JP2003511846A - 電気供給ユニット、およびスパッタ時の火花形成を制限する方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 高周波スパッタ時の火花の発生を抑制するための、高周波発生器（５）が提案される。この発生器（５）は、その出力側に直列接続された被制御スイッチユニット（１３）を有するが、高周波発生器の出力においてプラズマ放電（ＰＬ）用に発生した高周波給電信号はこのスイッチユニット（１３）により短時間停止される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

この発明は、請求項１のプリアンブルによる電気供給ユニット、請求項１４に
記載のスパッタ装置、ならびに請求項１７のプリアンブルによるスパッタ時の火
花を制限する方法、さらには請求項２９による製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

この発明は以下の問題点を前提とする。その問題点につきこの発明によって得
られる諸認識は一般に、ＨＦ供給スパッタプロセスに適用可能である。

【０００３】 酸化物ターゲットからのＩＴＯ層のマグネトロンスパッタの際にプラズマ放電
の供給を受け、ＨＦスパッタおよびＤＣスパッタが組み合わされると、放物線状
に火花の発生が見られる。そのような火花（アーク）は、スパッタエッチングで
あれスパッタ被覆であれ、導電性に劣る材料のＤＣスパッタ時に生じることが知
られているので、驚くに値しない。スパッタエッチングにおいても、スパッタ被
覆においても工作物を著しく損傷し得るＤＣスパッタ時のアーク発生を避けるに
は、様々な方法が知られている。例えば、ＤＣ給電へのＨＦ給電成分の重畳、い
わゆる中間モードにおける動作点の安定化による処理、あるいはＤＣ給電とは分
離しながら比較的低抵抗の電流回路を介してプラズマ放電ギャップ自体を間欠的
に短絡させることによるＤＣ給電のチョップ、がある。

【０００４】 したがって、ＨＦ給電がＤＣ給電に重畳されるにもかかわらず前記アークが見
られ、ＤＣ給電スパッタ技術の経験からＤＣ給電成分が停止されるとまた、一度
発生した火花がさらに燃えたのは、一層驚くべきことであった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】

この発明は、一般にスパッタ被覆やスパッタエッチングであるＨＦスパッタ時
の火花の発生を、少なくとも加工中の工作物が損傷を被らないよう迅速に抑える
という、驚くべき課題を前提とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

そのためには、請求項１の特徴にしたがって形成された、始めに述べられたよ
うな給電ユニットが提案される。したがって、この発明による給電ユニットは、
スパッタプラズマ放電のＨＦ給電が短時間停止されるよう形成される。

【０００７】 この発明による給電ユニットの第一の好ましい実施形態では、停止を制御する
スイッチユニットが、火花検出ユニットの出力と作用接続された制御入力を有す
る。それによって、火花が発生するとすぐ、プラズマ放電の高周波給電を停止さ
せることが可能となる。

【０００８】 通常、給電用に設けられたＨＦ発生器は、例えば入力側の網電圧を後接続のＨ
Ｆ発振器用の給電直流電圧に変換する給電ユニットを有する。

【０００９】 この発明によるユニットの、好ましい一実施形態においては、高周波給電をこ
の発明によって停止させるため設けられたスイッチユニットが、この前記ＨＦ発
生器内部給電ユニットに後接続、すなわち前記給電ユニットの出力とＨＦ発生器
の出力との間に配置される。これは、前記発生器給電ユニットの後から、通常は
設置されるが上記の場合発生器の一部とみなされるインピーダンス調整ユニット
の出力側までの間で行われ得る。

【００１０】 火花検出ユニットを装備したこの発明による給電ユニットの、好ましい一実施
形態では、給電ユニットがＤＣ電位測定ユニットを含み、その出力が好ましくは
調整可能な閾値検出ユニットの入力と作用接続され、閾値検出ユニットの出力は
また火花検出ユニットの出力として作用する。

【００１１】 プラズマ放電にＨＦ給電のみが用いられる場合もまた、プラズマ放電ギャップ
に沿ってＤＣ電位が発生し、電極―暗黒領域については電位降下が、その他のプ
ラズマギャップに沿っては基本的に一定のＤＣ電位が発生することが知られてお
り、その値は低抵抗の火花回路が生じると変化するのが検出可能である。

