JP2004286669A - 基板検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】回路基板上の電極とコンタクトプローブとの接触圧を確保し、接触不良の発生を確実に防止することができる基板検査装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る基板検査装置1は、回路基板Wの電極と接触して導通するコンタクトプローブ54と、該コンタクトプローブ54を介して前記回路基板Wの電気的特性を測定する検査用測定回路55と、前記コンタクトプローブ54が立設されたピンボード56と、該ピンボード56を駆動して前記コンタクトプローブ54を前記電極に接触させる駆動機構57,58とを具備している。そして、前記ピンボード56に立設されて前記電極と接触する接触状態検出用ピン2と、該接触状態検出用ピン2及び前記電極間の接触状態の良否を検出する接触検出回路3と、接触不良時には前記駆動機構57,58を駆動して前記ピンボード56の位置を補正する位置制御回路4とを具備している。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明に係る基板検査装置1は、回路基板Wの電極と接触して導通するコンタクトプローブ54と、該コンタクトプローブ54を介して前記回路基板Wの電気的特性を測定する検査用測定回路55と、前記コンタクトプローブ54が立設されたピンボード56と、該ピンボード56を駆動して前記コンタクトプローブ54を前記電極に接触させる駆動機構57,58とを具備している。そして、前記ピンボード56に立設されて前記電極と接触する接触状態検出用ピン2と、該接触状態検出用ピン2及び前記電極間の接触状態の良否を検出する接触検出回路3と、接触不良時には前記駆動機構57,58を駆動して前記ピンボード56の位置を補正する位置制御回路4とを具備している。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は基板検査装置に係り、特には、回路基板の電極とコンタクトプローブとの接触状態を良好とするための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、回路基板の電気的特性を検査する際には、図4(a)で模式化して示すような基板検査装置を使用するのが一般的となっている(例えば、特許文献1参照)。この基板検査装置51は、検査対象である回路基板Wが位置決めして載置される基板セット台52と、回路基板Wをクランプする基板押さえ53とを具備している。
【0003】
また、基板検査装置51は、回路基板W上の電極(図示省略)それぞれと接触して導通する多数のコンタクトプローブ54と、これらのコンタクトプローブ54を介して回路基板Wの電気的特性を測定するための検査用測定回路55とを具備している。さらに、コンタクトプローブ54はピンボード56上に並列して立設され、ピンボード56を支持した往復ステージ57はシリンダ58により上下駆動される。
【0004】
すなわち、基板検査装置51では、基板セット台52上の回路基板Wを基板押さえ53でクランプしたのに基づくクランプ信号が出力されると、往復ステージ57がシリンダ58により回路基板Wへ向かって上昇動作させられ、図4(b)で示すように、ピンボード56に配置されたコンタクトプローブ54の各々が回路基板W上の電極それぞれと接触する。その後、回路基板Wの有する電気的特性が、検査用測定回路55により測定される。
【0005】
【特許文献1】
実開平5−92748号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の基板検査装置51が具備するコンタクトプローブ54は、検査対象である回路基板Wが交換される度毎、新たな回路基板W上の電極それぞれと接触することを繰り返している。そのため、コンタクトプローブ54の先端形状が経時的に変化し、電極とコンタクトプローブ54との接触圧が確保されなくなり、接触抵抗が増加することが起こる。
【0007】
また、据え付け精度の不具合等に起因して往復ステージ57のスムーズな摺動が阻害されることもある。そして、このような状態になると、回路基板W上の電極それぞれと各コンタクトプローブ54との接触圧が確保されず、これら間の接触抵抗が増す結果として接触不良が発生してしまう。
