JPS58204353A - 金属物体表面探傷方法 - Google Patents

金属物体表面探傷方法

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JPS58204353A
JPS58204353A JP8769782A JP8769782A JPS58204353A JP S58204353 A JPS58204353 A JP S58204353A JP 8769782 A JP8769782 A JP 8769782A JP 8769782 A JP8769782 A JP 8769782A JP S58204353 A JPS58204353 A JP S58204353A
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JP
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reflected light
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slab
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JP8769782A
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English (en)
Inventor
Takeshi Kitagawa
北川 孟
Yoshio Ueshima
上嶋 義男
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JFE Steel Corp
TOEI DENSHI KOGYO KK
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
TOEI DENSHI KOGYO KK
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901Optical details; Scanning details

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、金属物体表面探傷方法に係り、特に、連Mu
造スラブ等の走行中のs潰綱材の表面欠陥をオンライン
で検出する際に用いるのに好適な、走行中の被検体の表
面に外部から光を照射し、被検体表面による反射光を受
光して、被検体の表面欠陥を検出するようにした金属物
体表面探傷方法の改良に関する。
搬送ラインを走行中の被検体の表面に外部から光を煕射
し、被検体表面による反射光を受光して、被検体の表面
欠陥を検出するようにした光学的衣11iIi$i傷方
法が知られている。この光学的表面探傷り法は、例えば
第1図に示す如く、被検体10の走行ライン上方の、被
検体直上方向に配置した投光器12から被検体10表面
に扇状の外部光或いは飛点走査される外部光を照射し、
同じく被検体走行ラインの被検体直上方向に配置した受
光器14により受光される反射光の諸物速量の変化(光
量変化又は回折パターン等)から、被検体10の表面欠
陥を検出するものである。例えば、前記投光器12とし
てレーザ光源を用いた場合には、スポット状の光点を飛
点走査方式−(゛被検体10の幅方向に走査し、被検体
10からの反射光を光電子増倍管やシリコンフォトセル
等からなる受光器14で受光して、各点の光量変化から
、欠陥部の幅方向位置を検出する。又、前記投光器12
として白色光の棒状光源を用いた場合には、被検体10
からの反射光を、−次元イメージセンサからなる受光器
14で飛点走査方式により一点(−11ずつ順に受光す
る。
このような光学的表面探傷方法によれば、走行中の被検
体10の表面欠陥を非接触でオンライン測定できるとい
う特徴を有するが、従来は、雑音信号を欠陥信号と誤認
し、誤検出のM度が高く、実用上の障害となっていた。
又、被検体1oとして、例えば冷開圧延鋼板等の常温被
検体が主たる対象とされており、連続鋳造スラブ等のよ
うな高温材の表面探傷にそのまま用いることは、耐熱性
等の点で問題があった。更に、回転ミラ一部等、複雑な
機構を有し、装置全体の耐熱対策及び調整が非常に繁雑
であった。
本発明は、前記従来の欠点を解消するべくなされたもの
で、走行中の被検体の表面欠陥を、^いS/N比で精度
良く検出することができる金属物体表面探傷方法を提供
することを目的とする。
本発明は、走行中の被検体の表面に外部から光を照射し
