JP2003531387A - Ｐｄｐ電極短絡・断線テスタ用プローブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明はＰＤＰ電極短絡・断線テスタ用プローブに関するもので、転がり方式で微細電極が短絡・断線されたか否かを判定するために、抵抗または電圧、電流などを測定できるようにしたＰＤＰ電極短絡・断線テスタ用プローブを開示する。本発明は、従前の先端が鋭い探針式プローブでない回転形態のＰＤＰ電極短絡・断線テスト用プローブによって回転しながら、これと連係して移送されて接触する数多くの電極の一側と、短絡バーによって接触する電極の他側間の抵抗値を別の高精度アンプによって感知し、その結果値によって短絡／非短絡を判定することにより、非常に精密な検査結果を得るのは勿論のこと、特にプローブまたは電極の磨耗、接触時の損傷による諸問題点が解消され、検査装備の製作のために超高精度の製作技術が不要なので、製作費用を大きく節減することができるなどの効果を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 技術分野 本発明は、プラズマディスプレイパネル(Plasma Display Panel:以下、「ＰＤ
Ｐ」という)電極短絡テスタ用プローブに関し、さらに詳しくはＰＤＰの走査線
として用いられる数多くの微細電極の短絡・断線をテストするためのＰＤＰ電極
短絡・断線テスタ用プローブに関する。

【０００２】 背景技術 周知の如く、ＰＤＰは数多くの水平走査または垂直走査のための電極を備えて
なるものである。従って、これら水平または垂直走査電極の短絡・断線は画素不
良の原因になるので、必ず水平走査電極と垂直走査電極を検査し、異常のないも
のだけを選別して後続工程に投入しなければならない。

【０００３】 このような検査工程によって正確な電極短絡検査が行われなければ、不良品の
生産のために、多くの費用がかかる後続工程を行い続けた結果になり、莫大な経
済的損失を被るのである。

【０００４】 このため、従来では、鋭いプローブを用いて電極の両側で同一の間隔で移動し
ながら、1つずつ電極が短絡したか否かを検査した。このような微細電極の短絡
・断線判定装置は、電極の幅が８０μｍ、電極の間隔が１５０μｍに過ぎず、電
極の両側に接触するプローブの移動間隔の誤差が±１０μｍ以内である超高精度
を維持しなければならない。従って、このような装備は高い製作コストがかかっ
て高価であり、維持保守費用も多くかかるので、結局ＰＤＰの生産原価を大きく
高騰させるという問題点がある。

【０００５】 また、ＰＤＰは、電極の幅が８０μｍに過ぎないので、プローブの先端も非常
に鋭いべきであり、反復的な測定過程でプローブの先端が容易に磨耗されるので
、プローブを随時交替しなければならない厄介さと交替費用による経済的な負担
が伴う。さらに、電極自体がプローブの鋭い先端によって破壊され、不良率を増
加させる一要因となる。

【０００６】 発明の開示 本発明は、かかる従来の技術の問題点を解決するためのもので、その目的は、
検査装備の製作に当たって、超高精度を要求せず、プローブの頻繁な交替または
検査過程における電極損傷のおそれが全くないＰＤＰ電極の短絡・断線テスト用
プローブを提供することにある。

【０００７】 上記目的を達成するために、本発明は、従前の鋭い先端を有する探針式プロー
ブではなく回転型のＰＤＰ電極短絡テスト用プローブを提案する。

【０００８】 上述した構成によって、本発明は、回転しながら接触する数多くの電極の一側と
、短絡バーによって接触する電極の他側との間の抵抗値をマイクロプロセッサに
よって計算し、その結果値に基づいて短絡・断線したか否かを判定することによ
り、非常に精密な検査結果を得るのは勿論のこと、特にプローブまたは電極の磨
耗、損傷による諸問題点を解消し、検査装備の製作のために超高精度の製作技術
を必要としないので、製作コストを大幅節減することができるという効果などを
提供する。

【０００９】 発明を実施するための最良の形態 以下、本発明を添付図に基づいて詳細に説明する。

【００１０】 図１及び図２に示すように、本発明は、モータ１によって回転し、電極２に対
して斜めに接するプローブ３と、プローブ３の先端に備えられたチップ(tip)部
４と、プローブ３及びモータ１の中心を支持し、特にプローブ３の回転のために
ベアリング５を設置してなる支持フレーム６と、モータ１とプローブ３との間を
連結するためのカップラ７と、カップラ７の一側に設けられた通孔８と、通孔８
の両側で赤外線を発光・受光して回転数を検出するための回転検出手段９とから
構成される。

【００１１】 このように本発明はまず、モータ１に電源を印加してプローブ３を回転状態に
する。しかも、支持フレーム６自体は1つの電極２として見なすこともできる。

【００１２】 また、図２に示すように、電極２に対して斜めにプローブ３の先端のチップ部
４が接触するようにすることにより、図３に示す電極２のチップ部４が電極２に
対して点接触をすると共に、チップ部４が電極２上において上、下接触式でなく
転がり接触方式で移動し、回転する速度ａと動く速度ｂを同一にすると、電極２
の損傷程度は従来の上、下探針接触方式に比べて非常に少なくなる。