【００１２】 この発明による給電ユニットの好ましいさらなる実施形態では、ＨＦ給電の停
止時間が最長４０μｓｅｃ、好ましくはさらに最長３０μｓｅｃである。

【００１３】 これにより、発生途上の火花が消されるか、後に詳述されるようにそもそも全
く発生し得ない、という結果が得られると同時に、安定した放電をすぐに再開す
ることができる。

【００１４】 好ましいさらなる実施形態では、火花検出によって起動するＨＦ給電停止装置
が設けられることによって特に、上述の迅速な再接続に加え、火花発生検出後Ｈ
Ｆ給電が極めて迅速に切られるので、発生途上の火花が完全に形成されることは
ない。これは、火花検出から高周波給電切断までの時間が最長５０μｓｅｃ、好
ましくは最長３０μｓｅｃであるためである。

【００１５】 好ましいさらなる実施形態においては、この発明にしたがって設けられるスイ
ッチユニットが単安定ユニットとして形成される。設置された火花検出ユニット
の出力における検出信号を契機として、好ましくは調整可能な期間だけ高周波給
電が停止され、その後再び接続される。火花検出ユニットに検知されて、依然と
して火花を示す測定値が示されると、ＨＦ給電は再び停止される。火花検出に制
御されて前記給電は、火花検出ユニットが給電切断をもはや作動させなくなるま
で、繰り返し接続および切断される。しかしながらその際の給電切断は、少なく
とも発生途中の火花の検出に依存したままである。

【００１６】 しかしながらこれは、好ましいさらなる実施形態において、ＨＦ給電が独自に
繰り返し短時間停止されることにより、回避される。

【００１７】 この発明による給電ユニットの好ましいさらなる実施形態においては、前記Ｈ
Ｆ発生器の他に、出力信号がＨＦ発生器のそれに重畳された、ないしされるＤＣ
発生器が設けられる。

【００１８】 さらに好ましくはＤＣ発生器がまた、ＤＣ給電信号を短時間停止させ得る被制
御スイッチユニットを有する。

【００１９】 ＨＦ給電の作動ないし停止のために火花検出ユニットが設けられると、このユ
ニットはまたＤＣ給電の停止をも制御可能である。自明のことながらこれは直接
行われ得るか、あるいは後に詳述されるように、時間的相関関係をもってＨＦお
よびＤＣ給電が停止ないし接続されることによって、行われ得る。

【００２０】 この発明による給電ユニットにおいては、設置された被制御スイッチユニット
の時間的に相互依存する制御は好ましくは、ＨＦ給電の前にＤＣ給電が停止され
るように行われる。ＨＦ給電はＤＣ給電の前または後、好ましくは後に、再び接
続される。

【００２１】 好ましい一実施形態における、この発明の給電ユニットは、Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｅｎｅｒｇｙ社の「ピンナクル（Ｐｉｎｎａｃｌｅ）」型のＤＣ給電の使用に
より実現される。

【００２２】 この発明によるスパッタ装置の好ましい実施形態は請求項１５および１６、こ
の発明による方法の好ましい実施形態は請求項１８から２８に記載される。

【００２３】 さらにこの発明は、請求項２９に記載の製造方法に関するものであり、それに
よって得られるスパッタ後の、すなわちスパッタエッチングまたはスパッタ被覆
された構造部材は、少なくとも火花による影響が大きく減じられて高品質で、あ
るいは粗悪品の数が大幅に減じられて製造可能である。

【００２４】 続いて例として図面を参考に、この発明の説明がなされる。

【００２５】

【発明の実施の形態】

図１には、簡略化された機能ブロック／信号流れ図により、スパッタ室に接続
され、この発明によるスパッタ装置を共に形成する、この発明による給電ユニッ
トの第一の実施形態が概略的に示される。

