JP2004022946A - 高調波レーザ装置およびレーザ波長変換方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】寿命が長く、かつ小型の高調波レーザ装置を得る。
【解決手段】本発明の高調波レーザ装置は、反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)と、非線形光学結晶(15)の位置をレーザ光の光軸と垂直方向に移動させる移動機構(21)とを備えたもので、移動機構(21)は、レーザ照射時に連動して移動させるもので、サーボモータ、リニアモータ又は圧電素子を用いたものである。
また、非線形光学結晶(15)上のレーザ光の通過位置をレーザ照射に連動して変化させる移動機構付光学素子(22)を設けてもよい。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明の高調波レーザ装置は、反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)と、非線形光学結晶(15)の位置をレーザ光の光軸と垂直方向に移動させる移動機構(21)とを備えたもので、移動機構(21)は、レーザ照射時に連動して移動させるもので、サーボモータ、リニアモータ又は圧電素子を用いたものである。
また、非線形光学結晶(15)上のレーザ光の通過位置をレーザ照射に連動して変化させる移動機構付光学素子(22)を設けてもよい。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、非線形光学結晶を用いた高調波レーザ装置とレーザ光の波長変換方法に関する。
【0002】
【従来技術】
従来、非線形光学素子を用いた高調波レーザ装置として、非線形光学結晶を共振器内に配置した内部共振器型と、共振器外に配置した外部共振器型が用いられている。
内部共振器型の高調波レーザ装置を図6に示す。図において11は励起用半導体レーザ、12は集光レンズ、13は励起光を透過させ波長1064nmの赤外光を反射する反射ミラー、14はNd:YAGロッド、15は非線形光学結晶、16は出力ミラー、17は励起用半導体レーザ11から発射される光であるLD光、18はYAGレーザ光、19は第2高調波光を示す。非線形光学結晶15としては、KTP、LBO,BBO,CLBO等が用いられる。
集光されたLD光17によりNd:YAGロッド14を励起させ、反射ミラー13と出力ミラー16との間でNd:YAGのレーザ発振を起こさせる。このレーザ発振により波長1064nmの赤外のYAGレーザ光18が得られる。このYAGレーザ光18を基本波として非線形光学結晶15に入射することにより、波長532nmの第2高調波が得られる。
ところが、上記の装置で波長変換を長時間行うと、YAGレーザ光18が入射した非線形光学結晶15の部分が、損傷を受けてしまう。そこで、図7に示すように従来の高調波レーザ装置は、非線形光学結晶が損傷を受けると、送り機構20により非線形光学結晶の損傷を受けていない位置にYAGレーザ光18が入射するように非線形光学結晶15をY軸またはZ軸方向にずらして使用していた。または、非線形光学結晶15の1つの位置で数100時間程度波長変換を行うと、非線形光学結晶が損傷する前に非線形光学結晶をずらして使用していた。送り機構20はステップ的に低速で非線形光学結晶を移動させればよいので、駆動方法は手動でよい。駆動方法として、ステッピングモータを用いることもあるが、これは送り機構の自動化のためであった。
図7の高調波レーザ装置で使用した非線形光学結晶の断面図を図8に示す。図8の▲1▼は、最初にYAGレーザ光が通過した位置で、一定時間のレーザ照射後に、送り機構20によりYAGレーザ光が▲2▼のポイントを通過するように非線形光学結晶を移動させる。その後、▲3▼→▲4▼→……▲9▼と非線形光学結晶のポイントを移動させた結果が図8である。
従来の外部共振型の高調波レーザ装置を図9に示す。図9の外部共振型の高調波レーザ装置が内部共振型と異なる点は、非線形光学結晶15が反射ミラー13と出力ミラー16で構成される共振器の外に配置されていることである。図9においても、非線形光学結晶の寿命を延ばすために、送り機構20により非線形光学結晶15をずらして使用していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の高調波レーザ装置においては、損傷を受けていない位置まで送り機構により非線形光学結晶をずらすため、次のポイントまでの距離をある程度大きく取る必要があった。そのため、光学結晶をずらすポイント数が限られてしまい、高調波レーザの装置寿命が短いといった問題があった。
また、非線形光学結晶の寿命を延ばすためには、多くのポイント数がとれるように断面積の大きな結晶を必要とし、結晶の大型化が困難な非線形光学結晶は実用的な高調波レーザ装置に採用できないといった問題があった。
