JP2003531805A

JP2003531805A - 薄いガラス製品を製造するための方法及びその方法の使用

Info

Publication number: JP2003531805A
Application number: JP2001580823A
Authority: JP
Inventors: ケルナー、シュテッフェン; ゼマー、ヴォルフガング; ボニッツ、ラルフ; シェンク、クリスチャン
Original assignee: カール−ツァイス−スティフツング
Priority date: 2000-04-27
Filing date: 2001-04-26
Publication date: 2003-10-28
Also published as: EP1283817B1; EP1283817A1; WO2001083386A1; ATE301106T1; AU5837201A

Abstract

(57)【要約】薄いガラス製品を低粘度ガラス、特に粘度η＜１０dPasのガラスから薄いガラス製品を製造する方法が提供され、該方法では、薄い形態ガラス組成物を下ツール（１）内に供給し、下ツール（１）の反対側に配置された上ツール（４）を該下ツール（１）と向い合わせることにより、このガラス組成物を圧縮する。本発明はまた、この方法の使用にも関する。先行技術で生じる急速冷却の問題を無くして完成ガラスの品質を向上させ、プレス成形によって薄いガラス製品を製造する可能性を生み出す薄いガラス製品を製造する方法が提供される。本発明に係る方法は、ツール（１、４）の表面粗さ（Ｒ_Ｚ）が５〜１５μｍにあり、「供給」の方法段階と「圧縮」の方法段階との間で加速度、すなわち実現される１〜１０Ｇの加速度（重力による加速度）の力で予備成形される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、薄い形態のガラス組成物を下ツール内に供給し、該下ツールを該下
ツールの反対側に配置された上ツールと共に動かして該ガラス組成物を圧縮する
ことによって、低粘度ガラス、特に粘度η＜１０dPasガラスから、薄いガラス製
品、特に基板、特にハードディスク基板、球面及び非球面レンズアレー、及びミ
クロ及びマクロ構造面体を製造する方法に関する。本発明は、またその方法の使用にも関わる。この方法は特に、回折屈折レンズ
を製造するのに役立つ。この場合、本発明では「レンズ」とは、反射光学素子を
含むものである。球面及び非球面レンズアレーについては、実務的にはインテグ
レータ・プレートとして知られている。

【０００２】

【従来の技術】

上失透温度と、原則的に高速の結晶成長性のために、光学的用途及び工業的用
途の多くのガラス溶融物は非常に高温で、従って非常に低粘度で処理されなけれ
ばならない。このことは、成形時に、できるだけ高温のガラス溶融物、言い換え
れば容易に変形する低粘度のガラス溶融物がなお存在しうるように、供給と成形
の間にガラス溶融物からできるだけ僅かな熱しか奪われない方法が要求される。
この点、必要な迅速処理を達成するために、ガラス溶融物をフィーダーで導入し
、位置決めした後、そのガラス溶融物を最小の可能なタイムラグで熱間成形に送
らなければならない。ガラス製品をプレス成形することは、ガラス加工で最も用途の広い、一般的な
製造方法の一つである。完全自動機械プレスでガラス塊が処理される場合、その
重量には限界がない。数グラムだけの重さの製品も、数キログラムの重さの製品
も、機械で処理される。製造に使用される機械はそれに相応して用途が広い。そ
の上、多ステーション回転テーブルとして基本的に作動する手動又は半自動プレ
スは、一つのダイと多数成形型でプレス成形する。