、被検体表面による反射光を受光して、被検体の表面欠
陥を検出するようにし・た金属物体表面探傷方法におい
て、被検体走行ライン上方の、被検体走行方向前方[又
は後方に配置した投光器か:1 ら、被検体表面と照1光入射方向とのなす角度が35度
〜75度となるように、被検体表面に外部光を照射し、
被検体走行ライン上方の投光器と同−側或いは反対側の
側方に配置した散乱反射光受光器により受光される、照
射光入射方向或いは正反射方向となす角度が20度以内
の散乱反射光の変化と、被検体走行ライン上方の投光器
と反対側に配置した正反射光受光器により受光される正
反射光の変化から、被検体の表面欠陥を検出するように
して、前記目的を達成したものである。
又、前記投光器から照射される外部光を、所定偏光面を
有する光とし、及び/或いは、前記散乱反射光受光器及
び正反射光受光器で、それぞれ散乱反射光及び正反射光
の所定偏光成分を受光するようにして、S/N比を格段
に^めたものである。
以下本発明の詳細な説明する。
本発明は、前出第1図に示したような、投光器12によ
り走行中の被検体10の表面に外部から光を照射し、被
検体10の表面による反射光を受光器14により受光し
て、被検体10の表面欠陥を検出するようにした表面探
傷方法において、発明者等が、投光器12による照射光
入射方向と、受光器14による反射光受光方向とを種々
変えて最適な位置関係について実験した結果に基づいて
なされたものである。
即ら、投光器12を、被検体走行ライン上方の、被検体
走行方向前方に配置し、被検体表面と照射光入射方向と
のなす角度θ1を、変化させて、被検体走行ライン上方
の投光112と反対側に配置した受光114により、正
反射方向となす角度θ2が101の散乱反射光を受光し
、これから被検体10の表面欠陥を検出したところ、欠
陥信号の8 /” N比は、第2図に実線Aで示す如く
となった。
図から明らかな如く、角度θ1が35度〜75度の範囲
内にある場合には、欠陥信号のS/N比が、実用上欠陥
信号を弁別し得る水準であるS/N比2.0以上となり
、精度の高い欠陥検出が可能である。
又、投光器12による照射光入射方向と被検体表面との
なす角度θ1を45度に固定して、前記受光器14によ
る散乱反射光受光方向と正反射方向とのなす角度θ2を
変化させ、散乱反射光から検出される欠陥信号のS/N
比の変化状態を調べたところ、第3図に示すような結果
が得られた。
図から明らかな如く、角度θ2が±20度以内であれば
、欠陥信号のS/N比は2.0以上であり、IIIの^
い欠陥検出が可能である。
更に、投光器12を、同じく被検体走行ライン上方の、
被検体走行方向前方に配置し、被検体表面と照射光入射
方向とのなす角度θ1を変化させて、被検体走行ライン
上方の投光器12と反対側の、被検体表面と反射光受光
方向とのなす角度が前記角度θ1と等しい正反射光受光
位置に配置した受光器14により正反射光を受光し、こ
れから被検体10の表面欠陥を検出したところ、欠陥信
号のS/N比は、第4図に示す如くとなった。図から明
らかな如く、正反射光から求めた欠陥信号に関しても、
前記の散乱反射光から求めた欠陥信号と同様に、角度θ
1が35度〜75度の範囲内であれば、S/N比2.0
以上となり、精度の^い欠陥検出が可能である。
尚、前記角度θ1をあまり小さくすると、投光器12と
受光器14との距離が大きくなるので、実操業ライン上
における設置条件としては不利である。−万1角度θ1
が人であるけど、被検体10の上下動の彰智は受Gノに
くくなるものの、投光器12と受光器14が接触」る恐
れがある。従って、上述の如き、35度へ・75度の範
囲内が好ましく、特に、実用上は、45flt〜75度
の範囲がより有効である。
又、被検体10の上面に縦割れが存在した場合、正反射
方向から10度ずれた位置に配置された散乱反射光受光
器によって受光される受光信号は、第5図(A>に示す
如くとなるのに対し、正反射光受光器によって受光され
る受光信号は、第5図(B)に示す如くとなるので、両
者の出り信号を比較し、例えば、その論理和をとること
によって、スクール等の疑似欠陥信号発生源に影響され
ない、精度の良い表面欠陥の検出が可能である。第5図
において、ビークBが、縦割れによる欠陥信号である。
上記のような比較処理を行って得られた欠、・□ 陥信号のS 、/ N比を第2図中に破線Cで示づ。
史に1、前記のような角度範囲において、偏光条件を適
正に設定した場合、欠陥信号のS/N比は、更に向上し
た。即ち、前記投光器12により照射される照射光を直
線偏光とし、その偏光面を調整して、被検体10表面上
