TW486719B

TW486719B - Power supply unit and method to reduce the spark formation when sputtering

Info

Publication number: TW486719B
Application number: TW089121301A
Authority: TW
Inventors: Andreas Kloeppel; Christoph Daube; Johannes Stollenwerk; Thomas Linz
Original assignee: Balzers Process Systems Gmbh
Priority date: 1999-10-13
Filing date: 2000-10-12
Publication date: 2002-05-11
Also published as: US6740207B2; KR20020063559A; JP4949584B2; WO2001027970A1; JP2003511846A; EP1221175B1; KR100797736B1; DE19949394A1; US20020104753A1; DE50014029D1; ATE353164T1; EP1221175A1

Description

486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（i) 本發明是有關一種根據申請專利範圍第1項之前言的電力供應單元，根據申請專利範圍第1 4項本文之濺鍍裝置，以及根據申請專利範圍第1 7項之前言之在濺鍍時減少火花形成的方法，還有根據申請專利範圍第29項之製造方法。本發明是由以下的問題產生，此根據本發明而得到的理解使它可以通常使用於由高頻（HF)電源的濺鍍製程。在電漿放電的電源與氧化物靶的銦錫氧化物（I TO )層的磁控管的濺鍍（其與高頻率HC與直流電DC結合）中，觀察到零星火花的產生。這並不令人驚訝，因而此種火花（電弧）的產生，在直流（DC)濺鍍中會產生電性不良的導體材料，這對於濺鍍蝕刻或是對於濺鍍塗層是爲已知。爲了避免在 DC濺鍍中產生電弧，其不但在濺鍍蝕刻而且在濺鍍塗層中會對工件（work piece)產生重大的損害。例如是DC電源與 HC電源部份之重疊，或是藉由運作點的平衡在 | 所謂的模式（mode)之中運作，或是DC電源被切斷，以上這些是由於間歇斷續的電漿放電線段經由一相當低歐姆的電源路徑在與DC電流分隔的情況下在本身短路（s ho 1-1 -circuit)中產生。因此更令人吃驚的是，當根據經驗，以DC所供電的濺鍍技術將DC電源成分中止時，所觀察到的DC電源重疊到 HF電源所產生的所提到的電弧，並且一旦產生火花還然後繼續燃燒。本發明是由此令人驚訝的目的而產生，在HF (高頻）的濺本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —J^-------------訂·--------線—AW. (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（2 ) 鍍（通常的濺鍍塗層或濺鍍蝕刻）中，將其所產生的火花至少如此快的抑制，使得加工的工件沒有損壞。對此而建議在一開始所提到方法之電源單元，是根據申請專利範圍第1項之特徵而形成。因此此根據本發明的電源單元是如此的形成，而使得此濺鍍電漿放電之HF電源暫時中止供應。在根據本發明的第一較佳形式中的電源單位具有控制此中止的切換單元的一個控制輸入端，其與火花偵測單元之輸出端相連接。因此，其爲可能在產生火花時，直接將電獎放電之尚頻電源停止。在一般通常的方法與方式中，此用於電源所設之高頻 (HF)發電機具有一電源單元，其用於接通後高頻（HF)振盪器之共同電壓源中輸入側之網路電壓而變化。在此根據本發明較佳實施例中的單元，是此用於此根據本發明之高頻電源停止所設之所提到之高頻發電機內部之電源單元之切換單元在接通之後，即，配置介於所提到之電源單元之輸出端與這一個高頻發電機之間。這可以根據所提到的發電機電源單元一直到通常所設並存在之輸出端側而考慮作爲發電機之部件之阻抗調整單元而實施。