されており、該特許の開示は、全体的に引用により本明細書に組み込まれる。
ソース電極は接地され、ゲート電極に全体的に約+40ボルト〜約−80ボルトの電圧が印加される場合に、ドレイン電極に全体的に例えば約0ボルト〜約−80ボルトのバイアス電圧が印加されて、半導体チャネルを横切って輸送される電荷キャリアが収集される。
電気性能特性に関しては、溶液処理半導体ポリマーを含む半導体層は、キャリアの移動度が、例えば、10-3cm2/Vs(センチメートル2/ボルト秒)より大きく、導電率が、例えば、約10-5S/cm(ジーメンス/センチメートル)より小さい。本方法により生成する薄膜トランジスタのオン/オフ比は、20℃で、例えば、約104より大きい。オン/オフ比という語句は、トランジスタオン時のソース−ドレイン電流とトランジスタオフ時のソース−ドレイン電流との差をいう。
次に、特定の好ましい実施形態に関して本発明を詳細に記載するが、これらの実施例は、例証としてだけを意図しており、本発明は、本明細書に記載した材料、条件、又は方法のパラメータに限定されるものではないことを理解されたい。全てのパーセント及び割合は、特に示さなければ重量によるものである。
ポリチオフェン(II)の合成
i)5,5‘−ビス(3−ドデシル−2−チオニル)−2,2’−ジチオフェン: 不活性雰囲気下で、100ミリリットルの丸底フラスコ内の10ミリリットルのテトラヒドロフラン(THF)にマグネシウム旋削物(1.26グラム、51.83モル)を入れて機械的に攪拌した懸濁液に、無水テトラヒドロフラン(THF)40ミリリットルに溶解した2−ブロモ−3−ドデシルチオフェン(11.5グラム、34.92モル)溶液を20分かけてゆっくりと加えた。得られた混合物は、約22℃〜25℃の室温で2時間攪拌し、次に、50℃で20分撹拌した後、室温まで冷却した。得られた混合物は、次に、カニューレを通して、不活性雰囲気下で、250ミリリットルの丸底フラスコ内の無水THF80ミリリットルに入れた5,5‘−ジブロモ−2,2’−ジチオフェン(4.5グラム、13.88ミリモル)及び[1,3−ビス(ジフェニルフォスフィノ)]ジクロロニッケル(II)(0.189グラム、0.35ミリモル)の混合物に加え、48時間還流した。次に、反応混合物は、200ミリリットルのエチルアセトンで希釈し、水及び5%塩酸水溶液で2度洗い、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。溶媒を蒸発させた後に得られる濃い茶色のシロップは、シリカゲルを用いたカラムクロマトグラフィーで精製し、収量55パーセント、融点58.9℃の黄色の結晶生成物として5,5‘−ビス(3−ドデシル−2−チエニル)2,2’−ジチオフェンが得られた。
Brucker DPX300NMRスペクトル測定装置を用い、室温で上に得られた化合物のNMRスペクトルを記録した。
1H NMR(CDCl3):δ7.18(d、J=5.4Hz、2H)、7.13(d、J=3.6Hz、2H)、7.02(d、J=3.6Hz、2H)、6.94(d、J=5.4Hz、2H)、2.78(t、4H)、1.65(q、1.65、4H)、1.28(bs、36H)、0.88(m、6H)
この比較例では、主な試験用デバイス構造として、図3に概略的に記載したような上面接点式の薄膜トランジスタ構造を選択した。試験用デバイスは、厚さ約110ナノメートルの熱成長酸化シリコン層を備えたn−ドープシリコンウェーハからなるものであった。ウェーハは、ゲート電極として機能し、酸化シリコン層は、絶縁層として働き、キャパシタンスが約32nF/cm2(ナノファラッド/平方センチメートル)であった。デバイスの製造は、材料及びデバイスが周囲の酸素、水分、又は光に晒されないようにする事前の措置を何ら取ることなく、周囲環境下で達成した。シリコンウェーハは、まず、メタノールで清浄にして空気乾燥し、次に、0.001Mのオクチルトリクロロシランのトルエン溶液に室温で約10分間浸漬した。その後、ウェーハをジクロロメタン、メタノールで洗って空気乾燥した。次に、ポリチオフェン(II)の高温ジクロロベンゼン溶液(60℃を超える温度)を速度1,000rpmで約35秒間スピンコーティングすることにより、厚さ約30ナノメートル〜約100ナノメートルの半導体ポリチオフェン層を酸化シリコン絶縁層の上に堆積し、真空中80℃で20時間乾燥した。
ISD=Ciμ(W/2L)(VG−VT)2 (1)
式中、ISDは、飽和状態でのドレイン電流であり、W及びLは、それぞれ半導体チャネルの幅及び長さ、Ciは、絶縁層の単位面積当たりのキャパシタンス、VG及びVTは、それぞれゲート電圧及び閾値電圧である。デバイスのVTは、測定したデータをISD=0に外挿することにより、飽和状態でのISDの平方根とデバイスのVGとの関係から求めた。
寸法がW(幅)=5,000μm、L(長さ)=60μmの少なくとも5つの薄膜トランジスタを作成した。次の特性が得られ、これを表1にまとめた。
