JP2003529743A5 - - Google Patents

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  1. 両面仕様検体の両側をスキャンするシステムであって
    ほぼ固定した位置に前記検体を維持する手段と、
    前記検体を防振する手段と、
    前記検体の所定の部分に複数のスキャンを実行する手段と、
    前記検体を前記実行する手段との関係で再配置する手段、および
    前記両面仕様の検体の各サイドの比較的連続したスキャンを形成するためにすべてのスキャンを繋ぎ合わせる手段
    とから構成されることを特徴とするシステム。
  2. 請求項1に記載のシステムであって、
    前記防振手段は前記検体から約0.10ミリメートルから1.0ミリメートル隔てて位置づけられた少なくとも一つの防振バーを備えることを特徴とするシステム。
  3. 請求項1に記載のシステムであって、
    前記再配置手段は前記検体を移動する手段を備え、
    前記実行手段は検査装置から構成され、
    前記検査装置は前記検体のうち前記防振手段によって覆われていない所定の部分をスキャンすることを特徴とするシステム。
  4. 請求項1に記載のシステムであって、
    前記維持手段は3点の調整型取付け部から構成され、
    前記3点調整型取付け部の全ての点は接線的に取付けられ、
    前記検体は略垂直に取付けられた半導体ウェーハであることを特徴とするシステム。
  5. 請求項1に記載のシステムであって、
    前記繋ぎ合わせ手段は前記スキャンを略均一に方向付けし、前記スキャンを組合せるコンピュータから構成されることを特徴とするシステム。
  6. 検体をスキャンするための方法であって、
    前記検体を略固定した位置に維持するステップと、
    前記検体を防振するステップと、
    前記検体の第1所定部分にスキャン装置を用いて第1スキャンを実行するステップと、
    前記検体を前記スキャン装置と関係して再配置するステップと、
    前記検体の少なくとも一つの次の所定の部分に少なくとも一つの次のスキャンを実行するステップ、および
    前記検体の比較的連続的なスキャンを形成するため全てのスキャンを繋ぎ合わせるステップとからなることを特徴とする検体をスキャンするための方法。
  7. 請求項6に記載の方法であって、
    防振は、前記検体から約0.10ミリメートルから1.0ミリメートル隔てて少なくとも一つの防振バーを位置付けることによって行なわれることを特徴とする方法。
  8. 請求項7に記載の方法であって、
    再配置は前記検体を移送することにより構成され、
    個々の実行ステップは防振バーで覆われていない前記検体の一部をスキャンすることにより構成されることを特徴とする方法。
  9. 請求項6に記載の方法であって、
    検体の維持は、前記検体を3点の調整型取付けを用いて略垂直のオンエッジ型の方位で保持することで構成されることを特徴とする方法。
  10. 請求項6に記載の方法であって、
    繋ぎ合わせは、前記スキャンを略均一に方向付けし、前記スキャンを組合せることにより構成されることを特徴とする方法。
  11. 検体をスキャンするためのシステムであって、
    前記検体を所定の位置に固定して維持する位置決め装置、
    前記検体の表面に光エネルギーを向けるスキャン用光学素子、
    前記位置決め装置を前記スキャン用光学素子を基準にして再配置するための再配置要素、および
    前記スキャン用光学素子から得られたスキャンを繋ぎ合わせる繋ぎ合わせ手段とから構成されていることを特徴とする検体をスキャンするシステム。
  12. 請求項11のシステムであって、
    各防振要素は、前記検体から約0.10ミリメートルから1.0ミリメートルの間隙をもって位置付けられた少なくとも一つの防振バーから構成されることを特徴とするシステム。
  13. 請求項11のシステムであって、
    前記再配置要素は、前記検体を移送する移送手段から構成され、前記スキャン用光学素子は前記防振要素で覆われていない前記検体の所定の部分をスキャンすることを特徴とするシステム。
  14. 請求項11のシステムであって、
    前記維持手段は3点の調整型取付けより構成され、
    前記3点の調整型取付けの全ての点は接線的に取付けられ、
    前記検体は略垂直に取付けられた半導体ウェーハであることを特徴とするシステム。
  15. 請求項11のシステムであって、
    前記繋ぎ合わせ手段は、前記スキャンの向きを略均一に整合させ前記スキャンを組合せるためのコンピュータから構成されることを特徴とするシステム。
  16. 検体をスキャンするための方法であって、
    前記検体をほぼ固定した位置に位置決めするステップと、
    前記検体に伝わる振動を防止するステップと、
    前記検体の複数の部分をスキャンするステップ、および
    前記複数の部分を共に繋ぎ合わせるステップとから構成されることを特徴とする検体をスキャンする方法。
  17. 請求項16の方法であって、
    防振は、前記検体から約0.10ミリメートルから1.0ミリメートル隔てて少なくとも一つの防振バーを位置付けることによって行なわれることを特徴とする方法。
  18. 請求項17の方法であって、
    防振バーで覆われていない前記検体の一部をスキャンすることを特徴とする方法。
  19. 請求項16の方法であって、
    検体の維持は前記検体を3点の調整型取付けを用いて略垂直のオンエッジ型の方位で保持することで構成されることを特徴とする方法。
  20. 請求項16の方法であって、
    繋ぎ合わせは前記スキャンを略均一に方向付けし、前記スキャンを組合せることにより構成されることを特徴とする方法。
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