JPH1151627A - ディスク表面検査装置 - Google Patents
ディスク表面検査装置Info
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- JPH1151627A JPH1151627A JP21045297A JP21045297A JPH1151627A JP H1151627 A JPH1151627 A JP H1151627A JP 21045297 A JP21045297 A JP 21045297A JP 21045297 A JP21045297 A JP 21045297A JP H1151627 A JPH1151627 A JP H1151627A
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 32
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 11
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 3
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
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- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ディスク表面を半径方向に主走査しながら回
転させて周方向に副走査して、画素信号を取り込む場合
に、半径方向の外側と内側とでは、単位画素に相当する
実面積が異なるため、欠陥画素の数から欠陥判定する場
合に、その分検査精度が低下した。 【解決手段】 回転するディスク１の表面上方に光学セ
ンサ４を設置し、ディスク１の反射光が光学センサ４に
入力されて得られた画像信号を所定の閾値と比較して画
素単位で良否判定をすると同時に、不良判定された画素
のディスク中心までの距離ｒを算出し、ディスク外径Ｒ
との比ｒ／Ｒを補正係数とし、不良画素のカウント時に
この補正係数を乗算して重み補正をして、そのカウント
値をもとにディスク表面の良否判定を行う。
転させて周方向に副走査して、画素信号を取り込む場合
に、半径方向の外側と内側とでは、単位画素に相当する
実面積が異なるため、欠陥画素の数から欠陥判定する場
合に、その分検査精度が低下した。 【解決手段】 回転するディスク１の表面上方に光学セ
ンサ４を設置し、ディスク１の反射光が光学センサ４に
入力されて得られた画像信号を所定の閾値と比較して画
素単位で良否判定をすると同時に、不良判定された画素
のディスク中心までの距離ｒを算出し、ディスク外径Ｒ
との比ｒ／Ｒを補正係数とし、不良画素のカウント時に
この補正係数を乗算して重み補正をして、そのカウント
値をもとにディスク表面の良否判定を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスク状の被検
査物体の表面を光学センサを用いて光学的に検査する装
置に関する。
査物体の表面を光学センサを用いて光学的に検査する装
置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】従来、ハードディスク
の表面検査を目的として、回転するディスクの表面上方
に光学センサを設置し、光学センサがディスクからの反
射光について、ディスクの半径方向を主走査しながら回
転方向に副走査して画素単位で撮像し、得られた画像信
号を所定の閾値と比較して良否判定をし、不良判定され
た画素数をカウントしてそのカウント値からディスク表
面の判定を行うディスク表面検査装置がある。しかしな
がら、この検査装置は、主走査方向が半径方向であるた
め、ディスクの表面を半径方向の位置にかかわらず、常
に１本の走査ラインとして、各画素の明るさを光量信号
として取り込んでいる。その結果、半径方向の位置によ
って１周長さが異なるにもかかわらず、取り込まれる画
素数は、半径方向内側の位置も外側の位置も同じとな
る。これは、画素の位置によって、取り込まれた画像信
号の判別結果の重みが異なることになる。従来装置で
は、その信号の重みを無視して、ディスクに発生した不
良領域の面積を画素数として取り込み、その大小により
不良領域の有無の判定をしていたため、精度の良い検査
結果が得られないという課題があった。
の表面検査を目的として、回転するディスクの表面上方
に光学センサを設置し、光学センサがディスクからの反
射光について、ディスクの半径方向を主走査しながら回
転方向に副走査して画素単位で撮像し、得られた画像信
号を所定の閾値と比較して良否判定をし、不良判定され
た画素数をカウントしてそのカウント値からディスク表
面の判定を行うディスク表面検査装置がある。しかしな
がら、この検査装置は、主走査方向が半径方向であるた
め、ディスクの表面を半径方向の位置にかかわらず、常
に１本の走査ラインとして、各画素の明るさを光量信号