そこで、本発明は寿命が長く、かつ小型の高調波レーザ装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために、本発明はつぎの構成にしている。
▲1▼ 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、前記共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)と、前記非線形光学結晶(15)の位置をレーザ光の光軸と垂直方向に移動させる移動機構(21)とを備えた高調波レーザ装置において、前記移動機構(21)は、レーザ照射に連動して移動させる電気式の移動機構としたもので、この電気式の移動機構は、サーボモータ又はリニアモータを用いたものでもよいし、圧電素子を用いたものでもよい。
本構成により、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶に局部的な損傷が生じることがなく、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。また、非線形光学結晶を大きくする必要がないので、小型の高調波レーザ装置を得ることができる。
▲2▼ 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、前記共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)とを備えた高調波レーザ装置において、前記非線形光学結晶(15)の前段に前記非線形光学結晶(15)上のレーザ光の通過位置をレーザ照射に連動して変化させる移動機構付光学素子(22)を設けたもので、移動機構は、サーボモータ、リニアモータ、圧電素子の少なくとも一つを用いたものである。本構成により、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶に局部的な損傷が生じることがなく、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。また、非線形光学結晶を大きくする必要がないので、小型の高調波レーザ装置を得ることができる。
▲3▼ 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)から構成される共振器内または共振器外の少なくともいずれかに配置した非線形光学結晶(15)にレーザ光を通過させることによりレーザ光の波長変換を行う波長変換方法において、前記非線形光学結晶(15)上のレーザ光通過位置をレーザ照射に連動して、移動させながら波長変換を行うものである。
本構成により、従来方式で生じていた照射ポイント間のデットスペースをなくすことができ、有効に非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の高調波レーザ装置の実施形態を図に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態を図1に示す。図1は高調波レーザ装置の模式図である。図において、11は励起用半導体レーザ、12は集光レンズ、13は励起光を透過させ波長1064nmの赤外光を反射する反射ミラー、14はNd:YAGロッド、15は非線形光学結晶、16は出力ミラー、17はLD光、18はYAGレーザ光、19は第2高調波光を示す。21は非線形光学結晶15の位置を移動させる移動機構である。
非線形光学結晶15は、断面3×3mmのLBOを使用した。移動機構21は、図2に示すような電気式のものを用いた。すなわち、小型のサーボモータ31、32およびボールねじを使用したY軸ステージ33とZ軸ステージ34で構成しており、光軸に対して垂直2軸方向に、微小ステップあるいは連続的にあるいは高速に非線形光学結晶15を移動させることができる。
つぎに、動作について説明する。
集光されたLD光17によりNd:YAGロッド14を励起させ、反射ミラー13と出力ミラー16との間でNd:YAGをレーザ発振させる。このレーザ発振により波長1064nmの赤外のYAGレーザ光18が得られる。このYAGレーザ光18を基本波として非線形光学結晶15に入射することにより、波長532nmの第2高調波19が得られる。一定時間ごとに、移動機構21により非線形光学結晶15をステップ状に移動させながら波長変換を行った。具体的には図3に示すように、非線形光学結晶15に対するYAGレーザ光18の入射位置がYAGレーザ光の照射スポット径0.5mmよりも小さなステップ幅0.2mmで非線形光学結晶15を移動させた。移動は1sec毎に行った。図3ではY軸方向のみの移動を示したが、実際には図4のようにY軸方向に10ステップ移動するとZ軸方向に1ステップ移動を行った。移動は繰り返し往復動作させた。
その結果、15000時間以上で、LBOに損傷は生じなかった。これに対して、比較のために調べた従来の波長変換方法では、LBOの1ポイントで連続して波長変換を行うで約500時間でLBOのレーザ照射部およびその周辺に損傷が生じた。図8のように断面3×3mmのLBOにはスペース的に最大9ポイントのレーザ照射ポイントしかとれないので、LBOの寿命は最大4500時間である。
