JPH05322794A - 欠点検査装置 - Google Patents
欠点検査装置Info
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- JPH05322794A JPH05322794A JP4043592A JP4359292A JPH05322794A JP H05322794 A JPH05322794 A JP H05322794A JP 4043592 A JP4043592 A JP 4043592A JP 4359292 A JP4359292 A JP 4359292A JP H05322794 A JPH05322794 A JP H05322794A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 鋼板等の表面に存在するさまざまな状態の欠
点を安定して検出するとともに、正確に検査する。 【構成】 光照射部１ａから照射され、鋼板表面にて反
射角４５°をもって反射した反射光を表面４５°センサ
ー２１ａが受光するとともに、反射角２０°の反射光を
表面２０°センサー２２ａが受光する。これらセンサー
２１ａ，２２ａそれぞれからの受光信号を受信した表面
４５°及び２０°検出ラック３１ａ，３１ｂが欠点によ
る反射光の明るさを判別し、判別結果として検出信号を
出力する。検出信号を受信した表面長さ判別ラック４１
ａが欠点の長さを判別するとともに、密集カウンタ４２
ａが検出信号の数を計数して欠点の密集を判別し、判別
結果が欠点信号として出力される。これらの欠点信号を
表面検査部５ａが組み合わせることにより欠点の種類が
判定され、欠点の種類が監視部６の画面上に表示され
る。
点を安定して検出するとともに、正確に検査する。 【構成】 光照射部１ａから照射され、鋼板表面にて反
射角４５°をもって反射した反射光を表面４５°センサ
ー２１ａが受光するとともに、反射角２０°の反射光を
表面２０°センサー２２ａが受光する。これらセンサー
２１ａ，２２ａそれぞれからの受光信号を受信した表面
４５°及び２０°検出ラック３１ａ，３１ｂが欠点によ
る反射光の明るさを判別し、判別結果として検出信号を
出力する。検出信号を受信した表面長さ判別ラック４１
ａが欠点の長さを判別するとともに、密集カウンタ４２
ａが検出信号の数を計数して欠点の密集を判別し、判別
結果が欠点信号として出力される。これらの欠点信号を
表面検査部５ａが組み合わせることにより欠点の種類が
判定され、欠点の種類が監視部６の画面上に表示され
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ステンレス鋼板等の表
面にて反射した光に基づき欠点を検査する欠点検査装置
に関する。
面にて反射した光に基づき欠点を検査する欠点検査装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の欠点検査装置としては鋼
板表面に光を照射し、この表面にて反射した反射光を１
つの一次元ＣＣＤセンサーが受光するとともに、このセ
ンサーから受光結果として出力される受光信号を弁別処
理することにより欠点の種類（欠点の凹凸状態による反
射光の明るさや欠点の大きさ）を判定して鋼板表面に存
在する欠点を検査するものがある。
板表面に光を照射し、この表面にて反射した反射光を１
つの一次元ＣＣＤセンサーが受光するとともに、このセ
ンサーから受光結果として出力される受光信号を弁別処
理することにより欠点の種類（欠点の凹凸状態による反
射光の明るさや欠点の大きさ）を判定して鋼板表面に存
在する欠点を検査するものがある。
【０００３】また、より正確に欠点の種類を判定するた
め、上記検査装置による検査結果と目視による検査結果
とを照合し、この照合結果に基づき欠点の検査をする装
置もある。
め、上記検査装置による検査結果と目視による検査結果
とを照合し、この照合結果に基づき欠点の検査をする装
置もある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の欠点検査装置では反射光を受光するセンサーが１つ
しかないので、１つのセンサーでは反射角の定まった一
方向の反射光しか受光することができず、反射角の角度
によっては欠点の凹凸状態または大きさにより欠点が存
在しても反射光に変化が生じない場合もあり、さまざま
な状態にある欠点を安定して検出できないという問題点
がある。
来の欠点検査装置では反射光を受光するセンサーが１つ
しかないので、１つのセンサーでは反射角の定まった一
方向の反射光しか受光することができず、反射角の角度
によっては欠点の凹凸状態または大きさにより欠点が存