として取り込んでいる。その結果、半径方向の位置によ
って１周長さが異なるにもかかわらず、取り込まれる画
素数は、半径方向内側の位置も外側の位置も同じとな
る。これは、画素の位置によって、取り込まれた画像信
号の判別結果の重みが異なることになる。従来装置で
は、その信号の重みを無視して、ディスクに発生した不
良領域の面積を画素数として取り込み、その大小により
不良領域の有無の判定をしていたため、精度の良い検査
結果が得られないという課題があった。
【０００３】
【課題を解決するための手段】そこで上記課題を解決す
るために、本発明は、回転するディスクの表面上方に光
学センサを設置し、光学センサがディスクからの反射光
について、ディスクの半径方向を主走査しながら回転方
向に副走査して画素単位で撮像し、得られた画像信号を
所定の閾値と比較して良否判定をし、不良判定された画
素数をカウントしてそのカウント値からディスク表面の
判定を行うディスク表面検査装置において、不良判定さ
れた画素の位置座標を用いてその画素のディスク中心ま
での距離ｒを算出するとともにディスク外径Ｒとの比ｒ
／Ｒを補正係数として算出する手段と、不良画素のカウ
ント時に補正係数ｒ／Ｒを乗算して重み補正をする手段
とを備えたことを特徴とする。
るために、本発明は、回転するディスクの表面上方に光
学センサを設置し、光学センサがディスクからの反射光
について、ディスクの半径方向を主走査しながら回転方
向に副走査して画素単位で撮像し、得られた画像信号を
所定の閾値と比較して良否判定をし、不良判定された画
素数をカウントしてそのカウント値からディスク表面の
判定を行うディスク表面検査装置において、不良判定さ
れた画素の位置座標を用いてその画素のディスク中心ま
での距離ｒを算出するとともにディスク外径Ｒとの比ｒ
／Ｒを補正係数として算出する手段と、不良画素のカウ
ント時に補正係数ｒ／Ｒを乗算して重み補正をする手段
とを備えたことを特徴とする。
【０００４】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は、本発明をハードディスクの表面
の検査装置に適用した場合の実施形態の構成を概念的に
示したブロック図である。図において、１は検査対象の
ハードディスクであり、ターンテーブル２に載置されて
いる。また、ハードディスク１の表面上方には、検査デ
ィスク１を照射する光源３とその反射光を受光するリニ
アイメージセンサ４が配設されている。
態を説明する。図１は、本発明をハードディスクの表面
の検査装置に適用した場合の実施形態の構成を概念的に
示したブロック図である。図において、１は検査対象の
ハードディスクであり、ターンテーブル２に載置されて
いる。また、ハードディスク１の表面上方には、検査デ
ィスク１を照射する光源３とその反射光を受光するリニ
アイメージセンサ４が配設されている。
【０００５】センサ４は、反射光の光軸延長上であっ
て、しかもその長手方向をディスク半径方向と平行にし
て配設されており、センサ４により検出された反射光の
光量を表す信号ａは、画像信号判別手段５へ送られる。
また、このとき、光量信号ａの出力と同時に、光量信号
ａが示す画素のディスク半径方向の位置座標ｂが、補正
手段７へ送られる。画像信号判別手段５は、入力された
光量信号ａを、画素単位で、予め設定されている閾値と
比較し、閾値を越えている場合は、不良画素検出信号ｃ
を不良画素計数手段６へ送る。
て、しかもその長手方向をディスク半径方向と平行にし
て配設されており、センサ４により検出された反射光の
光量を表す信号ａは、画像信号判別手段５へ送られる。
また、このとき、光量信号ａの出力と同時に、光量信号
ａが示す画素のディスク半径方向の位置座標ｂが、補正
手段７へ送られる。画像信号判別手段５は、入力された
光量信号ａを、画素単位で、予め設定されている閾値と
比較し、閾値を越えている場合は、不良画素検出信号ｃ
を不良画素計数手段６へ送る。
【０００６】一方、補正手段７は、入力された位置座標
ｂから、その画素位置のディスク中心からの距離ｒを算
出し、距離ｒと既知の被検査ディスク１の外径Ｒとの比
ｒ／Ｒを算出し、補正係数として保持しておく。次に、
不良画素計数手段６は、不良画素検出信号ｃが入力され
ると、補正手段７により、補正係数ｒ／Ｒが乗算されて
重み付け補正がされてからカウントされ、その補正カウ
ント値ｅが表面欠陥判定手段８へ送られる。ここで、例
えば、ディスクの最外周部で不良画素が検出された場合
は、ｒがＲであるから、補正係数がＲ／Ｒ＝１となり、
１がカウントされる。また、外径と中心の中間の位置で
不良画素が検出された場合は、ｒがＲ／２であるから、
補正係数が０．５となり、０．５がカウントされる。
ｂから、その画素位置のディスク中心からの距離ｒを算
出し、距離ｒと既知の被検査ディスク１の外径Ｒとの比
ｒ／Ｒを算出し、補正係数として保持しておく。次に、
不良画素計数手段６は、不良画素検出信号ｃが入力され