本実施例では、レーザ照射時に、移動機構21により非線形光学結晶15を移動させながら波長変換を行うので、非線形光学結晶15全体を万遍なく使用することができ、非線形光学結晶15の局所的な損傷を避けることが出来る。LBOの断面積をデッドスペース無く有効使用できるので、実使用面積は従来方法の約4倍となる
このように、本実施例では非線形光学結晶の寿命および高調波レーザ装置の装置寿命を大きく延ばすことができる。
【0006】
なお、本実施例では、非線形光学結晶15の移動を1sec毎におこなったが、移動時間の間隔は非線形光学結晶15に局部的な損傷が生じない範囲で延ばすことは可能である。
また、非線形光学結晶15にLBOを使用したが、これに限らずKTP、BBO、CLBOをはじめとする非線形光学現象の得やすい光学結晶を用いてもよい。反射ミラー13の代わりにNd:YAGなどの固体レーザ媒質の端面に反射コーティングを施すことで代用することが可能である。
また、移動機構21にサーボモータを用いたが、圧電素子を用いたものでもよい。励起用半導体レーザ11の励起光は、ファイバにより導光してもよい。
また、図1では励起用半導体レーザ11を反射ミラー13の後方に配置し、エンドポンピングする方法を用いているが、励起用半導体レーザ11をNd:YAGロッドの側面に配置してサイドポンピングをおこなってもよい。さらに、半導体レーザを用いずにランプによる励起をおこなってもかまわない。固体レーザ媒質としては14のNd:YAGロッド以外にもNd:YVO4やNd:YLF等の他の結晶を用いることも可能である。
図1では、非線形光学結晶15を反射ミラー13と出力ミラー16で構成する共振器内部に配置したが、共振器外に非線形光学結晶15を配置することも可能である。また、基本波のレーザ光から第2高調波レーザを得るために第2高調波用非線形光学結晶に移動機構を設ける以外に、第3高調波レーザを得るために第3高調波用非線形光学結晶、または第4高調波レーザを得るために第4高調波用非線形光学結晶に移動機構を設けるなど、他の高調波用非線形光学結晶に移動機構を設けてもよい。
【0007】
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態の高調波レーザ装置を図5に示す。
第1の実施形態(図1)と異なる点は、非線形光学結晶15を移動させる移動機構21の代わりに非線形光学結晶15へのレーザ光照射位置を変化させる移動機構付光学素子22を設けたことである。また、非線形光学結晶15を共振器の外に配置した外部共振器型とした。
非線形光学結晶15は、第1の実施形態と同じく断面3×3mmのLBOを用いた。
移動機構付光学素子22は、モータや圧電素子といった駆動機能を持ちYAGレーザ光18の光路を移動させることにより、微小ステップまたは連続的に非線形光学結晶へのレーザ光照射位置を変化させることが出来る。
移動機構付光学素子22の移動による光軸のずれを元にもどすために、非線形光学結晶の後方に補正用の移動機構付光学素子23を配置して、移動機構付光学素子23の移動による光軸のずれを補正することが好ましい。
つぎに、動作について説明する。
集光されたLD光17によりNd:YAGロッド14を励起させ、反射ミラー13と出力ミラー16との間でNd:YAGをレーザ発振させる。このレーザ発振により波長1064nmの赤外のYAGレーザ光18が得られる。このYAGレーザ光18が基本波として非線形光学結晶15に入射することにより、波長532nmの第2高調波が発生し、出力ミラー16を透過して第2高調波19が得られる。その際に、移動機構付光学素子22により非線形光学結晶へのYAGレーザ光18の照射位置を変化させながら波長変換を行った。具体的には、第1の実施例と同様に、非線形光学結晶15に対するYAGレーザ光18の入射位置が変化するように移動機構付光学素子22を移動させた。ただし、本実施例においては非線形光学結晶15に対するYAGレーザ光18の入射位置を連続的に移動させた。移動速度は約1mm/secである。
その結果、非線形光学結晶の寿命は第1の実施形態と同様に15000時間以上であり、LBOに損傷は生じなかった。前述の比較例に比べ約4倍の寿命に向上している。
このように、本実施形態により非線形光学結晶の寿命および高調波レーザ装置の装置寿命を大きく延ばすことができる。
なお、本実施例(図5)では、非線形光学結晶15を反射ミラー13と出力ミラー16で構成する共振器内部に配置したが、共振器外に非線形光学結晶15を配置することも可能である。また、基本波のレーザ光から第2高調波レーザを得るために第2高調波用非線形光学結晶に前段に移動機構付光学素子を設ける以外に、第3高調波レーザを得るために第3高調波用非線形光学結晶の前段、または第4高調波レーザを得るために第4高調波用非線形光学結晶の前段に移動機構付光学素子を設けるなど、他の高調波用非線形光学結晶の前段に移動機構付光学素子を設けてもよい。