【０００３】自動プレス法の一般的な特徴は、供給、プレス、取り除きなどの種々のプロセ
ス段階が空間的に独立していることである。最終的な凝固まで、ガラス塊の冷却
が徐々に進行することが全プロセスで行なわれる。基板、レンズアレー、非球面アレー及び構造体などの薄いウエハー状半仕上げ
ガラス製品においては、表面品質、特に表面粗さの面で厳しい要求がある。そのため、先行技術では、一つのフィーダー並びに１つの上ツール及び複数の
下ツールとからなる一つのプレスツール、の双方を有するシステムが使用される
。図１は、上方から、すなわち、重力の方向で見た丸いテーブルプレス（１０）を
概略的に示している。これらの伝統的な丸いテーブルプレスでは、配分されたガ
ラス塊を、フィーダー（１３）の下の、プレステーブル（１１）上に配置された
下ツール（１２）に、又は加圧成形型に、直接導入する。このプレステーブル（
１１）の回転によって下ツ−ルは、その上に位置決めされたガラス塊と共にプレ
スステーション（１４）に移動する、あるいは言い換えれば上ツール（１５）又
は加圧ダイ下に移動する。プレステーブルのこの回転運動では、ガラス塊がプレス成形型又は下ツールに
おいて、切線方向の加速力と半径方向遠心力を受ける。これらの水平力の量は、
プレステーブルの幾何学的大きさ、回転中心から下ツールあるいはプレス成形型
の間隔あるいはそのツール上に配置されたガラス組成物の間隔、及び回転運動の
速度及び導入されたガラス溶融物それ自体の質量に依存している。

【０００４】プレステーブルと当該の粘度＜１０dPasの低粘度のガラス溶融物の迅速な運動
の結果、供給されたガラス塊の運動又は著しい非対称変形が引き起こされる。最
も好ましくない場合には、幾つかのガラス塊が成形型の縁部からあふれ、成形型
から出る。従って、薄い形態のガラス溶融物を製作するためには、低い搬送速度及び搬送
加速度しか基本的に許容されない。これは、ゆっくりした搬送と、従って好まし
くない長い処理時間と、そのため供給作業とプレス作業との間で受け入れがたい
長い停留時間を意味する。下ツール、上ツール及び成形型リング等のプレスツー
ルは、接触するや否やガラス塊から熱を引き出し、熱移動が該ツールと加工物と
の間の接触面に生じる。その結果、供給されたガラス塊をかなり冷却し、そのた
め、著しく成形を制限する。ガラスの品質は結果として著しく低下する。特に、
ガラス滴の周辺領域が既に冷却されているため、薄い肉厚は極端な制限の元でし
かなすことができない。

【０００５】供給されるガラス塊のガラス組成物が減少すると、このガラス塊の冷却は、熱
放出面積は蓄熱するガラス組成物それ自体と同じ程度までは減少しないため、短
時間で完了する。その結果、上記問題は、特に薄いレンズ及び基板の製造で特に
重要となる。一般に高強度材料から作られたプレスツールは、等しい大きさの接触面積又は
同じ熱伝達と仮定すれば、高い熱容量を有し、薄いガラスブランクから熱をより
迅速に引き出し、該ガラスブランクをより急速に冷却する。例えば、約０．７ｍ
ｍの厚さのガラスブランクでは、プレスツールとの接触の結果として、非常に早
い連続冷却が行なわれて、最終形態が最早得られない程、成形前に該冷却が既に
進行する。必要以上のガラス組成物を供給し、それによって実質的に厚くなったガラスブ
ランクを、ラップ仕上げや研磨作業を含む後機械加工で必要な薄い厚さにするこ
とによって薄いガラス製品を製造する際の急速冷却の問題を防止することによる
対処は、望ましい目標を達成しない。この方法での処理は非常に時間がかかり、
高価である。他方、迅速な搬送は、水平搬送時に変形によるガラス塊に生じた皺や筋のため
に、プレス作業時に亀裂の危険をもたらす。従来の方法では、主要な目標の高速
処理は、それに伴って起こりがちな水平力との問題が生じる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】

このような背景に対して、上記先行技術おいて知られている、特にガラス塊の
急速冷却に関連する不具合と、それに伴う低い生産性が回避された、薄い低粘度
ガラス、特に、粘度＜１０dPasのガラスをプレス成形することによって薄いガラ
ス製品を製造する方法を提供することが本発明の目的である。