ると、補正手段７により、補正係数ｒ／Ｒが乗算されて
重み付け補正がされてからカウントされ、その補正カウ
ント値ｅが表面欠陥判定手段８へ送られる。ここで、例
えば、ディスクの最外周部で不良画素が検出された場合
は、ｒがＲであるから、補正係数がＲ／Ｒ＝１となり、
１がカウントされる。また、外径と中心の中間の位置で
不良画素が検出された場合は、ｒがＲ／２であるから、
補正係数が０．５となり、０．５がカウントされる。
【０００７】すなわち、不良画素検出信号ｃが入力され
ると、その画素についての補正係数ｒ／Ｒが順に加算さ
れることになる。次に、表面欠陥判定手段８は、入力さ
れた補正カウント値ｅを、予め設定されている欠陥判定
用の基準値と比較し、基準値以上であれば欠陥と判定
し、表面欠陥判定信号ｆを出力する。なお、不良画素計
数手段６では、不良画素が入力されると、その位置座標
に基づき公知のアルゴリズムからなる連結処理を実行
し、連結された不良画素のみを選択してカウントするこ
とができる。
ると、その画素についての補正係数ｒ／Ｒが順に加算さ
れることになる。次に、表面欠陥判定手段８は、入力さ
れた補正カウント値ｅを、予め設定されている欠陥判定
用の基準値と比較し、基準値以上であれば欠陥と判定
し、表面欠陥判定信号ｆを出力する。なお、不良画素計
数手段６では、不良画素が入力されると、その位置座標
に基づき公知のアルゴリズムからなる連結処理を実行
し、連結された不良画素のみを選択してカウントするこ
とができる。
【０００８】また、表面欠陥判定手段８は、不良画素計
数手段６における連結処理の結果をもとに、不良画素に
より連続して形成される領域の面積値について不良判定
を行うことも、また、領域が線状であればその長さにに
ついて不良判定を行うことも可能である。なお、上述し
た各処理手段５〜８は、専用の処理回路により構成する
ことも可能であり、またマイクロコンピュータその他の
計算機システムにより実現することも可能である。
数手段６における連結処理の結果をもとに、不良画素に
より連続して形成される領域の面積値について不良判定
を行うことも、また、領域が線状であればその長さにに
ついて不良判定を行うことも可能である。なお、上述し
た各処理手段５〜８は、専用の処理回路により構成する
ことも可能であり、またマイクロコンピュータその他の
計算機システムにより実現することも可能である。
【０００９】図２は、図１の補正手段７における補正処
理の説明図である。図示されたディスク１が回転してい
る間に、センサ４に入力されて検出されるディスク１表
面は、扇形となる。そのためセンサ４が検出する単位画
素当たりディスク表面の面積が異なる。すなわち、ディ
スク１の外径をＲ（ｍｍ）、検出点のディスク中心Ｏか
らの距離をｒ（ｍｍ）とし、１周当たりのセンサ４の走
査数をＮ本とし、径方向の解像度をＰ（ｍｍ／画素）と
すると、検出点の１画素当たりの面積ｓは、次式のよう
になる。
理の説明図である。図示されたディスク１が回転してい
る間に、センサ４に入力されて検出されるディスク１表
面は、扇形となる。そのためセンサ４が検出する単位画
素当たりディスク表面の面積が異なる。すなわち、ディ
スク１の外径をＲ（ｍｍ）、検出点のディスク中心Ｏか
らの距離をｒ（ｍｍ）とし、１周当たりのセンサ４の走
査数をＮ本とし、径方向の解像度をＰ（ｍｍ／画素）と
すると、検出点の１画素当たりの面積ｓは、次式のよう
になる。
【００１０】
【数１】ｓ≒Ｐ・２πｒ／Ｎ
【００１１】また、この面積ｓはディスク中心Ｏからの
距離ｒによって変化する。すなわち、同一面積のＳを持
つ欠陥であっても、検出位置ｒ1での画素数Ｓp1と、検
出位置ｒ2での画素数Ｓp2はそれぞれ次のようになる。
距離ｒによって変化する。すなわち、同一面積のＳを持
つ欠陥であっても、検出位置ｒ1での画素数Ｓp1と、検
出位置ｒ2での画素数Ｓp2はそれぞれ次のようになる。
【００１２】
【数２】 Ｓp1＝Ｓ／Ｓ（ｒ1）＝ＮＳ／（Ｐ・２πｒ1） Ｓp2＝Ｓ／Ｓ（ｒ2）＝ＮＳ／（Ｐ・２πｒ2）
【００１３】すなわち、画素数Ｓp1と画素数Ｓp1の関係
は、次のようになる。
は、次のようになる。
【００１４】
【数３】Ｓp1：Ｓp2＝ｒ1：ｒ2
【００１５】そこで、画素換算の面積Ｓpに検出位置ｒ
による補正処理をして次式のようになる面積Ｓp’を用
いなければ検出の精度が一定にならない。
による補正処理をして次式のようになる面積Ｓp’を用
いなければ検出の精度が一定にならない。
【００１６】
【数４】Ｓp’＝（Ｒ／ｒ）・Ｓp
【００１７】その結果、図１の補正手段７は、ｒ／Ｒを
補正係数として用いて、それぞれのカウントの際にカウ
ント値を補正する。なお、補正係数ｒ／Ｒのディスク外
径Ｒについては、被検査ディスクにより一定であるた
め、Ｒ＝１として、単にｒのみを補正係数として演算処
理することも可能である。これらの補正処理の結果、不
良判定された画素をカウントする際に、半径方向の位置
に応じた重み付け補正がされるため、その該当する不良
領域の実際の面積に対応した画素数がカウントされるこ