また、より高輝度のYAGレーザ光18を非線形光学結晶15に集光させるために非線形光学結晶15の前段に集光レンズ等を用いることも可能である。
【0008】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の高調波レーザ装置を用いることにより、移動機構または移動機構付光学素子で非線形光学結晶へのレーザ光照射位置を移動させることができ、局部的な損傷が生じることがなく、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。
また、本発明のレーザ波長変換方法は、非線形光学結晶へのレーザ光照射位置をレーザ光の照射径よりも小さな微小ステップまたは連続的に移動させることができ、非線形光学結晶の実使用面積を増やすことができ、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。また、非線形光学結晶全体を無駄なく波長変換に利用できるので、小型の非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、結晶の大型化が困難な非線形光学結晶を実用的な高調波レーザ装置に採用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す高調波レーザ装置の模式図
【図2】図1における移動機構の詳細を示す斜視図
【図3】本発明の第1の実施例の波長変換方法を示す模式図
【図4】本発明の第1の実施例の波長変換方法で使用した非線形光学結晶の断面図
【図5】本発明の第2の実施形態を示す高調波レーザ装置の模式図
【図6】従来の第1の高調波レーザ装置を示す模式図
【図7】従来の第2の高調波レーザ装置を示す模式図
【図8】図7で使用した非線形光学結晶の斜視図
【図9】従来の第3の高調波レーザ装置を示す模式図
【符号の説明】
11 励起用半導体レーザ
12 集光レンズ
13 反射ミラー
14 Nd:YAGロッド
15 非線形光学結晶
16 出力ミラー
20 送り機構
21 移動機構
22 移動機構付光学素子
【発明の属する技術分野】
本発明は、非線形光学結晶を用いた高調波レーザ装置とレーザ光の波長変換方法に関する。
【0002】
【従来技術】
従来、非線形光学素子を用いた高調波レーザ装置として、非線形光学結晶を共振器内に配置した内部共振器型と、共振器外に配置した外部共振器型が用いられている。
内部共振器型の高調波レーザ装置を図6に示す。図において11は励起用半導体レーザ、12は集光レンズ、13は励起光を透過させ波長1064nmの赤外光を反射する反射ミラー、14はNd:YAGロッド、15は非線形光学結晶、16は出力ミラー、17は励起用半導体レーザ11から発射される光であるLD光、18はYAGレーザ光、19は第2高調波光を示す。非線形光学結晶15としては、KTP、LBO,BBO,CLBO等が用いられる。
集光されたLD光17によりNd:YAGロッド14を励起させ、反射ミラー13と出力ミラー16との間でNd:YAGのレーザ発振を起こさせる。このレーザ発振により波長1064nmの赤外のYAGレーザ光18が得られる。このYAGレーザ光18を基本波として非線形光学結晶15に入射することにより、波長532nmの第2高調波が得られる。
ところが、上記の装置で波長変換を長時間行うと、YAGレーザ光18が入射した非線形光学結晶15の部分が、損傷を受けてしまう。そこで、図7に示すように従来の高調波レーザ装置は、非線形光学結晶が損傷を受けると、送り機構20により非線形光学結晶の損傷を受けていない位置にYAGレーザ光18が入射するように非線形光学結晶15をY軸またはZ軸方向にずらして使用していた。または、非線形光学結晶15の1つの位置で数100時間程度波長変換を行うと、非線形光学結晶が損傷する前に非線形光学結晶をずらして使用していた。送り機構20はステップ的に低速で非線形光学結晶を移動させればよいので、駆動方法は手動でよい。駆動方法として、ステッピングモータを用いることもあるが、これは送り機構の自動化のためであった。
図7の高調波レーザ装置で使用した非線形光学結晶の断面図を図8に示す。図8の▲1▼は、最初にYAGレーザ光が通過した位置で、一定時間のレーザ照射後に、送り機構20によりYAGレーザ光が▲2▼のポイントを通過するように非線形光学結晶を移動させる。その後、▲3▼→▲4▼→……▲9▼と非線形光学結晶のポイントを移動させた結果が図8である。
従来の外部共振型の高調波レーザ装置を図9に示す。図9の外部共振型の高調波レーザ装置が内部共振型と異なる点は、非線形光学結晶15が反射ミラー13と出力ミラー16で構成される共振器の外に配置されていることである。図9においても、非線形光学結晶の寿命を延ばすために、送り機構20により非線形光学結晶15をずらして使用していた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、従来の高調波レーザ装置においては、損傷を受けていない位置まで送り機構により非線形光学結晶をずらすため、次のポイントまでの距離をある程度大きく取る必要があった。そのため、光学結晶をずらすポイント数が限られてしまい、高調波レーザの装置寿命が短いといった問題があった。
また、非線形光学結晶の寿命を延ばすためには、多くのポイント数がとれるように断面積の大きな結晶を必要とし、結晶の大型化が困難な非線形光学結晶は実用的な高調波レーザ装置に採用できないといった問題があった。
そこで、本発明は寿命が長く、かつ小型の高調波レーザ装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するために、本発明はつぎの構成にしている。
▲1▼ 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、前記共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)と、前記非線形光学結晶(15)の位置をレーザ光の光軸と垂直方向に移動させる移動機構(21)とを備えた高調波レーザ装置において、前記移動機構(21)は、レーザ照射に連動して移動させる電気式の移動機構としたもので、この電気式の移動機構は、サーボモータ又はリニアモータを用いたものでもよいし、圧電素子を用いたものでもよい。
本構成により、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶に局部的な損傷が生じることがなく、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。また、非線形光学結晶を大きくする必要がないので、小型の高調波レーザ装置を得ることができる。
▲2▼ 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、前記共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)とを備えた高調波レーザ装置において、前記非線形光学結晶(15)の前段に前記非線形光学結晶(15)上のレーザ光の通過位置をレーザ照射に連動して変化させる移動機構付光学素子(22)を設けたもので、移動機構は、サーボモータ、リニアモータ、圧電素子の少なくとも一つを用いたものである。本構成により、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶に局部的な損傷が生じることがなく、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。また、非線形光学結晶を大きくする必要がないので、小型の高調波レーザ装置を得ることができる。
▲3▼ 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)から構成される共振器内または共振器外の少なくともいずれかに配置した非線形光学結晶(15)にレーザ光を通過させることによりレーザ光の波長変換を行う波長変換方法において、前記非線形光学結晶(15)上のレーザ光通過位置をレーザ照射に連動して、移動させながら波長変換を行うものである。
本構成により、従来方式で生じていた照射ポイント間のデットスペースをなくすことができ、有効に非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。
【0005】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の高調波レーザ装置の実施形態を図に基づいて説明する。
(第1の実施形態)
本発明の第1の実施形態を図1に示す。図1は高調波レーザ装置の模式図である。図において、11は励起用半導体レーザ、12は集光レンズ、13は励起光を透過させ波長1064nmの赤外光を反射する反射ミラー、14はNd:YAGロッド、15は非線形光学結晶、16は出力ミラー、17はLD光、18はYAGレーザ光、19は第2高調波光を示す。21は非線形光学結晶15の位置を移動させる移動機構である。
非線形光学結晶15は、断面3×3mmのLBOを使用した。移動機構21は、図2に示すような電気式のものを用いた。すなわち、小型のサーボモータ31、32およびボールねじを使用したY軸ステージ33とZ軸ステージ34で構成しており、光軸に対して垂直2軸方向に、微小ステップあるいは連続的にあるいは高速に非線形光学結晶15を移動させることができる。
つぎに、動作について説明する。