【０００７】

【解題を解決するための手段】

この目的は、ツールの表面粗さＲ_Ｚが５〜１５μｍであり、「供給」の方法段
階と「圧縮」の方法段階との間で、加速度、すなわち１〜１０Ｇの加速度（重力
による加速度）で実現される予備成形する方法で達成される。これは、特に低粘
度ガラス塊が、加速度による力を加えられると、部分的にかなり変形されること
ができることを利用するものである。ガラスの温度と粘度は互いに関係があり、
そのため、高く加熱されたガラス塊は、低い加熱のガラス塊よりも低粘度である
。高い温度の、従って低い粘度のガラス塊は、薄い本体コンシステンシーを有す
るので、小さな力で容易に変形し易い。加速度の力の影響下での変形が、ガラス塊を変形する目的で利用されるため、
その後のプレス段階では、成形ツールの適用圧力と、ツールと加工物間、すなわ
ちガラスと成形ツール間の接触時間の双方を減少することができる。

【０００８】特に、ガラス塊の変形時に上ツールは、このガラス塊と接触しておらず、従っ
て、熱の移動に寄与する接触面積は、下ツールだけに制限される。消失熱量は、
熱流と接触時間によるため、絶対的な消失熱量は接触時間を減少することによっ
て低減することができる。被処理ガラス塊からの絶対的な消失熱量が、一方で接触面積を縮小することで
、他方では、接触時間を短縮することによって低減される本発明の方法は、プレ
ス成形による最終的な成形プロセスまで、ガラス塊が高度に加熱されたままで、
従って低粘度で薄いボデイとなるので、すなわち容易に変形し易いことを保証し
ている。容易な変形性のおかげで、さらに、従来の方法と比較して圧縮されるガ
ラスブランクの軸方向厚さを同じ圧力の成形ツールで更に薄くすることが可能で
ある。

【０００９】本発明の方法で製造されたガラス製品は、従来の方法で製造されたガラス製品
より優れた表面特性を有し、特に既に述べたように、非常に薄いガラス製品を製
造することができることがさらに見出された。特に、プレス方法による薄いガラ
ス製品の製造は、初めに説明した理由のために先行技術で実行不可能と考えられ
ていた。本発明の成形プロセスにより、非常に僅かな軸方向厚さを既に達成できている
ため、該加圧ガラスブランクの後機械加工は僅かな程度しか必要でない。良好な結果は動的粘度η＜１０dPas、好ましくはη＜４dPasを有するガラス塊
で達成される。ガラス塊の変形に要求される加速度は、定量的には重力による加速度Ｇと、重
力による加速度Ｇの１０倍との間である。ガラス塊の加速度が高ければ高い程、
加速度の力により得られるガラス塊の変形が大きくなる。下ツールに供給される
ガラス塊に作用するものは、基本的には、それ自体の重量Ｆ_Ｇ及び該下ツールか
らそれに作用する力Ｆ_Ｗと下ツールの動きによるガラス塊の加速又は減速の結果
としてもたらされる慣性力Ｆ_Ｔである。重量は時間によって変動しない１つの変
数であるが、後者の２つの力Ｆ_ＷとＦ_Ｔは動的力、すなわち時間によって変動す
る力である。

【００１０】ガラス塊は、原則として加速度力により種々の方法で予備変形することができ
る。例えば、従来の多ステーション回転テーブルプレスを使用する場合、ガラス
塊を供給ステーションからプレスステーションに搬送すると、加速度の力として
外向き遠心力がこのガラス塊に作用する。これらの加速度の力を、下ツールへの
ガラス塊の中心から離れた供給と組み合わせると、供給ガラス塊はプレス成形作
業前でも目標通り変形でき、言い換えれば成形型内で比較的均一に分散すること
ができる。ガラス塊を加速度の力で予備成形する他の可能な方法は、下ツールで構成され
た型の場合、ガラス塊を供給した後、それ自体の軸の周りで回転するようになっ
ていることである。回転により生じる半径方向加速度の結果として、成形型の中
央部から該型の縁端部の方へガラスを引っ張る遠心力がガラス塊に作用する。こ
の回転速度と回転時間は、変形範囲とタイプに影響を与える変数として作用する
。ガラス塊の予備成形に影響を与える考慮すべき他のパラメータは、ツール表面
、特に下ツールの表面の粗度Ｒｚである。これは５〜１５μｍにある必要がある
。驚くべきことに、下ツールの表面が理想的に滑らかではなく、ある粗度を有す
れば、ガラスは、がより良いということはさておいて、流れ、この予備成形とい
う意味においては、、下ツールの表面全体により容易に分散されることが示され
た。実験により９μｍの粗度Ｒｚを有する下ツールの使用が好ましいことが分か
った。さらに、ある粗度のツール表面は、ガラス塊又は加圧ガラスブランクの該
ツールへの付着を防止し、それにより、付着がないので、一方では製造されたガ
ラス製品の品質と他方ではツールの使用寿命が増す。

