JP2004014736A - ウエハプリアライメント装置および方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ回転手段2と、回転検出手段3と、ウエハの周縁部に投光する投光手段9と、直線状に配置されたCCDリニアセンサ26と、ウエハのエッジ位置を検出してオリフラ位置とノッチ位置、中心位置の少なくとも一つを求める信号処理手段10、17と、を備え、回転検出手段の信号を受信して回転位置情報に変換するアップダウンカウンタ21aと、間隔角度回転したときの回転位置情報を格納する計測角度設定レジスタ21bと、計測角度設定レジスタの設定値とアップダウンカウンタのカウント値とを比較するコンパレータ21Cとを備える。
【選択図】 図1
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体製造装置で使われ、略円形の半導体ウエハの位置やオリエンテーションフラット、ノッチなどの位置を検出したり、位置決めをするプリアライメント装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来のプリアライメントセンサ装置の構成を図4を用いて説明する。図において、テーブル4はモータ2の上側の軸先端に固定されて回転出来るようになっており、テーブル4上にウエハ1を載せると、その外周部の下側に設けた光源7と、上方に設けた受光部であるCCDリニアセンサ5の間を遮ることができるようになっている。26はプリアライメントセンサであり、光源7とレンズ8、CCDリニアセンサ5、CCDリニアセンサ実装基板6、側面の形状がコの字形をしてこれらを固定したフレームとで構成されている。光源7の光はレンズ8で平行にされてCCDリニアセンサ5で受光される。10はセンサコントローラであり、CCDリニアセンサ駆動部11、ウエハエッジ検出部12、発光駆動部13、メモリ14、CPU15、データ授受部16から構成されている。システムコントローラ17は、メモリ18と、CPU19、データ授受部20、エンコーダ信号処理部21、モータ指令器22、ウエハ有無センサ信号部23、ウエハ搬送制御部24から構成されている。発光駆動部13は光源7に電流を与えて発光させる。CCDリニアセンサ駆動部11は、直線状に配置され順番の決まった多数の画素からなるCCDリニアセンサ5に、前記画素の蓄積電荷を電気信号に変換する際のタイミング信号であるリードアウトゲートパルス(ROG)信号と転送パルス信号を送り、前記転送パルス信号に従ってスキャン開始端にある1番目の画素から順に蓄積電荷を読み出し、全画素の蓄積電荷を検出信号として順次出力し、その検出信号等をウエハエッジ検出部12が受けて位置を検出する。その検出情報はデータ授受部16を介して外部に出力される。
【0003】
システムコントローラ17のモータ指令器22はモータ2に回転指令信号を出力してモータ2を回転させる。ウエハ有無センサ25は光学式又は接触式又は静電容量式のセンサであってプリアライメントセンサ26とは別に設けられており、ウエハ有無センサ信号処理部23がウエハ有無センサ25を機能させてその前面にウエハが有るか無いかを検出する。エンコーダ信号処理部21はモータ2に連結されたエンコーダ3の回転信号を得てモータ2の回転量を検出する。
このような構成のもとで、システムコントローラ17とセンサコントローラ10は次のように動作する。システムコントローラ17はテーブル4にウエハが存在しないとき、図示しないウエハ搬送システムがテーブル4にウエハを搬送した後、テーブル4を回転させ、エンコーダ3の信号をエンコーダ信号処理部21で計測する。そして所定の回転位置になったとき、データ授受部20を介してセンサコントローラ10に計測指令を出力し、計測を開始させる。
【0004】
センサコントローラ10はその計測指令出力を受けると、CCDリニアセンサ5が出力するウエハエッジ信号をウエハエッジ検出部12が受け取り、データ授受部16を介してウエハエッジ検出値をシステムコントローラ17に出力する。システムコントローラ17は受け取ったそのウエハエッジ検出値と計測回転位置とをメモり18に格納し、ウエハ1が1回転以上するまで、同じような動作を繰り返してウエハ1周分の外周データをメモリ18に記録する。このメモリ18に記録されたウエハ1周分の外周データをもとにCPU19によってウェハ1の中心位置や、オリフラまたはノッチ位置が求められる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
ところが従来技術によると、テーブル4を回転させてエンコーダ3の信号をエンコーダ信号処理部21で計測し、所定の回転位置になったかどうかを判断するためには、システムコントローラ17が計測ポイントと同じ数の計測位置情報をメモリ18に格納する必要があり、CPU19が格納された計測位置情報とエンコーダ3から得られる回転位置情報とを常に監視して比較しなければならない。また、テーブル4の回転ムラ等の原因により、所定の計測位置でエンコーダ3の信号を計測した値が変化してしまい、何度も同じ計測位置で計測してしまうという事態に陥りやすい。このため、小型化やローコスト化、システムの効率化、測定の高速化などをすることができず、ウエハの大口径化とスループットの向上を図る上で大きな問題点となっていた。