【0008】
ところで、コンタクトプローブ54の先端形状が経時的に変化してもコンタクトプローブ54を回路基板W上の電極と確実に接触させるには、上下駆動される往復ステージ57の上昇限度位置を基板セット台52に接近させることが考えられる。しかしながら、ただ単に往復ステージ57の上昇限度位置を上昇させたのでは、コンタクトプローブ54がより強く回路基板W上の電極と当接する事態となる結果、コンタクトプローブ54の耐久性の著しい劣化を招いてしまう。
【0009】
本発明はこれらの不都合に鑑みて創案されたものであり、回路基板上の電極とコンタクトプローブとの接触圧を確保し、接触不良の発生を確実に防止することができる基板検査装置の提供を目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明に係る基板検査装置は、回路基板の電極と接触して導通するコンタクトプローブと、該コンタクトプローブを介して前記回路基板の電気的特性を測定する検査用測定回路と、前記コンタクトプローブが立設されたピンボードと、該ピンボードを駆動して前記コンタクトプローブを前記電極に接触させる駆動機構とを具備している。そして、上記の目的を達成するため、本発明に係る基板検査装置は、前記ピンボードに立設されて前記電極と接触する接触状態検出用ピンと、該接触状態検出用ピン及び前記電極間の接触状態の良否を検出する接触検出回路と、接触不良時には前記駆動機構を駆動して前記ピンボードの位置を補正する位置制御回路とを具備していることを特徴とする。
【0011】
請求項2記載の発明に係る基板検査装置は請求項1に記載したものであって、前記接触検出回路は、接触状態検出用ピン及び前記電極間の接触抵抗を検出して予め設定された規格値と比較し、接触抵抗が規格値以下である時は位置補正信号を出力するものであり、前記位置制御回路は前記接触検出回路から出力される位置補正信号に応じて前記駆動機構を駆動するものであることを特徴とする。
【0012】
請求項3記載の発明に係る基板検査装置は請求項2に記載したものであって、前記位置制御回路は、前記駆動機構により駆動された前記ピンボードの位置を予め設定されたメンテナンス必要位置と比較し、該メンテナンス必要位置にまで達している時はメンテナンスアラームを出力するものであることを特徴とする。
【0013】
請求項4記載の発明に係る基板検査装置は請求項1〜請求項3のいずれかに記載したものであって、前記コンタクトプローブと前記接触状態検出用ピンとは同一物であり、切換用接点を介して前記検査用測定回路及び前記接触検出回路のそれぞれと接続されていることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は本実施の形態に係る基板検査装置の全体構成を模式化して示す説明図であり、図2はその要部の変形例を模式化して示す説明図である。また、図3は、基板検査装置における制御動作を示すフローチャートである。なお、図1及び図2において、従来の形態を示す図4と互いに同一または相当する部品、部分には同一符号を付している。
【0015】
本実施の形態に係る基板検査装置1は、図1で示すように、検査対象である回路基板Wが載置される基板セット台52と、回路基板Wをクランプする基板押さえ53とを具備している。そして、この基板検査装置1は、回路基板W上の電極(図示省略)それぞれと接触して導通するコンタクトプローブ54と、これらのコンタクトプローブ54を介して回路基板Wの電気的特性を測定する検査用測定回路(図示省略)とを具備しており、コンタクトプローブ54が立設されたピンボード56を支持してなる往復ステージ57はシリンダ58によって上下駆動される。
【0016】
すなわち、この際における往復ステージ57及びシリンダ58は、ピンボード56を駆動してコンタクトプローブ54を回路基板Wの電極に接触させる駆動機構として機能する。
【0017】