【００２６】 スパッタ室１はスパッタ被覆室、またはスパッタエッチング室であり得るが、
図示されたように、さらに二極管スパッタ室または（図示されず）三極管、ある
いは複数極管スパッタ室でもあり得る。

【００２７】 いずれにせよ周知のように、スパッタ室１内では少なくとも二つの電極間にプ
ラズマ放電ギャップＰＬが設けられる。

【００２８】 この発明に関してはスパッタ室１のタイプおよび構造は副次的なものであり、
重要なのはプラズマ放電給電の少なくとも一部がＨＦエネルギによるという点で
ある。図１では、この発明による給電ユニット３が設けられる。このユニットは
、電流供給ユニット７と、ＨＦ発振器ユニット９と、能動または受動式の、場合
によっては調整可能な整合ユニット１１（整合箱 Ｍａｔｃｈｂｏｘ）とを備え
るＨＦ発生器５を含む。この発明によると、電流供給ユニット７の出力７_aと、
プラズマ放電ギャップＰＬと接続される発生器５の出力５_aとの間に被制御スイ
ッチユニット１３が、例えば図１に示されたように出力５_aの直前に接続される
。スイッチユニット１３は、自由に発振するタイミングパルス発生器１５の出力
１５_aと接続される制御入力１３_sを有する。スイッチユニット１３は第一の期間
ｔ_Aの間、自由発振タイミングパルス発生器１５と接続されるので、出力５_aでは
ＨＦ給電が切断され、第二の時間ｔ_Bの間は接続される。タイミングパルス比に
ついては以下が勧められる。 − 時比率： （ｔ_B／（ｔ_B＋ｔ_A）） ≧ ０．９ − 停止時間： ｔ_A ≦ １００ μｓｅｃ ここでは、被制御スイッチユニット１３は直列チョッパ（図のとおり）として
、または１３_pに破線で示唆されたように並列チョッパとして形成され得る。

【００２９】 図２は特にこの発明による給電ユニットの、既に図１にその原理が示された自
由発振する実施形態の、この発明によるさらなる実施形態を示す。

【００３０】 既に図１において記述された機能ブロックおよび信号については、引き続き同
じ参照記号が付された。

【００３１】 図２によると、この発明による給電ユニット２３はＨＦ発生器５以外に、ＤＣ
発生器２５を含む。ＨＦ発生器５およびＤＣ発生器２５はここでは、図のように
同じ給電ユニット７から給電され得る。

【００３２】 ＤＣ発生器２５はＤＣ電圧発生段２９を含み、通常それに低域フィルターユニ
ット３１と被制御スイッチユニット３３とが後接続される。ＤＣ発生器の出力２
５_aとＨＦ発生器５の出力５_aとは、共に装着された、図１のプラズマ放電ギャッ
プＰＬの電極によっても形成され得る重畳段５０において重畳される。

【００３３】 スイッチユニット１３の制御入力１３_sがタイミングパルス発生器１５と作用
接続されているように、スイッチユニット３３の制御入力３３_sはタイミングパ
ルス発生器３５と作用接続されている。それにより給電ユニット２３の出力２５
５_aないしＤＣ出力２５_aにおけるＤＣ給電信号が接続および切断される。すなわ
ち、ＤＣ給電は第三の期間ｔ_Cの間タイミングパルス発生器３５によって停止さ
れ、第四期間ｔ_Dの間接続される。全く共通のものとして実現され得るタイミン
グパルス発生器１５および３５は共に、基本的には同期ユニット４３で示された
ように時間的に相互に依存して操作される。

【００３４】 好ましい実施形態においては、時間比ｔ_Aからｔ_Dは以下のとおりである。 ― 時間区分ｔ_Cが時間区分ｔ_Aの前に始まる。すなわち、ＤＣ給電はＨＦ給電 の前に切断される。 ― 好ましくはさらに、時間区分ｔ_Cはそれぞれ、時間区分ｔ_Aが終了する前に 終了する。すなわち、ＨＦ給電が再び接続される前にＤＣ給電が接続される 。