の棒状(帯状)視野の長辺に平行、即ち、被検体10の
幅方向に平行な偏光面を持つ外部光とし、被検体10か
らの反射光を受光する際に、やはり紙傷光面の光のみを
受光器14に入力するようにしたところ、前記と同様な
角度条件において、散乱反射光受光器及び正反射光受光
器の受光信号のS/N比は、第6図(A)、(B)にそ
れぞれ示す如く格段に向上した。尚、−光条件は、前記
例に限定されず、例えば、照射光の偏光面を、被検体1
0表面上の桿状(帯状)視野の短辺に平行、即ち、被検
体10の長手方向に平行なものとし、前記偏光面と直交
する散乱偏光面の光、即ち、だ円偏光成分のみを受光す
るようにしても、同様の効果が得られる。
本発明は、上記のような知見に基いてなされたものであ
る。
以下図面を参照して、本発明に係る金属物体表面探傷方
法が採用された連続鋳造スラブの表(Iifftain
tの実施例を詳細に説明する。
本発明の第1実1に例は、第7図に示づ如く、連続鋳造
スラブ20の走行ライン上りのスラブ走行り向前方に配
置された、連続鋳造スラブ20表面と照射光入射方向と
のなす角度θ1が、3513iL〜7511となるよう
に、連続鋳造スラブ20の表面に外部光を照射するレー
ザ光122と、該レーザ光源22により発振されたレー
ザ光22aを、連続鋳造スラブ20上の心嚢視野幅まで
帯状に広げるためのシリンドリカルレンズ24と、スラ
ブ走り1フィン上方の前記レーザ光I2°2と反対側に
配Hされた、正反射方向となす角度θ2が20度以内の
散乱反射光を受光するための散乱反射光受光カメラ26
と、スラブ走行ライン上方の前記レーザ光1122と反
対側の、連続鋳造スラブ20表面と反射光受光方向との
なす幾度が前記角度θ、と等しい正反射光受光位置に配
置された、正反射光を受光するための正反射光受光カメ
ラ28と、前記散乱反射光受光カメラ26出力の散乱反
射光信号を処理するための散乱位射光信号処理回M30
と、前記正反射光受光カメラ28出りの正反射光信号を
処理するための正反射光信号処理回路32と、前記散乱
反射光信号処理回路30と正反射光信号処理回路32の
出力を比較して、欠陥信号のみを出力する比較回路34
とから構成されている。
17図において、36.38は、それぞれ散乱反射光受
光カメラ26及び正反射光受光カメラ28の受光部に配
設された、レーザ光源22から照射されたレーザ光22
aの使用波長域のみを通過させることによつC1連続鋳
造スラブ20の自発光エネルギの影響を除去し、検出精
度を高めるための干渉フィルタである。
前記レーザ光1i22としては、例えば出力5Wのアル
ゴンレーザを用いることができる。一般に、^温物体を
被検体とした場合、被検体の自発光エネルギは、赤外及
び可視の長波長側に強いエネル111 ギ成分を持つので、反射光を受光して欠陥信号を得る場
合には、なるべく自発光成分の少ない短波長の光を投射
したhが有利である。アルゴンレーザは、最強出力の波
長が500II近傍の波長を持つので、連続鋳造スラブ
のような高温鋼材の自発光成分の比較的弱い波長域に該
当し、且つ、この種のレーザは、連続して比較的強い出
力が得られるので、表面探傷の光源としては有効である
。このレーザ光1122は、受光信号処理時におけるア
ドレス付けを容易とするため、連続鋳造スラブ22の幅
方向中央位置、或いは、そこから±10%程度以内の位
置に配置されている。
前記散乱反射光受光カメラ26及び正反射光受光カメラ
28としては、例えば電荷結合デバイスを用いた電子走
査型イメージセンサが焦点面に配設されたものを用いる
ことができる。各受光カメラのレンズは、被検体−受光
カメラ間距離、帯状投光向の幅等により、最適な口径に
選定されている。今、2048素子のセンサを用いて視
野幅111を検査する場合、その幾何学的分解能は約0
.51となる。
前記レーザ光源22、シリンドリカルレンズ24等を含
む投光装置、前記散乱反射光受光カメ726、干渉フィ
ルタ36等を含む散乱反射光受光装置、前記正反射光受
光カメラ28、干渉フィルタ38等を含む正反射光受光
装置は、いずれも、艮時闇連続使用可能なように、気体
或いは液体による耐熱対策が施されている。
以上作用を説明する。
表面温1[500℃以上の連続鋳造スラブ20は、叡造
ラインを矢印りの方向にほぼ一定の速喰で走行しており
、少なくとも被検面が平坦こみなし得る状態となってい
る。レーザ光1122から発振されたレーザ光22aは
、シリンドリカルレンズ24により帯状に連続鋳造スラ
ブ20上に投光される。連続鋳造スラブ20の被検面に