そこで本発明は、エンコーダ信号処理部21に機能を追加することにより、ウェハ1が簡単に所定の計測位置になったのを判断してセンサコントローラ10に計測指令を出力し、計測を開始させることができる装置と方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記問題を解決するため、本願発明は、垂直方向の回転軸を持つテーブル上に略円形のウエハを保持して回転させることができるウエハ回転手段と、そのウエハ回転手段の回転位置を検出して電気信号に変換する回転検出手段と、前記ウエハ回転手段に保持されたウエハの周縁部に投光する投光手段と、直線状に配置され順番の決まった多数の画素からなり、転送パルス信号に従って1番目の画素から順に蓄積電荷を読み出し、全画素の蓄積電荷を電気信号として順次出力するCCDリニアセンサと、そのCCDリニアセンサの信号と前記回転検出手段の信号を受けると、前記ウエハの外周に亘る複数の任意の点で繰り返し前記ウエハのエッジ位置を検出してメモリに格納し、その検出値を元に前記ウエハのオリフラ位置とノッチ位置、中心位置の少なくとも一つを求める信号処理手段と、を備えたウエハプリアライメント装置において、前記回転検出手段の信号を受信して回転位置情報に変換するアップダウンカウンタと、前記検出検出手段の1回転あたりのカウント数を1回転中に計測する計測ポイント数で除算した角度値情報を格納する計測角度設定レジスタと、前記計測角度設定レジスタに設定した設定値と前記アップダウンカウンタのカウント値とを比較するコンパレータとを備えたことを特徴とするものである。
このようになっているため、ウェハが所定の計測位置になったのを簡単に判断することができて、センサコントローラに計測指令を出力し、計測を開始させることができるのである。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図に基づいて説明する。図1は本発明の第1実施例であるウエハプリアライメント装置の構成を示すブロック図、図3は本発明のエンコーダ処理部を説明するタイムチャートである。
図1において、29はウエハ位置決め機構であり、モータ2と、モータ2で回転されて被測定物のウエハ1を保持するテーブル4と、モータ2に連結されてモータ2の回転位置を検出するエンコーダ3から構成されている。26はプリアライメントセンサであり、側面からみた形状がコの字状のフレームと、フレームの下部に設けられた光源7、光源7の光を平行にするレンズ8、平行にされた光を受光するCCDリニアセンサ5とから構成されている。CCDリニアセンサ5は直線状に配置され順番の決まった多数の画素からなり、1番目の画素から順にスキャンして光源7からの入射光に略比例した蓄積電荷を読み出し、全画素の蓄積電荷を電気信号として順次出力する。
【0008】
10はセンサコントローラであり、CCDリニアセンサ5を駆動するCCDリニアセンサ駆動部11と、CCDリニアセンサ5の1画素から最終画素までスキャンして信号が変化する点のウエハエッジ信号を検出するウエハエッジ検出部12、光源7の投光をON/OFF制御する発光駆動部13、メモリ14、CPU15、外部と信号の授受を行うデータ授受部16から構成されている。
17はシステムコントローラであり、モータ4を回転させるモータ指令器22と、エンコーダ信号処理部21、計測角度設定値とウエハエッジ検出値を記憶するメモリ18、CPU19、センサコントローラ10と信号の授受を行うデータ授受部20とから構成されている。
【0009】
エンコーダ信号処理部21は、前記回転検出手段の1回転あたりのカウント数を1回転中に計測する計測ポイント数で除算した角度値情報を設定する計測角度設定レジスタ21b、エンコーダ3の回転位置信号を受信して正回転時にはアップカウントし逆回転時にはダウンカウントするアップダウンカウンタ21a、計測角度設定レジスタ21bの角度値情報とアップダウンカウンタ21aで得られたカウント値とが等しいと判断すれば、計測指令を出力し、同時にカウント値をゼロクリアするコンパレータ21cとから構成される。
CPU19はメモリ18に記憶してある計測角度設定値とウエハエッジ検出値からウエハのオリフラとノッチ位置、中心位置の少なくとも一つを算出すると、図示しないウエハ搬送システムに指令を送ってウエハ1をテーブル4上から搬送先へ搬送させる。これらのウエハ位置決め機構29とプリアライメントセンサ26、センサコントローラ10、システムコントローラ17とでウエハプリアライメント装置をなしている。
【0010】
このような構成のもとで、本発明のウエハプリアライメント装置は次のように動作する。
