JPH09166552A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
- Publication number
- JPH09166552A JPH09166552A JP28458096A JP28458096A JPH09166552A JP H09166552 A JPH09166552 A JP H09166552A JP 28458096 A JP28458096 A JP 28458096A JP 28458096 A JP28458096 A JP 28458096A JP H09166552 A JPH09166552 A JP H09166552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- image
- light
- tan
- cos
- line sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Abstract
(57)【要約】
【課題】鋼板等のように連続的に製造されて送られるシ
−ト状製品の表面の模様状疵をオンラインで連続的に検
査することは困難であった。 【解決手段】鋼板６の表面からの反射光の異なる偏光を
ラインセンサカメラ７ａ〜７ｃで検出して偏光の強度分
布を示す画像形成する。信号処理部９は３種類の偏光画
像の各画素における偏光パラメ−タtanΨとcosΔと表面
反射強度Ｉ0を演算し、偏光パラメ−タのtanΨ画像とco
sΔ画像及びＩ0画像を生成し、生成したtanΨ画像とcos
Δ画像とＩ0画像の異常部における明暗のパタ−ンを利
用して異常部の種別を判定し、それらの明暗の輝度変化
の度合いにより異常の程度を判定する。
−ト状製品の表面の模様状疵をオンラインで連続的に検
査することは困難であった。 【解決手段】鋼板６の表面からの反射光の異なる偏光を
ラインセンサカメラ７ａ〜７ｃで検出して偏光の強度分
布を示す画像形成する。信号処理部９は３種類の偏光画
像の各画素における偏光パラメ−タtanΨとcosΔと表面
反射強度Ｉ0を演算し、偏光パラメ−タのtanΨ画像とco
sΔ画像及びＩ0画像を生成し、生成したtanΨ画像とcos
Δ画像とＩ0画像の異常部における明暗のパタ−ンを利
用して異常部の種別を判定し、それらの明暗の輝度変化
の度合いにより異常の程度を判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、例えば薄鋼板等
の表面疵を光学的に検出する表面検査装置に関するもの
である。
の表面疵を光学的に検出する表面検査装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】例えば鋼板の表面疵を光学的に検出する
装置としては、レ−ザ光の散乱又は回折パタ−ンの変化
を利用して疵を検出する方法が多く用いられている。こ
の方法は鋼板の表面に明らかな凹凸を形成している疵を
検出する場合には有効な方法である。
装置としては、レ−ザ光の散乱又は回折パタ−ンの変化
を利用して疵を検出する方法が多く用いられている。こ
の方法は鋼板の表面に明らかな凹凸を形成している疵を
検出する場合には有効な方法である。
【０００３】一方、鋼板等の疵には、表面の凹凸はな
く、物性値のむら，ミクロな粗さのむら，薄い酸化膜等
の局所的な存在あるいはコ−ティング膜厚の厚さむらと
いった模様状疵といわれるものがある。このような模様
状疵はレ−ザ光の散乱や回折パタ−ンの変化では検出が
困難である。例えば正常部で100Å程度の酸化膜が付い
ている鋼板表面に、局所的に400Å程度の酸化膜が厚く
付いている異常部がある場合、このような異常部の領域
は表面処理工程において塗装不良が生じるため、疵とし
て検出して除去したい要請がある。しかしながら、異常
部と正常部の酸化膜厚の差は鋼板表面の粗さに埋もれて
しまい、光の散乱や回折を利用した方法では全く検出が
不可能である。
く、物性値のむら，ミクロな粗さのむら，薄い酸化膜等
の局所的な存在あるいはコ−ティング膜厚の厚さむらと
いった模様状疵といわれるものがある。このような模様
状疵はレ−ザ光の散乱や回折パタ−ンの変化では検出が
困難である。例えば正常部で100Å程度の酸化膜が付い
ている鋼板表面に、局所的に400Å程度の酸化膜が厚く
付いている異常部がある場合、このような異常部の領域
は表面処理工程において塗装不良が生じるため、疵とし
て検出して除去したい要請がある。しかしながら、異常
部と正常部の酸化膜厚の差は鋼板表面の粗さに埋もれて
しまい、光の散乱や回折を利用した方法では全く検出が
不可能である。
【０００４】このように光の散乱や回折を利用した方法
では検出できない疵を検出するために、偏光を用いた疵
検査方法が例えば特開昭52−138183号公報や特開昭58−
204356号公報，特開平４−58138号公報等に開示されて
いる。特開昭52−138183号公報に示された検査方法は被
検査体の表面から反射したＰ偏光とＳ偏光の比があらか
じめ定めた比較レベルより高いか否可によって欠陥の有
無を検知するものである。また、特開昭58−204356号公
報に示された検出方法は被検査体の表面に特定角度の入
射角で光を照射して、表面欠陥を検出するときのＳ／Ｎ
比を向上するようにしたものである。特開平４−58138
号公報に示された検査方法は、試料から反射した偏光を
１/４波長板からなる移相子と検光子とを介してイメ−
ジセンサに導くときに、移相子の透過軸の位置を所定角
度変え、各角度毎に検光子を回転させてイメ−ジセンサ
の画素毎に偏光パラメ−タを求めて複屈折分布を精度良
く測定する方法である。
では検出できない疵を検出するために、偏光を用いた疵
検査方法が例えば特開昭52−138183号公報や特開昭58−
204356号公報，特開平４−58138号公報等に開示されて
いる。特開昭52−138183号公報に示された検査方法は被
検査体の表面から反射したＰ偏光とＳ偏光の比があらか
じめ定めた比較レベルより高いか否可によって欠陥の有
無を検知するものである。また、特開昭58−204356号公
報に示された検出方法は被検査体の表面に特定角度の入
射角で光を照射して、表面欠陥を検出するときのＳ／Ｎ
比を向上するようにしたものである。特開平４−58138
号公報に示された検査方法は、試料から反射した偏光を
１/４波長板からなる移相子と検光子とを介してイメ−
ジセンサに導くときに、移相子の透過軸の位置を所定角
度変え、各角度毎に検光子を回転させてイメ−ジセンサ
の画素毎に偏光パラメ−タを求めて複屈折分布を精度良
く測定する方法である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】特開昭52−138183号公
報や特開昭58−204356号公報に示された検査方法は、偏
光を用いて正常部と異常部とを弁別しているが、厳密な
偏光パラメ−タすなわち反射光の電気ベクトルのうち入
射面方向の成分であるＰ偏光と入射面に垂直方向の成分
であるＳ偏光との振幅反射率比tanΨと位相差Δを判定
することなしに疵を検出するようにしている。鋼板等の
表面の疵部は光学的物性が正常部と異なった部分である
ことが多く、このような部分は複素屈折率が正常部と異
なっているといえる。このような場合、偏光パラメ−タ
の振幅反射率比tanΨと位相差Δの両方を考慮しない
と、偏光パラメ−タの変化の一部しか捕らえることがで
きず、例えば検査結果として異常部が検出できたとして
も、それが油のしみか、酸化膜のむらか、又は何らかし
らの異常な付着物が付着したのであるか等を弁別するこ
ができず、異常部の種別と程度を判定することは困難で
あった。
報や特開昭58−204356号公報に示された検査方法は、偏
光を用いて正常部と異常部とを弁別しているが、厳密な
偏光パラメ−タすなわち反射光の電気ベクトルのうち入
射面方向の成分であるＰ偏光と入射面に垂直方向の成分
であるＳ偏光との振幅反射率比tanΨと位相差Δを判定
することなしに疵を検出するようにしている。鋼板等の