在しても反射光に変化が生じない場合もあり、さまざま
な状態にある欠点を安定して検出できないという問題点
がある。
【０００５】また、反射角の定まった一方向の反射光を
受光する１つのセンサーでは、特定の凹凸状態により反
射した反射光しか受光することができないので、この反
射光の明るさにより分類される欠点の種類が限定される
こととなり、限定された欠点の種類によっては正確に欠
点の検査をすることができないという問題点もある。そ
こで、本発明は上記問題点に着目してなされたもので、
検査対象物の表面にさまざまな状態で存在する欠点を安
定して検出することができるとともに、正確に検査する
ことができる欠点検査装置を提供することを目的とす
る。
受光する１つのセンサーでは、特定の凹凸状態により反
射した反射光しか受光することができないので、この反
射光の明るさにより分類される欠点の種類が限定される
こととなり、限定された欠点の種類によっては正確に欠
点の検査をすることができないという問題点もある。そ
こで、本発明は上記問題点に着目してなされたもので、
検査対象物の表面にさまざまな状態で存在する欠点を安
定して検出することができるとともに、正確に検査する
ことができる欠点検査装置を提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明では、検査対象物の検査面に光を照射する光照射
手段と、上記検査面からの反射光を受光する受光手段
と、上記受光手段による受光結果に基づき上記検査面に
存在する欠点を検査する欠点検査手段とを有する欠点検
査装置において、上記受光手段は、上記反射光を異なる
反射角毎に受光する複数のセンサーからなるとともに、
上記欠点検査手段は、上記複数のセンサーによる反射角
毎の受光結果の組み合わせ結果に基づき欠点を検査する
ことを特徴とする。
本発明では、検査対象物の検査面に光を照射する光照射
手段と、上記検査面からの反射光を受光する受光手段
と、上記受光手段による受光結果に基づき上記検査面に
存在する欠点を検査する欠点検査手段とを有する欠点検
査装置において、上記受光手段は、上記反射光を異なる
反射角毎に受光する複数のセンサーからなるとともに、
上記欠点検査手段は、上記複数のセンサーによる反射角
毎の受光結果の組み合わせ結果に基づき欠点を検査する
ことを特徴とする。
【０００７】
【作用】本発明では、光照射手段から検査対象物の検査
面に照射された光がこの検査面において異なる反射角を
もって反射する。
面に照射された光がこの検査面において異なる反射角を
もって反射する。
【０００８】この反射光を受光手段である複数のセンサ
ー各々が異なる反射角毎に受光した後、このセンサーか
ら反射角毎の受光結果が欠点検査手段に送出され、欠点
検査手段はこの受光結果を組み合わせた組み合わせ結果
に基づき欠点を検査する。
ー各々が異なる反射角毎に受光した後、このセンサーか
ら反射角毎の受光結果が欠点検査手段に送出され、欠点
検査手段はこの受光結果を組み合わせた組み合わせ結果
に基づき欠点を検査する。
【０００９】
【実施例】以下、本発明に係る欠点検査装置の一実施例
を図面に基づき詳細に説明する。図１は、この検査装置
の機能構成を示したブロック図である。
を図面に基づき詳細に説明する。図１は、この検査装置
の機能構成を示したブロック図である。
【００１０】この図において検査装置は、ステンレス鋼
板等を検査対象物としてこの鋼板表面及び裏面に存在す
る欠点を検査するものであり、その機能部が光照射部１
ａ，１ｂ、受光部２、欠点検出部３、欠点判別部４、表
面及び裏面検査部５ａ，５ｂ、及び監視部６から構成さ
れている。
板等を検査対象物としてこの鋼板表面及び裏面に存在す
る欠点を検査するものであり、その機能部が光照射部１
ａ，１ｂ、受光部２、欠点検出部３、欠点判別部４、表
面及び裏面検査部５ａ，５ｂ、及び監視部６から構成さ
れている。
【００１１】なお、上記各機能部は、鋼板表面と裏面に
存在する欠点を各面別々に検査するよう構成されてお
り、図中表面側の機能部に対してはａの符号、裏面側に
対してはｂの符号を付して区別しているが、その機能は
同じであるため以下の説明においては特に言及しない限
り裏面側の説明を省略する。
存在する欠点を各面別々に検査するよう構成されてお
り、図中表面側の機能部に対してはａの符号、裏面側に
対してはｂの符号を付して区別しているが、その機能は
同じであるため以下の説明においては特に言及しない限
り裏面側の説明を省略する。
【００１２】光照射部１ａは、鋼板表面に光を照射する
ものであり、照射光の鋼板表面における入射角が一定と
なるように光源を設置している。
ものであり、照射光の鋼板表面における入射角が一定と