【００１３】 また、図３に示すように、プローブ３のチップ部４が多数の電極２の一側を乗
り越す過程においてプローブ３、電極２の一側、電極２の他側へ電流が流れるの
である。この際、プローブ３を介して電極２に流れる電圧値は一定に維持されて
いるので、電流の変化に基づいて抵抗値の計算が行われる。このような電流の変
化はＡ／Ｄ変換器を経てデジタル値に変換される。

【００１４】 このデジタル値はマイクロプロセッサによって計算されて抵抗値の変化で感知
される。予め入力された抵抗値の変化範囲から外れると、これは断線または短絡
と見なされる。従って、電極２の一側と電極の他側との間における抵抗値の変化
を予め設定された範囲値と連続して比較することにより、短絡または断線などの
異常有無を判定することができる。

【００１５】 また、実際のプローブ３によって測定される抵抗値は、図４に示すように、電
極２の中心にチップ部４が位置して安定な状態で接触する瞬間には中間程度の値
を有し、初期接触時または接触を外れる末期接触瞬間には大きい値を有し、電極
２と電極２の両方ともに接触している瞬間には中間程度の値を有する。

【００１６】 その後、２つの電極２ともにチップ部２が接して両電極間が短絡されたような
状態を繰り返す。従って、マイクロプロセッサでは、初期接触時と末期接触時と
の中間時間に実際抵抗値を計算するサンプリング時間を有し、電極２の初期接触
時または末期接触時、そして２つの電極２にプローブ３のチップ部４が同時に接
している瞬間には入力値を無視する。

【００１７】 また、本発明において、プローブ３のチップ部４の直径は電極２の高さ以上で
あればよく、図５に示すように３つの電極２を同時にタッチすると、測定が難し
くなるので、その以下の直径にしなければならない。

【００１８】 さらに、本発明では、回転検出手段９によってプローブ３の回転数を検出する
ことができるので、マイクロプロセッサはモータ１を適切に制御することができ
る。

【００１９】 しかも、本発明では、モータ１を使用することなく、エアによって回転するフ
ァンを使用することもできるが、この場合には回転検出手段９によってエアの供
給を制御するソレノイドバルブが駆動されなければならないのは勿論である。

【００２０】 産業上の利用可能性 上述したように、本発明は、プローブ３のチップ部４の単純な転がり動作によ
って抵抗値を測定できるようにしたもので、従来の鋭い探針が電極２の両側で上
、下に連続摺動しながら、数多くの水平または垂直走査線が短絡または断線され
たか否かを測定していたものに比べ、プローブ３の駆動構造を大幅単純化したも
のなので、製作コストを破格的に単純化することができ、ＰＤＰの全体製作コス
トを大きく節減することができる。

【００２１】 なお、本発明は、プローブ３のチップ部４が電極２上を転がる動作で抵抗値を
測定するから、電極２またはプローブ３の磨耗が殆どないので、故障率が低く、
維持保守費用も大きく節減される効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係るプローブの全体的な外観を示す斜視図である。

【図２】 本発明に係るプローブの全体的な構成及び作動状態を例示した縦断面図である
。

【図３】 本発明に係るプローブの各部作動を示す説明図である。

【図４】 本発明に係るサンプリング作動を説明するための説明図である。

【図５】 プローブの各部規格制限を示す説明図である。

【符号の説明】

１ モータ ２ 電極 ３ プローブ ４ 角部 ５ ベアリング ６ フレーム ７ カップラ ８ 通孔 ９ 回転検出手段

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＴ，ＡＵ，Ｂ Ｒ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＪＰ，ＭＸ，ＮＯ，ＲＵ， ＳＥ，ＳＧ，ＵＳ，ＶＮ Ｆターム(参考） 2G011 AA02 AC00 AC14 AD00 AE01 AF06 2G014 AA02 AA03 AB20 AC06 5C012 AA09 BE03 5C040 JA26 MA10

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 公知の回転動力発生手段によって回転し、電極（２）に対し
   て斜めに接するプローブ（３）と、プローブ（３）の先端に備えられたチップ(t
   ip)部（４）と、プローブ（３）及びモータ（１）の中心を支持し、特にプロー
   ブ（３）の回転のためにベアリング（５）を設置してなる支持フレーム（６）と
   からなることを特徴とするＰＤＰ電極短絡・断線テスタ用プローブ。
2. 【請求項２】 請求項１において、モータ（１）とプローブ（３）との間を
   連結するためのカップラ（７）と、カップラ（７）の一側に設けられた通孔（８
   ）と、通孔（８）の両側で赤外線を発光・受光して回転数を検出するための回転
   検出手段（９）とから構成される特徴とするＰＤＰ電極短絡・断線テスタ用プロ
   ーブ。