KR20050006288A - 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼가 소정의 계측 위치가 된 것을 간단히 판단하여 센서 컨트롤러에게 계측 지령을 출력하여, 계측을 개시시킬 수 있도록 한다.
웨이퍼 회전 수단(2)과, 회전 검출 수단(3)과, 웨이퍼의 둘레 가장자리부에 투광하는 투광 수단(9)과, 직선 형상으로 배치된 CCD 리니어 센서(26)와, 웨이퍼의 에치 위치를 검출하여 오리엔테이션 플랫 위치와 노치 위치, 중심 위치 중 적어도 하나를 구하는 신호 처리 수단(10), (17)을 구비하고, 회전 검출 수단의 신호를 수신하여 회전 위치 정보로 변환하는 업다운 카운터(21a)와, 간격 각도로 회전하였을 때의 회전 위치 정보를 격납하는 계측 각도 설정 레지스터(21b)와, 계측 각도 설정 레지스터의 설정값과 업다운 카운터의 카운트값을 비교하는 비교기(21c)를 구비한다.

Description

웨이퍼 프리얼라인먼트 장치 및 방법{WAFER PRE-ALIGNMENT APPARATUS AND METHOD}
종래의 프리얼라인먼트 센서 장치의 구성을 도 4를 이용하여 설명한다. 도면에서, 테이블(4)은 모터(2)의 상측의 축 선단에 고정되어 회전할 수 있게 되어 있고, 테이블(4) 상에 웨이퍼(1)를 올려 놓으면, 그 외주부의 하측에 설치한 광원(7)과, 위쪽에 설치한 수광부인 CCD 리니어 센서(5) 사이를 차단할 수 있도록 되어 있다. 26은 프리얼라인먼트 센서이고, 광원(7)과 렌즈(8), CCD 리니어 센서(5), CCD 리니어 센서 실장 기판(6), 측면의 형상이 コ자형을 하고 이들을 고정한 프레임으로 구성되어 있다. 광원(7)의 광은 렌즈(8)로 평행하게 되어 CCD 리니어 센서(5)에서 수광된다. 10은 센서 컨트롤러이고, CCD 리니어 센서 구동부(11), 웨이퍼 에지 검출부(12), 발광 구동부(13), 메모리(14), CPU(15), 데이터 수수부(16)로 구성되어 있다. 시스템 컨트롤러(17)는, 메모리(18)와, CPU(19), 데이터 수수부(20), 인코더 신호 처리부(21), 모터 지령기(22), 웨이퍼 유무 센서 신호부(23),웨이퍼 반송 제어부(24)로 구성되어 있다. 발광 구동부(13)는 광원(7)에 전류를 공급하여 발광시킨다. CCD 리니어 센서 구동부(11)는, 직선 형상으로 배치되어 순서가 결정된 다수의 화소로 이루어지는 CCD 리니어 센서(5)에, 상기 화소의 축적 전하를 전기 신호로 변환할 때의 타이밍 신호인 리드 아웃 게이트 펄스(ROG) 신호와 전송 펄스 신호를 보내고, 상기 전송 펄스 신호에 따라서 스캔 개시단에 있는 첫번째의 화소로부터 순서대로 축적 전하를 독출하고, 전체 화소의 축적 전하를 검출 신호로서 순차적으로 출력하고, 그 검출 신호 등을 웨이퍼 에지 검출부(12)가 받아서 위치를 검출한다. 그 검출 정보는 데이터 수수부(16)를 통해서 외부로 출력된다.
시스템 컨트롤러(17)의 모터 지령기(22)는 모터(2)에 회전 지령 신호를 출력하여 모터(2)를 회전시킨다. 웨이퍼 유무 센서(25)는 광학식 또는 접촉식 또는 정전 용량식의 센서로서 프리얼라인먼트 센서(26)와는 별도로 설치되어 있으며, 웨이퍼 유무 센서 신호 처리부(23)가 웨이퍼 유무 센서(25)를 기능시켜서 그 전면(前面)에 웨이퍼가 있는지 없는지를 검출한다. 인코더 신호 처리부(21)는 모터(2)에 연결된 인코더(3)의 회전 신호를 얻어서 모터(2)의 회전량을 검출한다.