また、基板検査装置1は、コンタクトプローブ54と共にピンボード56に立設されて回路基板Wの電極それぞれと接触する接触状態検出用ピン2と、これらの接触状態検出用ピン2と電極との間における接触状態の良否を検出する接触検出回路3と、接触不良時には駆動機構であるシリンダ58を駆動してピンボード56の位置を補正する位置制御回路4とを具備している。ところで、接触状態検出用ピン2とコンタクトプローブ54とが同一物であってもよく、このような場合には、図2で示すように、接触状態検出用ピン2と接触検出回路3及び検査用測定回路55の各々とを切換用接点5を介して接続することが行われる。
【0018】
なお、接触状態検出用ピン2とコンタクトプローブ54とが互いに別物であっても差し支えないことは勿論であるが、コンタクトプローブ54を接触状態検出用ピン2としても兼用する場合には、わざわざ専用の接触状態検出用ピン2を設けなくてよいため、ピンボード56の構造が複雑化することを防止し、その構造を簡素化できるという利点が確保される。
【0019】
つぎに、図3のフローチャートを参照しながら、本実施の形態に係る基板検査装置1の実行する制御動作を説明する。すなわち、基板検査装置1においても、基板セット台52上の回路基板Wを基板押さえ53でクランプしたのに基づくクランプ信号が出力されると、往復ステージ57がシリンダ58により回路基板Wへ向かって上昇動作させられ、ピンボード56に配置されたコンタクトプローブ54の各々が回路基板W上の電極それぞれと接触し、検査用測定回路55によって回路基板Wの電気的特性が測定されることは、従来の形態と同様である。
【0020】
しかしながら、この基板検査装置1では、クランプ信号が出力されると、まず最初に、接触検出回路3が、接触状態検出用ピン2と回路基板W上の電極との間の接触抵抗を検出し(S1)、検出された接触抵抗と予め設定されていた規格値と比較することが行われる(S2)。なお、この際における規格値は、回路基板W上の電極とコンタクトプローブ54との接触圧が確保されており、かつ、往復ステージ57のスムーズな摺動が確保されている場合に検出されるはずの接触抵抗に基づいて設定されている。
【0021】
そして、検出された接触抵抗が規格値以下である時は、接触検出回路3から位置補正信号が出力される(S3)。引き続き、位置制御回路4では、位置補正信号に応じて駆動機構を駆動する、つまり、ピンボード56が支持された往復ステージ57をシリンダ58により回路基板Wへ向かって上昇動作させることが行われる(S4)。従って、接触状態検出用ピン2と回路基板W上の電極との間の接触抵抗が適切となり、かつ、回路基板W上の電極とコンタクトプローブ54との間の接触抵抗も適切となる結果、これら電極及びコンタクトプローブ54間の接触圧が確保される。
【0022】
さらに、シリンダ58によってピンボード56を上昇動作させることを繰り返しつつも、位置制御回路4は、上昇動作させられたピンボード56の位置を予め設定されたメンテナンス必要位置と比較している。そして、ピンボード56の位置がメンテナンス必要位置にまで達している時は、位置制御回路4から外部に対し、接触状態検出用ピン2やコンタクトプローブ54の清掃や交換を要求するメンテナンスアラームが出力される(S6)。
【0023】
なお、本実施の形態においては、基板検査装置1が接触検出回路3と位置制御回路4とを具備するとしているが、このような構成に限られず、例えば、接触検出回路3及び位置制御回路4の機能が一体化された接触検出及び位置制御回路というようなものを設けてもよく、接触検出及び位置制御回路を設けた場合でも上記したのと同様の制御動作が行われる。また、詳しい説明は省略するが、基板検査装置1の破損を防止するため、シリンダ58によるピンボード56の上昇動作が機械的に制限されていることは当然である。
【0024】
ところで、本実施の形態に係る基板検査装置1にあっては、位置制御回路4が接触検出回路3から出力される位置補正信号に基づいて制御動作を開始するとしている。しかしながら、このような構成のみに限定されることはなく、クランプ信号の出力を待っていた位置制御回路4自身が接触抵抗や接触圧等によって接触状態検出用ピン2と回路基板W上の電極との間の接触状態を検出し、接触状態が適切でない場合には、これら間の接触状態が適切となるよう駆動機構を駆動する構成としてもよいことは勿論である。
【0025】
【発明の効果】