在一個較佳的實施例中，此具有所配備火花偵測單元之根據本發明之電源單元，其包括一 DC電位偵測單元，其輸出端與一個較佳是可調整的界限値偵測單元的輸入端相連接，其輸出再度作爲火花偵測單元之輸出端： -4- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） — ίιι-τ I - I ---------- . I — — — — — I I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 _ 五、發明說明（3 ) 還有在電漿放電的唯一之HF電源所產生眾所周知的沿著電漿放電路徑之直流（DC)電位（經由電極暗室之直流電位降，在沿著剩餘的電漿路徑在基本上恒定的直流電位），其値本身在產生一低歐姆火花路徑中可偵測地改變。在根據本發明的另外一個較佳的實施例中之電源單位，其高頻（HF )電源之停止時間最高是40微秒（μ s )，較佳甚至最高是30微秒（//s)。因此而實現，一方面將正在產生的火花熄滅，或像是待實現的火花可以首先完全不產生，並且同時直接繼續進行穩定的放電。在另外一個較佳的實施形式中，尤其是在所設之火花偵測所觸發之高頻（HF )電源之停止中，連同前述之迅速再接通，在火花產生偵測之後，此高頻（HF)電源如此迅速的被切斷，此本身正在產生中的火花可以首先完全不會形成。這因此而實現，此介於火花偵測與高頻電源切斷之間的時間最高是50微秒（// s )’較佳最局是30微秒（//s)。在一個另外的較佳實施形式中’此根據本發明所設之切換單元在其特性中形成單調穩定的單元。若經由在所設之火花偵測單元輸出端上之偵測信號所觸發’ 而因此使得用於此較佳方式可調整時間之高頻電源之停止，然後再度接通。此外，若經由火花偵測單元之偵測而存在火花顯示測量値，因此此高頻（HF)電源本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） —*—,-------------訂---------線— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 486719 A7 B7 五、發明說明（4 ) 再度被停止。此火花偵測控制產生此所提到電源之重覆性的導通與切斷，一直到此火花偵測單元不再觸發電源之切斷爲止。因此，電源之切斷取決於至少一個在產生中之火花的偵測。在一個另外的較佳形式中因此而達成，無載空轉，將此高頻電源重覆性短時間的停止。在另外一個根據本發明的較佳實施形式中之電源單元是連同上述之高頻（HF)發電機，而設有一直流（DC)發電機，其輸出端信號重疊到高頻（HF )發電機的信號。此外，此直流（DC)發電機還較佳具有被控制之切換單元，借助於它可以將此直流（DC )電源信號短時間地停止。若設有用於將高頻電源觸發或停止的火花偵測單元，因此此單元可以還控制直流電源之停止。明顯地，這可以直接進行，或是由於雙方在時間的相關之中（如還待說明），將高頻（HF )或直流（DC )電源停止或接通。較佳是此根據本發明之電源單元是如此地彼此相關地在時間上控制此預設被控制之切換單元，而使得此直流電源在高頻電流之前被停止。此高頻電源是在DC電源之前或之後再度連通，較佳是在其後。此根據本發明的電源單元，是在一個較佳的形式中，使用’'Advanced Energy Company11之頂點（pinnacle)式的直流（DC)電源而實現。根據本發明之較佳實施形式的濺鍍裝置是在申請專利 -6- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） ---1---^-------------訂—---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（5 ) 範圍第1 5與1 6項中說明，此根據本發明之較佳實施形式的方法是在申請專利範圍第1 8至28項中說明。此外，關於本發明之製造方法是根據申請專利範圍第29項之本文，借助於它此所產生的濺鍍（濺鍍蝕刻或濺鍍塗層）元件，由於至少大幅度地降低火花的影響，而具有提高的品質或在基本上可以減少次等品的產生。本發明緊接著例如根據圖式而說明：圖式之簡單說明第1圖顯示在根據本發明之第一實施形式之電源單元之功能塊/信號流程圖的形式中，在根據本發明的方法中運作，在根據本發明的裝置上製造，而具有無載運轉之火花防止功能。第2圖顯示在類似於第1圖的說明中，具有直流（DC ) 與高頻（HF)電源之進一步的發展。第3圖顯示由在第1圖中所說明的技術而產生，具有火花產生以控制電源停止的功能；第4圖顯不根據第2圖的技術而產生，用於火化產生觸發電源切斷之實施形式；第5圖顯示根據第4圖所說明的技術之另外一個實施形式。在第1圖中是根據簡化的功能塊/信號流程圖，以槪要圖式說明根據本發明第一形式之電源單元，其在濺鍍室上接通，而共同形成根據本發明之濺鍍裝置。