이와 같은 구성을 기초로, 시스템 컨트롤러(17)와 센서 컨트롤러(10)는 다음과 같이 동작한다. 시스템 컨트롤러(17)는 테이블(4)에 웨이퍼가 존재하지 않을 때, 도시하지 않은 웨이퍼 반송 시스템이 테이블(4)에 웨이퍼를 반송한 후, 테이블(4)을 회전시켜서, 인코더(3)의 신호를 인코더 신호 처리부(21)에서 계측한다. 그리고 소정의 회전 위치가 되었을 때, 데이터 수수부(20)를 통해서 센서 컨트롤러(10)에 계측 지령을 출력하여, 계측을 개시시킨다.
센서 컨트롤러(10)는 그 계측 지령 출력을 받으면, CCD 리니어 센서(5)가 출력하는 웨이퍼 에지 신호를 웨이퍼 에지 검출부(12)가 수취하여, 데이터 수수부(16)를 통해서 웨이퍼 에지 검출값을 시스템 컨트롤러(17)에 출력한다.
시스템 컨트롤러(17)는 수취한 그 웨이퍼 에지 검출값과 계측 회전 위치를 메모리(18)에 격납하여, 웨이퍼(1)가 1회전 이상일 때까지, 동일한 동작을 반복하여 웨이퍼 1둘레분의 외주 데이터를 메모리(18)에 기록한다. 이 메모리(18)에 기록된 웨이퍼 1둘레분의 외주 데이터를 기초로 CPU(19)에 의해서 웨이퍼(1)의 중심 위치와, 오리엔테이션 플랫 또는 노치 위치가 구해진다.
그런데 종래 기술에 의하면, 테이블(4)을 회전시켜서 인코더(3)의 신호를 인코더 신호 처리부(21)에서 계측하여, 소정의 회전 위치가 되었는지의 여부를 판단하기 위해서는, 시스템 컨트롤러(17)가 계측 포인트와 동일 수의 계측 위치 정보를 메모리(18)에 격납할 필요가 있고, CPU(19)가 격납된 계측 위치 정보와 인코더(3)로부터 얻어지는 회전 위치 정보를 항상 감시하여 비교하지 않으면 안된다.
또, 테이블(4)의 회전 불균일 등의 원인에 의해, 소정의 계측 위치에서 인코더(3)의 신호를 계측한 값이 변화해 버려서, 몇번이나 동일 계측 위치에서 계측해 버린다는 사태에 빠지기 쉽다. 이 때문에, 소형화, 저 비용화, 시스템의 효율화, 측정의 고속화 등을 할 수 없고, 웨이퍼의 대구경화와 스루풋의 향상을 도모하는 데에 있어서 큰 문제점이 되고 있었다.
본 발명은, 반도체 제조 장치에서 사용되고, 대략 원형의 반도체 웨이퍼의 위치와 오리엔테이션 플랫, 노치 등의 위치를 검출하거나, 위치 결정을 하는 프리얼라인먼트 장치에 관한 것이다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 3은 본 발명의 인코더 처리부를 설명하는 타임 챠트이다.
도 4는 종래의 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치의 구성을 도시하는 블록도이다.