表面の疵部は光学的物性が正常部と異なった部分である
ことが多く、このような部分は複素屈折率が正常部と異
なっているといえる。このような場合、偏光パラメ−タ
の振幅反射率比tanΨと位相差Δの両方を考慮しない
と、偏光パラメ−タの変化の一部しか捕らえることがで
きず、例えば検査結果として異常部が検出できたとして
も、それが油のしみか、酸化膜のむらか、又は何らかし
らの異常な付着物が付着したのであるか等を弁別するこ
ができず、異常部の種別と程度を判定することは困難で
あった。
【０００６】また、特開平４−58138号公報に示された
検査方法は、薄膜評価等に使用されているエリプソメ−
タを２次元に拡大したものであり、この場合は、各画素
毎に複屈折率が求められるため、正常部と異常部とでは
異なる値として複屈折率が測定され、その違いにより正
常部と異常部を弁別できる可能性がある。しかしなが
ら、移相子と検光子を機械的に回転させて測定している
ため、被検査体の各位置の複屈折率を測定するには、少
なくとも１回の測定中は被検査体を停止させている必要
があった。このため、例えば鋼板等のように連続的に製
造されて送られるシ−ト状製品の表面をオンラインで連
続的に検査することは不可能であった。
検査方法は、薄膜評価等に使用されているエリプソメ−
タを２次元に拡大したものであり、この場合は、各画素
毎に複屈折率が求められるため、正常部と異常部とでは
異なる値として複屈折率が測定され、その違いにより正
常部と異常部を弁別できる可能性がある。しかしなが
ら、移相子と検光子を機械的に回転させて測定している
ため、被検査体の各位置の複屈折率を測定するには、少
なくとも１回の測定中は被検査体を停止させている必要
があった。このため、例えば鋼板等のように連続的に製
造されて送られるシ−ト状製品の表面をオンラインで連
続的に検査することは不可能であった。
【０００７】また、この方法は検査手法としては非常に
敏感であり、他の種類の疵や汚れ，油むら，スケ−ルな
どから相対的に微弱な検出強度した与えない模様状の表
面疵の情報のみを弁別して検出することは困難であっ
た。特に、表面に油膜が塗布されて製造ライン上を移動
する鋼板を検査する場合には、その油膜むらと本来検出
すべき表面疵の両方を含んだ偏光パラメ−タを検出して
しまい、表面疵の情報だけを弁別して検出することはで
きなかった。このため、特に防錆のために表面に油膜が
塗布されていることが多い冷延鋼板等の通常の鋼板の表
面疵の検出に使える可能性がないと考えられており、鋼
板の模様状疵を光学的手段で検出すること、さらに表面
疵の種類や等級までを判定することは不可能とされてい
た。
敏感であり、他の種類の疵や汚れ，油むら，スケ−ルな
どから相対的に微弱な検出強度した与えない模様状の表
面疵の情報のみを弁別して検出することは困難であっ
た。特に、表面に油膜が塗布されて製造ライン上を移動
する鋼板を検査する場合には、その油膜むらと本来検出
すべき表面疵の両方を含んだ偏光パラメ−タを検出して
しまい、表面疵の情報だけを弁別して検出することはで
きなかった。このため、特に防錆のために表面に油膜が
塗布されていることが多い冷延鋼板等の通常の鋼板の表
面疵の検出に使える可能性がないと考えられており、鋼
板の模様状疵を光学的手段で検出すること、さらに表面
疵の種類や等級までを判定することは不可能とされてい
た。
【０００８】この発明はかかる短所を改善するためにな
されたものであり、シ−ト状製品の表面にある模様状疵
もオンラインで連続的に検出して、その種別や程度を正
確に弁別することができる表面検査装置を得ることを目
的とするものである。
されたものであり、シ−ト状製品の表面にある模様状疵
もオンラインで連続的に検出して、その種別や程度を正
確に弁別することができる表面検査装置を得ることを目
的とするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】この発明に係る表面検査
装置は、投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部
は被検査面に平行光束の偏光を入射し、受光部は被検査
面からの反射光の異なる光路にそれぞれ設けられ、それ
ぞれ異なる方位角を有する３個の検光子と、各検光子を
透過した光を受光するリニアアレイセンサとを有し、被
検査面からの反射光を入射し画像信号に変換し、信号処
理部は３個のリニアアレイセンサからの画像信号を処理
し、振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔと被検査
面の表面反射強度Ｉ0を演算し、tanΨ画像とcosΔ画像
及びＩ0画像を生成し、生成したtanΨ画像とcosΔ画像
及びＩ0画像の各画素の濃度から表面の特性を評価する
ことを特徴とする。
装置は、投光部と受光部と信号処理部とを有し、投光部
は被検査面に平行光束の偏光を入射し、受光部は被検査
面からの反射光の異なる光路にそれぞれ設けられ、それ
ぞれ異なる方位角を有する３個の検光子と、各検光子を
透過した光を受光するリニアアレイセンサとを有し、被
検査面からの反射光を入射し画像信号に変換し、信号処
理部は３個のリニアアレイセンサからの画像信号を処理
し、振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔと被検査
面の表面反射強度Ｉ0を演算し、tanΨ画像とcosΔ画像
及びＩ0画像を生成し、生成したtanΨ画像とcosΔ画像
及びＩ0画像の各画素の濃度から表面の特性を評価する
ことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】この発明においては、表面検査装
置を投光部と受光部及び信号処理部で構成する。投光部
は被検査面の板幅方向に長く形成された平行光源から偏
光子を介して被検査面に偏光を入射し、被検査面からの
反射光を受光して、被検査面に疵等の異常部があるか否
を検出する。
置を投光部と受光部及び信号処理部で構成する。投光部
は被検査面の板幅方向に長く形成された平行光源から偏
光子を介して被検査面に偏光を入射し、被検査面からの
反射光を受光して、被検査面に疵等の異常部があるか否
を検出する。
【００１１】受光部は３個のラインセンサカメラと、各
ラインセンサカメラの受光面の前面に設けられた検光子
とで構成し、３個の検光子はそれぞれ異なる方位角、す
なわち透過軸が被検査面の入射面となす角が、例えば
「０」，「π/４」，「−π/４」になるように配置さ
れ、３個のラインセンサカメラは各検光子を通った偏光
を入射して偏光の強度分布を示す画像を出力する。
ラインセンサカメラの受光面の前面に設けられた検光子
とで構成し、３個の検光子はそれぞれ異なる方位角、す
なわち透過軸が被検査面の入射面となす角が、例えば
「０」，「π/４」，「−π/４」になるように配置さ
れ、３個のラインセンサカメラは各検光子を通った偏光
を入射して偏光の強度分布を示す画像を出力する。
【００１２】信号処理部は３個のラインセンサカメラか
らそれぞれ出力された光強度分布を示す画像の各画素に
おける偏光パラメ−タすなわち振幅反射率比tanΨと位
相差Δを示すcosΔと表面反射強度Ｉ0を演算し、偏光パ
ラメ−タのtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ0画像を生成
し、生成したtanΨ画像とcosΔ画像とＩ0画像の異常部
における明暗のパタ−ンを利用して異常部の種別を判定
し、それらの明暗の輝度変化の度合いにより異常の程度
を判定する。
らそれぞれ出力された光強度分布を示す画像の各画素に
おける偏光パラメ−タすなわち振幅反射率比tanΨと位
相差Δを示すcosΔと表面反射強度Ｉ0を演算し、偏光パ
ラメ−タのtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ0画像を生成
し、生成したtanΨ画像とcosΔ画像とＩ0画像の異常部
における明暗のパタ−ンを利用して異常部の種別を判定
し、それらの明暗の輝度変化の度合いにより異常の程度