請求項1記載の構成とされた基板検査装置は、接触状態検出用ピンと、接触検出回路と、位置制御回路とを具備しているので、接触状態検出用ピンと回路基板上の電極との間の接触抵抗が適切となり、回路基板上の電極とコンタクトプローブとの間の接触抵抗も適切となる。その結果、コンタクトプローブの先端形状が経時的に変化することがあっても、回路基板上の電極及びコンタクトプローブ間における適切な接触圧を確保して接触不良が発生することを防止し、回路基板の電気的特性を測定することができるという効果が得られる。
【0026】
請求項2に記載した構成の基板検査装置では、接触検出回路から位置補正信号が出力され、かつ、出力された位置補正信号に応じて位置制御回路が駆動機構を駆動するので、接触状態検出用ピンと回路基板上の電極との間の接触抵抗を速やかに適切とすることができる。
【0027】
請求項3記載の構成とされた基板検査装置では、ピンボードがメンテナンス必要位置にまで達していることを検出した位置制御回路からメンテナンスアラームが出力されるので、接触状態検出用ピンやコンタクトプローブの清掃や交換を実施すべき時期を確実に把握することができるという効果が得られる。
【0028】
請求項4に記載した構成の基板検査装置であれば、コンタクトプローブと接触状態検出用ピンとを同一物とし、かつ、これらと検査用測定回路及び接触検出回路の各々との間に切換用接点を設けているので、わざわざ専用の接触状態検出用ピンを設ける必要がなくなる。その結果、ピンボードの構造が複雑化することを防止し、その構造を簡素化できるという利点が確保される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る基板検査装置の全体構成を模式化して示す説明図である。
【図2】その要部の変形例を模式化して示す説明図である。
【図3】本実施の形態に係る基板検査装置における制御動作を示すフローチャートである。
【図4】従来の形態に係る基板検査装置の全体構成を模式化して示す説明図である。
【符号の説明】
1 基板検査装置
2 接触状態検出用ピン
3 接触検出回路
4 位置制御回路
5 切換用接点
54 コンタクトプローブ
55 検査用測定回路
56 ピンボード
57 往復ステージ(駆動機構)
58 シリンダ(駆動機構)
W 回路基板
【発明の属する技術分野】
本発明は基板検査装置に係り、特には、回路基板の電極とコンタクトプローブとの接触状態を良好とするための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、回路基板の電気的特性を検査する際には、図4(a)で模式化して示すような基板検査装置を使用するのが一般的となっている(例えば、特許文献1参照)。この基板検査装置51は、検査対象である回路基板Wが位置決めして載置される基板セット台52と、回路基板Wをクランプする基板押さえ53とを具備している。
【0003】
また、基板検査装置51は、回路基板W上の電極(図示省略)それぞれと接触して導通する多数のコンタクトプローブ54と、これらのコンタクトプローブ54を介して回路基板Wの電気的特性を測定するための検査用測定回路55とを具備している。さらに、コンタクトプローブ54はピンボード56上に並列して立設され、ピンボード56を支持した往復ステージ57はシリンダ58により上下駆動される。
【0004】
すなわち、基板検査装置51では、基板セット台52上の回路基板Wを基板押さえ53でクランプしたのに基づくクランプ信号が出力されると、往復ステージ57がシリンダ58により回路基板Wへ向かって上昇動作させられ、図4(b)で示すように、ピンボード56に配置されたコンタクトプローブ54の各々が回路基板W上の電極それぞれと接触する。その後、回路基板Wの有する電気的特性が、検査用測定回路55により測定される。
【0005】
【特許文献1】
実開平5−92748号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
前記従来の基板検査装置51が具備するコンタクトプローブ54は、検査対象である回路基板Wが交換される度毎、新たな回路基板W上の電極それぞれと接触することを繰り返している。そのため、コンタクトプローブ54の先端形状が経時的に変化し、電極とコンタクトプローブ54との接触圧が確保されなくなり、接触抵抗が増加することが起こる。
【0007】