デバイスの性能は、サーマル・アニーリングによって改善することができる。これは、最初にオーブン内で約150℃の温度まで15分間デバイスを加熱し、次いでデバイスを再度評価する前に室温まで冷却することにより達成することができる。
ポリチオフェン(II)は、約120℃まで加熱することにより、0.3重量%レベルでジクロロベンゼンに溶解した。溶液は、熱いうちに、0.2μmのシリンジフィルタを通して濾過した。黄色〜赤みを帯びた透明な溶液が得られた。高温の溶液は、100W超音波装置を用い、42kHzで10〜15分間超音波振動をかけながら、室温まで冷却させた。黄色の赤みを帯びた溶液は、室温まで完全に冷却すると、暗紫色になった。安定な分散液が得られたが、これは、視覚的に観察できる沈殿又はゲル化を引き起こすことなく、室温で何週間も保存することができる。
薄膜トランジスタは、比較例の手順を用いて製造し評価した。比較例でのポリチオフェン(II)の高温ジクロロベンゼン溶液の代わりに、上で調製したポリチオフェン(II)のジクロロベンゼン分散液を用いて、室温で80秒間スピンコーティングすることにより半導体層を形成した。同じ寸法(W=5000mm、L=60mm)のトランジスタを用いて、少なくとも5つの別個のトランジスタから得られた次の平均特性値を表1にまとめている。先に記載したようにサーマル・アニーリングを行い、デバイスの性能を向上させた。
表1
上の結果から、ポリチオフェン(II)のジクロロベンゼン溶液は、室温ではスピンコーティングのような溶液処理により適切にコーティングすることができなかったが、60℃を超える高温では、コーティングすることができ、有用なTFT特性を有する半導体層が生成された(比較例)。一方、実施例では、ポリチオフェン(II)のジクロロベンゼン分散液は、スピンコーティングにより室温で十分に処理することができ、比較例で得られたのと同じTFT特性を有する半導体層が生成された(実施例)。
12 有機半導体層
14 絶縁層
16 基板
18 金属接点(ゲート電極)
20 金属接点(ソース電極)
22 金属接点(ドレイン電極)
Claims (3)
- ポリマー及び液体を含む組成物を選択する工程を含む方法であって、
前記ポリマーは、室温では前記液体への溶解性が低いが高温では前記液体に優れた溶解性を示し、前記組成物は、攪拌することなく前記高温から第1の低温まで低下させるとゲル化し、
前記方法が更に、
前記高温で、前記液体中の前記ポリマーの少なくとも一部を溶解させる工程、
前記組成物の温度を前記高温から前記第1の低温まで低下させる工程、
前記組成物を前記高温から前記第1の低温まで低下させる前、同時、又は後のいずれかの時点で前記組成物の攪拌を開始していかなるゲル化をも分断する工程、
前記高温より低い第2の低温にある前記組成物の層を堆積させる工程、及び
前記層を少なくとも部分的に乾燥する工程、
を含む、前記方法。 - 自己組織化ポリマー及び液体を含む組成物を選択する工程を含む方法であって、
前記ポリマーは、室温では前記液体への溶解性が低いが高温では前記液体に優れた溶解性を示し、前記組成物は、攪拌することなく前記高温から第1の低温まで低下させるとゲル化し、
前記方法が更に、
前記高温で、前記液体中の前記ポリマーの少なくとも一部を溶解させる工程、
前記組成物の温度を前記高温から前記第1の低温まで低下させる工程、
前記組成物を前記高温から前記第1の低温まで低下させる前、同時、又は後のいずれかの時点で前記組成物の攪拌を開始していかなるゲル化をも分断する工程、
前記高温より低い第2の低温にある前記組成物の層を溶液コーティングによって堆積させる工程、及び
前記層を少なくとも部分的に乾燥する工程、
を含む、前記方法。 - 絶縁層、
ゲート電極、
構造的に秩序化した半導体層、
ソース電極、及び
ドレイン電極、
を備える薄膜トランジスタであって、
前記ゲート電極及び前記半導体層がいずれも前記絶縁層に接触すると共に、前記ソース電極及び前記ドレイン電極がいずれも前記半導体層に接触する限り、前記絶縁層、前記ゲート電極、前記半導体層、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極が、どのような順序で並ぶこともでき、
前記半導体層が、次の工程:
自己組織化ポリマー及び液体を含む組成物を選択する工程であって、前記ポリマーは室温では前記液体への溶解性が低いが高温では前記液体に優れた溶解性を示し、前記組成物は攪拌することなく前記高温から第1の低温まで低下させるとゲル化する、前記工程、
前記高温で、前記液体中の前記ポリマーの少なくとも一部を溶解させる工程、
前記組成物の温度を前記高温から前記第1の低温まで低下させる工程、
前記組成物を前記高温から前記第1の低温まで低下させる前、同時、又は後のいずれかの時点で前記組成物の攪拌を開始していかなるゲル化をも分断させる工程、
前記高温より低い第2の低温にある前記組成物の層を溶液コーティングによって堆積させて半導体層にする工程、
前記層を少なくとも部分的に乾燥する工程、
を含む方法により製造される、前記薄膜トランジスタ。
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