在濺鍍室1中是可以是有關於一濺鍍塗層室’或一濺 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐1 —*—j.-------------訂---------—AVI (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 486719 A7 B7 五、發明說明（6 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 鍍蝕刻室，因此是如同所說明’是有關於一個二極體濺鍍室或是一個三極濺鍍室（未圖示），或是甚至多電極濺鍍室。無論如何並且是十分的熟悉，在濺鍍室1中，在至少介於兩個電極中設有一電漿放電線段PL。對於本發明而言，此濺鍍室1的形式與結構是次要的，其基本上重要的是，此電漿放電電源借助於高頻電能而實施。根據第1圖而設有根據本發明之電源單元3。這包括具有電流供應單元7的一高頻（HF )發電機5，一高頻振盪器單元9，一主動式或被動式，也許是可調整單元/(火柴盒）。根據本發明在介於電流供應單元7的輸出端7 a，與發電機5的輸入端5 a之間設有一控制式切換單元1 3，其與電槳放電線段相連接。此切換單元1 3例如是根據第1圖的說明，直接與輸出端5a串聯。此切換單元13具有一控制輸入端13s，經濟部智慧財產局員工消費合作社印製其與一自由振盪之時脈產生器1 5的輸出端1 5 a相連接。以此自由振盪的時脈產生器1 5，此切換單元1 3在第一時期tA期間是如此的切換，而使得高頻電源的輸出端5 a被切斷，並且在第二時期t B期間被接通。關於此時脈比例是建議： -作業週期：（tB/( tB+tA))-〇.9 -停止時間： tBS 100微秒（# s ) 此，控制式切換單元1 3因此可以形成作爲串聯（s e r i e s ) 暫波器（c h o p p e r)(如圖示）或是並聯斬波器，如在1 3 p中本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（7 ) 以虛線所示。第2圖顯示在第1圖中已經在基本上說明的另一個根據本發明之實施形式，此根據本發明之電力單元之自由振盪的形式，以及諸如此類者。它是用於功能塊與信號，它已經根據第1圖而說明，此外使用同樣的參考號碼。根據第2圖此根據本發明之電源單元2 3包括高頻發電機5與直流發電機2 5。高頻發電機5與直流發電機25因此可以由相同的電源單元7如同說明地提供。此直流發電機25包括直流電壓產生階段29，其在接通之後通常包括低過濾波器單元3 1與控制式切換單元 33。直流發電機的輸出端25a與高頻發電機5的輸出端5a 是在重疊階段5 0上連接，其還可以經由一共同切換電極，而形成根據第1圖之電漿放電線段PL。如同切換單元1 3的控制輸入端1 3 s是與時脈產生器 1 5連接，此切換單元1 3的控制輸入端33 s是與時脈產生器35連接。因此，此直流電源信號在電源單元23 的輸出端255a上，或在直流輸出端25a上被導通或切斷：在第3時期tc期間此直流電源藉由時脈產生器35 而停止，在當第4時期tD期間被導通。此兩個時脈產生器15與35,其因此可以共同實現，其在基本上如同以同步單元4 3所說明，在彼此時間的相關性中操作。在一較佳實施形式中適用以下的“至tD的時間關 -9- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） <----；--------------^ ----— I —--I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) τ〇Ό /19 τ〇Ό /19 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 Α7 Β7 五、發明說明（8 ) 係： -時間區段t c在時間區段t A之前開始，即，此直流電源在高頻電源之前被切斷。 -較佳是此外是時間區段te在tA之前結束，即，此直流電源是在筒頻電源之前再度被接通。其較佳適合以下的時間關係： 0.25^ tc/tA^0.5 此外，在基本上，此接通時期與tD在本質上是長於切斷時期^或。根據由第1與第2圖的說明，而對熟知此技術的專家呈現出許多變化，其根據本發明之電源單元是如此實現 ’而使得主要是此高頻電源間歇斷續地短時間被停止，並且只要另外所設的直流電源與此高頻電源停止，能同步地停止。在第3與第4圖所描述說明的是類似於第1與第2 圖’是各自一個另外的根據本發明之較佳的實施形式之電源單元，其中此關於高頻（HF)或是關於高頻（HF) 與直流（DC)之電源切斷，不是隨意自由進行，而是藉由偵測到在濺鍍室中的火花產生而觸發。