なるように光源を設置している。
【００１３】受光部２は、光照射部１ａから照射され鋼
板表面にて反射した反射光を異なる反射角毎に受光する
２つの一次元ＣＣＤセンサーから構成されており、この
一次元ＣＣＤセンサーの一方は反射角４５°の反射光を
受光する表面４５°センサー２１ａであり、他方は反射
角２０°の反射光を受光する表面２０°センサー２２ａ
である。
板表面にて反射した反射光を異なる反射角毎に受光する
２つの一次元ＣＣＤセンサーから構成されており、この
一次元ＣＣＤセンサーの一方は反射角４５°の反射光を
受光する表面４５°センサー２１ａであり、他方は反射
角２０°の反射光を受光する表面２０°センサー２２ａ
である。
【００１４】また、裏面側についても同じように、裏面
４５°センサー２１ｂと裏面２０°センサー２２ｂとか
ら構成されており、各センサーからは反射光の明るさに
応答した受光信号が受光結果として出力される。
４５°センサー２１ｂと裏面２０°センサー２２ｂとか
ら構成されており、各センサーからは反射光の明るさに
応答した受光信号が受光結果として出力される。
【００１５】上記光照射部１ａの光源と受光部２の一次
元ＣＣＤセンサーとの鋼板に対する配置状態を表わした
配置図を図２に示す。
元ＣＣＤセンサーとの鋼板に対する配置状態を表わした
配置図を図２に示す。
【００１６】図２において、鋼板７は搬送ロール８に巻
装されており、鋼板７が移動する際発生する振動をこの
巻装部分において抑止するよう構成されている。
装されており、鋼板７が移動する際発生する振動をこの
巻装部分において抑止するよう構成されている。
【００１７】この搬送ロール８に巻装された鋼板７の巻
装部分表面に入射角４５°を一定に保って光を照射する
よう光源１１ａが設定されており、また、この表面から
反射角４５°の反射光を受光するよう表面４５°センサ
ー２１ａが設置されているとともに、反射角２０°の反
射光を受光するよう表面２０°センサー２２ａが設置さ
れている。
装部分表面に入射角４５°を一定に保って光を照射する
よう光源１１ａが設定されており、また、この表面から
反射角４５°の反射光を受光するよう表面４５°センサ
ー２１ａが設置されているとともに、反射角２０°の反
射光を受光するよう表面２０°センサー２２ａが設置さ
れている。
【００１８】再び図１を参照して欠点検出部３は、表面
４５°センサー２１ａと表面２０°センサー２２ａから
出力される各々の受光信号に基づき別々に欠点を検出す
る表面４５°検出ラック３１ａと表面２０°検出ラック
３２ａとから構成されており、裏面側についても同じよ
うに裏面４５°検出ラック３１ｂと裏面２０°検出ラッ
ク３２ｂとから構成されている。
４５°センサー２１ａと表面２０°センサー２２ａから
出力される各々の受光信号に基づき別々に欠点を検出す
る表面４５°検出ラック３１ａと表面２０°検出ラック
３２ａとから構成されており、裏面側についても同じよ
うに裏面４５°検出ラック３１ｂと裏面２０°検出ラッ
ク３２ｂとから構成されている。
【００１９】この表面４５°検出ラック３１ａは、表面
４５°センサー２１ａからの受光信号をスレッシュホー
ルドレベルとビット数に基づき弁別するとともに、弁別
結果として欠点の凹凸状態による反射光の明るさを表わ
した検出信号を出力する。
４５°センサー２１ａからの受光信号をスレッシュホー
ルドレベルとビット数に基づき弁別するとともに、弁別
結果として欠点の凹凸状態による反射光の明るさを表わ
した検出信号を出力する。
【００２０】また、表面２０°検出ラック３２ａも上記
表面４５°検出ラック３１ａと同様の弁別処理を行うも
のであり、上記スレッシュホールドレベルは欠点の反射
光による検出感度を示す基準として後述する表面検査部
５ａに設定されている。
表面４５°検出ラック３１ａと同様の弁別処理を行うも
のであり、上記スレッシュホールドレベルは欠点の反射
光による検出感度を示す基準として後述する表面検査部
５ａに設定されている。
【００２１】欠点判別部４は、表面４５°検出ラック３
１ａと表面２０°検出ラック３２ａから出力される各々
の検出信号に基づき別々に欠点の種類を判別する表面長
さ判別ラック４１ａと密集カウンタ４２ａとから構成さ
れており、裏面側についても同じように裏面長さ判別ラ
ック４１ｂと密集カウンタ４２ｂとから構成されてい
る。
１ａと表面２０°検出ラック３２ａから出力される各々
の検出信号に基づき別々に欠点の種類を判別する表面長
さ判別ラック４１ａと密集カウンタ４２ａとから構成さ
れており、裏面側についても同じように裏面長さ判別ラ
ック４１ｂと密集カウンタ４２ｂとから構成されてい
る。
【００２２】この表面長さ判別ラック４１ａは、表面４