また、据え付け精度の不具合等に起因して往復ステージ57のスムーズな摺動が阻害されることもある。そして、このような状態になると、回路基板W上の電極それぞれと各コンタクトプローブ54との接触圧が確保されず、これら間の接触抵抗が増す結果として接触不良が発生してしまう。
【0008】
ところで、コンタクトプローブ54の先端形状が経時的に変化してもコンタクトプローブ54を回路基板W上の電極と確実に接触させるには、上下駆動される往復ステージ57の上昇限度位置を基板セット台52に接近させることが考えられる。しかしながら、ただ単に往復ステージ57の上昇限度位置を上昇させたのでは、コンタクトプローブ54がより強く回路基板W上の電極と当接する事態となる結果、コンタクトプローブ54の耐久性の著しい劣化を招いてしまう。
【0009】
本発明はこれらの不都合に鑑みて創案されたものであり、回路基板上の電極とコンタクトプローブとの接触圧を確保し、接触不良の発生を確実に防止することができる基板検査装置の提供を目的としている。
【0010】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の発明に係る基板検査装置は、回路基板の電極と接触して導通するコンタクトプローブと、該コンタクトプローブを介して前記回路基板の電気的特性を測定する検査用測定回路と、前記コンタクトプローブが立設されたピンボードと、該ピンボードを駆動して前記コンタクトプローブを前記電極に接触させる駆動機構とを具備している。そして、上記の目的を達成するため、本発明に係る基板検査装置は、前記ピンボードに立設されて前記電極と接触する接触状態検出用ピンと、該接触状態検出用ピン及び前記電極間の接触状態の良否を検出する接触検出回路と、接触不良時には前記駆動機構を駆動して前記ピンボードの位置を補正する位置制御回路とを具備していることを特徴とする。
【0011】
請求項2記載の発明に係る基板検査装置は請求項1に記載したものであって、前記接触検出回路は、接触状態検出用ピン及び前記電極間の接触抵抗を検出して予め設定された規格値と比較し、接触抵抗が規格値以下である時は位置補正信号を出力するものであり、前記位置制御回路は前記接触検出回路から出力される位置補正信号に応じて前記駆動機構を駆動するものであることを特徴とする。
【0012】
請求項3記載の発明に係る基板検査装置は請求項2に記載したものであって、前記位置制御回路は、前記駆動機構により駆動された前記ピンボードの位置を予め設定されたメンテナンス必要位置と比較し、該メンテナンス必要位置にまで達している時はメンテナンスアラームを出力するものであることを特徴とする。
【0013】
請求項4記載の発明に係る基板検査装置は請求項1〜請求項3のいずれかに記載したものであって、前記コンタクトプローブと前記接触状態検出用ピンとは同一物であり、切換用接点を介して前記検査用測定回路及び前記接触検出回路のそれぞれと接続されていることを特徴とする。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は本実施の形態に係る基板検査装置の全体構成を模式化して示す説明図であり、図2はその要部の変形例を模式化して示す説明図である。また、図3は、基板検査装置における制御動作を示すフローチャートである。なお、図1及び図2において、従来の形態を示す図4と互いに同一または相当する部品、部分には同一符号を付している。
【0015】
本実施の形態に係る基板検査装置1は、図1で示すように、検査対象である回路基板Wが載置される基板セット台52と、回路基板Wをクランプする基板押さえ53とを具備している。そして、この基板検査装置1は、回路基板W上の電極(図示省略)それぞれと接触して導通するコンタクトプローブ54と、これらのコンタクトプローブ54を介して回路基板Wの電気的特性を測定する検査用測定回路(図示省略)とを具備しており、コンタクトプローブ54が立設されたピンボード56を支持してなる往復ステージ57はシリンダ58によって上下駆動される。
【0016】
すなわち、この際における往復ステージ57及びシリンダ58は、ピンボード56を駆動してコンタクトプローブ54を回路基板Wの電極に接触させる駆動機構として機能する。
【0017】
