JP4960051B2 - スパッタ装置用電源回路 - Google Patents
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Description
2 DCスパッタ電源
3 放電負荷
4 逆バイアス用電源
5 スイッチング素子駆動回路
7 スナバ回路
8 放電開始判定回路
9 異常放電判定回路
L インダクタ
Q1 第1のスイッチング素子
Q2 第2のスイッチング素子
P1 第1の制御端子
P2 第2の制御端子
Claims (5)
- スパッタ装置のターゲットに電力を供給するための2つの出力端子と、前記2つの出力端子に直流電力を供給するための直流電源と、前記出力端子に前記直流電力とは逆極性の電圧を供給するための逆バイアス用電源とを備えるスパッタ装置用電源回路において、
前記逆バイアス用電源の出力を制御するための第1のスイッチング素子と、1つの制御端子と2つの端子を有し前記直流電力の供給を制御するための第2のスイッチング素子と、電流バイパス用の第1のダイオードとを更に備え、
前記2つの出力端子間に前記第1のスイッチング素子と前記逆バイアス用電源とを電気的に直列に接続し、
前記第2のスイッチング素子の前記2つの端子の一方の端子を前記2つの出力端子のうちの一方の出力端子に電気的に接続し、
直列接続する前記第1のスイッチング素子と前記逆バイアス用電源との接続点と、前記第2のスイッチング素子の前記2つの端子の他方の端子との間に前記第1のダイオードを電気的に接続し、
前記第1のスイッチング素子と前記第2のスイッチング素子とを相補的にオン・オフ駆動することにより、前記2つの出力端子に前記直流電力とは逆極性のパルス電圧を供給することを特徴とするスパッタ装置用電源回路。 - 前記第1のスイッチング素子と前記第2のスイッチング素子を駆動するためのスイッチング素子駆動回路を備えることを特徴とする請求項1に記載のスパッタ装置用電源回路。
- 前記直流電源から供給される電圧及び電流を検出して放電が開始されたことを判定し、前記スイッチング素子駆動回路に開始通知信号を出力して、前記逆極性のパルス電圧を周期的に発生させるための放電開始判定回路を備えることを特徴とする請求項2に記載のスパッタ装置用電源回路。
- 前記出力端子から供給される電圧及び電流を検出して異常放電が発生したことを判定し、前記スイッチング素子駆動回路に異常通知信号を出力して、前記逆極性のパルス電圧を発生させるための異常放電判定回路を備えることを特徴とする請求項2又は請求項3に記載のスパッタ装置用電源回路。
- 第2のダイオード、抵抗及びコンデンサを含み、前記第1のスイッチング素子と並列に接続するスナバ回路を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のスパッタ装置用電源回路。
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