５°検出ラック３１ａからの検出信号をパルス数に基づ
き弁別するとともに、弁別結果として反射光の明るさに
加えて欠点の長さを表わした欠点信号を出力する。
５°検出ラック３１ａからの検出信号をパルス数に基づ
き弁別するとともに、弁別結果として反射光の明るさに
加えて欠点の長さを表わした欠点信号を出力する。
【００２３】ここで、上記ビット数は欠点の幅を示す基
準として、また上記パルス数は欠点の長さを示す基準と
して後述する表面検査部５ａに設定されている。
準として、また上記パルス数は欠点の長さを示す基準と
して後述する表面検査部５ａに設定されている。
【００２４】また、密集カウンタ４２ａは、表面２０°
検出ラック３２ａからの検出信号の数を計数するととも
に、一定数以上の検出信号を計数した場合、計数結果と
して反射光の明るさに加えて欠点の密集を表わした欠点
信号を出力する。
検出ラック３２ａからの検出信号の数を計数するととも
に、一定数以上の検出信号を計数した場合、計数結果と
して反射光の明るさに加えて欠点の密集を表わした欠点
信号を出力する。
【００２５】表面検査部５ａは、表面長さ判別ラック４
１ａと密集カウンタ４２ａから出力される各々の欠点信
号を欠点の種類を表わした欠点情報としてロギングする
とともに、ロギングされた欠点情報を組み合わせ、この
組み合わせ結果を検査結果として出力する。
１ａと密集カウンタ４２ａから出力される各々の欠点信
号を欠点の種類を表わした欠点情報としてロギングする
とともに、ロギングされた欠点情報を組み合わせ、この
組み合わせ結果を検査結果として出力する。
【００２６】また、裏面側についても同じように裏面検
査部５ｂから構成されている。
査部５ｂから構成されている。
【００２７】監視部６は、上記表面及び裏面検査部５
ａ，５ｂから出力される各々の検査結果を最終的に６種
類に分類される検査情報として画面上に表示する。
ａ，５ｂから出力される各々の検査結果を最終的に６種
類に分類される検査情報として画面上に表示する。
【００２８】次に、以上の構成からなる検査装置の動作
を再び図２を参照しながら図３ないし図６に基づき説明
する。
を再び図２を参照しながら図３ないし図６に基づき説明
する。
【００２９】図２において、光源１１ａから鋼板７の表
面に入射角４５°をもって照射された光が、この表面に
おいて４５°と２０°の反射角をもって反射するが、一
般的に凸状の欠点の場合には反射光は明るく、また凹状
あるいは錆による欠点の場合は反射光は暗くなる。
面に入射角４５°をもって照射された光が、この表面に
おいて４５°と２０°の反射角をもって反射するが、一
般的に凸状の欠点の場合には反射光は明るく、また凹状
あるいは錆による欠点の場合は反射光は暗くなる。
【００３０】この反射角４５°の反射光を表面４５°セ
ンサー２１ａが受光するとともに、反射角２０°の反射
光を表面２０°センサー２２ａが受光し、それぞれのセ
ンサー２１ａ，２２ａからそれぞれの反射光の明るさに
応答した受光信号が出力される。
ンサー２１ａが受光するとともに、反射角２０°の反射
光を表面２０°センサー２２ａが受光し、それぞれのセ
ンサー２１ａ，２２ａからそれぞれの反射光の明るさに
応答した受光信号が出力される。
【００３１】ここで、一般的には各種のサンプルまたは
欠点の凹凸状態において反射角４５°の反射光を受光す
るセンサーが、安定して欠点を検出することが確認され
ている。
欠点の凹凸状態において反射角４５°の反射光を受光す
るセンサーが、安定して欠点を検出することが確認され
ている。
【００３２】そこで、ある鋼板をサンプルとして使用
し、反射角による一次元ＣＣＤセンサーの出力電圧ＳＮ
比を測定して得られた特性図を図３に示す。
し、反射角による一次元ＣＣＤセンサーの出力電圧ＳＮ
比を測定して得られた特性図を図３に示す。
【００３３】この図を参照すると、反射角２０°近辺の
反射光を受光する一次元ＣＣＤセンサーがサンプルの表
面に存在するどのような幅の欠点に対しても確実に検出
できることが示されており、逆に反射角４５°近辺では
一次元ＣＣＤセンサーの検出精度が低下することが示さ
れている。
反射光を受光する一次元ＣＣＤセンサーがサンプルの表
面に存在するどのような幅の欠点に対しても確実に検出
できることが示されており、逆に反射角４５°近辺では
一次元ＣＣＤセンサーの検出精度が低下することが示さ
れている。
【００３４】よって、本実施例では反射角４５°と２０
°の反射光を別々に受光する表面４５°センサー２１
ａ、表面２０°センサー２２ａそれぞれからの受光信号
に基づき反射光の明るさで分類される欠点の種類を判定
する。
°の反射光を別々に受光する表面４５°センサー２１
ａ、表面２０°センサー２２ａそれぞれからの受光信号