【００１１】薄いガラスを製造するための本発明の方法は、非球面構造の製造において特に
重要であり、というのは基本的には研磨作業を含む後機械加工が、不均一な曲率
半径のために特に複雑であるからである。先行技術においては、非球面形状は、
プレス成形後のブランクをしながらこれもまた、複雑で高価である。この方法により基板や回折、屈折及び反射光学素子を製造する可能性に加えて
、適切に構成された形削り工具をはめこんだプレス成形方法によりミクロ及びマ
クロの構造面（石理）を持った本体や部品を製造することも可能である。先行技
術では、従来、一般的にこのような構造体は、プレス成形法で最初に製造された
ブランクが構造面化のために再加熱を要する二段階で製造されていた。ガラス塊が加速度で垂直方向に予備成形される本方法のこの実施形態は有利で
ある。この変形方法の好ましい面は、ガラス塊に作用する力、重量Ｆ_Ｇの作用線、慣
性力Ｆ_Ｔ及びツールがガラス塊に作用する力Ｆ_Ｗ、が互いに平行に延びているこ
とである。

【００１２】一般に、下ツールでガラス塊に作用する力Ｆ_Ｗは、量的には重量Ｆ_Ｇと慣性力
Ｆ_Ｔの合計からなるが、一方、このＦ_Ｗはこれら二つの力Ｆ_Ａ及びＦ_Ｔの反対向
きである。作用の原理は同様に反作用にあてはまる。それで、下ツールに配置さ
れたガラス塊は、双方が量的にはＦ_Ｗに相当する２つの逆の力間で、下ツールの
加速又は減速によって圧縮される。その結果として、供給後、液滴状ガラス塊又
はガラス液滴は多少とも平らなディスクに予備成形される。この好ましい実施形
態の好ましい面は、ガラス塊の重量が予備成形力の一部を示し、従って、ある意
味では、それが重力加速度の一成分となって、発生されるべき加速度に寄与する
ことにある。ガラス塊が、下ツールの下向き、急速減速、及び加速度誘導運動で予備成形さ
れる本発明の実施形態が有利である。この実施形態では、薄い形態のガラス組成物の供給用フィーダー下に配置され
た下ツールをその上に配置されたガラス塊と共に下方に移動し、その後、突然そ
の動きを止める。この下ツールとその上に配置されたガラス塊を止め、あるいは
減速することによって、慣性力Ｆ_Ｔが生じ、この力が重量Ｆ_Ｇと共にガラス塊を
完全にプレス成形する。

【００１３】この変形方法の好ましい面は、多数の用途において、少なくとも、水平力又は
加速度の力を回避する必要があるときは、下ツールをとにかくより深く位置する
場所に動かす必要があるが、それによって、この成形プロセスに同様に必要であ
る上ツールの配置のための、間隙がフィーダーと下ツールの間に形成されること
ができる。とにかく必要なこの下ツールを下げることが、ガラス塊の予備成形に
好ましいこの実施形態では同時に行なわれることができ、従って、加速度を発生
する他の運動は不要である。最大加速度が下ツールの下降プロセスの終わりに達成されるこの方法の実施形
態は有利である。しかし、ガラス塊が、下ツールの上向きで急速に加速された加速度誘導運動に
よって予備成形されるこの方法の実施形態も好ましい。他方、この実施形態は前に説明した実施形態と組み合わせることができ、下ツ
ール上に配置されたガラス塊を、一段階では下ツールを下降させて予備成形し、
二段階では下ツールを上昇させて予備成形する二段階予備成形にかけられる。

【００１４】しかしながら、単独で採用してもこの実施形態が有利な例もある。例えば、上
ツールの位置決めに下ツールの加工が絶対的に必要でないとか、あるいは、上ツ
ールの位置決めに下ツールが下降されずに、かわりにフィーダーを移動するとか
である。もしこれらの場合に、下ツール及び上ツールが互いの方向に駆動されね
ばならない時には、下ツールのこの運動は予備成形に利用されることができる。プレス成形作業には上ツールが固定され、一方下ツールが動かせるツールであ
ることが同様に考えられる。これらの場合も、とにかく必要な下ツールの動きが
ガラス塊を予備成形するために利用される。この最後の実施形態の方法においては、下ツールの最大加速度が動きの開始時
点で生じることを特徴とする変形例が有利である。この好ましい実施形態の背景は、加速された下ツールは再度ブレーキをかけ、
あるいは減速する必要があるが、そしてその時、行なわれる減速が、ガラス塊を
平らに加圧するのと反対の慣性力を生じるからである。その結果、運動の開始時
に下ツールに最大加速度をかけ、それからこの加速度をゆっくり低下させ、それ
により下ツールをある距離後方で停止する試みがなされる。

【００１５】ガラス溶融物が、「供給」の方法段階と「プレス成形」の方法段階の間で、基
本的に垂直力だけに従わされる方法が有利である。結果として、ガラス塊が水平力の作用により下ツール内で中心からずれた配置
となることが防止される。非垂直力が避けられる結果、ガラス塊の非対称変形も防止される。ガラス塊の
皺や筋が、それらを招く水平搬送と共に省かれる。幾つかのガラス塊が成形型か
ら逃げてしまうことも不可能になる。さらに、生産速度あるいは搬送速度を、そ
れを制限する水平に作用する力から切り離すことは、その水平力を除去するとい
う単純な方法で達成される。この生産速度及び搬送速度は、ガラス塊の冷却に関
係する必要な他のプロセスに完全に従って自由に選択することができる。

【００１６】供給作業用の下ツールをフィーダー出口の下方に位置決めして、薄い形態のガ
ラスを供給し；供給作業の終了後に、下ツールを前記供給されたガラス塊と共に
下の静止位置まで垂直に下ろし；供給作業時に、待機位置に配置された上ツール
を、フィーダー出口と下ツールとの間に形成された間隙内に下げることによって
導入し、この上ツールをプレス成形作業のために固定し、その後、このように固
定された上ツールの方向への下ツールの上昇運動によりガラス塊を成形品にプレ
ス成形する本発明の実施形態は有利である。さらに、供給作業用の下ツールをフィーダー出口の下方に配置し、薄い形態の
ガラスを供給し；供給作業の終了後に、下ツールを供給されたガラス塊と共に下
の静止位置まで垂直に下ろし；供給作業時に待機位置に配置されていた該上ツー
ルを、フィーダー出口と下ツールとの間に形成された間隙内に下げることによっ
て導入し、このようにして固定された上ツールに対して、下ツールを上動させる
ことによって、ガラス塊を成形品にプレス成形する本発明の実施形態も有利であ
る。

【００１７】最も好ましい実施形態は、供給作業時に上ツールを横に待機させ、つまりはフ
ィーダー出口と、下降された下ツールとの間にできた間隙と同じ高さに配置し、
そしてプレス成形作業時に、上ツールを横に、本質的に水平に内部にずらすか、
内部に水平旋回することによって、間隙に配置する方法である。その結果として、導入には、上ツールの該間隙への二次元運動だけで良い。こ
のようにして、より複雑な三次元運動を避けることができる。その結果、上ツー
ルを動かしかつ必要な制御のための機構は、実質的には精度が低い要求だけに合
わせるだけで良く、そのため、製造手段のコストが低下する。電気回路及びコンポーネントの電気絶縁キャリヤープレート、特にプリント回
路板の基板、そして電気回路を印刷する基板を製造するための本発明の使用も本
発明の範囲の一部である。