まず、システムコントローラ17は回転検出手段の1回転あたりのカウント数を1回転中に計測する計測ポイント数で除算した角度値情報を計測角度設定レジスタ21bに設定する。
テーブル4にウエハが存在しないときは、図示しないウエハ搬送システムがテーブル4にウエハを搬送した後、テーブル4を回転させる。
エンコーダ信号処理部21において、アップダウンカウンタ21aは回転位置信号を受信し、テーブル4が正回転する時はアップカウントし、逆回転する時はダウンカウントしてカウンタ値が増減し、回転位置情報が得られる。コンパレータ21cは計測角度設定レジスタ21bの設定値とアップダウンカウンタ21aのカウント値とが等しいと判断したのち計測指令を出力し、同時にカウント値をゼロクリアする。
【0011】
センサコントローラ10がその計測指令出力を受けると、CCDリニアセンサ5が出力するウエハエッジ信号をウエハエッジ検出部12が受け取り、データ授受部16を介してウエハエッジ検出値をシステムコントローラ17に出力する。システムコントローラ17は受け取ったそのウエハエッジ検出値を順次メモり18に格納し、ウエハ1が1回転以上するまで、同じような動作を繰り返してウエハ1周分の外周データをメモリ18に記録する。このメモリ18に記録されたウエハ1周分の外周データをもとにCPU19が公知の演算をして、ウェハ1の中心位置やオリフラまたはノッチ位置が求められる。
【0012】
ここで例えばエンコーダ信号処理部21のアップダウンカウンタ21aが0から255までアップダウンカウントできるカウンタであって、計測角度設定レジスタ21bに設定値5を設定したときのタイムチャートを図3a、図3bに示す。
計測角度設定レジスタ21bの設定値とアップダウンカウンタ21aのカウンタ値とが等しいと判断したのち、計測指令を出力すると同時にカウンタ値をゼロクリアすれば、図3bに示したように、テーブル4の回転ムラ等の原因によってテーブル4が正回転から一瞬だけ逆回転しても同じ計測ポイントで計測指令が出力されるというような問題は解消される。
【0013】
次に第2の実施例について図に基づいて説明する。図2は本発明の第2実施例であるウエハプリアライメント装置の構成を示すブロック図である。
図において、第1の実施例との構成上の違いは、アップダウンカウンタ21a、計測角度設定レジスタ21b、コンパレータ21cから構成されるエンコーダ信号処理部21がシステムコントローラ17に搭載されるのではなくセンサコントローラ10に搭載されている点にある。
このような構成のもとで、本発明のウエハプリアライメント装置は次のように動作する。まず、システムコントローラ17は、回転検出手段の1回転あたりのカウント数を1回転中に計測する計測ポイント数で除算した角度値情報をデータ授受部20を介して計測角度設定レジスタ21bに設定する。テーブル4にウエハが存在しないときは、図示しないウエハ搬送システムがテーブル4にウエハを搬送した後、テーブル4を回転させる。
【0014】
センサコントローラ10に搭載されているエンコーダ信号処理部21は次のように動作する。アップダウンカウンタ21aが回転位置信号を受信すると、テーブル4が正回転時にはアップカウントし、逆回転時にはダウンカウントしてカウント値が増減し、回転位置情報が得られる。コンパレータ21cが計測角度設定レジスタ21bの設定値とアップダウンカウンタ21aのカウント値とが等しいと判断したのち、計測指令を出力すると同時にアップダウンカウンタ21aが連続して入力するエンコーダ3の信号に対応するためカウンタ値をゼロクリアする。
ウエハエッジ検出部12はその計測指令出力を入力すると、CCDリニアセンサ5が出力するウエハエッジ信号を受け取り、データ授受部16を介してウエハエッジ検出値をシステムコントローラ17に出力する。
システムコントローラ17は受け取ったそのウエハエッジ検出値を順次メモリ18に格納し、ウエハ1が1回転以上するまで、同じような動作を繰り返してウエハ1周分の外周データをメモリ18に記録する。このメモリ18に記録されたウエハ1周分の外周データをもとにCPU19によってウェハ1の中心位置や、オリフラまたはノッチ位置が求められる。
【0015】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば、エンコーダ3の信号をエンコーダ信号処理部21で計測し、所定の回転位置になったのを判断するために、所定の計測位置を計測ポイントの数だけメモリ18に格納し、CPU19で格納されたその計測位置とエンコーダ3から得られる回転位置とを常に監視し比較するのではなく、エンコーダ信号処理部21を、計測ポイント間の間隔角度に対応した回転位置情報を設定できる計測角度設定レジスタ21b、エンコーダ3の回転位置信号を処理し、正回転の時はアップカウントし、逆回転の時はダウンカウントするアップダウンカウンタ21a、計測角度設定レジスタ21bの設定値とアップダウンカウンタ21aで得られた回転位置情報とが等しいこと判断したのち計測指令を出力し、同時に前記アップダウンカウンタが連続して入力される回転検出手段の信号に対応するため前記カウント値をゼロクリアできるコンパレータ21cとからなる構成としたので、簡単なハードウエアで構成でき、CPUの処理の負荷を軽減できて、メモリを少容量化することができるという効果がある。