集光されたLD光17によりNd:YAGロッド14を励起させ、反射ミラー13と出力ミラー16との間でNd:YAGをレーザ発振させる。このレーザ発振により波長1064nmの赤外のYAGレーザ光18が得られる。このYAGレーザ光18を基本波として非線形光学結晶15に入射することにより、波長532nmの第2高調波19が得られる。一定時間ごとに、移動機構21により非線形光学結晶15をステップ状に移動させながら波長変換を行った。具体的には図3に示すように、非線形光学結晶15に対するYAGレーザ光18の入射位置がYAGレーザ光の照射スポット径0.5mmよりも小さなステップ幅0.2mmで非線形光学結晶15を移動させた。移動は1sec毎に行った。図3ではY軸方向のみの移動を示したが、実際には図4のようにY軸方向に10ステップ移動するとZ軸方向に1ステップ移動を行った。移動は繰り返し往復動作させた。
その結果、15000時間以上で、LBOに損傷は生じなかった。これに対して、比較のために調べた従来の波長変換方法では、LBOの1ポイントで連続して波長変換を行うで約500時間でLBOのレーザ照射部およびその周辺に損傷が生じた。図8のように断面3×3mmのLBOにはスペース的に最大9ポイントのレーザ照射ポイントしかとれないので、LBOの寿命は最大4500時間である。
本実施例では、レーザ照射時に、移動機構21により非線形光学結晶15を移動させながら波長変換を行うので、非線形光学結晶15全体を万遍なく使用することができ、非線形光学結晶15の局所的な損傷を避けることが出来る。LBOの断面積をデッドスペース無く有効使用できるので、実使用面積は従来方法の約4倍となる
このように、本実施例では非線形光学結晶の寿命および高調波レーザ装置の装置寿命を大きく延ばすことができる。
【0006】
なお、本実施例では、非線形光学結晶15の移動を1sec毎におこなったが、移動時間の間隔は非線形光学結晶15に局部的な損傷が生じない範囲で延ばすことは可能である。
また、非線形光学結晶15にLBOを使用したが、これに限らずKTP、BBO、CLBOをはじめとする非線形光学現象の得やすい光学結晶を用いてもよい。反射ミラー13の代わりにNd:YAGなどの固体レーザ媒質の端面に反射コーティングを施すことで代用することが可能である。
また、移動機構21にサーボモータを用いたが、圧電素子を用いたものでもよい。励起用半導体レーザ11の励起光は、ファイバにより導光してもよい。
また、図1では励起用半導体レーザ11を反射ミラー13の後方に配置し、エンドポンピングする方法を用いているが、励起用半導体レーザ11をNd:YAGロッドの側面に配置してサイドポンピングをおこなってもよい。さらに、半導体レーザを用いずにランプによる励起をおこなってもかまわない。固体レーザ媒質としては14のNd:YAGロッド以外にもNd:YVO4やNd:YLF等の他の結晶を用いることも可能である。
図1では、非線形光学結晶15を反射ミラー13と出力ミラー16で構成する共振器内部に配置したが、共振器外に非線形光学結晶15を配置することも可能である。また、基本波のレーザ光から第2高調波レーザを得るために第2高調波用非線形光学結晶に移動機構を設ける以外に、第3高調波レーザを得るために第3高調波用非線形光学結晶、または第4高調波レーザを得るために第4高調波用非線形光学結晶に移動機構を設けるなど、他の高調波用非線形光学結晶に移動機構を設けてもよい。
【0007】
(第2の実施形態)
本発明の第2の実施形態の高調波レーザ装置を図5に示す。
第1の実施形態(図1)と異なる点は、非線形光学結晶15を移動させる移動機構21の代わりに非線形光学結晶15へのレーザ光照射位置を変化させる移動機構付光学素子22を設けたことである。また、非線形光学結晶15を共振器の外に配置した外部共振器型とした。
非線形光学結晶15は、第1の実施形態と同じく断面3×3mmのLBOを用いた。
移動機構付光学素子22は、モータや圧電素子といった駆動機能を持ちYAGレーザ光18の光路を移動させることにより、微小ステップまたは連続的に非線形光学結晶へのレーザ光照射位置を変化させることが出来る。
移動機構付光学素子22の移動による光軸のずれを元にもどすために、非線形光学結晶の後方に補正用の移動機構付光学素子23を配置して、移動機構付光学素子23の移動による光軸のずれを補正することが好ましい。
つぎに、動作について説明する。
集光されたLD光17によりNd:YAGロッド14を励起させ、反射ミラー13と出力ミラー16との間でNd:YAGをレーザ発振させる。このレーザ発振により波長1064nmの赤外のYAGレーザ光18が得られる。このYAGレーザ光18が基本波として非線形光学結晶15に入射することにより、波長532nmの第2高調波が発生し、出力ミラー16を透過して第2高調波19が得られる。その際に、移動機構付光学素子22により非線形光学結晶へのYAGレーザ光18の照射位置を変化させながら波長変換を行った。具体的には、第1の実施例と同様に、非線形光学結晶15に対するYAGレーザ光18の入射位置が変化するように移動機構付光学素子22を移動させた。ただし、本実施例においては非線形光学結晶15に対するYAGレーザ光18の入射位置を連続的に移動させた。移動速度は約1mm/secである。
その結果、非線形光学結晶の寿命は第1の実施形態と同様に15000時間以上であり、LBOに損傷は生じなかった。前述の比較例に比べ約4倍の寿命に向上している。