그래서 본 발명은, 인코더 신호 처리부(21)에 기능을 추가함으로써, 웨이퍼(1)가 간단히 소정의 계측 위치가 된 것을 판단하여 센서 컨트롤러(10)에 계측 지령을 출력하고, 계측을 개시시킬 수 있는 장치와 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 문제를 해결하기 위해서, 본원 발명은, 수직 방향의 회전축을 갖는 테이블 상에 대략 원형의 웨이퍼를 유지하여 회전시킬 수 있는 웨이퍼 회전 수단과, 그 웨이퍼 회전 수단의 회전 위치를 검출하여 전기 신호로 변환하는 회전 검출 수단과, 상기 웨이퍼 회전 수단에 유지된 웨이퍼의 둘레 가장자리부에 투광하는 투광 수단과, 직선 형상으로 배치되어 순서가 결정된 다수의 화소로 이루어지고, 전송 펄스 신호에 따라서 첫번째의 화소로부터 순서대로 축적 전하를 독출하여, 전체 화소의 축적 전하를 전기 신호로서 순차적으로 출력하는 CCD 리니어 센서와, 그 CCD 리니어 센서의 신호와 상기 회전 검출 수단의 신호를 받으면, 상기 웨이퍼의 외주에 걸친 다수의 임의의 점에서 반복하여 상기 웨이퍼의 에지 위치를 검출하여 메모리에 격납하고, 그 검출값을 기초로 상기 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 위치와 노치 위치, 중심 위치 중 적어도 하나를 구하는 신호 처리 수단을 구비한 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치에 있어서, 상기 회전 검출 수단의 신호를 수신하여 회전 위치 정보로 변환하는 업다운 카운터와, 상기 검출 수단의 1회전당의 카운트수를 1회전 중에 계측하는 계측 포인트수로 제산한 각도값 정보를 격납하는 계측 각도 설정 레지스터와, 상기 계측 각도 설정 레지스터에 설정한 설정값과 상기 업다운 카운터의 카운트값을 비교하는 비교기를 구비한 것을 특징으로 하는 것이다.
이와 같이 되어 있기 때문에, 웨이퍼가 소정의 계측 위치가 된 것을 간단히 판단할 수 있고, 센서 컨트롤러에게 계측 지령을 출력하여, 계측을 개시시킬 수 있는 것이다.
이하, 본 발명의 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 제1 실시예인 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치의 구성을 도시하는 블록도, 도 3은 본 발명의 인코더 처리부를 설명하는 타임 챠트이다.
도 1에서, 29는 웨이퍼 위치 결정 기구이고, 모터(2)와, 모터(2)로 회전되어 피측정물의 웨이퍼(1)를 유지하는 테이블(4)과, 모터(2)에 연결되어 모터(2)의 회전 위치를 검출하는 인코더(3)로 구성되어 있다. 26은 프리얼라인먼트 센서이고, 측면에서 본 형상이 コ자형인 프레임과, 프레임의 하부에 설치된 광원(7), 광원(7)의 광을 평행하게 하는 렌즈(8), 평행하게 된 광을 수광하는 CCD 리니어 센서(5)로 구성되어 있다. CCD 리니어 센서(5)는 직선 형상으로 배치되어 순서가 결정된 다수의 화소로 이루어지고, 첫번째의 화소로부터 순서대로 스캔하여 광원(7)으로부터의 입사광에 대략 비례한 축적 전하를 독출하여, 전체 화소의 축적 전하를 전기 신호로서 순차적으로 출력한다.
10은 센서 컨트롤러이고, CCD 리니어 센서(5)를 구동하는 CCD 리니어 센서 구동부(11)와, CCD 리니어 센서(5)의 1화소로부터 최종 화소까지 스캔하여 신호가 변화하는 점의 웨이퍼 에지 신호를 검출하는 웨이퍼 에지 검출부(12), 광원(7)의 투광을 ON/OFF 제어하는 발광 구동부(13), 메모리(14), CPU(15), 외부와 신호의 수수를 행하는 데이터 수수부(16)로 구성되어 있다.
17은 시스템 컨트롤러이고, 모터(4)를 회전시키는 모터 지령기(22)와, 인코더 신호 처리부(21), 계측 각도 설정값과 웨이퍼 에지 검출값을 기억하는 메모리(18), CPU(19), 센서 컨트롤러(10)와 신호의 수수를 행하는 데이터 수수부(20)로 구성되어 있다.
인코더 신호 처리부(21)는, 상기 회전 검출 수단의 1회전당의 카운트수를 1회전 중에 계측하는 계측 포인트수로 제산한 각도값 정보를 설정하는 계측 각도 설정 레지스터(21b), 인코더(3)의 회전 위치 신호를 수신하여 정회전시에는 업 카운트하고 역회전시에는 다운 카운트하는 업다운 카운터(21a), 계측 각도 설정 레지스터(21b)의 각도값 정보와 업다운 카운터(21a)에서 얻어진 카운트값이 같다고 판단되면, 계측 지령을 출력하여, 동시에 카운트값을 제로로 클리어하는 비교기(21c)로 구성된다.