【００３５】 時間比は好ましくは以下のとおりである。 ０．２５ ≦ ｔ_C／ｔ_A ≦ ０．５ さらに、接続期間ｔ_Bおよびｔ_Dは基本的には、切断期間ｔ_Aないしｔ_Cよりはるか
に長い。

【００３６】 図１および図２から、まずＨＦ給電が間欠的に短時間停止され、さらにＤＣ給
電が設けられている場合は、これもまた、ＨＦ給電の停止と同期して停止される
ようにこの発明の給電ユニットを実現する多くの形態が、当該業者には明らかで
ある。

【００３７】 図３および図４には、図１および図２と同様に、それぞれこの発明による給電
ユニットの好ましいさらなる形態が図示されるが、ここではＨＦの、ないしＨＦ
およびＤＣの給電中断は自由発振で行われるのではなく、スパッタ室内の火花発
生の検出によって作動する。

【００３８】 図３および図４に関しては、図１および図２との相違のみが記される。 図３では、この発明による給電ユニットに火花検出ユニット６０が設けられる
。好ましい実施形態ではこのユニットは、プラズマ放電に制限されるＤＣ電位を
検出する。好ましくは調整可能な閾値ユニット６２では、例えばプラズマ電位で
あるこの被制御ＤＣ電位φが、設定された閾値ＳＷに達するかどうかが算出され
、そこから火花の発生が推定される。閾値ユニット６２はその出力側において時
間制御ユニット６４をトリガーし、このユニット６４は単安定マルチバイブレー
タとして、好ましくは調整可能な長さｔ_Aの停止制御信号を被制御スイッチユニ
ット１３に与える。したがってこの実施形態では、プラズマ放電ＰＬ内で火花発
生が検出されると、例えばプラズマ電位が低抵抗の火花短絡の影響により下がる
と、ＨＦ給電が短時間、すなわちｔ_Aの間停止される。

【００３９】 続いて、時間制御ユニット６４によりＨＦ給電が再び接続される（ｔ_B）と、
検出ユニット６０を介してさらに、または再び火花発生が検出されない限り、安
定したプラズマ放電ＰＬが続く。火花発生がさらに、または再び検出されると、
ユニット６２，６４を介してＨＦ給電が再び停止される。ＨＦ給電は、火花がも
はや一切検出されなくなるまで、繰り返し切断される。

【００４０】 図３では概略的にスパッタ室１ないしそのプラズマ放電ＰＬに連結されて示さ
れた検出ユニット６０は自明のことながらまた、放電比を検出するため直接、放
電電極への給電線と作用接続され得るし、またそれが望ましい。

【００４１】 図４には、図２を前提としながら、ＨＦ給電とＤＣ給電とが組み合わされた、
同様の火花発生被制御給電ユニットが概略的に示される。

【００４２】 図４では、検出ユニット６０および閾値ユニット６２を介して火花の少なくと
も発生が検出されると好ましくは、停止期間ｔ_CにしたがってＤＣ給電を停止す
るために、一種の単安定ユニットである時間制御ユニット６６がまず制御される
。前記停止時間に依存して、好ましくは調整可能な期間τだけずらされて、ＨＦ
給電が時間制御ユニット６８を介してＨＦ給電が停止される。ＤＣ停止相ｔ_Cの
間は、ＨＦ給電を繰り返し作動させ、かつさらに火花が検出された場合は、再び
停止させることが常に可能である。

【００４３】 図５には、図４に基づくさらなる実施形態が示されるが、そこでは閾値に反応
してＤＣ給電および／またはＨＦ給電が停止される。

【００４４】 この図によると検出ユニット６０の出力側の、閾値ユニット６２_aでは第一の
閾値ＳＷ−ＤＣ、閾値ユニット６２_bでは第二の閾値ＳＷ−ＨＦに達するかが調
べられる。閾値ＳＷ−ＤＣに達すると、時間制御ユニット６６を介してＤＣ給電
が停止され、閾値ＳＷ−ＨＦに達するとユニット６８を介してＨＦ給電が停止さ
れる。