このように、本実施形態により非線形光学結晶の寿命および高調波レーザ装置の装置寿命を大きく延ばすことができる。
なお、本実施例(図5)では、非線形光学結晶15を反射ミラー13と出力ミラー16で構成する共振器内部に配置したが、共振器外に非線形光学結晶15を配置することも可能である。また、基本波のレーザ光から第2高調波レーザを得るために第2高調波用非線形光学結晶に前段に移動機構付光学素子を設ける以外に、第3高調波レーザを得るために第3高調波用非線形光学結晶の前段、または第4高調波レーザを得るために第4高調波用非線形光学結晶の前段に移動機構付光学素子を設けるなど、他の高調波用非線形光学結晶の前段に移動機構付光学素子を設けてもよい。
また、より高輝度のYAGレーザ光18を非線形光学結晶15に集光させるために非線形光学結晶15の前段に集光レンズ等を用いることも可能である。
【0008】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の高調波レーザ装置を用いることにより、移動機構または移動機構付光学素子で非線形光学結晶へのレーザ光照射位置を移動させることができ、局部的な損傷が生じることがなく、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。
また、本発明のレーザ波長変換方法は、非線形光学結晶へのレーザ光照射位置をレーザ光の照射径よりも小さな微小ステップまたは連続的に移動させることができ、非線形光学結晶の実使用面積を増やすことができ、万遍なく非線形光学結晶を使用することができる。したがって、非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、高調波レーザ装置の装置寿命を延ばすことができる。また、非線形光学結晶全体を無駄なく波長変換に利用できるので、小型の非線形光学結晶の寿命を長くすることができ、結晶の大型化が困難な非線形光学結晶を実用的な高調波レーザ装置に採用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態を示す高調波レーザ装置の模式図
【図2】図1における移動機構の詳細を示す斜視図
【図3】本発明の第1の実施例の波長変換方法を示す模式図
【図4】本発明の第1の実施例の波長変換方法で使用した非線形光学結晶の断面図
【図5】本発明の第2の実施形態を示す高調波レーザ装置の模式図
【図6】従来の第1の高調波レーザ装置を示す模式図
【図7】従来の第2の高調波レーザ装置を示す模式図
【図8】図7で使用した非線形光学結晶の斜視図
【図9】従来の第3の高調波レーザ装置を示す模式図
【符号の説明】
11 励起用半導体レーザ
12 集光レンズ
13 反射ミラー
14 Nd:YAGロッド
15 非線形光学結晶
16 出力ミラー
20 送り機構
21 移動機構
22 移動機構付光学素子
Claims (6)
- 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、前記共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)と、前記非線形光学結晶(15)の位置をレーザ光の光軸と垂直方向に移動させる移動機構(21)とを備えた高調波レーザ装置において、
前記移動機構(21)は、レーザ照射に連動して移動させる電気式の移動機構であることを特徴とする高調波レーザ装置。 - 前記電気式の移動機構がサーボモータ又はリニアモータを用いたものであることを特徴とする請求項1記載の高調波レーザ装置。
- 前記電気式の移動機構が圧電素子を用いたものであることを特徴とする請求項1記載の高調波レーザ装置。
- 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)で構成される共振器内に配置した固体レーザ媒質(14)と、前記共振器内または共振器外に配置した非線形光学結晶(15)とを備えた高調波レーザ装置において、
前記非線形光学結晶(15)の前段に前記非線形光学結晶(15)上のレーザ光の通過位置をレーザ照射に連動して変化させる移動機構付光学素子(22)を設けたことを特徴とする高調波レーザ装置。 - 前記移動機構付光学素子(22)の移動機構は、サーボモータ、リニアモータ、圧電素子の少なくとも一つを用いたものであることを特徴とする請求項4記載の高調波レーザ装置。
- 反射ミラー(13)と出力ミラー(16)から構成される共振器内または共振器外の少なくともいずれかに配置した非線形光学結晶(15)にレーザ光を通過させることによりレーザ光の波長変換を行う波長変換方法において、
前記非線形光学結晶(15)上のレーザ光通過位置をレーザ照射に連動して、移動させながら波長変換を行うレーザ波長変換方法。
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