また、基板検査装置1は、コンタクトプローブ54と共にピンボード56に立設されて回路基板Wの電極それぞれと接触する接触状態検出用ピン2と、これらの接触状態検出用ピン2と電極との間における接触状態の良否を検出する接触検出回路3と、接触不良時には駆動機構であるシリンダ58を駆動してピンボード56の位置を補正する位置制御回路4とを具備している。ところで、接触状態検出用ピン2とコンタクトプローブ54とが同一物であってもよく、このような場合には、図2で示すように、接触状態検出用ピン2と接触検出回路3及び検査用測定回路55の各々とを切換用接点5を介して接続することが行われる。
【0018】
なお、接触状態検出用ピン2とコンタクトプローブ54とが互いに別物であっても差し支えないことは勿論であるが、コンタクトプローブ54を接触状態検出用ピン2としても兼用する場合には、わざわざ専用の接触状態検出用ピン2を設けなくてよいため、ピンボード56の構造が複雑化することを防止し、その構造を簡素化できるという利点が確保される。
【0019】
つぎに、図3のフローチャートを参照しながら、本実施の形態に係る基板検査装置1の実行する制御動作を説明する。すなわち、基板検査装置1においても、基板セット台52上の回路基板Wを基板押さえ53でクランプしたのに基づくクランプ信号が出力されると、往復ステージ57がシリンダ58により回路基板Wへ向かって上昇動作させられ、ピンボード56に配置されたコンタクトプローブ54の各々が回路基板W上の電極それぞれと接触し、検査用測定回路55によって回路基板Wの電気的特性が測定されることは、従来の形態と同様である。
【0020】
しかしながら、この基板検査装置1では、クランプ信号が出力されると、まず最初に、接触検出回路3が、接触状態検出用ピン2と回路基板W上の電極との間の接触抵抗を検出し(S1)、検出された接触抵抗と予め設定されていた規格値と比較することが行われる(S2)。なお、この際における規格値は、回路基板W上の電極とコンタクトプローブ54との接触圧が確保されており、かつ、往復ステージ57のスムーズな摺動が確保されている場合に検出されるはずの接触抵抗に基づいて設定されている。
【0021】
そして、検出された接触抵抗が規格値以下である時は、接触検出回路3から位置補正信号が出力される(S3)。引き続き、位置制御回路4では、位置補正信号に応じて駆動機構を駆動する、つまり、ピンボード56が支持された往復ステージ57をシリンダ58により回路基板Wへ向かって上昇動作させることが行われる(S4)。従って、接触状態検出用ピン2と回路基板W上の電極との間の接触抵抗が適切となり、かつ、回路基板W上の電極とコンタクトプローブ54との間の接触抵抗も適切となる結果、これら電極及びコンタクトプローブ54間の接触圧が確保される。
【0022】
さらに、シリンダ58によってピンボード56を上昇動作させることを繰り返しつつも、位置制御回路4は、上昇動作させられたピンボード56の位置を予め設定されたメンテナンス必要位置と比較している。そして、ピンボード56の位置がメンテナンス必要位置にまで達している時は、位置制御回路4から外部に対し、接触状態検出用ピン2やコンタクトプローブ54の清掃や交換を要求するメンテナンスアラームが出力される(S6)。
【0023】
なお、本実施の形態においては、基板検査装置1が接触検出回路3と位置制御回路4とを具備するとしているが、このような構成に限られず、例えば、接触検出回路3及び位置制御回路4の機能が一体化された接触検出及び位置制御回路というようなものを設けてもよく、接触検出及び位置制御回路を設けた場合でも上記したのと同様の制御動作が行われる。また、詳しい説明は省略するが、基板検査装置1の破損を防止するため、シリンダ58によるピンボード56の上昇動作が機械的に制限されていることは当然である。
【0024】
ところで、本実施の形態に係る基板検査装置1にあっては、位置制御回路4が接触検出回路3から出力される位置補正信号に基づいて制御動作を開始するとしている。しかしながら、このような構成のみに限定されることはなく、クランプ信号の出力を待っていた位置制御回路4自身が接触抵抗や接触圧等によって接触状態検出用ピン2と回路基板W上の電極との間の接触状態を検出し、接触状態が適切でない場合には、これら間の接触状態が適切となるよう駆動機構を駆動する構成としてもよいことは勿論である。
【0025】
【発明の効果】