に基づき反射光の明るさで分類される欠点の種類を判定
する。
【００３５】この表面４５°センサー２１ａから出力さ
れる受光信号の処理手順を図４のフローチャートに示
し、表面２０°センサー２２ａから出力される受光信号
の処理手順を図５のフローチャートに示す。
れる受光信号の処理手順を図４のフローチャートに示
し、表面２０°センサー２２ａから出力される受光信号
の処理手順を図５のフローチャートに示す。
【００３６】まず、図４において、表面４５°センサー
２１ａから出力される受光信号が図中左側の出力波形で
示されており、このような出力波形で示される受光信号
を受信した表面４５°検出ラック３１ａは、この受光信
号を４段階に設定されたスレッシュホールドレベルで弁
別することにより、欠点の凹凸状態により反射した反射
光の明るさが明重、明軽、暗軽、暗重であることを判別
する（ＳＴＥＰ１００前段）。
２１ａから出力される受光信号が図中左側の出力波形で
示されており、このような出力波形で示される受光信号
を受信した表面４５°検出ラック３１ａは、この受光信
号を４段階に設定されたスレッシュホールドレベルで弁
別することにより、欠点の凹凸状態により反射した反射
光の明るさが明重、明軽、暗軽、暗重であることを判別
する（ＳＴＥＰ１００前段）。
【００３７】さらに、表面４５°検出ラック３１ａは、
４分類の明るさに判別された信号それぞれが設定された
ビット数以上であるかどうか判断することにより、上記
４分類に判別された反射光の明るさを明中、暗中を加え
た６分類に判別して、この判別結果を欠点の幅方向によ
る反射光の明るさを表わした検出信号として出力する
（ＳＴＥＰ１００後段）。
４分類の明るさに判別された信号それぞれが設定された
ビット数以上であるかどうか判断することにより、上記
４分類に判別された反射光の明るさを明中、暗中を加え
た６分類に判別して、この判別結果を欠点の幅方向によ
る反射光の明るさを表わした検出信号として出力する
（ＳＴＥＰ１００後段）。
【００３８】次に、この表面４５°検出ラック３１ａか
らの検出信号を受信した表面長さ判別ラック４１ａは、
この検出信号を設定されたビット数に基づき判断するこ
とにより、６分類された反射光の明るさに加え欠点の長
さを線または点として表わした１２分類の欠点信号を出
力する（ＳＴＥＰ１１０）。
らの検出信号を受信した表面長さ判別ラック４１ａは、
この検出信号を設定されたビット数に基づき判断するこ
とにより、６分類された反射光の明るさに加え欠点の長
さを線または点として表わした１２分類の欠点信号を出
力する（ＳＴＥＰ１１０）。
【００３９】一方、図５において、表面２０°センサー
２２ａから出力される受光信号が図中左側の出力波形で
示されており、このような出力波形で示される受光信号
を受信した表面２０°検出ラック３２ａは、上記ＳＴＥ
Ｐ１００の処理手順と同様にこの受光信号を処理するこ
とにより検出信号を出力する（ＳＴＥＰ２００）。
２２ａから出力される受光信号が図中左側の出力波形で
示されており、このような出力波形で示される受光信号
を受信した表面２０°検出ラック３２ａは、上記ＳＴＥ
Ｐ１００の処理手順と同様にこの受光信号を処理するこ
とにより検出信号を出力する（ＳＴＥＰ２００）。
【００４０】なお、表面２０°センサー２２ａから明る
い反射光に応答して出力される受光信号では欠点を検出
できないため、暗い反射光に応答した受光信号に対して
表面２０°検出ラック３２ａが処理を行う。
い反射光に応答して出力される受光信号では欠点を検出
できないため、暗い反射光に応答した受光信号に対して
表面２０°検出ラック３２ａが処理を行う。
【００４１】次に、表面２０°検出ラック３２ａからの
検出信号を受信した密集カウンタ４２ａがこの検出信号
の数を計数するとともに、一定数以上の検出信号を計数
した場合反射光の明るさに加え欠点の密集を表わした欠
点信号を出力する（ＳＴＥＰ２１０）。
検出信号を受信した密集カウンタ４２ａがこの検出信号
の数を計数するとともに、一定数以上の検出信号を計数
した場合反射光の明るさに加え欠点の密集を表わした欠
点信号を出力する（ＳＴＥＰ２１０）。
【００４２】上記表面長さ判別ラック４１ａから出力さ
れる欠点信号と密集カウンタ４２ａから出力される欠点
信号とを欠点の種類を表わした欠点情報として表面検査
部５ａがロギングするとともに、ロギングされた欠点情
報を組み合わせる。
れる欠点信号と密集カウンタ４２ａから出力される欠点
信号とを欠点の種類を表わした欠点情報として表面検査
部５ａがロギングするとともに、ロギングされた欠点情
報を組み合わせる。
【００４３】この表面検査部５ａにおける欠点情報の組
み合わせ手順の一例を図６に示す。図６の（ａ）には、