を判定する。
【００１３】
【実施例】図１，図２はこの発明の一実施例の構成を示
し、図１は光学系の構成図、図２は信号処理部を示すブ
ロック図である。図１に示すように、光学系１は投光部
２と受光部３とを有する。投光部２は平行光源４と平行
光源４の前面に設けられた偏光子５とを有する。平行光
源４は被検査体例えば鋼板６の板幅方向に長く形成され
た面状光源からなり、鋼板６の表面の一定長さ範囲に平
行光束を照射する。偏光子５は例えば偏光板や偏光フイ
ルタからなり、図３に示すように、透過軸Ｐが鋼板６の
入射面となす角α1がπ/４になるように配置されてい
る。受光部３は３個のラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，
７ｃと、各ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃの受光
面の前面に設けられた検光子８ａ，８ｂ，８ｃとを有す
る。ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃは鋼板６の移
動方向に位置をずらして配置され、鋼板６の表面からの
反射光を検出して偏光画像信号に変換する。検光子８
ａ，８ｂ，８ｃは、例えば偏光板や偏光フイルタからな
り、図３に示すように、検光子８の透過軸が鋼板４の入
射面となす角α2は検光子８ａがα2＝０、検光子８ｂが
α2＝π/４、検光子８ｃがα2＝−π/４になるように配
置されている。
し、図１は光学系の構成図、図２は信号処理部を示すブ
ロック図である。図１に示すように、光学系１は投光部
２と受光部３とを有する。投光部２は平行光源４と平行
光源４の前面に設けられた偏光子５とを有する。平行光
源４は被検査体例えば鋼板６の板幅方向に長く形成され
た面状光源からなり、鋼板６の表面の一定長さ範囲に平
行光束を照射する。偏光子５は例えば偏光板や偏光フイ
ルタからなり、図３に示すように、透過軸Ｐが鋼板６の
入射面となす角α1がπ/４になるように配置されてい
る。受光部３は３個のラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，
７ｃと、各ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃの受光
面の前面に設けられた検光子８ａ，８ｂ，８ｃとを有す
る。ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃは鋼板６の移
動方向に位置をずらして配置され、鋼板６の表面からの
反射光を検出して偏光画像信号に変換する。検光子８
ａ，８ｂ，８ｃは、例えば偏光板や偏光フイルタからな
り、図３に示すように、検光子８の透過軸が鋼板４の入
射面となす角α2は検光子８ａがα2＝０、検光子８ｂが
α2＝π/４、検光子８ｃがα2＝−π/４になるように配
置されている。
【００１４】信号処理部９は偏光画像用のフレ−ムメモ
リ１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、演算用ＣＰＵ１１と、エ
リプソパラメ−タ画像用のフレ−ムメモリ１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ及び処理用ＣＰＵ１３とを有する。フレ−ム
メモリ１０ａ，１０ｂ，１０ｃにはそれぞれラインセン
サカメラ７ａ，７ｂ，７ｃから出力された偏光画像信号
が２次元展開される。演算用ＣＰＵ１１はラインセンサ
カメラ７ａ，７ｂ，７ｃの設置位置のずれを考慮して鋼
板６の同じ位置の偏光画像信号をフレ−ムメモリ１０
ａ，１０ｂ，１０ｃから読み出し、各画素における偏光
パラメ−タすなわち振幅反射率比tanΨと位相差Δを示
すcosΔと鋼板６の表面反射強度Ｉ0を演算し、偏光パラ
メ−タのtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ0画像を生成す
る。フレ−ムメモリ１２ａ，１２ｂ，１２ｃには演算用
ＣＰＵ１１で演算したtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ0画
像が展開される。処理用ＣＰＵ１３はフレ−ムメモリ１
２ａ，１２ｂ，１２ｃに展開されたtanΨ画像とcosΔ画
像とＩ0画像の異常部における明暗のパタ−ンを利用し
て異常部の種別を判定し、それらの明暗の輝度変化の度
合いにより異常部程度を判定する。
リ１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、演算用ＣＰＵ１１と、エ
リプソパラメ−タ画像用のフレ−ムメモリ１２ａ，１２
ｂ，１２ｃ及び処理用ＣＰＵ１３とを有する。フレ−ム
メモリ１０ａ，１０ｂ，１０ｃにはそれぞれラインセン
サカメラ７ａ，７ｂ，７ｃから出力された偏光画像信号
が２次元展開される。演算用ＣＰＵ１１はラインセンサ
カメラ７ａ，７ｂ，７ｃの設置位置のずれを考慮して鋼
板６の同じ位置の偏光画像信号をフレ−ムメモリ１０
ａ，１０ｂ，１０ｃから読み出し、各画素における偏光
パラメ−タすなわち振幅反射率比tanΨと位相差Δを示
すcosΔと鋼板６の表面反射強度Ｉ0を演算し、偏光パラ
メ−タのtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ0画像を生成す
る。フレ−ムメモリ１２ａ，１２ｂ，１２ｃには演算用
ＣＰＵ１１で演算したtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ0画
像が展開される。処理用ＣＰＵ１３はフレ−ムメモリ１
２ａ，１２ｂ，１２ｃに展開されたtanΨ画像とcosΔ画
像とＩ0画像の異常部における明暗のパタ−ンを利用し
て異常部の種別を判定し、それらの明暗の輝度変化の度
合いにより異常部程度を判定する。
【００１５】上記のように構成された表面検査装置の動
作を説明するに当たり、まず、３個のラインセンサカメ
ラ７ａ，７ｂ，７ｃで検出した光強度から振幅反射率比
tanΨとcosΔと鋼板６の表面反射強度Ｉ0を演算する原
理を説明する。
作を説明するに当たり、まず、３個のラインセンサカメ
ラ７ａ，７ｂ，７ｃで検出した光強度から振幅反射率比
tanΨとcosΔと鋼板６の表面反射強度Ｉ0を演算する原
理を説明する。
【００１６】図３に示すように偏光子５の透過軸Ｐと検
光子８の透過軸Ａが鋼板６の入射面となす角をα1，α2
とすると、任意の入射角ｉで鋼板６に入射して反射した
ｐ偏光成分とｓ偏光成分が検光子８を通って合成された
ときの光強度Ｉ(α1，α2)は、ｐ成分とｓ成分の振幅反
射率をｒp，ｒsとすると次式で表せる。
光子８の透過軸Ａが鋼板６の入射面となす角をα1，α2
とすると、任意の入射角ｉで鋼板６に入射して反射した
ｐ偏光成分とｓ偏光成分が検光子８を通って合成された
ときの光強度Ｉ(α1，α2)は、ｐ成分とｓ成分の振幅反
射率をｒp，ｒsとすると次式で表せる。
【００１７】
【数１】
【００１８】ここでα1＝π／４にしたとき、α2＝０の
検光子８ａを通った光強度Ｉ1は、Ｉ1＝Ｉ0ρ2となり、
α2＝π／４の検光子８ｂを通った光強度Ｉ2は、Ｉ2＝
Ｉ0(１＋ρ2＋２ρcosΔ）／２、α2＝−π／４の検光
子８ｃを通った光強度Ｉ3は、Ｉ2＝Ｉ0(１＋ρ2−２ρc
osΔ）／２となる。この光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3からtanΨ
とcosΔ及び表面反射強度Ｉ0は次式で得られる。ただ
し、光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3はカメラのアンプゲインなど
の選び方によって定数倍される場合もある。
検光子８ａを通った光強度Ｉ1は、Ｉ1＝Ｉ0ρ2となり、
α2＝π／４の検光子８ｂを通った光強度Ｉ2は、Ｉ2＝
Ｉ0(１＋ρ2＋２ρcosΔ）／２、α2＝−π／４の検光
子８ｃを通った光強度Ｉ3は、Ｉ2＝Ｉ0(１＋ρ2−２ρc
osΔ）／２となる。この光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3からtanΨ
とcosΔ及び表面反射強度Ｉ0は次式で得られる。ただ
し、光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3はカメラのアンプゲインなど
の選び方によって定数倍される場合もある。
【００１９】
【数２】
【００２０】このtanΨとcosΔと表面反射強度Ｉ0を使
用して鋼板６の疵を検出する表面検査装置の動作を図４
の信号特性図を参照して説明する。光学系１から出射さ
れて一定速度で移動している鋼板６の一定間隔Ｌをおい
た各位置で反射した偏光はそれぞれ検光子８ａ，８ｂ，
８ｃを通ってラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃに入
射する。すなわち鋼板６表面の同一検査線上の像は間隔
Ｌに対応したずれが生じて検出される。このラインセン
サカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで鋼板６の表面からの反射光
の光強度を検出するときに、ラインセンサカメラ７ａの
前面にはα2＝０の検光子８ａが設けられているから、
ラインセンサカメラ７ａは前記光強度Ｉ1を検出し、ラ
インセンサカメラ７ｂの前面にはα2＝π／４の検光子
８ｂが設けられているから、ラインセンサカメラ７ｂは
前記光強度Ｉ2を検出し、ラインセンサカメラ７ｃの前
面にはα2＝−π／４の検光子８ｃが設けられているか
ら、ラインセンサカメラ７ｃは前記光強度Ｉ3を検出す
る。ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで検出した光
強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の分布を示す画像がそれぞれフレ−
ムメモリ１０ａ，１０ｂ，１０ｃに展開される。このよ
うにラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで光強度
Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3を検出するときに、α2＝０の検光子８ａ
を通ってラインセンサカメラ７ａに入射する光強度のＩ
1はラインセンサカメラ７ｂ，７ｃに入射する光強度
Ｉ2，Ｉ3のほぼ２倍程度になる。そこでラインセンサカ
メラ７ａの感度をラインセンサカメラ７ｂ，７ｃの感度
の１／２にしておくと、フレ−ムメモリ１０ａ，１０
ｂ，１０ｃに同じ程度の濃度を基準とした画像を生成す
ることができる。
用して鋼板６の疵を検出する表面検査装置の動作を図４
の信号特性図を参照して説明する。光学系１から出射さ
れて一定速度で移動している鋼板６の一定間隔Ｌをおい
た各位置で反射した偏光はそれぞれ検光子８ａ，８ｂ，
８ｃを通ってラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃに入
射する。すなわち鋼板６表面の同一検査線上の像は間隔
Ｌに対応したずれが生じて検出される。このラインセン
サカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで鋼板６の表面からの反射光
の光強度を検出するときに、ラインセンサカメラ７ａの
前面にはα2＝０の検光子８ａが設けられているから、
ラインセンサカメラ７ａは前記光強度Ｉ1を検出し、ラ
インセンサカメラ７ｂの前面にはα2＝π／４の検光子
８ｂが設けられているから、ラインセンサカメラ７ｂは
前記光強度Ｉ2を検出し、ラインセンサカメラ７ｃの前
面にはα2＝−π／４の検光子８ｃが設けられているか
ら、ラインセンサカメラ７ｃは前記光強度Ｉ3を検出す
る。ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで検出した光
強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の分布を示す画像がそれぞれフレ−
ムメモリ１０ａ，１０ｂ，１０ｃに展開される。このよ
うにラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで光強度
Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3を検出するときに、α2＝０の検光子８ａ
を通ってラインセンサカメラ７ａに入射する光強度のＩ
1はラインセンサカメラ７ｂ，７ｃに入射する光強度
Ｉ2，Ｉ3のほぼ２倍程度になる。そこでラインセンサカ
メラ７ａの感度をラインセンサカメラ７ｂ，７ｃの感度
の１／２にしておくと、フレ−ムメモリ１０ａ，１０
ｂ，１０ｃに同じ程度の濃度を基準とした画像を生成す
ることができる。
【００２１】演算用ＣＰＵ１１はフレ−ムメモリ１０
ａ，１０ｂ，１０ｃに生成された光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3
による偏光画像信号をラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，
７ｃの設置位置のずれを考慮して読み出し、各画素にお
ける振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔと鋼板６
の表面反射強度Ｉ0を逐次演算してフレ−ムメモリ１２
ａにはtanΨ画像を生成し、フレ−ムメモリ１２ｂにはc
osΔ画像を生成し、フレ−ムメモリ１２ｂにはＩ0画像
を生成する。この画像を生成するときに、各画素のtan
Ψ＝０〜２程度を０〜255階調に変換し、cosΔ＝−１〜
１を０〜255階調に変換して生成する。例えばcosΔ画像
において、正常部がcosΔ＝０であるとき、異常部をcos
Δ＝−１とすると、cosΔ画像で異常部は正常部より濃
度が濃い画像に形成される。ここで振幅反射率比tanΨ
と位相差Δを示すcosΔと鋼板６の表面反射強度Ｉ0を演
算するときに、ラインセンサカメラ７ａの感度をライン
センサカメラ７ｂ，７ｃの感度の１／２にしたときに
は、ラインセンサカメラ７ａで検出した光強度をＩ1と
すると、tanΨとcosΔ及びＩ0を下記で演算する。
ａ，１０ｂ，１０ｃに生成された光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3
による偏光画像信号をラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，
７ｃの設置位置のずれを考慮して読み出し、各画素にお
ける振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔと鋼板６
の表面反射強度Ｉ0を逐次演算してフレ−ムメモリ１２
ａにはtanΨ画像を生成し、フレ−ムメモリ１２ｂにはc
osΔ画像を生成し、フレ−ムメモリ１２ｂにはＩ0画像
を生成する。この画像を生成するときに、各画素のtan
Ψ＝０〜２程度を０〜255階調に変換し、cosΔ＝−１〜
１を０〜255階調に変換して生成する。例えばcosΔ画像
において、正常部がcosΔ＝０であるとき、異常部をcos
Δ＝−１とすると、cosΔ画像で異常部は正常部より濃
度が濃い画像に形成される。ここで振幅反射率比tanΨ
と位相差Δを示すcosΔと鋼板６の表面反射強度Ｉ0を演
算するときに、ラインセンサカメラ７ａの感度をライン
センサカメラ７ｂ，７ｃの感度の１／２にしたときに
は、ラインセンサカメラ７ａで検出した光強度をＩ1と
すると、tanΨとcosΔ及びＩ0を下記で演算する。
【００２２】
【数３】
【００２３】処理用ＣＰＵ１３はフレ−ムメモリ１２
ａ，１２ｂ，１２ｃに生成されたtanΨ画像とcosΔ画像
及びＩ0画像の各画素の濃度をシェ−ディング補正して
から正常部の濃度を基準として正規化して、濃度レベル
特性に変換処理する。このtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ
0画像の濃度レベル特性の変化により異常部の種別とそ
の程度を判定する。
ａ，１２ｂ，１２ｃに生成されたtanΨ画像とcosΔ画像
及びＩ0画像の各画素の濃度をシェ−ディング補正して
から正常部の濃度を基準として正規化して、濃度レベル
特性に変換処理する。このtanΨ画像とcosΔ画像及びＩ
0画像の濃度レベル特性の変化により異常部の種別とそ
の程度を判定する。
【００２４】例えば、板速度が300m/分で移動している
鋼板６に投光部２から偏光を入射角60度で入射し、検査
線間隔Ｌ＝100mmおきにラインセンサカメラ７ａ，７
ｂ，７ｃで光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3を検出してフレ−ムメ
モリ１０ａ，１０ｂ，１０ｃに展開した画像を図４
（ａ）に示す。また、このフレ−ムメモリ１０ａ，１０
ｂ，１０ｃに生成された光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3による偏
光画像から演算用ＣＰＵ１１で演算して生成したtanΨ
画像とcosΔ画像及びＩ0画像を図４（ｂ）に示す。ここ
で図４（ａ）、（ｂ）の画像において、画面中央部に示
す光強度の変化している部分２１は模様状疵を示し、右
端部の光強度の変化している部分２２は油しみ等の無害
であるが模様状のパタ−ンを示す。図４（ｂ）に示すよ
うにほとんど大部分を示す正常部と異常部ではtanΨ画
像とcosΔ画像及びＩ0画像の濃度が明らかに相違し、例
えば図４（ｂ）に示すようにcosΔ画像では異常部が正
常部より非常に濃くなる。このtanΨ画像とcosΔ画像及
びＩ0画像の各画素の濃度を正常部の濃度を基準として
正規化した濃度レベル特性を図４（ｃ）に示す。図４
（ｃ）に示すように、模様状疵２１のtanΨ画像の濃度
レベルはプラスになり、cosΔ画像の濃度レベルはマイ
ナスになり、Ｉ0画像の濃度レベルはマイナスになる
が、油しみ等の模様状パタ−ン２２の部分はtanΨ画像
の濃度レベルとcosΔ画像の濃度レベルはともにマイナ
スになり、Ｉ0画像の濃度レベルはプラスになる。した
がって、tanΨ画像の明暗とcosΔ画像の明暗とＩ0画像
の明暗により疵の種別を判別することができる。また、
それらの濃度レベルの変化度により疵の程度を判定する
ことができる。
鋼板６に投光部２から偏光を入射角60度で入射し、検査
線間隔Ｌ＝100mmおきにラインセンサカメラ７ａ，７
ｂ，７ｃで光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3を検出してフレ−ムメ
モリ１０ａ，１０ｂ，１０ｃに展開した画像を図４
（ａ）に示す。また、このフレ−ムメモリ１０ａ，１０
ｂ，１０ｃに生成された光強度Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3による偏
光画像から演算用ＣＰＵ１１で演算して生成したtanΨ
画像とcosΔ画像及びＩ0画像を図４（ｂ）に示す。ここ
で図４（ａ）、（ｂ）の画像において、画面中央部に示
す光強度の変化している部分２１は模様状疵を示し、右
端部の光強度の変化している部分２２は油しみ等の無害
であるが模様状のパタ−ンを示す。図４（ｂ）に示すよ
うにほとんど大部分を示す正常部と異常部ではtanΨ画
像とcosΔ画像及びＩ0画像の濃度が明らかに相違し、例
えば図４（ｂ）に示すようにcosΔ画像では異常部が正
常部より非常に濃くなる。このtanΨ画像とcosΔ画像及
びＩ0画像の各画素の濃度を正常部の濃度を基準として
正規化した濃度レベル特性を図４（ｃ）に示す。図４
（ｃ）に示すように、模様状疵２１のtanΨ画像の濃度
レベルはプラスになり、cosΔ画像の濃度レベルはマイ
ナスになり、Ｉ0画像の濃度レベルはマイナスになる
が、油しみ等の模様状パタ−ン２２の部分はtanΨ画像
の濃度レベルとcosΔ画像の濃度レベルはともにマイナ
スになり、Ｉ0画像の濃度レベルはプラスになる。した
がって、tanΨ画像の明暗とcosΔ画像の明暗とＩ0画像
の明暗により疵の種別を判別することができる。また、
それらの濃度レベルの変化度により疵の程度を判定する
ことができる。
【００２５】なお、上記実施例は投光部２の光源４を１
個の面状光源で構成した場合について説明したが、図５
の側面図に示すように、３個のラインセンサカメラ７
ａ，７ｂ，７ｃに対応して一定距離をおいて配置された
３個の線状光源４ａ，４ｂ，４ｃを用い、各線状光源４
ａ，４ｂ，４ｃから出射し鋼板６表面で反射した偏光を
対応するラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで受光す
るようにしても良い。
個の面状光源で構成した場合について説明したが、図５
の側面図に示すように、３個のラインセンサカメラ７
ａ，７ｂ，７ｃに対応して一定距離をおいて配置された
３個の線状光源４ａ，４ｂ，４ｃを用い、各線状光源４
ａ，４ｂ，４ｃから出射し鋼板６表面で反射した偏光を
対応するラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで受光す
るようにしても良い。
【００２６】また、上記各実施例は受光部３のラインセ
ンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃを鋼板６の移動方向に対し
て位置をずらして配置した場合について説明したが、図
６の上面図と図７の側面図に示すように、ラインセンサ
カメラ７ａ，７ｂ，７ｃを鋼板６の移動方向と直交する
同一ライン上で同じ高さの位置に設け、鋼板６の同一位
置からの反射光をラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃ
で同時に検出するようにしても良い。そしてスペ−ス的
に余裕がある場合にはラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，
７ｃに焦点距離の長いレンズを使用することにより、画
面上の被写界深度の問題を回避することができる。ま
た、場合によっては中心に設けたラインセンサカメラ７
ａの両側のラインセンサカメラ７ｂ，７ｃを一定角度内
側に向けても良い。
ンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃを鋼板６の移動方向に対し
て位置をずらして配置した場合について説明したが、図
６の上面図と図７の側面図に示すように、ラインセンサ
カメラ７ａ，７ｂ，７ｃを鋼板６の移動方向と直交する
同一ライン上で同じ高さの位置に設け、鋼板６の同一位
置からの反射光をラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃ
で同時に検出するようにしても良い。そしてスペ−ス的
に余裕がある場合にはラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，
７ｃに焦点距離の長いレンズを使用することにより、画
面上の被写界深度の問題を回避することができる。ま
た、場合によっては中心に設けたラインセンサカメラ７
ａの両側のラインセンサカメラ７ｂ，７ｃを一定角度内
側に向けても良い。
【００２７】上記実施例はラインセンサカメラ７ａ，７
ｂ，７ｃを鋼板６の移動方向と直交する同一ライン上で
同じ高さの位置に設けた場合について説明したが、図８
に示すようにラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃの設
置高さを変えて鋼板６の同一位置からの反射光を同時に
検出するようにしても良い。
ｂ，７ｃを鋼板６の移動方向と直交する同一ライン上で
同じ高さの位置に設けた場合について説明したが、図８
に示すようにラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃの設
置高さを変えて鋼板６の同一位置からの反射光を同時に
検出するようにしても良い。
【００２８】このとき、光源４からの光をレンズを用い
て平行光よりも若干収束させることにより入射角の幅を
持たせ、各ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃが光源
４からの正反射光を捕らえるようにすると良い。また光
源４として白色光源を用いた場合は、元々完全な平行光
にはできないので、若干異なる入射角と反射角の光を別
々のラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで拾うこと
で、光源光量をより有効に利用することができる。ま
た、ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃの設置高さを
変えると、入射角と反射角がラインセンサカメラ７ａ，
７ｂ，７ｃ毎に異なるという問題が考えられるが、例え
ば鋼板６から距離1000ｍｍの位置に50ｍｍ上または下に
ずらしてラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃを配置し
た場合、入射角と反射角の違いは３度程度である。図９
は冷延鋼板上の典型的な模様疵を測定したときの光強度
Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の信号レベルと初期入・反射角θからの
ずれとの関係を示す。図に示すように、入射角と反射角
のラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃ毎の相違が±３
度程度であれば、各信号の信号レベルの違いはせいぜい
数％であり、表面検査装置の性能上特に問題なく使用す
ることができる。
て平行光よりも若干収束させることにより入射角の幅を
持たせ、各ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃが光源
４からの正反射光を捕らえるようにすると良い。また光
源４として白色光源を用いた場合は、元々完全な平行光
にはできないので、若干異なる入射角と反射角の光を別
々のラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで拾うこと
で、光源光量をより有効に利用することができる。ま
た、ラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃの設置高さを
変えると、入射角と反射角がラインセンサカメラ７ａ，
７ｂ，７ｃ毎に異なるという問題が考えられるが、例え
ば鋼板６から距離1000ｍｍの位置に50ｍｍ上または下に
ずらしてラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃを配置し
た場合、入射角と反射角の違いは３度程度である。図９
は冷延鋼板上の典型的な模様疵を測定したときの光強度
Ｉ1，Ｉ2，Ｉ3の信号レベルと初期入・反射角θからの
ずれとの関係を示す。図に示すように、入射角と反射角
のラインセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃ毎の相違が±３
度程度であれば、各信号の信号レベルの違いはせいぜい
数％であり、表面検査装置の性能上特に問題なく使用す
ることができる。
【００２９】また、上記各実施例は投光部２から出射し
た偏光を鋼板６の表面に直接入射し、その反射光をライ
ンセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで直接受光する場合に
ついて説明したが、図１０に示すように、平行光源４か
ら鋼板６の表面に対して直交するように出射した光をミ
ラ−１４で反射してから偏光子５を通して所定の入射角
で鋼板６の表面に入射し、その反射光を検光子８ａ，８
ｂ，８ｃを通してからミラ−１５で反射して鋼板６の表
面に対して直交するように設けたラインセンサカメラ７
ａ，７ｂ，７ｃで受光するようにしても良い。このよう
に投光部２と受光部３を構成することにより、光学系１
の設置スペ−スを小さくすることができ、オンラインに
おける設置の自由度を改善することができる。なお、上
記実施例は偏光子５をミラ−１４の後段に設け、検光子
８ａ，８ｂ，８ｃをミラ−１５の前段に設けて偏光がミ
ラ−１４，１５の影響を受けないようにしたが、偏光子
５をミラ−１４の前段に設け、検光子８ａ，８ｂ，８ｃ
をミラ−１５の後段に設けて、ミラ−１４，１５の影響
を補正するようにしても良い。
た偏光を鋼板６の表面に直接入射し、その反射光をライ
ンセンサカメラ７ａ，７ｂ，７ｃで直接受光する場合に
ついて説明したが、図１０に示すように、平行光源４か
ら鋼板６の表面に対して直交するように出射した光をミ
ラ−１４で反射してから偏光子５を通して所定の入射角
で鋼板６の表面に入射し、その反射光を検光子８ａ，８
ｂ，８ｃを通してからミラ−１５で反射して鋼板６の表
面に対して直交するように設けたラインセンサカメラ７
ａ，７ｂ，７ｃで受光するようにしても良い。このよう
に投光部２と受光部３を構成することにより、光学系１
の設置スペ−スを小さくすることができ、オンラインに
おける設置の自由度を改善することができる。なお、上
記実施例は偏光子５をミラ−１４の後段に設け、検光子
８ａ，８ｂ，８ｃをミラ−１５の前段に設けて偏光がミ
ラ−１４，１５の影響を受けないようにしたが、偏光子
５をミラ−１４の前段に設け、検光子８ａ，８ｂ，８ｃ
をミラ−１５の後段に設けて、ミラ−１４，１５の影響
を補正するようにしても良い。
【００３０】また、上記各実施例はラインセンサカメラ
７ａ，７ｂ，７ｃでそれぞれ鋼板６の移動方向と直交す
るライン画像を検出する場合について説明したが、２次
元ＣＣＤカメラを使用して鋼板６の一定長さ毎の画像を
検出するようにしても良い。
７ａ，７ｂ，７ｃでそれぞれ鋼板６の移動方向と直交す
るライン画像を検出する場合について説明したが、２次
元ＣＣＤカメラを使用して鋼板６の一定長さ毎の画像を
検出するようにしても良い。
【００３１】
【発明の効果】この発明は以上説明したように、被検査
面に平行光束の偏光を入射し、被検査面からの反射光の
異なる光路にそれぞれ設けられ、異なる方位角を有する
３個の検光子を通した偏光の光強度分布を検出し、検出
した光強度分布を示す画像の各画素における偏光パラメ
−タすなわち振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔ
と表面反射強度Ｉ0を演算し、偏光パラメ−タの像tanΨ
画像とcosΔ画像及びＩ0画像を生成し、生成したtanΨ
画像とcosΔ画像とＩ0画像の異常部における明暗のパタ
−ンを利用して異常部の種別を判定し、それらの明暗の
輝度変化の度合いにより異常の程度を判定するようにし
たから、簡単な構成で被検査面の疵や油じみ等を精度良
く検出することができる。
面に平行光束の偏光を入射し、被検査面からの反射光の
異なる光路にそれぞれ設けられ、異なる方位角を有する
３個の検光子を通した偏光の光強度分布を検出し、検出
した光強度分布を示す画像の各画素における偏光パラメ
−タすなわち振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcosΔ
と表面反射強度Ｉ0を演算し、偏光パラメ−タの像tanΨ
画像とcosΔ画像及びＩ0画像を生成し、生成したtanΨ
画像とcosΔ画像とＩ0画像の異常部における明暗のパタ
−ンを利用して異常部の種別を判定し、それらの明暗の
輝度変化の度合いにより異常の程度を判定するようにし
たから、簡単な構成で被検査面の疵や油じみ等を精度良
く検出することができる。
【００３２】また、偏光角度の調整等を必要なしで迅速
に被検査面の疵等を検出できるから、連続的に製造され
て送られるシ−ト状製品の表面をオンラインで連続的に
検査することができる。
に被検査面の疵等を検出できるから、連続的に製造され
て送られるシ−ト状製品の表面をオンラインで連続的に
検査することができる。
【図１】この発明の実施例の光学系を示す構成図であ
る。
る。
【図２】上記実施例の信号処理部を示すブロック図であ
る。
る。
【図３】上記実施例の動作原理を示す説明図である。
【図４】上記実施例の動作を示す画像分布特性図であ
る。
る。
【図５】第２の実施例の光学系を示す側面図である。
【図６】第３の実施例の光学系を示す上面図である。
【図７】第３の実施例の光学系を示す側面図である。
【図８】第４の実施例の光学系を示す側面図である。
【図９】入・反射角のずれに対する光強度の信号レベル
の変化特性図である。
の変化特性図である。
【図１０】第５の実施例の光学系を示す側面図である。
１ 光学系 ２ 投光部 ３ 受光部 ４ 光源 ５ 偏光子 ６ 鋼板 ７ ラインセンサカメラ ８ 検光子 ９ 信号処理部 １０ フレ−ムメモリ １１ 演算用ＣＰＵ １２ フレ−ムメモリ １３ 処理用ＣＰＵ
フロントページの続き (72)発明者 大重 貴彦 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 投光部と受光部と信号処理部とを有し、
投光部は被検査面に平行光束の偏光を入射し、受光部は
被検査面からの反射光の異なる光路にそれぞれ設けら
れ、それぞれ異なる方位角を有する３個の検光子と、各
検光子を透過した光を受光するリニアアレイセンサとを
有し、被検査面からの反射光を入射し画像信号に変換
し、信号処理部は３個のリニアアレイセンサからの画像
信号を処理し、振幅反射率比tanΨと位相差Δを示すcos
Δと被検査面の表面反射強度Ｉ0を演算し、tanΨ画像と
cosΔ画像及びＩ0画像を生成し、生成したtanΨ画像とc
osΔ画像及びＩ0画像の各画素の濃度から表面の特性を
評価することを特徴とする表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28458096A JP3591160B2 (ja) | 1995-10-09 | 1996-10-08 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7-286377 | 1995-10-09 | ||
| JP28637795 | 1995-10-09 | ||
| JP28458096A JP3591160B2 (ja) | 1995-10-09 | 1996-10-08 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09166552A true JPH09166552A (ja) | 1997-06-24 |
| JP3591160B2 JP3591160B2 (ja) | 2004-11-17 |
Family
ID=26555524
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28458096A Expired - Fee Related JP3591160B2 (ja) | 1995-10-09 | 1996-10-08 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3591160B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11352054A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | エリプソメトリ装置 |
| JP2000009636A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | エリプソメトリ装置 |
| JP2001201456A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-07-27 | Nkk Corp | マーキング付き金属帯の製造方法 |
| EP1178301A1 (en) * | 1999-03-18 | 2002-02-06 | Nkk Corporation | Defect marking method and device |
| JP2003014648A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Toshiba Corp | 発光検出装置 |
| KR100484812B1 (ko) * | 2002-09-03 | 2005-04-22 | 엘지전자 주식회사 | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 |
| JP2005221391A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Jfe Steel Kk | 表面疵検査装置 |
| JP2006091007A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Toray Ind Inc | 中空糸膜モジュール検査装置 |
| JP2008026060A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 |
| JP2009229174A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置および方法 |
| US9080986B2 (en) | 2010-02-15 | 2015-07-14 | Ricoh Company, Ltd. | Transparent object detection system and transparent flat plate detection system |
| WO2016037735A1 (de) * | 2014-09-08 | 2016-03-17 | Khs Gmbh | Polarisationskamera zur überwachung von förderbändern |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102017209062B4 (de) * | 2017-05-30 | 2020-07-30 | Thyssenkrupp Ag | Erkennung von trockenen Fehlstellen auf beölten Stahlbändern mittels UV-Licht |
-
1996
- 1996-10-08 JP JP28458096A patent/JP3591160B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11352054A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | エリプソメトリ装置 |
| JP2000009636A (ja) * | 1998-06-19 | 2000-01-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | エリプソメトリ装置 |
| US7248366B2 (en) | 1999-03-18 | 2007-07-24 | Nkk Corporation | Method for marking defect and device therefor |
| EP1178301A1 (en) * | 1999-03-18 | 2002-02-06 | Nkk Corporation | Defect marking method and device |
| EP1178301A4 (en) * | 1999-03-18 | 2003-06-11 | Nippon Kokan Kk | METHOD AND DEVICE FOR MARKING DEFECTS |
| US7599052B2 (en) | 1999-03-18 | 2009-10-06 | Nkk Corporation | Method for marking defect and device therefor |
| US7423744B2 (en) | 1999-03-18 | 2008-09-09 | Nkk Corporation | Method for marking defect and device therefor |
| EP1857811A3 (en) * | 1999-03-18 | 2008-06-25 | JFE Steel Corporation | Method for marking defect and device therefor |
| JP2001201456A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-07-27 | Nkk Corp | マーキング付き金属帯の製造方法 |
| JP2003014648A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Toshiba Corp | 発光検出装置 |
| JP4673509B2 (ja) * | 2001-06-29 | 2011-04-20 | 株式会社東芝 | 発光検出装置 |
| KR100484812B1 (ko) * | 2002-09-03 | 2005-04-22 | 엘지전자 주식회사 | 이미지 센서를 이용한 표면 검사방법 및 검사장치 |
| JP2005221391A (ja) * | 2004-02-06 | 2005-08-18 | Jfe Steel Kk | 表面疵検査装置 |
| JP2006091007A (ja) * | 2004-08-26 | 2006-04-06 | Toray Ind Inc | 中空糸膜モジュール検査装置 |
| JP2008026060A (ja) * | 2006-07-19 | 2008-02-07 | Nippon Steel Corp | 絶縁皮膜被覆帯状体の疵検査装置 |
| JP2009229174A (ja) * | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Jfe Steel Corp | 表面検査装置および方法 |
| US9080986B2 (en) | 2010-02-15 | 2015-07-14 | Ricoh Company, Ltd. | Transparent object detection system and transparent flat plate detection system |
| WO2016037735A1 (de) * | 2014-09-08 | 2016-03-17 | Khs Gmbh | Polarisationskamera zur überwachung von förderbändern |
| CN107074455A (zh) * | 2014-09-08 | 2017-08-18 | Khs有限责任公司 | 用于监测传送带的偏振相机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3591160B2 (ja) | 2004-11-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4805674B2 (ja) | パターン化及び非パターン化物体を光学的に検査する方法及びシステム | |
| US7327464B2 (en) | System and method for coherent optical inspection | |
| JPH03267745A (ja) | 表面性状検出方法 | |
| JP3591160B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| US20090002686A1 (en) | Sheet Metal Oxide Detector | |
| JPH11311510A (ja) | 微小凹凸の検査方法および検査装置 | |
| JPH09178666A (ja) | 表面検査装置 | |
| EP0335163B1 (en) | Apparatus for detecting foreign matter on the surface of a substrate | |
| JPH11183397A (ja) | 表面疵検査装置及びその方法 | |
| JPH09178667A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3446008B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3826578B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3275737B2 (ja) | 表面検査装置及び表面検査方法 | |
| JPH0694642A (ja) | 表面欠陥検査方法および装置 | |
| JP3591161B2 (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH11183398A (ja) | 表面疵検査装置及びその方法 | |
| JP2000065755A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH09166549A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH09159621A (ja) | 表面検査装置 | |
| JPH06281593A (ja) | 表面検査方法及びその装置 | |
| JP3063523B2 (ja) | 表面疵の検出方法およびその装置 | |
| JP2005221391A (ja) | 表面疵検査装置 | |
| JP2002181723A (ja) | 表面検査装置 | |
| JP3257552B2 (ja) | 表面疵検出装置 | |
| JPH09178668A (ja) | 表面検査装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040723 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20040803 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040816 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080903 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080903 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090903 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090903 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100903 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100903 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110903 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110903 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120903 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120903 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130903 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |