JP2003505875A - 保存および出荷用に設計された容器内に保持された集積回路（ｉｃ）ウェーハの保護システム - Google Patents

保存および出荷用に設計された容器内に保持された集積回路（ｉｃ）ウェーハの保護システム

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Abstract

(57)【要約】 集積回路ウェーハ１９の容器１１は、ウェーハに機械的衝撃および電荷からの保護を提供する。ウェーハは、頂部および底部クッション２１、２３および側部クッション２５によって機械的に保護される。頂部および底部クッションはそれぞれ、膜またはフィルム２９のエンクロージャ内に発泡体２７を有する。エンクロージャは、気体３３が出入りできるよう開口３１を有する。側部クッションは、ウェーハの縁を保護する弾性突起４１を有する。側部クッションが、頂部クッションと底部クッションのフランジ３８間に挟まれる。個々のウェーハは、フィルムで作成した薄片セパレータ２０によって相互から分離される。セパレータ２０と頂部および底部クッション２１、２３のフィルム２９は同じタイプでよい。フィルムは、散逸材料を含むポリマで作成した第１層５１、および散逸材料がないポリマで作成した第２層５３を有する。第１層と第２層は相互に結合される。絶縁層が、ウェーハの回路側に接触した状態で配置される。散逸材料は炭素でよい。容器は、壁に接地スタッド７３を有する。接地スタッドは、容器の内側でフィルムと接触し、容器の外部で接地することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 （発明の分野） 本発明は、集積回路などの敏感な物品を静電気放電および機械的衝撃から保護
する方法および装置に関する。
【０００２】 （発明の背景） 集積回路（ＩＣ）は機械的衝撃による損傷を受けやすい。集積回路の製造時、
これら集積回路はシリコン・ウェーハなどの基板ウェーハに含まれる。１枚のウ
ェーハが、数ダースの集積回路を含むことがある。
【０００３】 これらのウェーハは、ある場所から同じ製造施設の別の場所へと、またはある
製造施設から別の製造施設までも輸送されることが多い。輸送すべきウェーハは
容器に入れる。このような容器が、米国特許第５，７２４，７４８号に記載され
ている。ウェーハは、水平に互いに積み重ねられる。
【０００４】 ウェーハは脆弱で、損傷を受けやすい。ウェーハを満載した容器が落下するか
、衝撃を受けると、内部のウェーハが機械的衝撃のために破損することがある。
したがって、容器は、機械的衝撃からの何らかの保護具を含むとよい。
【０００５】 機械的衝撃に加えて、集積回路は静電気放電（ＥＳＤ）および電気的過剰応力
（ＥＯＳ）による損傷を受けやすい。集積回路中の回路は、非常に小さく、累積
した小さい電荷によって容易に損傷を受けやすい。
【０００６】 ウェーハの容器内では、個々のウェーハがリーフ・セパレータによって隣接す
るウェーハから分離される。リーフ・セパレータは、集積回路を静電気放電によ
る損傷から保護することが理想的である。集積回路の静電荷を高レベルまで蓄積
させると、電荷が接地しやすくなる。この放電の結果、大きい電気エネルギーが
瞬間的に流れ、その流れは集積回路を圧倒し、損傷を与える可能性が高い。先行
技術では、容器は、壁に炭素を含浸させて作成する。これによって、容器内の電
荷は容器の壁を通して逃げることができる。残念ながら、壁の中の炭素は落下し
て、容器内の集積回路を汚染することがある。
【０００７】 したがって、必要とされるのは、容器内にある集積回路ウェーハの電荷が、集
積回路を汚染することなく、無害の状態で逃げることができるシステムである。
【０００８】 （発明の概要） 容器内に置いた集積回路ウェーハを機械的衝撃から保護するシステムを提供す
ることが、本発明の目的である。
【０００９】 容器内に置いた集積回路ウェーハを静電気放電または電気的過剰応力から保護
するシステムを提供することが、本発明の別の目的である。
【００１０】 保存および出荷中に集積回路ウェーハを保護するシステムが提供される。シス
テムは、ウェーハを収納するための内部空間を有する容器を備える。間にウェー
ハを受けるよう、内部空間内に第１および第２クッションが配置される。第１お
よび第２クッションはそれぞれ、圧縮性の弾性発泡体を有し、発泡体は膜内に封
入される。膜は、気体が通過できるよう、１つまたは複数の開口を有する。
【００１１】 本発明の１つの態様によると、第１および第２クッションそれぞれの膜は、ウ
ェーハを静電気放電から保護するフィルムを備える。フィルムは、散逸材料を含
むポリマで作成した第１層と、第１層に結合された第２層とを備える。第２層は
、散逸材料のないポリマで作成する。