計測指令を出力すると同時にカウント値をゼロクリアするので、テーブル4の回転ムラ等の原因により、所定の計測位置でエンコーダ3の信号を計測した値が変化し何度も同じ計測位置で計測することもなく、システムの効率化ができ、
エンコーダ信号処理部21をシステムコントローラ17やセンサコントローラ10のどちらでも搭載出来るようになって、システム構成を自由に構成できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例の構成を示すブロック図
【図2】本発明の第2実施例の構成を示すブロック図
【図3】本発明のエンコーダ処理部を説明するタイムチャート
【図4】従来のウエハプリアライメント装置の構成を示すブロック図
【符号の説明】
1 ウエハ
2 モータ
3 エンコーダ
4 テーブル
5 CCDリニアセンサ
6 CCDリニアセンサ実装基板
7 光源
8 レンズ
9 照射光
10、10b、10c センサコントローラ
11 CCDリニアセンサ駆動部
12 ウエハエッジ検出部
13 発光駆動部
14、18 メモリ
15、19 CPU
16、20 データ授受部
17 システムコントローラ
21 エンコーダ信号処理部
21a アップダウンカウンタ
21b 計測角度設定レジスタ
21c コンパレータ
22 モータ指令器
23 ウエハ有無センサ信号処理部
24 ウエハ搬送制御部
25 ウエハ有無センサ
26 プリアライメントセンサ
29 ウエハ位置決め機構
Claims (2)
- 垂直方向の回転軸を持つテーブル上に略円形のウエハを保持して回転させることができるウエハ回転手段と、
そのウエハ回転手段の回転位置を検出して電気信号に変換する回転検出手段と、前記ウエハ回転手段に保持されたウエハの周縁部に投光する投光手段と、
直線状に配置され順番の決まった多数の画素からなり、転送パルス信号に従って1番目の画素から順に蓄積電荷を読み出し、全画素の蓄積電荷を電気信号として順次出力するCCDリニアセンサと、
そのCCDリニアセンサの信号と前記回転検出手段の信号を受けると、前記ウエハの外周に亘る複数の任意の点で繰り返し前記ウエハのエッジ位置を検出してメモリに格納し、その検出値を元に前記ウエハのオリフラ位置とノッチ位置、中心位置の少なくとも一つを求める信号処理手段と、
を備えたウエハプリアライメント装置において、
前記回転検出手段の信号を受信してカウントするアップダウンカウンタと、
前記回転検出手段の1回転あたりのカウント数を1回転中に計測する計測ポイント数で除算した角度値情報を格納する計測角度設定レジスタと、
前記計測角度設定レジスタに設定した前記角度値情報と前記アップダウンカウンタのカウント値とを比較するコンパレータと
を備えたことを特徴とするウエハプリアライメント装置。 - 垂直方向の回転軸を持つテーブル上に略円形のウエハを保持して回転させることができるウエハ回転手段と、
そのウエハ回転手段の回転位置を検出して電気信号に変換する回転検出手段と、前記ウエハ回転手段に保持されたウエハの周縁部に投光する投光手段と、
直線状に配置され順番の決まった多数の画素からなり、転送パルス信号に従って1番目の画素から順に蓄積電荷を読み出し、全画素の蓄積電荷を電気信号として順次出力するCCDリニアセンサと、
そのCCDリニアセンサの信号と前記回転検出手段の信号を受けると、前記ウエハの外周に亘る複数の任意の点で繰り返し前記ウエハのエッジ位置を検出してメモリに格納し、その検出値を元に前記ウエハのオリフラ位置とノッチ位置、中心位置の少なくとも一つを求める信号処理手段と、
を備えたウエハプリアライメント装置において、
前記回転検出手段の1回転あたりのカウント数を1回転中に計測する計測ポイント数で除算した角度値情報を計測角度設定レジスタに設定し、
前記ウエハ回転手段が正回転する時はアップカウントし、前記ウエハ回転手段が逆回転する時はダウンカウントするアップダウンカウンタに前記回転検出手段の信号を入力し、
前記ウエハ回転手段が回転しカウント値が増減して回転位置情報が得られて、コンパレータが計測角度設定レジスタの設定値と前記アップダウンカウンタで得られた回転位置情報とが等しいと判断すれば、
計測指令を出力すると同時に前記カウント値をゼロクリアし、
前記ウエハの外周に亘る前記計測ポイントで繰り返して前記ウエハのエッジ位置を検出し、
その検出値をメモリに格納し、
その検出値を元に前記ウエハのオリフラ位置とノッチ位置、中心位置の少なくとも一つを求める
ことを特徴とするウエハプリアライメント方法
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