JP2004012898A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. （Ａ）一般式（Ｚ）で表される基を有する繰り返し単位と酸の作用により分解してアルカリ可溶性基となる基を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、
   （Ｂ）活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物として、（Ｂ１）活性光線または放射線の照射により少なくとも１つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、
   （Ｂ２）活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、
   （Ｂ３）活性光線または放射線の照射により少なくとも１つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物、及び
   （Ｂ４）活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物
   から選ばれる少なくとも２種の化合物、
   （Ｃ）溶剤、及び
   （Ｄ）界面活性剤
   を含有する感光性樹脂組成物。
   

   

   式（Ｚ）中、Ｒ₅₀〜Ｒ₅₅は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、フッ素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。但し、Ｒ₅₀〜Ｒ₅₅の内、少なくとも１つは、フッ素原子又は少なくとも１つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
2. 一般式（Ｚ）で表される基を有する繰り返し単位が下記一般式（１）又は（２）で表されることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
   

   

   Ｑ₁は脂環式炭化水素基を表す。Ｌ₁及びＬ₂は連結基、Ｚは一般式（Ｚ）で表される基を表す。Ｒ_x1及びＲ_y1は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
3. 酸の作用により分解してアルカリ可溶性基となる基を有する繰り返し単位が下記一般式（３）又は（４）で表されることを特徴とする請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
   

   

   Ｑ₂は、脂環式炭化水素基を表す。Ｌ₃及びＬ₄は連結基、Ｖは酸の作用により分解してアルカリ可溶性基となる基を表す。Ｒ_x2及びＲ_y2は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
4. （Ａ）成分が下記一般式（Ｉ）、（ＩＩ）及び（ＶＩ）で示される繰り返し単位を各々少なくとも一つ有する樹脂であることを特徴とする請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
   

   

   一般式（Ｉ）、（ＩＩ）及び（ＶＩ）中、Ｒ₁、Ｒ₅、Ｒ_17a及びＲ₁₇は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Ｒ₂、Ｒ₃、Ｒ₆及びＲ₇は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ヒドロキシル基又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシロキシ基、アルケニル基、アリール基若しくはアラルキル基を表す。Ｒ₅₀〜Ｒ₅₅は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、フッ素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。但し、Ｒ₅₀〜Ｒ₅₅の内、少なくとも１つは、フッ素原子又は少なくとも１つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。Ｒ₄は、下記一般式（ＩＶ）又は（Ｖ）の基を表す。Ｒ₁₈は、−Ｃ（Ｒ_18d）（Ｒ_18e）（Ｒ_18f）又は−Ｃ（Ｒ_18d）（Ｒ_18e）（ＯＲ_18g）を表す。Ｒ_18d〜Ｒ_18gは、同じでも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アラルキル基若しくはアリール基を表す。Ｒ_18d、Ｒ_18e、Ｒ_18fの内の２つ又はＲ_18d、Ｒ_18e、Ｒ_18gの内の２つが結合して環を形成してもよい。
   

   

   一般式（ＩＶ）中、Ｒ₁₁、Ｒ₁₂及びＲ₁₃は、同じでも異なっていてもよく、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アラルキル基又はアリール基を表す。
   一般式（Ｖ）中、Ｒ₁₄及びＲ₁₅は、同じでも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Ｒ₁₆は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基若しくはアリール基を表す。Ｒ₁₄〜Ｒ₁₆の内の２つが結合し、環を形成してもよい。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物により膜を形成し、当該膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。