CPU(19)는 메모리(18)에 기억되어 있는 계측 각도 설정값과 웨이퍼 에지 검출값으로부터 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫과 노치 위치, 중심 위치의 적어도 하나를 산출하면, 도시하지 않은 웨이퍼 반송 시스템에 지령을 보내어 웨이퍼(1)를 테이블(4) 상에서 반송처로 반송시킨다. 이들의 웨이퍼 위치 결정 기구(29)와 프리얼라인먼트 센서(26), 센서 컨트롤러(10), 시스템 컨트롤러(17)로 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치를 이루고 있다.
이와 같은 구성을 기초로, 본 발명의 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치는 다음과 같이 동작한다.
우선, 시스템 컨트롤러(17)는 회전 검출 수단의 1회전당의 카운트수를 1회전 중에 계측하는 계측 포인트수로 제산한 각도값 정보를 계측 각도 설정 레지스터(21b)에 설정한다.
테이블(4)에 웨이퍼가 존재하지 않을 때에는, 도시하지 않은 웨이퍼 반송 시스템이 테이블(4)에 웨이퍼를 반송한 후, 테이블(4)을 회전시킨다.
인코더 신호 처리부(21)에서, 업다운 카운터(21a)는 회전 위치 신호를 수신하여, 테이블(4)이 정회전할 때에는 업 카운트하고, 역회전할 때에는 다운 카운트하여 카운터값이 증감하여, 회전 위치 정보가 얻어진다. 비교기(21c)는 계측 각도 설정 레지스터(21b)의 설정값과 업다운 카운터(21a)의 카운트값이 같다고 판단한 후 계측 지령을 출력하고, 동시에 카운트값을 제로로 클리어한다.
센서 컨트롤러(10)가 그 계측 지령 출력을 받으면, CCD 리니어 센서(5)가 출력하는 웨이퍼 에지 신호를 웨이퍼 에지 검출부(12)가 수취하여, 데이터 수수부(16)를 통해서 웨이퍼 에지 검출값을 시스템 컨트롤러(17)에 출력한다.
시스템 컨트롤러(17)는 수취한 그 웨이퍼 에지 검출값을 순차적으로 메모리(18)에 격납하고, 웨이퍼(1)가 1회전 이상일 때까지, 동일한 동작을 반복하여 웨이퍼 1둘레분의 외주 데이터를 메모리(18)에 기록한다. 이 메모리(18)에 기록된 웨이퍼 1둘레분의 외주 데이터를 기초로 CPU(19)가 공지의 연산을 하여, 웨이퍼(1)의 중심 위치와 오리엔테이션 플랫 또는 노치 위치가 구해진다.
여기에서 예를 들면 인코더 신호 처리부(21)의 업다운 카운터(21a)는 0으로부터 255까지 업다운 카운트할 수 있는 카운터이고, 계측 각도 설정 레지스터(21b)에 설정값(5)을 설정하였을 때의 타임 챠트를 도 3a, 도 3b에 도시한다.
계측 각도 설정 레지스터(21b)의 설정값과 업다운 카운터(21a)의 카운터값이 같다고 판단한 후, 계측 지령을 출력하는 동시에 카운터값을 제로로 클리어하면, 도 3b에 도시한 바와 같이, 테이블(4)의 회전 불균일 등의 원인에 의해서 테이블(4)이 정회전으로부터 일순간만 역회전해도 동일 계측 포인트에서 계측 지령이 출력된다는 문제는 해소된다.
다음에 제2 실시예에 대해서 도면에 기초하여 설명한다. 도 2는 본 발명의 제2 실시예인 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치의 구성을 도시하는 블록도이다.
도면에서, 제1 실시예와의 구성 상의 차이는, 업다운 카운터(21a), 계측 각도 설정 레지스터(21b), 비교기(21c)로 구성되는 인코더 신호 처리부(21)가 시스템 컨트롤러(17)에 탑재되는 것이 아니라 센서 컨트롤러(10)에 탑재되어 있는 점에 있다.