反射光の明るい種類の欠点情報を組み合わせた結果、表
面検査部５ａから監視部６に出力される明重、明中、明
軽で表わされる検査結果が示されており、（ｂ）には、
反射光の暗い種類の欠点情報に密集カウンタ４２ａから
の欠点の密集を表わした欠点情報を加えて組み合わせた
結果、表面検査部５ａから監視部６に出力される暗重、
暗中、暗軽で表わされる検査結果が示されている。
み合わせ手順の一例を図６に示す。図６の（ａ）には、
反射光の明るい種類の欠点情報を組み合わせた結果、表
面検査部５ａから監視部６に出力される明重、明中、明
軽で表わされる検査結果が示されており、（ｂ）には、
反射光の暗い種類の欠点情報に密集カウンタ４２ａから
の欠点の密集を表わした欠点情報を加えて組み合わせた
結果、表面検査部５ａから監視部６に出力される暗重、
暗中、暗軽で表わされる検査結果が示されている。
【００４４】例えば、（ｂ）において、暗重線と暗重密
集を表わした２つの欠点情報を受信した表面検査部５ａ
は、暗重を表わした検査結果を出力し、また、暗重線の
欠点情報のみを受信しても表面検査部５ａは暗重の欠点
情報を出力する。
集を表わした２つの欠点情報を受信した表面検査部５ａ
は、暗重を表わした検査結果を出力し、また、暗重線の
欠点情報のみを受信しても表面検査部５ａは暗重の欠点
情報を出力する。
【００４５】上記（ａ）及び（ｂ）に示した組み合わせ
手順により表面検査部５ａから明重、明中、明軽、暗
重、暗中、暗軽の６分類された検査結果が検査情報とし
て監視部６の画面上に表示される。
手順により表面検査部５ａから明重、明中、明軽、暗
重、暗中、暗軽の６分類された検査結果が検査情報とし
て監視部６の画面上に表示される。
【００４６】すなわち、（ａ）において、欠点情報が明
重線または明中線である場合には、この欠点情報は反射
光が明るく幅が大または中の線状の長い欠点を表わして
おり、このような欠点は肉眼でも確実に検出できるた
め、検査結果を明るい重症の欠点を表わした明重とし、
また、明軽点または明中点の場合、欠点情報は反射光が
明るく幅が小または中の点状の短い欠点を表わしている
ため、検査結果を明るい軽症の欠点を表わした明軽とす
る。
重線または明中線である場合には、この欠点情報は反射
光が明るく幅が大または中の線状の長い欠点を表わして
おり、このような欠点は肉眼でも確実に検出できるた
め、検査結果を明るい重症の欠点を表わした明重とし、
また、明軽点または明中点の場合、欠点情報は反射光が
明るく幅が小または中の点状の短い欠点を表わしている
ため、検査結果を明るい軽症の欠点を表わした明軽とす
る。
【００４７】さらに、欠点情報が、反射光の明るい大き
い幅の点状の欠点を表わした明重点、または反射光の明
るい小さい幅の線状の欠点を表わした明軽線である場
合、どちらの欠点も肉眼で検出できる可能性があるた
め、検査結果を明るい中症の欠点を表わした明中とす
る。
い幅の点状の欠点を表わした明重点、または反射光の明
るい小さい幅の線状の欠点を表わした明軽線である場
合、どちらの欠点も肉眼で検出できる可能性があるた
め、検査結果を明るい中症の欠点を表わした明中とす
る。
【００４８】また、（ｂ）において、（ａ）と同様にし
て反射光の暗い欠点情報に対する検査結果の暗重、暗
中、暗軽が示されているが、さらに欠点の密集を表わし
た暗重密集の欠点情報に対しては検査結果を暗重とし、
また暗中密集の欠点情報に対しては検査結果を暗中とす
ることが示されている。
て反射光の暗い欠点情報に対する検査結果の暗重、暗
中、暗軽が示されているが、さらに欠点の密集を表わし
た暗重密集の欠点情報に対しては検査結果を暗重とし、
また暗中密集の欠点情報に対しては検査結果を暗中とす
ることが示されている。
【００４９】また、暗軽密集の欠点情報に対しては、欠
点を肉眼で検出できる可能性があるため、検査結果を暗
中とすることが示されている。
点を肉眼で検出できる可能性があるため、検査結果を暗
中とすることが示されている。
【００５０】以上の構成、動作からなるこの実施例の検
査装置によれば、反射角の異なる二方向の反射光を２つ
の一次元ＣＣＤセンサーが受光することにより欠点を検
出しているので、一方のセンサーにより欠点を検出でき
なくとも他方のセンサーにより欠点を検出することがで
き、さまざまな状態にある欠点を検出することができ
る。
査装置によれば、反射角の異なる二方向の反射光を２つ
の一次元ＣＣＤセンサーが受光することにより欠点を検
出しているので、一方のセンサーにより欠点を検出でき
なくとも他方のセンサーにより欠点を検出することがで
き、さまざまな状態にある欠点を検出することができ
る。
【００５１】また、反射角２０°の反射光を受光する表