よって反射されたレーザ光は、散乱反射光受光カメラ2
6及び正反射光受光カメラ28に入射し、帯状光の像が
、各受光カメラ26.28の焦点面に一次元情報として
入力され、各信号処理回路30.32で欠陥信号化され
た後、比較回路34で、各欠陥信号の被検体幅方向アド
レスも考慮して、疑似欠陥信号が除去され、真正の欠陥
信号のみが出力される。
本実施例においては、投光器として、レーザ光源22を
用いているので、レーザ光源22及びシリンドリカルレ
ンズ24の部分と、高温材である連続鋳造スラブ20と
のパスラインの距離、及び、連続鋳造スラブ20と各受
光カメラ26.28とのパスラインの距離を大きくとる
ことが可能であり、耐熱対策上有利である。即ち、レー
ザ光は、強い指向性を持っており、そのビームが非常に
小さく、エネルギ密度が極めて高いため、距離に対する
減裏がほとんど無く、シリンドリカルレンズ24(”横
に広げても、十分に高いエネルギ密度が得られる。又、
レーザ光の特性として、その波長成分が単一であるので
、本実施例のように、使用するレーザに適した干渉フィ
ルタ36.38を、各受光カメラ26.28のレンズ前
面に取付けることによって、レーザ光のみを極めて選択
的に受光することが可能であり、自発光エネルギの影響
を効果的に除去することが容易である。尚、投光器の種
類は、これに限定されず、例えば、白色光を役制する水
銀灯を用いることも可能である。
又、本実施例においては、レーザ光源22からの光を、
連続鋳造スラブ20の表面に帯状に投光し、その反射光
を、電子走査型のイメージセンサで受光して出力信号を
得るようにし7ているので、信号取出し走査を、従来の
機械的走査より格段に^連化できる。従って、被検体の
走行速度が1000m /分以上の場合でも、応答する
ことが可能である。
父、光電子増倍管ヤシリコンフオトセル、増幅器等で受
光器を構成した場合に比へて、受光器が小型であり、耐
湿、耐熱、耐酸等の遮蔽対策が行いやすい。更に、探傷
装置全体として、回転部分がないので、保守も容易であ
る。
次に、本発明の第2実施例を詳細に説明する。
本実施例は、第8図に示す如く、前記第1実施例と同様
の、レーザ光8i22と、シリンドリカルレンズ24と
、散乱反射光受光カメラ26と、正反射光受光カメラ2
8と、信号−理回路30.32と、比較回路34と、干
渉フィルタ36.38とを有する連続鋳造スラブ20の
表面探傷装置において、前記レーザ光122を、所定偏
光面を有する直線偏光性レーザ光源とすると共に、該レ
ーザ光源22の投光レンズ前面に、偏光面を回転するた
めの偏光面回転子40を光軸まわりに回転可能な状態で
装着し、更に、各受光カメラ26.2Bの受光レンズ前
面と干渉フィルタ36.38の間に、1個又は複数個の
偏光フィルタ42.44を光軸まわりに回転可能な状g
でiwしたちのCある。他の構成及び基本的な作用につ
いては、前記第1実施例と同様であるので、説明は省略
する。
本実施例においては、欠陥のパターンに合せて偏光条件
を適宜設定することにより、S 、、’ N比が格段に
良好な欠陥信号を嵜ることができる。例えば、1・−チ
カット前の連続鋳造スラブを探傷する欄ΔIj、スラブ
走行速度がM造機の引抜き速度と等しく、21/分以上
の低速であるので、投光系、“。
受光系の偏光条件を、欠陥のパターンに合せて順次切換
えて、はぼ同一視野を検査することが可能(・あり、数
種の欠陥を同時に検出4−ることができる。
尚、前記実施例においては、レーザ光122に偏光面回
転子40が設けられると共に、受光カメラ26.28の
前面に偏光フィルタ42.44が配設されていたが、レ
ーザ光源22が、直線偏光性レーザ光源である場合には
、その配役位置を工夫することによつ【、−光面回転子
40を5略することも可能である。
又、前記レーザ光源22が、ランダム偏光レーザ光源又
は白色光源である場合には、該投光器の前面に1個又は
複数個の偏光フィルタを追加することも可能である。
更に、前記投光器による照射光を、偏光特性を有しない
外部光とし、前記受光器の前面に偏光フィルタを配設し
て、受光器により散乱反射光の所定偏光成分のみを受光
するように構成することも可能である。
又、前記受光器で検出される散乱反射光及び正反射光の
偏光条件は必ずしも同一とする必要はなく、散乱反射光
受光器の偏光条件を入射光と同一とし、正反射光受光器
の偏光条件を、入射光偏光面と直交fるようにし−(、
正反射光受光器で、欠陥部からの散乱によるだ円偏光成
分を測定する五゛うにしても、同様な効果が得られる。
尚、前記実施例においでは、いずれも、散乱反劇光受光
カメラ26が、スラブ走行ライン上りのレーザ光源22
と反対側に配置され、該受光カメノ26により、正反射
方向となす角度が20度以内の散乱反射光を受光するよ
うにされていたが、散乱反射光を受光するF5ffiは
、これに限定されず、散乱反射光受光カメラ26を、ス
ラブ走行ライン[7jのレーデ光源22と同一側に配置
して、前記受光カメラ26により、照射光入射方向とな
す角度が20度以内の散乱反射光を受光することも可能
ぐある。
前記実施例においては、いずれも、本発明が、A1材で
ある連続鋳造スラブの探傷に適用されていたが、本発明
の適用範囲はこれに限定されず、より^速C走行する仕
上圧延機出側の熱延綱帯のオンライン探傷、酸洗ライン
のオンライン探傷、冷延鋼帯、綱板のオンライン探傷等
にも同様に適用できる口と昏ヨ明らかである。
以上説明した通り、本発明によれば、連続鋳造スラブ等
の走行中の被検体の表向欠陥を、高いS 、’ N比支
枯度良く検出することができる。又、スケール等の疑似
欠陥の影豐を受けることがない等の優れた効果をhする
【図面の簡単な説明】
第1図番よ、従来の表面探傷り汰がhわれている状態を
示す斜視図、第2図は、本発明の原理を承り、比較処理
を行う前後の被検体表面と照射光入射方向とのな−J 
M度と、散乱反射光の変化から検出した欠陥信号の87
・′N比との関係を比較して示す線図、第3図1よ、同
じく、正反射方向と散乱反射光受光方向とのなす角度と
、散乱反射光の変化から検出した欠陥信号の87・N比
との関係の一例を示す縮図、第4図は、同じく、被検体
表面と照□ 躬光人射方向とのなす角度と、正反射光の変化から検出
した欠陥信号のS、・′N比との関係の一例を示す線図
、第5図(A)、(B)は、同じく、偏光条件を設定し
なかった時の、縦割れ検出時の散乱反射光及び正反射光
の変化状態の比較を示す線図、146図(A>、(B)
は、同じく、偏光条件を設定した時の、縦割れ検出時の
散乱反射光及び正反制光の変化状態の比較を示す線図、
第7図は、本発明に係る金属物体表向探傷方法が採用さ
れた連続鋳造スラブの表面探傷装置の第1実施例の構成
を示す、一部ブロック線図を含む斜視図、第8図(j、
同じく、W42実施例の構成を示す、一部プEコック線
図を含む斜視図である。 10・・・被検体、 12・・・投光器、 14・・・受光器、 20・・・連続鋳造スラブ、 22・・・レーザ光源、 24・・・シリンドリカルレンズ、 26・・・散乱反射光受光カメラ、 □ 28・・・正反射光受光カメラ、 30・・・散乱反射光信号処理回路、 32・・・正反射光信号処理回路、 34・・・比較回路、 36.38・・・干渉ノイルり、 40・・・偏光面回転子、 42.44・・・−光ノイルタ。 代理人  ^ 矢  論 (ばか1名)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)走行中の被検体の表面に外部から光を照射し、被
    検体表面による反射光を受光して、被検体の表面欠陥を
    検出するようにした金属物体表面探傷方法において、被
    検体走行ライン上方の、被検体走行方向前方又は後方に
    配置した投光器から、被検体表面と照射光入射方向との
    なす角度が35度〜75度となるように被検体表面に外
    部光を照煕躬光大剣方向或いは正反射方向となす角度が
    20度以内の散乱反射光の変化と、被検体走行ライン上
    方の投光器と反対側に配置した正反射光受光器により受
    光される正反射光の変化から、被検体の表面欠陥を検出
    するようにしたことを特徴とする金属物体表面探傷方法
  2. (2)前記投光器から照射される外部光が、所定偏光面
    を有する光とされている特許請求の範囲第1項に記載の
    金属物体表面探傷方法。 (3・〉前記散乱反射光受光器及び正反射光受光器C1
    それぞれ散乱反射光及び正反射光の所定偏光成分を受光
    するようにされている特許請求の範囲vAJ項に記載の
    金属物体表面探傷方法。
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63167246U (ja) * 1987-04-22 1988-10-31
JP2005221391A (ja) * 2004-02-06 2005-08-18 Jfe Steel Kk 表面疵検査装置
JP2006242886A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Nippon Steel Corp 表面疵検査装置
US7248366B2 (en) 1999-03-18 2007-07-24 Nkk Corporation Method for marking defect and device therefor
US7286234B2 (en) 2001-12-13 2007-10-23 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co. Ltd. Copper foil inspection device copper foil inspection method defect inspection device and defeat inspection method
JP2008267972A (ja) * 2007-04-19 2008-11-06 Jfe Steel Kk 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法
JP2009047517A (ja) * 2007-08-17 2009-03-05 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd 検査装置
JP2009229174A (ja) * 2008-03-21 2009-10-08 Jfe Steel Corp 表面検査装置および方法
JP2013057570A (ja) * 2011-09-07 2013-03-28 Jfe Steel Corp 表面欠陥検出装置
WO2021218386A1 (zh) * 2020-04-28 2021-11-04 宝山钢铁股份有限公司 一种连铸坯表面二维三维组合成像检测系统及其方法

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63167246U (ja) * 1987-04-22 1988-10-31
US7599052B2 (en) 1999-03-18 2009-10-06 Nkk Corporation Method for marking defect and device therefor
US7248366B2 (en) 1999-03-18 2007-07-24 Nkk Corporation Method for marking defect and device therefor
US7423744B2 (en) 1999-03-18 2008-09-09 Nkk Corporation Method for marking defect and device therefor
US7286234B2 (en) 2001-12-13 2007-10-23 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co. Ltd. Copper foil inspection device copper foil inspection method defect inspection device and defeat inspection method
JP2005221391A (ja) * 2004-02-06 2005-08-18 Jfe Steel Kk 表面疵検査装置
JP2006242886A (ja) * 2005-03-07 2006-09-14 Nippon Steel Corp 表面疵検査装置
JP4511978B2 (ja) * 2005-03-07 2010-07-28 新日本製鐵株式会社 表面疵検査装置
JP2008267972A (ja) * 2007-04-19 2008-11-06 Jfe Steel Kk 表面欠陥検査装置および表面欠陥検査方法
JP2009047517A (ja) * 2007-08-17 2009-03-05 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Co Ltd 検査装置
JP2009229174A (ja) * 2008-03-21 2009-10-08 Jfe Steel Corp 表面検査装置および方法
JP2013057570A (ja) * 2011-09-07 2013-03-28 Jfe Steel Corp 表面欠陥検出装置
WO2021218386A1 (zh) * 2020-04-28 2021-11-04 宝山钢铁股份有限公司 一种连铸坯表面二维三维组合成像检测系统及其方法

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