JPH1137741A - ハードディスク表面検査装置 - Google Patents
ハードディスク表面検査装置Info
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- JPH1137741A JPH1137741A JP19270397A JP19270397A JPH1137741A JP H1137741 A JPH1137741 A JP H1137741A JP 19270397 A JP19270397 A JP 19270397A JP 19270397 A JP19270397 A JP 19270397A JP H1137741 A JPH1137741 A JP H1137741A
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- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims abstract description 27
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 abstract description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 abstract 2
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
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- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 線状に延びたまたは面状に拡がった表面の欠
陥も確実に検出することを可能にする。 【解決手段】 点状、線状、面状の欠陥を判定するため
の反射率パラメータ閾値ｄ〜ｆ、線状、面状の欠陥を判
定するための画素数閾値ｓ，ｔを、それぞれ予め設定し
て記憶手段９〜１１，１６，２１に格納しておき、ハー
ドディスク１の表面を照射して得られた画素単位の反射
率パラメータｃを、閾値ｄ〜ｆと比較して、点状、線
状、面状の欠陥画素であるか否かを判別し、線状または
面状の欠陥画素である場合は、さらにその連続画素数を
カウントし、その個数をそれぞれの画素数閾値ｓ，ｔと
比較して欠陥の有無を判定する。
陥も確実に検出することを可能にする。 【解決手段】 点状、線状、面状の欠陥を判定するため
の反射率パラメータ閾値ｄ〜ｆ、線状、面状の欠陥を判
定するための画素数閾値ｓ，ｔを、それぞれ予め設定し
て記憶手段９〜１１，１６，２１に格納しておき、ハー
ドディスク１の表面を照射して得られた画素単位の反射
率パラメータｃを、閾値ｄ〜ｆと比較して、点状、線
状、面状の欠陥画素であるか否かを判別し、線状または
面状の欠陥画素である場合は、さらにその連続画素数を
カウントし、その個数をそれぞれの画素数閾値ｓ，ｔと
比較して欠陥の有無を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記憶装置の記
録担体に用いられる金属製ディスクいわゆるハードディ
スクの表面を光学的に検査するハードディスク表面検査
装置に関する。
録担体に用いられる金属製ディスクいわゆるハードディ
スクの表面を光学的に検査するハードディスク表面検査
装置に関する。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】本出願人は、すでに、
特願平８−１２６３６２号として、ハードディスク表面
検査装置を提案している。この装置は、ハードディスク
表面に光度分布を有する光源を照射し、その反射光と光
源を比較処理して得られる反射パラメータを用いて、画
素単位で表面の良否を判定することができる。ところ
で、検査対象とする実際のハードディスク表面の不良項
目としては、点状の不良、スクラッチ傷のような線状の
不良、油汚れ等の面状の不良がある。そのため、画素単
位で反射パラメータの値を閾値と比較しただけでは、そ
れらの様々な表面不良に対して的確な判定ができないこ
とが多い。そこで、不良の多様性に応じた良否判定をす
ることが可能なハードディスク表面検査装置の開発が望
まれていた。
特願平８−１２６３６２号として、ハードディスク表面
検査装置を提案している。この装置は、ハードディスク
表面に光度分布を有する光源を照射し、その反射光と光
源を比較処理して得られる反射パラメータを用いて、画
