JP2006287224A - ポリチオフェン半導体の基板上の成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】まず、半導体をハロゲン含有芳香族化合物を含む溶媒に溶かす。次に、得られた溶液を基板上にインクジェット印刷する。本方法は、薄膜トランジスタ装置等のマイクロ電子部品の製造に有用である。
【選択図】図2
Description
(1) 前記半導体をハロゲン含有芳香族化合物を含む溶媒に溶かす工程と、
(2) 得られた溶液を前記基板上にインクジェット印刷する工程と、を含む成膜方法である。
本発明の第二の態様は、薄膜トランジスタ装置を製造する方法であり、
(1) 上述のようにポリチオフェン半導体を基板上に成膜する工程を含む製造方法である。ここで基板は、前もって形成されたソースおよびドレイン電極を含む。
(2) 絶縁層を成膜された前記ポリチオフェン上に成膜する工程と、
(3) ゲート電極を前記絶縁層上に、前もって形成された前記ソースおよびドレイン電極に適切に位置合わせして成膜する工程と、をさらに含むことが望ましい。
本発明の方法に使用されるポリチオフェン半導体は、原則としていかなるポリチオフェン半導体でもよいが、上記一般式で表されるポリチオフェンが望ましい。これは、この材料が特に望ましい電子的特性を持ち、また望ましい物理的特性を持ち、溶解法に好適であるためである。上記一般式において、nはポリチオフェン半導体中のチオフェンモノマー単位の平均数、すなわちポリチオフェンの鎖長を示す。ポリチオフェンは、オリゴマーでさえ半導体特性を持つことから、nの値は5程度にもなる。nの値が3000にも達する長いポリマー鎖も使用できるが、ポリマー鎖が長くなるほどポリマーの溶解性は低下し、インクジェット印刷による溶解法に不適となる。よって、nの値は1500未満であることが望ましく、800未満であることがより望ましく、500未満であることがさらに望ましい。上述のように、nの値が大変低いポリチオフェン材料も使用できるが、nの値は100以上であることが望ましい。これは、少なくともこの鎖長のポリチオフェン材料が、よい電子的特性を持つ傾向にあるためである。nの値は200を越えることがより望ましく、300を越えることがさらに望ましい。したがって、nの値の最も望ましい範囲は300〜500である。
本発明の方法で使用される溶剤について、以下に説明する。本発明の発明者は、トルエンまたはキシレン等にポリチオフェン半導体を溶かす際の問題、特に急速なゲル化を避けつつ、同半導体を溶かすことのできる溶媒の種類を見出した。本発明の発明者は、ハロゲン含有芳香族化合物を含む溶媒を使用すると、ポリチオフェンを十分に溶かすことができるだけでなく、トルエンまたはキシレンを溶媒として使用するよりも長時間、すなわち少なくとも10日間、場合によっては数週間にわたり、溶液の粘度を実質的に一定に維持できることを見出した。
ポリチオフェン半導体がインクジェット印刷される基板について、特に限定はない。本方法が、例えばトランジスタシートの製造に使用される場合、ポリメチルメタクリレート等のフレキシブルポリマー基板等のフレキシブル基板が使用できる。本方法はまた、ガラス板またはインジウムスズ酸化物(ITO)板等の硬い板上に半導体材料を成膜する際にも使用できる。また、前もって成形された電子的構造を持つ基板も使用できる。
使用するインクジェットプリンタは、決定的な重要事項ではない。例えば、圧電駆動ヘッドを備えた産業用インクジェットプリンタが使用できる。
本発明の方法は、マイクロ電子装置の製造に関連する適用、特に薄膜トランジスタ装置(TFT)および発光ダイオード(LED)をインクジェット印刷法により製造する場合に、特に有用である。これらの装置は、マイクロ電子装置分野の当業者によく知られており、図1に概略的に示す。図1(a)はTFTの断面図、図1(b)はLEDの断面図である。
実施例
ふたをしたガラスびん内で、10mgのP3HT(シグマアルドリッチ社製)を、1mlのブロモベンゼン(表A中の化合物(a))に混合した。この混合物を80℃に30分間加熱することにより、P3HTはブロモベンゼンに溶けた。この時間の最後には、P3HTは完全に溶けていた。続いて、溶液を室温に冷却し、ポリプロピレン製の注射器に移し、注射器に取り付けられた0.45ミクロンの孔の開いているフィルタ(アクロディスク社製)を使用してろ過した。ろ過液はふた付きのガラスびんに収集され、室温に3週間置かれた。この間、ゲル化または固体の沈殿が現れるか否かを見るために、溶液を定期的に観察した。
ブロモベンゼンに代えてクロロベンゼン(表A中の化合物(b))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
ブロモベンゼンに代えて1,2,4−トリクロロベンゼン(表A中の化合物(c))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
ブロモベンゼンに代えて1,3−ジクロロベンゼン(表A中の化合物(d))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
ブロモベンゼンに代えて1,3−ジブロモベンゼン(表A中の化合物(e))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
ブロモベンゼンに代えて2,4−ジクロロトルエン(表A中の化合物(f))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
ブロモベンゼンに代えて2−ブロモチオフェン(表B中の化合物(a))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
ブロモベンゼンに代えて2−クロロチオフェン(表B中の化合物(b))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
ブロモベンゼンに代えて2,5−ジブロモチオフェン(表B中の化合物(c))を使用する以外は、例1の方法と同様である。
溶媒として、ブロモベンゼンの代わりにトルエンを使用する以外は、例1の方法と同様である。
溶媒として、ブロモベンゼンの代わりにキシレンを使用する以外は、例1の方法と同様である。
Claims (11)
- ポリチオフェン半導体を基板上に成膜する方法であって
(1) 前記ポリチオフェン半導体をハロゲン含有芳香族化合物を含む溶媒に溶かす工程と、
(2) 得られた溶液を前記基板上にインクジェット印刷する工程と、を含む成膜方法。 - 前記ハロゲン含有芳香族化合物は、ハロゲン原子が直接結合した芳香環を含む、請求項1乃至3に記載の方法。
- 前記ハロゲン原子は塩素または臭素である、請求項4に記載の方法。
- 前記芳香環はチオフェンである、請求項4または5に記載の方法。
- 前記芳香環は芳香族同素環である、請求項4または5に記載の方法。
- 前記芳香環はベンゼン環である、請求項7に記載の方法。
- ポリチオフェン半導体を基板上に成膜する方法であって、
ブロモベンゼン、クロロベンゼン、トリクロロベンゼン、ジクロロベンセン、ジブロモベンゼン、ジクロロトルエン、ブロモチオフェン、クロロチオフェン、及びジブロモチオフェンから選ばれた少なくとも1つの化合物を溶媒としてポリチオフェン半導体を含む液体材料ををインクジェット印刷する工程を含む成膜方法。 - 薄膜トランジスタ装置を製造する方法であり、
(1) 請求項1乃至9に記載の成膜方法によりポリチオフェン半導体を基板上に成膜する工程を含み、ここで前記基板は前もって形成されたソースおよびドレイン電極を含む、製造方法。 - (2) 絶縁層を成膜された前記ポリチオフェン上に成膜する工程と、
(3) ゲート電極を前記絶縁層上に、前もって形成された前記ソースおよびドレイン電極に適切に位置合わせして成膜する工程と、をさらに含む、請求項10に記載の方法。
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