【００４５】 ＤＣ給電およびＨＦ給電に時間制御装置および閾値制御装置を設け、最適条件
としては時間差をつけてＤＣ給電およびＨＦ給電をそれぞれ短時間停止するには
、様々な可能性が開かれていることが当該業者には自明である。

【００４６】 好ましい一実施形態では、火花検出ユニット６０、閾値ユニット６２、時間設
定ユニット６６が、図４または５の実施形態におけるＤＣ発生器２５にアドバン
スド・エナジー（Ａｄｖａｎｃｅｄ Ｅｎｅｒｇｙ）社の「ピンナクルＰｉｎｎ
ａｃｌｅ」型のＤＣ給電を使用することによって、実現される。

【００４７】 通常ＤＣ信号はＨＦ発信器の入力から減結合され、かつ反対にＨＦ信号はＤＣ
発生器の入力から分離されることを考慮すると、好ましい実施形態ではＨＦ火花
検出ユニットがＨＦ発信器に後接続され、ＤＣ火花検出ユニットはＤＣ発生器に
後接続されることがわかる。これは図４では６０_DCおよび６０_HFに破線で示され
た。これらはそれぞれ、対応する時間設定ユニット６６（ＤＣ）ないし６８（Ｈ
Ｆ）に作用する。

【００４８】 図３から５の実施形態では、好ましくは検出があるとすぐ、すなわち火花の発
生により当該閾値に達すると、ＨＦ給電が停止するまで ≦ ５０μｓｅｃの期
間Ｔが調整される。

【００４９】 好ましい実施例では、この発明による給電ユニットがスパッタ被覆室と、特に
好ましくはマグネトロンスパッタ室と組み合わされる。この場合、前記給電は導
電性に劣る材料、特に金属酸化物、さらにはＩＴＯの好ましくはマグネトロンス
パッタによるスパッタに特に適している。

【００５０】 図４の原理による構造の装置において、０．７５Ｗ／ｃｍ²のＨＦ出力密度Ｐ
ＨＦおよび０．７５Ｗ／ｃｍ²のＤＣ給電出力密度ＰＤＣでＩＴＯターゲットか
らマグネトロンスパッタする場合、火花発生が検出されると、５００μｓｅｃ後
には既に給電（ＨＦおよびＤＣ）切断される。１．５Ｗ／ｃｍ²の高いＤＣ出力
密度では、この時間がさらに１μｓｅｃより短いものとなった。

【００５１】 この発明による給電ユニット、この発明によるスパッタ装置ないしこの発明に
よる方法によって、火花形成の傾向にあってもＨＦスパッタプロセス、さらには
またＨＦ／ＤＣスパッタプロセスを制御操作することが可能である。火花発生を
１μｓｅｃより短時間に限定できることにより、安定したプロセス操作が可能と
なる。この発明による製造プロセスにより、上述のようなスパッタエッチングま
たはスパッタ被覆による表面品質が大幅に向上し、したがって工作物の粗悪品の
数が減る。火花形成によるターゲット、工作物ないし室壁部材の損傷は十二分に
防止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 機能ブロック／信号流れ図で、独自に火花を阻止しながら、この
発明による製造を行うためのこの発明によるスパッタ装置において、この発明に
よる方法で処理をする、この発明による給電ユニットの第一の実施形態を示す。

【図２】 ＤＣ給電およびＨＦ給電を備えたさらなる形態を、図１と同様の
図で示す。

【図３】 図１に示された技術に基づき、火花発生制御による給電停止の実
施形態を示す。

【図４】 図２の技術に基づき、火花発生により作動する給電中断の一実施
形態を示す。

【図５】 図４に説明された技術の、さらなる実施形態を示す。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ダウベ，クリストフ ドイツ、デー−63755 アルツェナウ、ヘ ムズバッヒェルシュトラーセ、６・アー (72)発明者 シュトレンベルク，ヨハネス ドイツ、デー−63571 ゲルンハウゼン、 リンデンシュトラーセ、８ (72)発明者 リンツ，トーマス ドイツ、デー−77815 ビュール、アム・ バンベーク、40 Ｆターム(参考） 4K029 BA45 BC09 CA05 DC05 DC35 DC39 5F004 AA06 BA04 BC08 BD05