【００１８】先行技術では、そのようなコンポーネントは、公知プレス成形方法が僅かな厚
さの基板の製造は不可能であったため、プレス成形では製造できない。この方法はまた、所謂、ハードディスク基板の製造で有利であることが分かる
。先行技術では、ハードディスク用の開始材又はブランクはプレス成形ガラスで
あり、このプレス成形ブランクの外径Ｄは、ハードディスクの必要な径より幾分
大きい。最終的なブランク厚さを達成するために、ラッピングと研磨作業が行わ
れる。プレス成形ブランクの厚さｄは上記外径Ｄに依存し、９５ｍｍの外径Ｄの
場合、例えば、１．１ｍｍである。従って、厚さｄと径Ｄとの間の比は、ｄ／Ｄ
＝０．０１１５、すなわち１．１５％である。本発明の方法を利用して、低粘度ガラスをプレス成形することができ、それに
よりプレス成形方法で薄い基板を製造する可能性が生じる。従って、ハードディ
スク基板の製造においても、同じ外径の僅かな厚さのブランクを作ることができ
る。下記表から分かるように、本発明の方法を利用して、上記実施例の比ｄ／Ｄ
を１．１５％から０．９５％に下げることができる。これは２０％の比率の低下
に略等しい。外径Ｄ厚さｄ比率ｄ／Ｄ９５ｍｍ０．９０ｍｍ０．９５％８４ｍｍ０．８５ｍｍ１．０１％６５ｍｍ０．８０ｍｍ１．２３％本発明に係る方法を具体的実施形態について以下さらに詳細に説明する。

【００１９】

【発明の実施形態】

図１は上から見た多ステーション回転テーブルプレスを概略的に示す。図２に示した供給作業の場合、下ツール１を、薄い形態のガラスを下ツール１
内に供給できるように、フィーダー出口３の真下に配置する。この時、上ツール
４は横の待機位置にある。供給作業の完了後、図３に示したように、下ツールを、その上に配置された供
給ガラス塊２と共に、下の静止位置まで垂直に下ろす。図３ａは下ツール１をそ
の上に配置されたガラス組成物２とを、図３に示したように下ツール１を下げる
操作時に、減速に際してガラス組成物２に関係する力と共に示す。図示した力、すなわち、重量Ｆ_Ｇ、慣性力Ｆ_Ｔ及び下ツール１でガラス塊２に
かけられる力Ｆ_Ｗが予備成形の意味合いでガラス塊２に作用する力である。図３
ａは、下ツール１でガラス塊２にかけられる力Ｆ_Ｗと、Ｆ_ＧとＦ_Ｔの合計である
その反力との間で、ガラス塊２の「圧縮」を示している。上にガラス塊２を配置して下ツール１を下げた結果として、間隙５がフィーダ
ー出口３と下ツール１との間に形成される。

【００２０】図４は間隙５への上ツール４の導入を示している。上ツール４が、フィーダー
出口３下で下ツール１の反対側で静止するように、間隙５に導入され、それによ
り下ツール１と上ツール４の間に配置されたガラス塊２のプレス成形を、上ツー
ル４と下ツール１を互いに近づけることで簡単に行なうことができる。上ツール
４は図示していないガイドにより実際のプレス成形作業の準備中に固定される。図５は上ツール４と下ツール１との間でのガラス塊２のプレス成形を示してい
る。この具体的な実施形態では、固定された上ツール４の方向に下ツール１を上
向きに動かすことによってガラス塊２をプレス成形して成形品にする。

【図面の簡単な説明】

【図１】上から見た多ステーション回転テーブルプレスを概略的に示す。

【図２】ガラス塊での供給の操作を示す。

【図３】下ツールを下ろす操作を示す。〔図３ａ〕図３に示した下ツールを下げる動作時、減速に際してガラス組成物に関係する
力と共に下ツールとその上に配置された該ガラス組成物を示す。