面２０°センサー２２ａからの受光信号に基づき反射光
の明るさに加えて欠点の密集が判定され、かつ反射角４
５°の反射光を受光する表面４５°センサー２１ａから
の受光信号に基づき反射光の明るさに加えて欠点の長さ
が判定されるので、反射光の明るさ、欠点の密集、長さ
により分類される欠点の種類が細分化され、この細分化
された欠点の種類を組み合わせた検査結果に基づき正確
に欠点を検査することができる。
面２０°センサー２２ａからの受光信号に基づき反射光
の明るさに加えて欠点の密集が判定され、かつ反射角４
５°の反射光を受光する表面４５°センサー２１ａから
の受光信号に基づき反射光の明るさに加えて欠点の長さ
が判定されるので、反射光の明るさ、欠点の密集、長さ
により分類される欠点の種類が細分化され、この細分化
された欠点の種類を組み合わせた検査結果に基づき正確
に欠点を検査することができる。
【００５２】さらに、反射角２０°の反射光を受光する
表面２０°センサー２２ａでは、特定の凹凸状態の欠点
に対して検出精度が向上するため、鋼板表面に存在する
特定の凹凸状態による欠点を確実に検出することができ
る。
表面２０°センサー２２ａでは、特定の凹凸状態の欠点
に対して検出精度が向上するため、鋼板表面に存在する
特定の凹凸状態による欠点を確実に検出することができ
る。
【００５３】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように本発明に
よれば、反射角の異なる反射光各々を複数のセンサーが
受光することにより検査面に存在する欠点を検出してい
るので、一方のセンサーにより欠点を検出できなくと
も、他方のセンサーにより欠点を検出することができ、
さまざまな状態にある欠点を安定して検出することがで
きる。 また、複数のセンサーにより反射角の異なる反
射光を受光し、この受光結果を組み合わせた組み合わせ
結果に基づき欠点を検査しているので、細分化された受
光結果の組み合わせ結果に基づき正確に欠点を検査する
ことができる。
よれば、反射角の異なる反射光各々を複数のセンサーが
受光することにより検査面に存在する欠点を検出してい
るので、一方のセンサーにより欠点を検出できなくと
も、他方のセンサーにより欠点を検出することができ、
さまざまな状態にある欠点を安定して検出することがで
きる。 また、複数のセンサーにより反射角の異なる反
射光を受光し、この受光結果を組み合わせた組み合わせ
結果に基づき欠点を検査しているので、細分化された受
光結果の組み合わせ結果に基づき正確に欠点を検査する
ことができる。
【図１】本発明に係る欠点検査装置の一実施例としてそ
の機能構成を示したブロック図。
の機能構成を示したブロック図。
【図２】この検査装置における光源とセンサーとの鋼板
に対する配置状態を表わした配置図。
に対する配置状態を表わした配置図。
【図３】一次元ＣＣＤセンサーの反射角による出力電圧
ＳＮ比を示した特性図。
ＳＮ比を示した特性図。
【図４】この検査装置の表面４５°センサーから出力さ
れる受光信号の処理手順を示したフローチャート。
れる受光信号の処理手順を示したフローチャート。
【図５】この検査装置の表面２０°センサーから出力さ
れる受光信号の処理手順を示したフローチャート。
れる受光信号の処理手順を示したフローチャート。
【図６】（ａ）は、この検査装置の表面検査部における
明るい反射光を表わした欠点情報の組み合わせ手順を示
した説明図であり、（ｂ）は、暗い反射光を表わした欠
点情報の組み合わせ手順を示した説明図。
明るい反射光を表わした欠点情報の組み合わせ手順を示
した説明図であり、（ｂ）は、暗い反射光を表わした欠
点情報の組み合わせ手順を示した説明図。
【符号の説明】 １ａ 光照射部（光照射手段） １ｂ 光照射部（光照射手段） ２ 受光部（受光手段） ３ 欠点検出部 ４ 欠点判別部 ５ａ 表面検査部（欠点検査手段） ５ｂ 裏面検査部（欠点検査手段） ６ 監視部 ７ 鋼板 ８ 搬送ロール １１ａ 光源 ２１ａ 表面４５°センサー ２１ｂ 裏面４５°センサー ２２ａ 表面２０°センサー ２２ｂ 裏面２０°センサー ３１ａ 表面４５°検出ラック ３１ｂ 裏面４５°検出ラック ３２ａ 表面２０°検出ラック ３２ｂ 表面２０°検出ラック ４１ａ 表面長さ判別ラック ４１ｂ 裏面長さ判別ラック ４２ａ 密集カウンタ ４２ｂ 密集カウンタ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小島 寿男 茨城県鹿島郡鹿島町大字光字光２ 日本ス テンレス株式会社鹿島製造所内 (72)発明者 佐藤 忠洋 京都市右京区花園土堂町10番地 オムロン 株式会社内 (72)発明者 田畑 潤 京都市右京区花園土堂町10番地 オムロン 株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 検査対象物の検査面に光を照射する光照