Claims (29)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一つのＨＦ発生器（５）を含む、 スパッタ室（１）内のプラズマ放電（ＰＬ）の電気供給用給電ユニットであって
   、 ＨＦ発生器（５）が被制御スイッチユニット（１３）を含むことを特徴とし、前
   記スイッチユニットにより、ＨＦ発生器（５）の出力（５_a）に発生したＨＦ給
   電信号が少なくとも第一の期間（ｔ_A）停止され、前記第一の期間は、ＨＦ給電
   信号が前記出力にある第二の期間（ｔ_B）よりはるかに短い、給電ユニット。
2. 【請求項２】 被制御スイッチユニット（１３）が、火花検出ユニット（６
   ０）の出力と作用接続された制御入力（１３_s）を有することを特徴とする、請
   求項１に記載の給電ユニット。
3. 【請求項３】 ＨＦ発生器（５）が、出力（７_a）がＨＦ発信器（９）と作
   用接続された給電ユニット（７）を有することを特徴とする請求項１または２に
   記載の給電ユニットであって、被制御スイッチユニット（１３）はＨＦ発生器（
   ５）の給電ユニット（７）の出力（７_a）と、発生器（５）の出力（５_a）との間
   に設けられる、給電ユニット。
4. 【請求項４】 火花検出ユニット（６０）がＤＣ電位測定ユニットを含むこ
   とを特徴とする、請求項２または３に記載の給電ユニットであって、前記ＤＣ電
   位測定ユニットの出力は、好ましくは調整可能な閾値検出ユニット（６２）の入
   力と作用接続され、閾値検出ユニット（６２）の出力は制御入力（１３_s）と作
   用接続される、給電ユニット。
5. 【請求項５】 第一の期間（ｔ_A）が最長４０μｓｅｃであり、好ましくは
   最長３０μｓｅｃであることを特徴とする、請求項１から４のいずれかに記載の
   給電ユニット。
6. 【請求項６】 火花検出ユニット（６０）を作動させる信号が発生してから
   、第一の期間（ｔ_A）が始まるまでの時間が最長５０μｓｅｃであり、好ましく
   は最長３０μｓｅｃであることを特徴とする、請求項２から５のいずれかに記載
   の給電ユニット。
7. 【請求項７】 火花検出ユニット（６０）の出力における検出信号によって
   作動し、ＨＦ給電信号を好ましくは調整可能な期間（ｔ_A）停止させる単安定ユ
   ニットとして、前記被制御スイッチユニットが形成されることを特徴とする、請
   求項２から５のいずれかに記載の給電ユニット。
8. 【請求項８】 第一の期間（ｔ_A）の間、ＨＦ給電信号を繰り返し停止させ
   る自由作動パルスユニット（１５）と、被制御スイッチユニットの制御入力が作
   用接続されていることを特徴とする、請求項１から６のいずれかに記載の給電ユ
   ニット。
9. 【請求項９】 出力信号がＨＦ発生器（５）の出力信号と重畳されるＤＣ
   発生器（２５）がさらに設けられることを特徴とする、請求項１から８のいずれ
   かに記載の給電ユニット。
10. 【請求項１０】 ＤＣ発生器（２５）が被制御スイッチユニット（３３）を
    含むことを特徴とする、請求項９に記載の給電ユニットであって、前記被制御ス
    イッチユニット（３３）はＤＣ発生器（２５）の出力で発生するＤＣ給電信号を
    少なくとも第三の期間（ｔ_C）停止させ、前記第三の期間は、ＤＣ給電信号が前
    記出力にある第四の期間（ｔ_D）よりはるかに短い、給電ユニット。
11. 【請求項１１】 ＤＣ発生器（２５）のスイッチユニット（３３）の制御入
    力（３３_s）が、火花検出ユニット（６０）の出力と作用接続されていることを
    特徴とする、請求項１０および２に記載の給電ユニット。
12. 【請求項１２】 第三期間（ｔ_C）が第一期間（ｔ_A）の前に始まり、第一期
