JP2004012898A5 - - Google Patents

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Claims (5)

  1. (A)一般式(Z)で表される基を有する繰り返し単位と酸の作用により分解してアルカリ可溶性基となる基を有する繰り返し単位を含有する、酸の作用により分解しアルカリ現像液に対する溶解度を増大する樹脂、
    (B)活性光線または放射線の照射により酸を発生する化合物として、(B1)活性光線または放射線の照射により少なくとも1つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、
    (B2)活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のスルホン酸を発生する化合物、
    (B3)活性光線または放射線の照射により少なくとも1つのフッ素原子で置換された脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物、及び
    (B4)活性光線または放射線の照射によりフッ素原子を含有しない脂肪族あるいは芳香族のカルボン酸を発生する化合物
    から選ばれる少なくとも2種の化合物、
    (C)溶剤、及び
    (D)界面活性剤
    を含有する感光性樹脂組成物。
    Figure 2004012898
    式(Z)中、R50〜R55は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、フッ素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。但し、R50〜R55の内、少なくとも1つは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。
  2. 一般式(Z)で表される基を有する繰り返し単位が下記一般式(1)又は(2)で表されることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
    Figure 2004012898
    1は脂環式炭化水素基を表す。L1及びL2は連結基、Zは一般式(Z)で表される基を表す。Rx1及びRy1は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
  3. 酸の作用により分解してアルカリ可溶性基となる基を有する繰り返し単位が下記一般式(3)又は(4)で表されることを特徴とする請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
    Figure 2004012898
    2は、脂環式炭化水素基を表す。L3及びL4は連結基、Vは酸の作用により分解してアルカリ可溶性基となる基を表す。Rx2及びRy2は、各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。
  4. (A)成分が下記一般式(I)、(II)及び(VI)で示される繰り返し単位を各々少なくとも一つ有する樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
    Figure 2004012898
    一般式(I)、(II)及び(VI)中、R1、R5、R17a及びR17は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。R2、R3、R6及びR7は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、ハロゲン原子、シアノ基、ヒドロキシル基又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルコキシ基、アシル基、アシロキシ基、アルケニル基、アリール基若しくはアラルキル基を表す。R50〜R55は、同じでも異なっていてもよく、水素原子、フッ素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。但し、R50〜R55の内、少なくとも1つは、フッ素原子又は少なくとも1つの水素原子がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。R4は、下記一般式(IV)又は(V)の基を表す。R18は、−C(R18d)(R18e)(R18f)又は−C(R18d)(R18e)(OR18g)を表す。R18d〜R18gは、同じでも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アラルキル基若しくはアリール基を表す。R18d、R18e、R18fの内の2つ又はR18d、R18e、R18gの内の2つが結合して環を形成してもよい。
    Figure 2004012898
    一般式(IV)中、R11、R12及びR13は、同じでも異なっていてもよく、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アルケニル基、アラルキル基又はアリール基を表す。
    一般式(V)中、R14及びR15は、同じでも異なっていてもよく、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。R16は、置換基を有していてもよい、アルキル基、シクロアルキル基、アラルキル基若しくはアリール基を表す。R14〜R16の内の2つが結合し、環を形成してもよい。
  5. 請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物により膜を形成し、当該膜を露光、現像することを特徴とするパターン形成方法。
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