이와 같은 구성을 기초로, 본 발명의 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치는 다음과 같이 동작한다. 우선, 시스템 컨트롤러(17)는, 회전 검출 수단의 1회전당의 카운트수를 1회전 중에 계측하는 계측 포인트수로 제산한 각도값 정보를 데이터 수수부(20)를 통해서 계측 각도 설정 레지스터(21b)에 설정한다. 테이블(4)에 웨이퍼가 존재하지 않을 때에는, 도시하지 않은 웨이퍼 반송 시스템이 테이블(4)에 웨이퍼를 반송한 후, 테이블(4)을 회전시킨다.
센서 컨트롤러(10)에 탑재되어 있는 인코더 신호 처리부(21)는 다음과 같이 동작한다. 업다운 카운터(21a)가 회전 위치 신호를 수신하면, 테이블(4)이 정회전시에는 업 카운트하고, 역회전시에는 다운 카운트하여 카운트값이 증감하여, 회전 위치 정보가 얻어진다. 비교기(21c)가 계측 각도 설정 레지스터(21b)의 설정값과 업다운 카운터(21a)의 카운트값이 같다고 판단한 후, 계측 지령을 출력하는 동시에 업다운 카운터(21a)가 연속하여 입력되는 인코더(3)의 신호에 대응하기 위해서 카운터값을 제로로 클리어한다.
웨이퍼 에지 검출부(12)는 그 계측 지령 출력을 입력하면, CCD 리니어 센서(5)가 출력하는 웨이퍼 에지 신호를 수취하여, 데이터 수수부(16)를 통해서 웨이퍼 에지 검출값을 시스템 컨트롤러(17)에 출력한다.
시스템 컨트롤러(17)는 수취한 그 웨이퍼 에지 검출값을 순차적으로 메모리(18)에 격납하고, 웨이퍼(1)가 1회전 이상일 때까지, 동일한 동작을 반복하여 웨이퍼 1둘레분의 외주 데이터를 메모리(18)에 기록한다. 이 메모리(18)에 기록된 웨이퍼 1둘레분의 외주 데이터를 기초로 CPU(19)에 의해서 웨이퍼(1)의 중심 위치와, 오리엔테이션 플랫 또는 노치 위치가 구해진다.
본 발명에 의하면, 인코더(3)의 신호를 인코더 신호 처리부(21)에서 계측하여, 소정의 회전 위치가 된 것을 판단하기 위해서, 소정의 계측 위치를 계측 포인트의 수만큼 메모리(18)에 격납하고, CPU(19)에서 격납된 그 계측 위치와 인코더(3)로부터 얻어지는 회전 위치를 항상 감시하여 비교하는 것이 아니라, 인코더 신호 처리부(21)를, 계측 포인트 사이의 간격 각도에 대응한 회전 위치 정보를 설정할 수 있는 계측 각도 설정 레지스터(21b), 인코더(3)의 회전 위치 신호를 처리하여, 정회전시에는 업 카운트하고, 역회전시에는 다운 카운트하는 업다운 카운터(21a), 계측 각도 설정 레지스터(21b)의 설정값과 업다운 카운터(21a)에서 얻어진 회전 위치 정보가 같은 것을 판단한 후 계측 지령을 출력하며, 동시에 상기 업다운 카운터가 연속하여 입력되는 회전 검출 수단의 신호에 대응하기 위해서 상기 카운트값을 제로로 클리어할 수 있는 비교기(21c)로 이루어지는 구성으로 하였기 때문에, 간단한 하드웨어로 구성할 수 있고, CPU의 처리의 부하를 경감할 수 있으며, 메모리를 소 용량화할 수 있다는 효과가 있다.
계측 지령을 출력하는 동시에 카운트값을 제로로 클리어하기 때문에, 테이블(4)의 회전 불균일 등의 원인에 의해, 소정의 계측 위치에서 인코더(3)의 신호를 계측한 값이 변화하여 몇번이나 동일 계측 위치에서 계측하는 경우도 없고, 시스템을 효율화할 수 있으며, 인코더 신호 처리부(21)를 시스템 컨트롤러(17)나 센서 컨트롤러(10)의 어느 쪽에도 탑재할 수 있게 되어, 시스템 구성을 자유롭게 구성할 수 있다는 효과가 있다.