關於第3與第4圖僅就其與第1與2圖不同之處說明。根據弟3圖是在依據本發明之電源單兀上所设之火花偵測單元6 0。在一較佳的實施形式中其偵測電槳放電所造成的直流（DC )電位。在一個較佳可調整之臨界 ___ -10- ___ , 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------------_------ 丨訂--------- 線丨ΙΦ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 486719 A7 B7________ 五、發明說明（9 ) 値單元62上確定，是否此所監視的直流電位中，例如此電漿電位，達到了所調準的臨界（t h r e s ho 1 d )値SW，由此而終止火花的產生。此臨界値單元62在其輸出端側觸發啓動時間控制單元64，其在此種方式中經由單調穩定的複式振盪器（v i b r a t 〇 r)，將較佳是可調整（時間）長度t A的停止控制信號傳給控制式切換單元1 3。因此，在此實施形式中，當偵測到在電漿放電PL中火花產生時，例如經由低歐姆火花短路而造成電漿電位之降低，’於是此高壓電源短時間（tA)的停止。若因此，經由時間控制單元64，此高頻（HF )電源重新再度被接通（t B )，因此只要經由偵測單元60今後沒有或是再度偵測到火花的產生，則繼續穩定的放電。若是偵測到火花再度產生，因此經由單元62，64再度將高頻電源停止。它產生高壓電源之重覆式的切斷，一直到沒有火花再度偵測到爲止。在第3圖中以槪要圖式說明此連接於電漿放電裝置PL 或濺鍍室1的偵測單元60，明顯地還可以並且還較佳是爲了偵測電性放電關係，而直接以饋電線連接至放電電極。在第4圖中是以槪要圖式說明由第2圖所產生，而用於高頻（HF )電源與直流（DC )電源組合之相對應的火花產生控制電源單元。根據第4圖而控制，當經由偵測單元60偵測到至少一個火花產生時，並且此臨界値單元62較佳是僅只是 __-11-_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · ^ 訂— 線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（10) 此時間控制單元66 (在單調穩定單元的方式中），根據停止時間期間（t ime span)，將直流電源停止。取決於時間控制單元6 6，較佳是延遲一可調整的時間期間t，經由日寸間控制單兀6 8將局頻電源停止◦在此直流電（D C ) 停止階段中是完全可能重覆地將高頻（HF)電源接通 ’在當偵測到其他的火花時，將此電源再度的停止。在第5圖中是說明由第4圖所產生之另外一個實施例，依據它而將對於臨界値敏感的直流及/或高頻電源停止。根據此圖而在偵測單元60之輸出端側檢驗，在臨界値單元62 a上的第一臨界値SW-DC與在臨界値單元62b 上的第二臨界値SW - HF。當到達臨界SW - DC時，則經由時間控制單元66，將直流電源停止；當到達臨界値SW-HF 時，則經由單元68將高頻電源停止。顯而易見的，此時對於熟知此行業的專家呈現各種不同的可能性，當直流電流與高頻電源與所設之時間控制器與臨界値控制器組合時，並且將直流電源與高頻電源以最適的時間等級排列，而各自短時間的停止。在一個較佳的實施形式中，火花偵測單元60，臨界値單元62，時間預先設定單元66，以及直流電發電機 25，在根據第4或5圖的實施形式中，經由使用 n A d v a n c e d E n e r g y C 〇 ."之"頂點11式之直流供電而實現。人們有鑒於經常將直流電信號從高頻（HF )振盪器的輸入端去掉連接，並且相反的將高頻（HF )信號從直流 _-12-_ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） -------J--------------訂·---------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 __B7__ 五、發明說明（Π) 發電機的輸入端切斷。因此是爲明顯，在一較佳實施形式中，高頻（HF )火花偵測單元將高頻振盪器接通，並且直流電火花偵測單元，將直流發電機接通。在第4圖中這是以劃虛線的60DC與60HF中說明。此根據在其所配置的時間預設單元66(DC)或68(HF)上而作用。在根據第3至5圖.的實施形式中較佳將測試減少，即，當火花產生時達到相對應的臨界値，一直調整到高頻 (HF )電源的停止時間期間T S 50微秒（// s )爲止。 '在一個較佳的實施形式中，此根據本發明的電源單元與濺鍍塗層室組合，尤其較佳是與磁控管濺鍍室組合。因此適合於上述之電源，尤其是用於濺鍍不良的導電材料，尤其是金屬氧化物，對此特別是銦錫氧化物（ITO) ，較佳是藉由磁控管濺鍍。在銦錫氧化物（ITO)靶的磁控管濺鍍中，是以0.75W /cm2之高頻功率密度PHF與0.7 5W/cm2的直流電源功率Poc在主要是以根據第4圖而設計建造的裝置上實施，而將火花產生的偵測減少，此（HF與DC)之電源切斷時間已經少於500微秒。當直流（DC )之功率密度提高 1 .5W/cm2，其時間間隔此後小於1微秒。藉由根據本發明之電源單元，根據本發明之濺鍍裝置或根據本發明的方法而可以操作而控制高頻濺鍍過程，還有特別是高頻/直流濺鍍過程，還有當有火花形成的傾向時，經由此可能性，火花事件的時間被限制小於1 微秒（//sec)而使得穩定的製程操作爲可能。以此根據 13 _ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） " V ^--------------訂·--------線-- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 486719 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7_ 五、發明說明（η) 本發明之的製造過程，而將在上述濺鍍蝕刻或濺鍍塗層方法中的表面品質在本質上提高，並且將工件次級品減少’而儘可能地避免經由火花形成在濺鍍靶，工件或在濺鍍室壁部份上所造成的損害。符號之說明 1.....濺鍍室 3.....電源單元 5.....高頻發電機 5 a ....輸出端 7.....電流供應單元 7 a ....輸出端 9.....高頻振盪器單元 1 3 ....切換單元 1 5 ....時脈產生器 1 5 a ...輸出端 23. ·..電源單元 25.. ..直流發電機 2 5 a ...輸出端 33. ·..切換單元 35.. ..時脈產生器 -14- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） · ^ 訂· (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

Claims

48671,9-— 年月

六、申請專利範圍第89121301號「電力供應單元與濺鍍時減少火花形成之方法」專利案（91年2月修正）六申請專利範圍 1· 一種電力供應單元，其用於供電給濺鑛室（1)中的電漿放電（PL)，其包括： •至少高頻發電機（5)，其特徵爲：此高頻發電機（5)包括一控制式切換單元（13)，借助於它在一個在高頻發電機（5)的輸出端（5 a)上所產生的高頻電源信號，至少在第一時期（tA)被停止，其在基本上短位於第二時期（tB)，在此期間此高頻電源信號在上述輸出端上存 .在。 2. 如申請專利範圍第1項之電力供應單元，其中此控制式切換單元（13)具有一控制輸入端（13s)，其與火花偵測單元（60) 之輸出端相連接。 3. 如申請專利範圍第1或2項之電力供應單元，其中此高頻發電機（5)具有一電源供應單元（7)，其輸出端（7a)與高頻振盪器（9)連接，其中此控制式切換單元（13)是設置介於高頻發電機（5)之電源單元（7)的輸出端（7a)與發電機（5)之輸出端（5 a)之間。 4. 如申請專利範圍第2項之電力供應單元，其中此火花偵測單元（60)包括直流電位測量單元，其輸出端是與一較佳可調整式臨界値偵測單元（62)之輸入端相連接，其輸出端與控制輸入端（13s)相連接。 486719 六、申請專利範圍 5. 如申請專利範圍第1項之電力供應單元，其中此第一時間期間（tA)最高是40微秒（# s)，較佳最高是30微秒（// s)。 6. 如申請專利範圍第2項之電力供應單元，其中此從火花偵測單元（60)所觸發信號的發生，一直至觸發此第一時間期間（tA)，最高是50微秒（# sec)，較佳最高是30微秒（// see)。 7. 如申請專利範圍第4項之電力供應單元，其中此從火花偵測單元（60)所觸發信號的發生，一直至觸發此第一時間期間（tA)，最高是50微秒（//sec)，較佳最高是30微秒（//sec)。 8. 如申請專利範圍第2項之電力供應單元，其中此控制式切換單元以此方式形成單調穩定單元，其將此高頻電源信號，經由火花偵測單元（60)之輸出端上的偵測信號而觸發，其用於將較佳是可調整的時間期間（tA)停止。 9. 如申請專利範圍第2項之電力供應單元’其中此控制式切換單元之控制輸入端與無載運載的時脈單元（15)相連接’ 其在此第一時間期間（tA) ’將高頻電源信號反覆地停止。 10. 如申請專利範圍第8項之電力供應單元，其中此控制式切換單元之控制輸入端與無載運載的時脈單元（15)相連接，其在此第一時間期間（tA) ’將高頻電源信號反覆地停止。 11. 如申請專利範圍第1項之電力供應單元，其中另外設有直流（DC)發電機（25)，其輸出端信號重疊至高頻發電機（5)之輸出端的信號。 12如申請專利範圍第3項之電力供應單元，其中另外設有直流（DC)發電機（25)，其輸出端信號重疊至高頻發電機（5)之輸出端的信號。 -2- 486719 六、申請專利範圍 ia如申請專利範圍第11項之電力供應單元，其中此直流（dc) 發電機（25)包括一控制式切換單元（33)，借助於它一個在直流發電機（25)的輸出端上所產生的直流（DC)電源信號，至少在第三時期（tC)中被停止，其在基本上短於第四時期 (tD)，在此期間此直流（DC)電源信號存在於上述輸出端上。 14. 如申請專利範圍第1 1或1 3項之電力供應單元，其中此直流發電機（25)之切換單元（3 3)之控制輸入端（33 s)，是與火花偵測單元（60)之輸出端相連接。 15. 如申請專利範圍第2項之電力供應單元，其中此高頻發電機（5)之控制式切換單元（13)之控制輸入端（13s)，與直流發電機（25)之控制式切換單元（3 3)之控制輸入端（33 s)，須經由時間產生單元（15，43，35)連接，使得第三時期（tc)在第一時期（tA)之前開始，並且在第一時期（tA)之前或之後，較佳是之前結束。 16. 如申請專利範圍第1 1項之電力供應單元，其中此直流發電機（25)包括”Abvanced Energy Co.1·之"頂點"（"Pinnacle”）式的直流電源。 17·如申請專利範圍第丨3項之電力供應單元，其中此直流發電機（25)包括 ’’Abvanced Energy Co···之’’頂點"（npinnacie，·）式的直流電源。 18·—種濺鍍裝置’其具有一真空室（1)與一電漿放電線段 (PL)，其特徵爲：此電漿放電線段（PL)是連接至電源單元（3)，其用用於如申請專利範圍第丨至13項中任一項之電漿放電線段之 486719 六、申請專利範圍電力供應。 19.如申請專利範圍第18項之滕鍍裝置，其中它形成作爲擺鍍塗層裝置，並且其包括電漿放電電極之金屬氧化物靶，較佳是銦錫氧化物（ITO)靶。 20·如申請專利範圍第18或19項之濺鍍裝置，其中它是電漿放電電極之磁控管電極。 21·—種將濺鍍時所形成之火花減少之方法，其中借助於至少一起供應高頻能量而作電漿放電（PC)，其特徵爲：將此電漿放電之高頻電源短時間（tA)的中斷。 2Z如申請專利範圍第21項之方法，其中由於偵測（60)在室（1) 中火花的產生，而將高頻（HF)電源短時間（tA)的停止。 23.如申請專利範圍第21或22項之方法，其中此高頻（HF)電源沒有停止高頻發電機（5)的電力供應（7)，而將高頻電源的產生停止。如申請專利範圍第22項之方法，其中此火花產生藉由測量在電漿放電上的直流（DC)電位而偵測。迅如申請專利範圍第23項之方法，其中此高頻（HF)電源是在最高是40微秒（// s)，較佳是在最高30微秒（// s)的期間中停止。 26如申請專利範圍第22項之方法，其中從火花產生的偵測開始，此高頻電源在最高50微秒（#s)之後，較佳是在最高30微秒（// s)之後停止。 27.如申請專利範圍第23項之方法，其中將此高頻電源反覆地停止，較佳是週期性地停止。 -4- 486719 六、申請專利範圍 28·如申請專利範圍第25項之方法’其中將此高頻電源反覆地停止，較佳是週期性地停止。 29.如申sf專利範圍第2 1項之方法’其中此電漿放電額外地借助於直流電源（25)而供應。 30·如申請專利範圍第29項之方法，其中此直流（DC)電源被短時間地停止。

31如申請專利範圍第30項之方法’其中此直流（DC)電源由於偵測到火花的產生而停止。 32如申請專利範圍第30或31項之方法，其中將此直流電源在高頻電源之前停止。 33如申請專利範圔第32項之方法’其中此直流（DC)電源在高頻電源之前或之後，較佳是之前，再度供應。 34—種以濺鍍法製造元件之方法，其中此濺鍍電漿放電之電源至少具有高頻（HF)成份，其特徵爲：將此高頻電源成份短時間地停止，以控制火花的產生或自動地重覆。