射手段と、上記検査面からの反射光を受光する受光手段
と、上記受光手段による受光結果に基づき上記検査面に
存在する欠点を検査する欠点検査手段とを有する欠点検
査装置において、 上記受光手段は、上記反射光を異なる反射角毎に受光す
る複数のセンサーからなるとともに、上記欠点検査手段
は、上記複数のセンサーによる反射角毎の受光結果の組
み合わせ結果に基づき欠点を検査することを特徴とする
欠点検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043592A JPH05322794A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 欠点検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4043592A JPH05322794A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 欠点検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05322794A true JPH05322794A (ja) | 1993-12-07 |
Family
ID=12668071
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4043592A Pending JPH05322794A (ja) | 1992-02-28 | 1992-02-28 | 欠点検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05322794A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103439337A (zh) * | 2013-08-29 | 2013-12-11 | 华南理工大学 | 压电陶瓷蜂鸣片外观缺陷自动检测装置及方法 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5877642A (ja) * | 1981-11-02 | 1983-05-11 | Kawasaki Steel Corp | 鋼板の表面欠陥検出方法 |
| JPS62223654A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-10-01 | Kobe Steel Ltd | 表面欠陥検出装置 |
| JPS6488237A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Toshiba Corp | Surface inspecting apparatus |
| JPH0456845A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-24 | Konica Corp | 高感度で現像性が良好なハロゲン化銀乳剤 |
-
1992
- 1992-02-28 JP JP4043592A patent/JPH05322794A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5877642A (ja) * | 1981-11-02 | 1983-05-11 | Kawasaki Steel Corp | 鋼板の表面欠陥検出方法 |
| JPS62223654A (ja) * | 1986-03-25 | 1987-10-01 | Kobe Steel Ltd | 表面欠陥検出装置 |
| JPS6488237A (en) * | 1987-09-30 | 1989-04-03 | Toshiba Corp | Surface inspecting apparatus |
| JPH0456845A (ja) * | 1990-06-25 | 1992-02-24 | Konica Corp | 高感度で現像性が良好なハロゲン化銀乳剤 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103439337A (zh) * | 2013-08-29 | 2013-12-11 | 华南理工大学 | 压电陶瓷蜂鸣片外观缺陷自动检测装置及方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19971107 |