Claims (2)

  1. 수직 방향의 회전축을 갖는 테이블 상에 대략 원형의 웨이퍼를 유지하여 회전시킬 수 있는 웨이퍼 회전 수단과,
    그 웨이퍼 회전 수단의 회전 위치를 검출하여 전기 신호로 변환하는 회전 검출 수단과,
    상기 웨이퍼 회전 수단에 유지된 웨이퍼의 둘레 가장자리부에 투광하는 투광 수단과,
    직선 형상으로 배치되어 순서가 결정된 다수의 화소로 이루어지고, 전송 펄스 신호에 따라서 첫번째의 화소로부터 순서대로 축적 전하를 독출하여, 전체 화소의 축적 전하를 전기 신호로서 순차적으로 출력하는 CCD 리니어 센서와,
    그 CCD 리니어 센서의 신호와 상기 회전 검출 수단의 신호를 받으면, 상기 웨이퍼의 외주에 걸친 다수의 임의의 점에서 반복하여 상기 웨이퍼의 에지 위치를 검출하여 메모리에 격납하고, 그 검출값을 기초로 상기 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 위치와 노치 위치, 중심 위치의 적어도 하나를 구하는 신호 처리 수단을 구비한 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치에 있어서,
    상기 회전 검출 수단의 신호를 수신하여 카운트하는 업다운 카운터와,
    상기 회전 검출 수단의 1회전당의 카운트수를 1회전 중에 계측하는 계측 포인트수로 제산한 각도값 정보를 격납하는 계측 각도 설정 레지스터와,
    상기 계측 각도 설정 레지스터에 설정한 상기 각도값 정보와 상기 업다운 카운터의 카운트값을 비교하는 비교기를 구비한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치.
  2. 수직 방향의 회전축을 갖는 테이블 상에 대략 원형의 웨이퍼를 유지하여 회전시킬 수 있는 웨이퍼 회전 수단과,
    그 웨이퍼 회전 수단의 회전 위치를 검출하여 전기 신호로 변환하는 회전 검출 수단과,
    상기 웨이퍼 회전 수단에 유지된 웨이퍼의 둘레 가장자리부에 투광하는 투광 수단과,
    직선 형상으로 배치되어 순서가 결정된 다수의 화소로 이루어지고, 전송 펄스 신호에 따라서 첫번째의 화소로부터 순서대로 축적 전하를 독출하여, 전체 화소의 축적 전하를 전기 신호로서 순차적으로 출력하는 CCD 리니어 센서와,
    그 CCD 리니어 센서의 신호와 상기 회전 검출 수단의 신호를 받으면, 상기 웨이퍼의 외주에 걸친 다수의 임의의 점에서 반복하여 상기 웨이퍼의 에지 위치를 검출하여 메모리에 격납하고, 그 검출값을 기초로 상기 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 위치와 노치 위치, 중심 위치 중 적어도 하나를 구하는 신호 처리 수단을 구비한 웨이퍼 프리얼라인먼트 장치에서 ,
    상기 회전 검출 수단의 1회전당의 카운트수를 1회전 중에 계측하는 계측 포인트수로 제산한 각도값 정보를 계측 각도 설정 레지스터에 설정하고,
    상기 웨이퍼 회전 수단이 정회전할 때에는 업 카운트하고, 상기 웨이퍼 회전수단이 역회전할 때에는 다운 카운트하는 업다운 카운터에 상기 회전 검출 수단의 신호를 입력하여,
    상기 웨이퍼 회전 수단이 회전하여 카운트값이 증감하여 회전 위치 정보가 얻어지고, 비교기가 계측 각도 설정 레지스터의 설정값과 상기 업다운 카운터에서 얻어진 회전 위치 정보가 같다고 판단되면,
    계측 지령을 출력하는 동시에 상기 카운트값을 제로로 클리어하고,
    상기 웨이퍼의 외주에 걸친 상기 계측 포인트로 반복하여 상기 웨이퍼의 에지 위치를 검출하고,
    그 검출값을 메모리에 격납하고,
    그 검출값을 기초로 상기 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 위치와 노치 위치, 중심 위치 중 적어도 하나를 구하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 프리얼라인먼트 방법.
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