    間（ｔ_A）の前または後、好ましくは前に終わるように、ＨＦ発生器（５）の被
    制御スイッチユニット（１３）の制御入力（１３_s）と、ＤＣ発生器（２５）の
    被制御スイッチユニット（３３）の制御入力（３３_s）とが時限素子ユニット（
    １５，４３，３５）を介して作用接続されていることを特徴とする、請求項１０
    または１１に記載の給電ユニット。
13. 【請求項１３】 ＤＣ発生器（２５）が、アドバンスド・エナジー社の「ピ
    ンナクルＰｉｎｎａｃｌｅ」型のＤＣ給電を含むことを特徴とする、請求項９か
    ら１２のいずれかに記載の給電ユニット。
14. 【請求項１４】 プラズマ放電ギャップの電力供給のため、請求項１から１
    ３のいずれかに記載の給電ユニット（３）にプラズマ放電ギャップ（ＰＬ）が接
    続されていることを特徴とする、真空室（１）とプラズマ放電ギャップ（ＰＬ）
    とを備えたスパッタ装置。
15. 【請求項１５】 スパッタ被覆装置として形成され、かつ一方のプラズマ放
    電電極が金属酸化物ターゲットを、好ましくはＩＴＯターゲットを含むことを特
    徴とする、請求項１４に記載のスパッタ装置。
16. 【請求項１６】 一方のプラズマ放電電極がマグネトロン電極であることを
    特徴とする、請求項１４または１５に記載のスパッタ装置。
17. 【請求項１７】 プラズマ放電のＨＦ給電が短時間（ｔ_A）中断されること
    を特徴とする、プラズマ放電（ＰＬ）がＨＦエネルギを少なくとも共に供給され
    るスパッタでの火花形成を制限するための方法。
18. 【請求項１８】 室（１）内での火花発生の検出（６０）に基づきＨＦ給電
    が短時間（ｔ_A）停止されることを特徴とする、請求項１７に記載の方法。
19. 【請求項１９】 ＨＦ給電を提供するためのＨＦ発生器（５）の給電（７）
    を停止させることなく、ＨＦ給電が停止されることを特徴とする、請求項１７ま
    たは１８に記載の方法。
20. 【請求項２０】 プラズマ放電におけるＤＣ電位の測定により火花発生が検
    出されることを特徴とする、請求項１８または１９に記載の方法。
21. 【請求項２１】 ＨＦ給電が最長４０μｓｅｃの間、好ましくは最長３０μ
    ｓｅｃの間停止されることを特徴とする、請求項１７から２０のいずれかに記載
    の方法。
22. 【請求項２２】 火花発生が検出されると、最長５０μｓｅｃ後、好ましく
    は最長３０μｓｅｃ後に、ＨＦ給電が停止されることを特徴とする、請求項１８
    から２１のいずれかに記載の方法。
23. 【請求項２３】 ＨＦ給電が繰り返し、好ましくは周期的に停止されること
    を特徴とする、請求項１７から２２のいずれかに記載の方法。
24. 【請求項２４】 プラズマ放電がさらにＤＣ給電（２５）により給電される
    ことを特徴とする、請求項１７から２３のいずれかに記載の方法。
25. 【請求項２５】 ＤＣ給電が短時間停止されることを特徴とする、請求項２
    ４に記載の方法。
26. 【請求項２６】 火花発生の検出に基づきＤＣ給電が停止されることを特徴
    とする、請求項２５に記載の方法。
27. 【請求項２７】 ＤＣ給電が高周波給電の前に停止されることを特徴とする
    、請求項２５または２６に記載の方法。
28. 【請求項２８】 ＤＣ給電が高周波給電の前または後、好ましくは前に再び
    提供されることを特徴とする、請求項２７に記載の方法。
29. 【請求項２９】 ＨＦ給電成分が、火花発生に制御されて、または自動反復
    により、短時間停止されることを特徴とする、スパッタプラズマ放電の給電が少
    なくともＨＦ成分を有するスパッタ法による、構造部材製造方法。