素単位で表面の良否を判定することができる。ところ
で、検査対象とする実際のハードディスク表面の不良項
目としては、点状の不良、スクラッチ傷のような線状の
不良、油汚れ等の面状の不良がある。そのため、画素単
位で反射パラメータの値を閾値と比較しただけでは、そ
れらの様々な表面不良に対して的確な判定ができないこ
とが多い。そこで、不良の多様性に応じた良否判定をす
ることが可能なハードディスク表面検査装置の開発が望
まれていた。
【０００３】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、ハードディスク表面上方に光源
とセンサを設置しておき、ハードディスクを回転させな
がら光源からハードディスク表面を照射してその反射光
をセンサに入射させて検出し、得られた反射光を照射光
と比較処理することにより画素単位で反射率パラメータ
を算出し、次いでその反射率パラメータを予め設定され
ている閾値と比較して欠陥の有無を判定するハードディ
スク表面検査装置において、線状の欠陥を判定するため
の反射率パラメータ閾値および画素数閾値を格納した記
憶手段と、画素ごとに反射率パラメータを前記線状欠陥
判定用の反射率パラメータ閾値と比較して、閾値を越え
た場合にその画素を線状欠陥画素と判定する手段と、線
状欠陥と判定された画素の位置座標を順に記憶し、線状
欠陥画素が一方向に連続する線分を形成した場合にその
線状欠陥画素の数をカウントする手段と、カウントされ
た線状欠陥画素数を画素数閾値と比較して、閾値を越え
た場合にその領域を線状欠陥と判別してその判別結果を
出力する手段とを備えたことを特徴とする。
に、請求項１の発明は、ハードディスク表面上方に光源
とセンサを設置しておき、ハードディスクを回転させな
がら光源からハードディスク表面を照射してその反射光
をセンサに入射させて検出し、得られた反射光を照射光
と比較処理することにより画素単位で反射率パラメータ
を算出し、次いでその反射率パラメータを予め設定され
ている閾値と比較して欠陥の有無を判定するハードディ
スク表面検査装置において、線状の欠陥を判定するため
の反射率パラメータ閾値および画素数閾値を格納した記
憶手段と、画素ごとに反射率パラメータを前記線状欠陥
判定用の反射率パラメータ閾値と比較して、閾値を越え
た場合にその画素を線状欠陥画素と判定する手段と、線
状欠陥と判定された画素の位置座標を順に記憶し、線状
欠陥画素が一方向に連続する線分を形成した場合にその
線状欠陥画素の数をカウントする手段と、カウントされ
た線状欠陥画素数を画素数閾値と比較して、閾値を越え
た場合にその領域を線状欠陥と判別してその判別結果を
出力する手段とを備えたことを特徴とする。
【０００４】請求項２の発明は、請求項１の発明におい
て、面状の欠陥を判定するための反射率パラメータ閾値
および画素数閾値を格納した記憶手段と、画素ごとに反
射率パラメータを前記面状欠陥判定用の反射率パラメー
タ閾値と比較して、閾値を越えた場合にその画素を面状
欠陥画素と判別する手段と、面状欠陥と判別された画素
の位置座標を順に記憶し、面状欠陥画素がＸ，Ｙ方向に
連続する面領域を形成した場合にその面状欠陥画素の数
をカウントする手段と、カウントされた面状欠陥画素数
を画素数閾値と比較して、閾値を越えた場合にその領域
を面状欠陥と判別してその判別結果を出力する手段とを
備えたことを特徴とする。
て、面状の欠陥を判定するための反射率パラメータ閾値
および画素数閾値を格納した記憶手段と、画素ごとに反
射率パラメータを前記面状欠陥判定用の反射率パラメー
タ閾値と比較して、閾値を越えた場合にその画素を面状
欠陥画素と判別する手段と、面状欠陥と判別された画素
の位置座標を順に記憶し、面状欠陥画素がＸ，Ｙ方向に
連続する面領域を形成した場合にその面状欠陥画素の数
をカウントする手段と、カウントされた面状欠陥画素数
を画素数閾値と比較して、閾値を越えた場合にその領域
を面状欠陥と判別してその判別結果を出力する手段とを
備えたことを特徴とする。
【０００５】請求項３の発明は、請求項１または請求項
２の発明において、面状欠陥または／および線状欠陥と
判別された画素の位置座標を用いてその画素のディスク
中心までの距離ｒを算出する手段と、ディスク外周の半
径をＲoとし、カウントされた欠陥画素数に補正係数ｒ
／Ｒoを乗じて補正する手段とを備えたことを特徴とす
る。
２の発明において、面状欠陥または／および線状欠陥と
判別された画素の位置座標を用いてその画素のディスク