とになり、面積の大小による判定結果が正確になり、装
置の検査精度が向上する。
補正係数として用いて、それぞれのカウントの際にカウ
ント値を補正する。なお、補正係数ｒ／Ｒのディスク外
径Ｒについては、被検査ディスクにより一定であるた
め、Ｒ＝１として、単にｒのみを補正係数として演算処
理することも可能である。これらの補正処理の結果、不
良判定された画素をカウントする際に、半径方向の位置
に応じた重み付け補正がされるため、その該当する不良
領域の実際の面積に対応した画素数がカウントされるこ
とになり、面積の大小による判定結果が正確になり、装
置の検査精度が向上する。
【００１８】なお、上述した実施形態は、光学センサと
して、ディスクの半径方向を一度に走査できるリニアイ
メージセンサ４を用いたが、リニアイメージセンサ４を
用いないで、検査ポイントを画素単位で撮像する光学セ
ンサを用いる装置に適用することも可能であり、その場
合は、半径方向の走査をするために、ターンテーブル２
を半径方向に駆動する駆動機構を設置した構成とする。
して、ディスクの半径方向を一度に走査できるリニアイ
メージセンサ４を用いたが、リニアイメージセンサ４を
用いないで、検査ポイントを画素単位で撮像する光学セ
ンサを用いる装置に適用することも可能であり、その場
合は、半径方向の走査をするために、ターンテーブル２
を半径方向に駆動する駆動機構を設置した構成とする。
【００１９】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、ディ
スク表面を撮像して得られた画素単位の不良判定結果を
カウントする際に、その不良画素の半径方向の位置に応
じて重み補正をすることで、不良領域の面積に正確に比
例したカウント値が得られ、ディスク全体の良否判定の
精度が向上する。
スク表面を撮像して得られた画素単位の不良判定結果を
カウントする際に、その不良画素の半径方向の位置に応
じて重み補正をすることで、不良領域の面積に正確に比
例したカウント値が得られ、ディスク全体の良否判定の
精度が向上する。
【図１】本発明の実施形態の構成を概念的に示したブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】図１の補正手段における補正処理の説明図であ
る。
る。
１ 検査対象ハードディスク ２ ターンテーブル ３ 光源 ４ リニアイメージセンサ ５ 画像信号判別手段 ６ 不良画素計数手段 ７ 補正手段 ８ 表面欠陥判定手段
フロントページの続き (72)発明者 吉田 收志 東京都日野市富士町１番地 富士ファコム 制御株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 回転するディスクの表面上方に光学セン
サを設置し、光学センサがディスクからの反射光につい
て、ディスクの半径方向を主走査しながら回転方向に副
走査して画素単位で撮像し、得られた画像信号を所定の
閾値と比較して良否判定をし、不良判定された画素数を
カウントしてそのカウント値からディスク表面の判定を
行うディスク表面検査装置において、 不良判定された画素の位置座標を用いてその画素のディ
スク中心までの距離ｒを算出するとともにディスク外径
Ｒとの比ｒ／Ｒを補正係数として算出する手段と、 不良画素のカウント時に補正係数ｒ／Ｒを乗算して重み
補正をする手段と、 を備えたことを特徴とするディスク表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21045297A JPH1151627A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | ディスク表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21045297A JPH1151627A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | ディスク表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1151627A true JPH1151627A (ja) | 1999-02-26 |
Family
ID=16589575
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21045297A Withdrawn JPH1151627A (ja) | 1997-08-05 | 1997-08-05 | ディスク表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1151627A (ja) |
-
1997
- 1997-08-05 JP JP21045297A patent/JPH1151627A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |