JP2005221391A - 表面疵検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】被検査面13に偏光を入射する偏光光源14と、被検査面13からの反射光を異なる検光角に設定された少なくとも2以上の偏光受光手段16と、前記各偏光受光手段の光軸上で、被検査面13と各偏光受光手段16との間に設置された偏光状態調整手段15と、受光手段16で受光された偏光成分強度に基づき被検査面13の表面疵の有無を判定する判定処理手段とを備えた表面疵検査装置。さらに、偏光状態調整手段15は被検査面の正常部と疵部との偏光特性が異なるように調整された、あるいは、設定角度をそれぞれ調節された1/4波長板および偏光板からなることとすることもできる。また、偏光状態調整手段を偏光光源と被検査面との間に設置することもできる。
【選択図】図1
Description
Ec =rsT・Ein (1)
と表される。ただし、Einは方位角αの直線偏光ベクトル(列ベクトル)、Tは鋼板の反射特性行列を表す。それぞれの成分は、次のようになる。
T= (Tmn); T11=tanΨ・exp(jΔ), T12=T21=0, T22=1 (3)
ここで、Epは入射光のP偏光成分の複素振幅、t(・・・) は列ベクトル、tanΨはp,s偏光の振幅反射率比、Δはp,s偏光の反射率の位相差、rsはs偏光の振幅反射率を表す。なお、式(1)は行列表現により数1のように表すこともできる。
S=|rs|cos(φ+Δ)
ここで、
|rp|=cosΔtanΨ
|rs|=sinα
偏光ベクトルP,Sは、φが0〜360゜の範囲を移動すると、式の形から明らかなように楕円の軌跡を描く。この楕円偏光の状態は、入射する直線偏光の角度α 及びΔとΨにより決まる。反射率の位相差Δと偏光の振幅反射率比tanΨは表面の物性により決まる値である。この直線偏光の楕円偏光への変換は可逆的であり、表面の物性に合わせた楕円偏光を入射すれば、反射光を直線偏光に変換することができる。
この時の疵部と母材部との偏光特性の違いが疵部と母材部の弁別すなわち疵検出能を左右する事となる。
6 テンパ部
7 非テンパ部
8、24 入射光
10 鏡面拡散反射光
11 異常部(ヘゲ部)
12 母材部(正常部)
13 被検査面
14 線状拡散光源
15 偏光板
16 受光カメラ
17 検光子
21 鋼板
22 線状拡散光源
23 遮光ケース
24 入射光
25 シリンドリカルレンズ
26 45°偏光の偏光板
27 反射光
28 ミラー
29a〜d カメラユニット
30 信号処理部
32a〜c 別のカメラユニット
33a〜d 検光子
36a〜c 2値化処理部
37a〜c 特徴量演算部
38a 鏡面性疵判定部
38b 鏡面拡散性疵判定部
39 疵総合判定部
40a 表面疵検査手段
40b 表面検査手段
41 表面疵検出装置
Claims (4)
- 被検査面に偏光を入射する偏光光源と、
この被検査面からの反射光を異なる検光角に設定された少なくとも2以上の偏光受光手段と、
前記各偏光受光手段の光軸上で、前記被検査面と前記各偏光受光手段との間に設置された偏光状態調整手段と、
該受光手段で受光された偏光成分強度に基づき前記被検査面の表面疵の有無を判定する判定処理手段と、
を備えたことを特徴とする表面疵検査装置。
- 偏光状態調整手段は被検査面の正常部と疵部との偏光特性が異なるように調整されたことを特徴とする請求項1記載の表面検査装置。
- 偏光状態調整手段は、設定角度をそれぞれ調節された1/4波長板からなることを特徴とする請求項1または請求項2記載の表面疵検査装置。
- 請求項1ないし請求項3記載の表面疵検査装置において、偏光状態調整手段を被検査面と偏光受光手段との間に設置するのに代えて、偏光光源の光軸上で、前記偏光光源と前記被検査面との間に設置したことを特徴とする表面疵検査装置。
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