中心までの距離ｒを算出する手段と、ディスク外周の半
径をＲoとし、カウントされた欠陥画素数に補正係数ｒ
／Ｒoを乗じて補正する手段とを備えたことを特徴とす
る。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図に沿って本発明の実施形
態を説明する。図１は請求項１および請求項２の発明の
実施形態の構成を概念的に示したブロック図である。図
において、１は検査対象のハードディスクであり、ター
ンテーブル２に載置されている。また、ハードディスク
１の表面上方には、検査ディスク１を照射する光源３と
その反射光を受光するリニアイメージセンサ４が配設さ
れている。この光源３は、光軸と直交する方向に中心が
明るく外方が暗い光度分布を有している。
態を説明する。図１は請求項１および請求項２の発明の
実施形態の構成を概念的に示したブロック図である。図
において、１は検査対象のハードディスクであり、ター
ンテーブル２に載置されている。また、ハードディスク
１の表面上方には、検査ディスク１を照射する光源３と
その反射光を受光するリニアイメージセンサ４が配設さ
れている。この光源３は、光軸と直交する方向に中心が
明るく外方が暗い光度分布を有している。
【０００７】センサ４は、反射光の光軸延長上であっ
て、しかもその長手方向をディスク半径方向と平行にし
て複数個配設されており、各センサ４により検出された
反射光のレベル信号ａは、反射率パラメータ算出手段５
へ送られる。反射率パラメータ算出手段５は、入力され
た信号ａから反射光の受光量の分布パターンを画素単位
で作成し、その受光量分布パターンと光源３の光量分布
パターンとを比較して反射率パラメータｃを求めて、点
状欠陥画素判別手段６、線状欠陥画素判別手段７、面状
欠陥画素判別手段８へ出力する。
て、しかもその長手方向をディスク半径方向と平行にし
て複数個配設されており、各センサ４により検出された
反射光のレベル信号ａは、反射率パラメータ算出手段５
へ送られる。反射率パラメータ算出手段５は、入力され
た信号ａから反射光の受光量の分布パターンを画素単位
で作成し、その受光量分布パターンと光源３の光量分布
パターンとを比較して反射率パラメータｃを求めて、点
状欠陥画素判別手段６、線状欠陥画素判別手段７、面状
欠陥画素判別手段８へ出力する。
【０００８】点状欠陥画素判別手段６は、画素単位で入
力される反射率パラメータｃを、点状欠陥判別用反射率
パラメータ閾値記憶手段９に予め格納されている閾値ｄ
と比較して、閾値ｄを越えた場合は、その画素が点状の
欠陥を有するものと判別して、点状欠陥判定信号ｇを出
力する。この点状欠陥画素判別手段６の動作までは、従
来装置で実現されている検査方法である。線状欠陥画素
判別手段７は、画素単位で入力される反射率パラメータ
ｃを、線状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段１
０に予め格納されている閾値ｅと比較して、閾値ｅを越
えた場合は、その画素が線状の欠陥を有するものと判別
して、線状欠陥検出信号ｈを、線状欠陥画素位置座標記
憶手段１２へ送る。
力される反射率パラメータｃを、点状欠陥判別用反射率
パラメータ閾値記憶手段９に予め格納されている閾値ｄ
と比較して、閾値ｄを越えた場合は、その画素が点状の
欠陥を有するものと判別して、点状欠陥判定信号ｇを出
力する。この点状欠陥画素判別手段６の動作までは、従
来装置で実現されている検査方法である。線状欠陥画素
判別手段７は、画素単位で入力される反射率パラメータ
ｃを、線状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段１
０に予め格納されている閾値ｅと比較して、閾値ｅを越
えた場合は、その画素が線状の欠陥を有するものと判別
して、線状欠陥検出信号ｈを、線状欠陥画素位置座標記
憶手段１２へ送る。
【０００９】記憶手段１２は、線状欠陥検出信号ｈが入
力されると、それに同期して、リニアセンサ４等から得
られる欠陥画素の位置座標ｂを順に記憶していく。同時
に、この記憶手段１２は、線状欠陥画素カウント手段１
３により監視され、記憶手段１２に記憶された欠陥画素
の位置が互いに線状に連続していく場合にその個数をカ
ウントする。ここで、カウント手段１３が欠陥画素をカ
ウントする場合に、その画素のディスク１上の半径方向
の位置によって重みが違うため、補正手段１４が該当画
素の位置に応じた補正係数ｍを用いて、カンウト値を補
正する。
力されると、それに同期して、リニアセンサ４等から得
られる欠陥画素の位置座標ｂを順に記憶していく。同時
に、この記憶手段１２は、線状欠陥画素カウント手段１
３により監視され、記憶手段１２に記憶された欠陥画素
の位置が互いに線状に連続していく場合にその個数をカ
ウントする。ここで、カウント手段１３が欠陥画素をカ
ウントする場合に、その画素のディスク１上の半径方向
の位置によって重みが違うため、補正手段１４が該当画
素の位置に応じた補正係数ｍを用いて、カンウト値を補
正する。
【００１０】次いで、補正されたカウント値ｐは、線状
欠陥判定手段１５へ送られる。判定手段１５は、入力さ
れたカウント値ｐを、線状欠陥判別用画素数閾値記憶手
段１６に予め格納されている閾値ｓと比較し、閾値ｓを
越えた場合は、その画素列が線状の欠陥を有するものと
判別して、線状欠陥判定信号ｕを出力する。面状欠陥画
素判別手段８は、画素単位で入力される反射率パラメー
タｃを、面状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段
１１に予め格納されている閾値ｆと比較して、閾値ｆを
越えた場合は、その画素が面状の欠陥を有するものと判
別して、面状欠陥検出信号ｉを、面状欠陥画素位置座標
記憶手段１７へ送る。
欠陥判定手段１５へ送られる。判定手段１５は、入力さ
れたカウント値ｐを、線状欠陥判別用画素数閾値記憶手
段１６に予め格納されている閾値ｓと比較し、閾値ｓを
越えた場合は、その画素列が線状の欠陥を有するものと
判別して、線状欠陥判定信号ｕを出力する。面状欠陥画
素判別手段８は、画素単位で入力される反射率パラメー
タｃを、面状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段
１１に予め格納されている閾値ｆと比較して、閾値ｆを
越えた場合は、その画素が面状の欠陥を有するものと判
別して、面状欠陥検出信号ｉを、面状欠陥画素位置座標
記憶手段１７へ送る。
【００１１】記憶手段１７は、面状欠陥検出信号が入力
されると、それに同期して、リニアセンサ４等から得ら
れる欠陥画素の位置座標ｂを順に記憶していく。同時
に、この記憶手段１７は、面状欠陥画素カウント手段１
８により監視され、記憶手段１７に記憶された欠陥画素
の位置が互いに面状に連続していく場合にその個数をカ
ウントする。ここで、カウント手段１８が欠陥画素をカ
ウントする場合に、その画素のディスク１上の半径方向
の位置によって重みが違うため、補正手段１９が該当画
素の位置に応じた補正係数ｎを用いて、カンウト値を補
正する。
されると、それに同期して、リニアセンサ４等から得ら
れる欠陥画素の位置座標ｂを順に記憶していく。同時
に、この記憶手段１７は、面状欠陥画素カウント手段１
８により監視され、記憶手段１７に記憶された欠陥画素
の位置が互いに面状に連続していく場合にその個数をカ
ウントする。ここで、カウント手段１８が欠陥画素をカ
ウントする場合に、その画素のディスク１上の半径方向
の位置によって重みが違うため、補正手段１９が該当画
素の位置に応じた補正係数ｎを用いて、カンウト値を補
正する。
【００１２】次いで、補正されたカウント値ｑは、面状
欠陥判定手段２０へ送られる。判定手段２０は、入力さ
れたカウント値ｑを、面状欠陥判別用画素数閾値記憶手
段２１に予め格納されている閾値ｔと比較し、閾値ｔを
越えた場合は、その画素領域が面状の欠陥を有するもの
と判別して、面状欠陥判定信号ｖを出力する。なお、上
述した各処理手段５〜２１は、専用の処理回路により構
成することも可能であり、またマイクロコンピュータそ
の他の計算機システムにより実現することも可能であ
る。
欠陥判定手段２０へ送られる。判定手段２０は、入力さ
れたカウント値ｑを、面状欠陥判別用画素数閾値記憶手
段２１に予め格納されている閾値ｔと比較し、閾値ｔを
越えた場合は、その画素領域が面状の欠陥を有するもの
と判別して、面状欠陥判定信号ｖを出力する。なお、上
述した各処理手段５〜２１は、専用の処理回路により構
成することも可能であり、またマイクロコンピュータそ
の他の計算機システムにより実現することも可能であ
る。
【００１３】図２は、本発明において、検出される欠陥
の種類を模式的に示した図である。図２（ａ）は、検査
対象ディスク１上に点状に形成された表面欠陥３１を示
し、図１の点状欠陥画素判別手段６により検出される。
ここでは単独画素だけで発生した場合も検出されるた
め、ノイズ等の影響を考慮して、比較的高いレベルの閾
値が、点状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段９
に設定される。
の種類を模式的に示した図である。図２（ａ）は、検査
対象ディスク１上に点状に形成された表面欠陥３１を示
し、図１の点状欠陥画素判別手段６により検出される。
ここでは単独画素だけで発生した場合も検出されるた
め、ノイズ等の影響を考慮して、比較的高いレベルの閾
値が、点状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段９
に設定される。
【００１４】図２（ｂ）は、検査対象ディスク１上に線
状に形成されたスクラッチ傷等の表面欠陥３２を示し、
図１の線状欠陥画素判別手段７により検出される。ここ
では反射率パラメータのレベルが連続して異常な場合に
検出されるため、ノイズの影響をあまり受けることがな
いので、点状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段
１０には、比較的低いレベルの閾値を設定することがで
きる。それにより、従来装置では、検出が困難であった
反射率の変化の小さいスクラッチ傷等の欠陥についても
検出可能になる。
状に形成されたスクラッチ傷等の表面欠陥３２を示し、
図１の線状欠陥画素判別手段７により検出される。ここ
では反射率パラメータのレベルが連続して異常な場合に
検出されるため、ノイズの影響をあまり受けることがな
いので、点状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段
１０には、比較的低いレベルの閾値を設定することがで
きる。それにより、従来装置では、検出が困難であった
反射率の変化の小さいスクラッチ傷等の欠陥についても
検出可能になる。
【００１５】図２（ｃ）は、検査対象ディスク１上に面
状に形成された油汚れ等の表面欠陥３３を示し、図１の
面状欠陥画素判別手段８により検出される。ここでは反
射率パラメータのレベルが面状に連続して異常な場合に
検出されるため、ノイズの影響をあまり受けることがな
いので、面状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段
１１には、比較的低いレベルの閾値を設定することがで
きる。それにより、従来装置では、検出が困難であった
反射率の変化の小さい油汚れ等の欠陥についても検出可
能になる。
状に形成された油汚れ等の表面欠陥３３を示し、図１の
面状欠陥画素判別手段８により検出される。ここでは反
射率パラメータのレベルが面状に連続して異常な場合に
検出されるため、ノイズの影響をあまり受けることがな
いので、面状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段
１１には、比較的低いレベルの閾値を設定することがで
きる。それにより、従来装置では、検出が困難であった
反射率の変化の小さい油汚れ等の欠陥についても検出可
能になる。
【００１６】図３は、図１の補正手段１４，１９におけ
る補正処理の説明図である。図示されたディスク１が回
転している間に、センサ４に入力されて検出されるディ
スク１表面は、扇形となる。そのためセンサ４が検出す
る単位画素当たりディスク表面の面積が異なる。すなわ
ち、ディスク１の外径をＲo、検出点のディスク中心Ｏ
からの距離をｒ（ｍｍ）とし、１周当たりのセンサ４の
走査数をＮ本とし、径方向の解像度をＰ（ｍｍ／画素）
とすると、検出点の１画素当たりの面積ｓは、次式のよ
うになる。
る補正処理の説明図である。図示されたディスク１が回
転している間に、センサ４に入力されて検出されるディ
スク１表面は、扇形となる。そのためセンサ４が検出す
る単位画素当たりディスク表面の面積が異なる。すなわ
ち、ディスク１の外径をＲo、検出点のディスク中心Ｏ
からの距離をｒ（ｍｍ）とし、１周当たりのセンサ４の
走査数をＮ本とし、径方向の解像度をＰ（ｍｍ／画素）
とすると、検出点の１画素当たりの面積ｓは、次式のよ
うになる。
【００１７】ｓ≒Ｐ・２πｒ／Ｎ
【００１８】また、この面積ｓはディスク中心Ｏからの
距離ｒによって変化する。すなわち、同一面積のＳを持
つ欠陥であっても、検出位置ｒ1での画素数Ｓp1と、検
出位置ｒ2での画素数Ｓp2はそれぞれ次のようになる。
距離ｒによって変化する。すなわち、同一面積のＳを持
つ欠陥であっても、検出位置ｒ1での画素数Ｓp1と、検
出位置ｒ2での画素数Ｓp2はそれぞれ次のようになる。
【００１９】 Ｓp1＝Ｓ／Ｓ（ｒ1）＝ＮＳ／（Ｐ・２πｒ1） Ｓp2＝Ｓ／Ｓ（ｒ2）＝ＮＳ／（Ｐ・２πｒ2）
【００２０】すなわち、画素数Ｓp1と画素数Ｓp1の関係
は、次のようになる。
は、次のようになる。
【００２１】Ｓp1：Ｓp2＝ｒ1：ｒ2
【００２２】そこで、画素換算の面積Ｓpに検出位置ｒ
による補正処理をして次式により求められる面積Ｓp’
を用いなければ検出の精度が一定にならない。
による補正処理をして次式により求められる面積Ｓp’
を用いなければ検出の精度が一定にならない。
【００２３】Ｓp’＝（Ｒo／ｒ）・Ｓp
【００２４】その結果、図１の補正手段１４，１９は、
ｒ／Ｒoを補正係数として用いて、それぞれのカウント
値を補正する。これらの補正処理も含め、本発明の実施
形態では、ハードディスク表面のおける不良範囲を考慮
して良否の判定がなされるため、検査精度が向上する。
ｒ／Ｒoを補正係数として用いて、それぞれのカウント
値を補正する。これらの補正処理も含め、本発明の実施
形態では、ハードディスク表面のおける不良範囲を考慮
して良否の判定がなされるため、検査精度が向上する。
【００２５】
【発明の効果】以上述べたように請求項１の発明によれ
ば、線状欠陥を判別するための反射率パラメータ閾値お
よび画素数閾値を格納しておくことで、反射率パラメー
タの値が不良である画素が連続して発生した場合に、線
状の欠陥として検出することが可能となる。
ば、線状欠陥を判別するための反射率パラメータ閾値お
よび画素数閾値を格納しておくことで、反射率パラメー
タの値が不良である画素が連続して発生した場合に、線
状の欠陥として検出することが可能となる。
【００２６】請求項２の発明によれば、さらに、面状欠
陥を判別するための反射率パラメータ閾値および画素数
閾値を格納しておくことで、反射率パラメータの値が不
良である画素が平面上に連続して発生した場合に、面状
の欠陥として検出することが可能となる。
陥を判別するための反射率パラメータ閾値および画素数
閾値を格納しておくことで、反射率パラメータの値が不
良である画素が平面上に連続して発生した場合に、面状
の欠陥として検出することが可能となる。
【００２７】請求項３の発明によれば、上述した線状欠
陥および面状欠陥の判定において、欠陥画素の半径方向
位置に応じてその重みが補正されるため公平な判定がな
される。
陥および面状欠陥の判定において、欠陥画素の半径方向
位置に応じてその重みが補正されるため公平な判定がな
される。
【００２８】このようにして、本発明の実施形態では、
新たに低い反射率パラメータの閾値を設定するとともに
画素の連続を条件としたことで、従来装置では検出でき
なかった線状に延びた、あるいは面状に拡がった軽微な
表面不良の検出を可能にして、判定精度を大幅に向上さ
せることができるようになった。
新たに低い反射率パラメータの閾値を設定するとともに
画素の連続を条件としたことで、従来装置では検出でき
なかった線状に延びた、あるいは面状に拡がった軽微な
表面不良の検出を可能にして、判定精度を大幅に向上さ
せることができるようになった。
【図１】本発明の実施形態の構成を概念的に示したブロ
ック図である。
ック図である。
【図２】本発明において検出される欠陥の種類を模式的
に示した図である。
に示した図である。
【図３】図１の補正手段における補正処理の説明図であ
る。
る。
１ 検査対象ハードディスク ２ ターンテーブル ３ 光源 ４ リニアイメージセンサ ５ 反射率パラメータ算出手段 ６ 点状欠陥画素判別手段 ７ 線状欠陥画素判別手段 ８ 面状欠陥画素判別手段 ９ 点状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段 １０ 線状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段 １１ 面状欠陥判別用反射率パラメータ閾値記憶手段 １２ 線状欠陥画素位置座標記憶手段 １３ 線状欠陥画素カウント手段 １４ 補正手段 １５ 線状欠陥判定手段 １６ 線状欠陥判別用画素数閾値記憶手段 １７ 面状欠陥画素位置座標記憶手段 １８ 面状欠陥画素カウント手段 １９ 補正手段 ２０ 面状欠陥判定手段 ２１ 面状欠陥判別用画素数閾値記憶手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 收志 東京都日野市富士町１番地 富士ファコム 制御株式会社内
Claims (3)
- 【請求項１】 ハードディスク表面上方に光源とセンサ
を設置しておき、ハードディスクを回転させながら光源
からハードディスク表面を照射してその反射光をセンサ
に入射させて検出し、得られた反射光を照射光と比較処
理することにより画素単位で反射率パラメータを算出
し、次いでその反射率パラメータを予め設定されている
閾値と比較して欠陥の有無を判定するハードディスク表
面検査装置において、 線状の欠陥を判定するための反射率パラメータ閾値およ
び画素数閾値を格納した記憶手段と、 画素ごとに反射率パラメータを前記線状欠陥判定用の反
射率パラメータ閾値と比較して、閾値を越えた場合にそ
の画素を線状欠陥画素と判定する手段と、 線状欠陥と判定された画素の位置座標を順に記憶し、線
状欠陥画素が一方向に連続する線分を形成した場合にそ
の線状欠陥画素の数をカウントする手段と、 カウントされた線状欠陥画素数を画素数閾値と比較し
て、閾値を越えた場合にその領域を線状欠陥と判別して
その判別結果を出力する手段と、 を備えたことを特徴とするハードディスク表面検査装
置。 - 【請求項２】 請求項１記載のハードディスク表面検査
装置において、 面状の欠陥を判定するための反射率パラメータ閾値およ
び画素数閾値を格納した記憶手段と、 画素ごとに反射率パラメータを前記面状欠陥判定用の反
射率パラメータ閾値と比較して、閾値を越えた場合にそ
の画素を面状欠陥画素と判別する手段と、 面状欠陥と判別された画素の位置座標を順に記憶し、面
状欠陥画素がＸ，Ｙ方向に連続する面領域を形成した場
合にその面状欠陥画素の数をカウントする手段と、 カウントされた面状欠陥画素数を画素数閾値と比較し
て、閾値を越えた場合にその領域を面状欠陥と判別して
その判別結果を出力する手段と、 を備えたことを特徴とするハードディスク表面検査装
置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２記載のハードデ
ィスク表面検査装置において、 面状欠陥または／および線状欠陥と判別された画素の位
置座標を用いてその画素のディスク中心までの距離ｒを
算出する手段と、 ディスク外周の半径をＲoとし、カウントされた欠陥画
素数に補正係数ｒ／Ｒoを乗じて補正する手段と、 を備えたことを特徴とするハードディスク表面検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19270397A JPH1137741A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | ハードディスク表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19270397A JPH1137741A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | ハードディスク表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1137741A true JPH1137741A (ja) | 1999-02-12 |
Family
ID=16295653
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19270397A Withdrawn JPH1137741A (ja) | 1997-07-17 | 1997-07-17 | ハードディスク表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1137741A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11065513B2 (en) | 2011-11-28 | 2021-07-20 | Acushnet Company | Set of golf club heads and method of manufacture |
-
1997
- 1997-07-17 JP JP19270397A patent/JPH1137741A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11065513B2 (en) | 2011-11-28 | 2021-07-20 | Acushnet Company | Set of golf club heads and method of manufacture |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20041005 |