【図４】上ツールの導入を示す。

【図５】ガラス塊のプレス成形を示す。

【符号の説明】

１…下ツール、２…ガラス塊、３…フィーダー出口、４，１５…上ツール、５
…間隙、１０…丸いテーブルプレス、１１…プレスターブル、１２…下ツール、
１３…フィーダー、１４…プレス成形ステーション。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (31)優先権主張番号１０１０１５８７．９ (32)優先日平成13年１月16日(2001．1．16) (33)優先権主張国ドイツ（ＤＥ） (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ，ＴＲ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＭＺ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＢＺ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＯ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＭＺ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者ボニッツ、ラルフドイツ、55122 マインツ、カニシウスシュトラーセ 17 (72)発明者シェンク、クリスチャンドイツ、55218 インゲルハイム、ヴァッケルンハイマーシュトラーセ 24 Ｆターム(参考） 5D112 AA02 BA03 BA10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】薄い形態のガラス組成物（２）を下ツール（１）に供給し、
該ガラス組成物（２）を、前記下ツール（１）の反対側に配置された上ツール（
４）と該下ツール（１）と向い合わせることによって圧縮して、低粘度ガラス、
特に粘度η＜10dPasのガラスから、薄いガラス製品、特に基板、特にハードディ
スク基板、球面及び非球面レンズアレー、並びにミクロ及びマクロ構造面体を製
造するための方法であって、前記ツール（１、４）の表面粗さＲ_Ｚが５〜１５μｍであり、供給段階と圧縮
段階の間において、１〜１０Ｇの加速度（重力による加速度）の力で予備成形す
ることを特徴とする方法。
【請求項２】加速度の力を垂直に作用することによって前記ガラス塊（２
）を予備成形することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】前記下ツール（１）の下向きで、急激に減速する、加速誘導
運動により前記ガラス塊（２）を予備成形することを特徴とする請求項１又は請
求項２に記載の方法。
【請求項４】前記最大加速度は下降操作の終わりに達成されることを特徴
とする請求項３に記載の方法。
【請求項５】前記下ツール（１）の上向きで、急激に遅延される、加速誘
導運動により前記ガラス塊（２）を予備成形することを特徴とする請求項１又は
請求項２に記載の方法。
【請求項６】前記最大加速度は上昇運動の初めに達成されることを特徴と
する請求項５に記載の方法。
【請求項７】前記ガラスの溶融物を、前記方法の供給段階と該方法の圧縮
段階との間で、基本的に垂直力にだけかけることを特徴とする請求項１ないし請
求項６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】前記供給作業のために、前記下ツール（１）を前記フィーダ
ー出口（３）の下方に配置し、前記薄い形態のガラスを供給し；前記供給作業の
終了後に、前記下ツール（１）を前記供給されたガラス塊（２）と共に下の静止
位置まで垂直に下ろし；供給作業時に待機位置に配置されていた前記上ツール（
４）を、フィーダー出口と前記下ツール（１）との間に前記下ツール（１）を下
げることによって形成された間隙（５）内に導入し、前記上ツール（４）をプレ
ス成形作業のために固定し、その後、このように固定された上ツール（４）の方
向に下ツール（１）の上昇運動により前記ガラス塊（２）を成形品にプレス成形
することを特徴とする請求項７に記載の方法。
【請求項９】前記供給作業のために、前記下ツール（１）を前記フィーダ
ー出口（３）の下方に配置し、前記薄い形態のガラスを供給し；前記供給作業の
終了後に、前記下ツール（１）を前記供給されたガラス塊（２）と共に下の静止
位置まで垂直に下ろし；供給作業時に待機位置に配置されていた前記上ツール（
４）を、フィーダー出口と前記下ツール（１）との間に前記下ツール（１）を下
げたことによって形成された間隙（５）内に導入し、プレス成形作業のため固定
された下ツール（１）の方向に向かっての上ツール（１）の下降運動により前記
ガラス塊（２）を成形品にプレス成形することを特徴とする請求項７に記載の方
法。
【請求項１０】供給作業時に前記上ツール（４）を横に、従ってフィーダ
ー出口（３）と下ツール（１）との間に該下ツール（１）を下げることによって
形成された間隙（５）と同じ高さに配置し、そしてプレス成形作業時に、上ツー
ルを横に、本質的に水平に内部に移動するか、内部に旋回することによって該下
ツール（１）上方の間隙（５）に配置することを特徴とする請求項８又は請求項
９に記載の方法。
【請求項１１】電気回路及びコンポーネントの電気絶縁キャリヤープレー
ト、特にプリント回路板の基板、及び電気回路を印刷する基板、の製造に前記方
法を使用することを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか１項に記載
の用途の方法。
【請求項１２】前記方法をハードディスク基板を製造するために使用する
ことを特徴とする請求項１ないし請求項１０のいずれか１項に記載の方法の使用
。