請求項1記載の構成とされた基板検査装置は、接触状態検出用ピンと、接触検出回路と、位置制御回路とを具備しているので、接触状態検出用ピンと回路基板上の電極との間の接触抵抗が適切となり、回路基板上の電極とコンタクトプローブとの間の接触抵抗も適切となる。その結果、コンタクトプローブの先端形状が経時的に変化することがあっても、回路基板上の電極及びコンタクトプローブ間における適切な接触圧を確保して接触不良が発生することを防止し、回路基板の電気的特性を測定することができるという効果が得られる。
【0026】
請求項2に記載した構成の基板検査装置では、接触検出回路から位置補正信号が出力され、かつ、出力された位置補正信号に応じて位置制御回路が駆動機構を駆動するので、接触状態検出用ピンと回路基板上の電極との間の接触抵抗を速やかに適切とすることができる。
【0027】
請求項3記載の構成とされた基板検査装置では、ピンボードがメンテナンス必要位置にまで達していることを検出した位置制御回路からメンテナンスアラームが出力されるので、接触状態検出用ピンやコンタクトプローブの清掃や交換を実施すべき時期を確実に把握することができるという効果が得られる。
【0028】
請求項4に記載した構成の基板検査装置であれば、コンタクトプローブと接触状態検出用ピンとを同一物とし、かつ、これらと検査用測定回路及び接触検出回路の各々との間に切換用接点を設けているので、わざわざ専用の接触状態検出用ピンを設ける必要がなくなる。その結果、ピンボードの構造が複雑化することを防止し、その構造を簡素化できるという利点が確保される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態に係る基板検査装置の全体構成を模式化して示す説明図である。
【図2】その要部の変形例を模式化して示す説明図である。
【図3】本実施の形態に係る基板検査装置における制御動作を示すフローチャートである。
【図4】従来の形態に係る基板検査装置の全体構成を模式化して示す説明図である。
【符号の説明】
1 基板検査装置
2 接触状態検出用ピン
3 接触検出回路
4 位置制御回路
5 切換用接点
54 コンタクトプローブ
55 検査用測定回路
56 ピンボード
57 往復ステージ(駆動機構)
58 シリンダ(駆動機構)
W 回路基板
Claims (4)
- 回路基板の電極と接触して導通するコンタクトプローブと、該コンタクトプローブを介して前記回路基板の電気的特性を測定する検査用測定回路と、前記コンタクトプローブが立設されたピンボードと、該ピンボードを駆動して前記コンタクトプローブを前記電極に接触させる駆動機構とを具備してなる基板検査装置であって、
前記ピンボードに立設されて前記電極と接触する接触状態検出用ピンと、該接触状態検出用ピン及び前記電極間の接触状態の良否を検出する接触検出回路と、接触不良時には前記駆動機構を駆動して前記ピンボードの位置を補正する位置制御回路とを具備していることを特徴とする基板検査装置。 - 前記接触検出回路は、接触状態検出用ピン及び前記電極間の接触抵抗を検出して予め設定された規格値と比較し、接触抵抗が規格値以下である時は位置補正信号を出力するものであり、前記位置制御回路は前記接触検出回路から出力される位置補正信号に応じて前記駆動機構を駆動するものであることを特徴とする請求項1記載の基板検査装置。
- 前記位置制御回路は、前記駆動機構により駆動された前記ピンボードの位置を予め設定されたメンテナンス必要位置と比較し、該メンテナンス必要位置にまで達している時はメンテナンスアラームを出力するものであることを特徴とする請求項2記載の基板検査装置。
- 前記コンタクトプローブと前記接触状態検出用ピンとは同一物であり、切換用接点を介して前記検査用測定回路及び前記接触検出回路の各々と接続されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載の基板検査装置。
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2003
- 2003-03-24 JP JP2003080952A patent/JP2004286669A/ja active Pending
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