【００１２】 本発明の別の態様によると、ウェーハは積み重ねた構成であり、積み重ねたウ
ェーハはそれぞれ、セパレータによって隣接するウェーハから分離される。セパ
レータはそれぞれ、散逸材料を含むポリマで作成した第１層と、第１層に結合さ
れた第２層とを備える。第２層は、散逸材料のないポリマで作成する。
【００１３】 本発明の別の態様によると、ウェーハは積み重ねた構成であり、積み重ねたウ
ェーハはそれぞれ、セパレータによって隣接するウェーハから分離される。セパ
レータはそれぞれ第１フィルムを備える。第１および第２クッションそれぞれの
膜は、ウェーハを静電気放電から保護する第２フィルムを備える。第１および第
２フィルムはそれぞれ、散逸材料を含むポリマで作成した第１層と、第１層に結
合された第２層とを備える。第２層は、散逸材料のないポリマで作成する。
【００１４】 本発明の別の態様によると、第２フィルムの一部と接触し、容器の外部へと延
在する接地導体もある。
【００１５】 本発明の別の態様によると、ウェーハの周囲に配置された側部クッションがあ
る。側部クッションは、ベース部片から延在する弾性突起を備える。
【００１６】 本発明の別の態様によると、第１および第２クッションはそれぞれフランジを
備える。側部クッションがフランジ間に挟まれる。
【００１７】 本発明の別の態様によると、第１および第２クッションはそれぞれ、第１膜部
片および第２膜部片を備える。第１および第２膜部片はそれぞれ縁を有し、発泡
体を収納するエンクロージャ（外囲い）を形成するよう、縁に沿って相互に結合
される。
【００１８】 静電気放電から品物を保護するフィルムも設ける。フィルムは、散逸材料を含
むポリマで作成した第１層と、第１層に結合された第２層とを備える。第２層は
、散逸材料のないポリマで作成する。
【００１９】 本発明の別の態様によると、第１層は１×１０4〜１×１０11オームの表面抵
抗を有する。
【００２０】 本発明の別の態様によると、散逸材料は炭素を含む。
【００２１】 本発明の別の態様によると、第１および第２層のポリマはポリエチレンを含み
、散逸材料は炭素を含む。
【００２２】 本発明の別の態様によると、第２層は０．２５ミル（０．００６３５ｍｍ）未
満の厚さである。
【００２３】 静電気放電からの保護を行うシステムも提供する。システムは、集積回路を含
むウェーハを備え、ウェーハは回路側を有する。フィルムは散逸層および絶縁層
を有する。フィルムは、絶縁層が散逸層とウェーハの間に挟まれるよう、ウェー
ハの回路側と接触する。内部を有する容器もあり、ウェーハおよびフィルムは容
器内部に配置される。容器は、容器内部から容器の外部への導電路を有する。
【００２４】 本発明の別の態様によると、フィルムの散逸層は１×１０4〜１×１０11オー
ムの表面抵抗を有する。
【００２５】 ウェーハが回路側を有する状態で、集積回路ウェーハを静電気放電から保護す
る方法も提供する。方法は、散逸層および絶縁層を有するフィルムを設けること
を含む。フィルムは、絶縁層が散逸層とウェーハの間に挟まれるよう、ウェーハ
の回路側と接触した状態で配置される。ウェーハおよびフィルムは、容器の内部
に配置される。静電荷は、ウェーハから絶縁層を通って散逸層へと進み、容器の
外部へと容器を出る。
【００２６】 物品を電磁干渉および無線周波干渉から保護するエンクロージャも提供する。
エンクロージャは、相互に結合された第１、第２および第３層を備えるフィルム
から作成され、第２層が第１層と第３層に挟まれる。第１、第２および第３層は
ポリマで作成する。第１および第３層は絶縁性である。第２層は１０4オーム以
下の表面抵抗を有する。
【００２７】 敏感な物品を静電放電から保護する別のエンクロージャは、内部を囲む壁を備
え、内部は敏感な物品を受けるよう構築され、配列される。接地スタッドが壁を
通って延在する。
【００２８】 （好ましい実施形態の説明） 図１および図２はＩＣウェーハ・ボックスすなわち容器１１を示す。容器は頂
部１３および底部１５を有する。図１に示すような閉状態で頂部と底部とを相互
にロックするため、ラッチ１７を設ける。ラッチ１７により、頂部が底部に対し
て多少移動することができる。容器１１は気密シールを設け、或いは気密シール
を設けないことができる。気密シールは、容器の内側に制御された環境を維持す
るために有用である。このような密封容器が、米国特許第５，７２４，７４８号
に図示され、説明されている。本願の図に示す容器には、気密シールがない。
【００２９】 図３に示すように、容器１１はＩＣウェーハ１９の積み重ねを含むための内部
空間または空隙を有する。個々のウェーハ１９に、セパレータ２０が挟まれる。
容器は、ウェーハの輸送および／または出荷に使用される。
【００３０】 容器は高エネルギー吸収システム（ＨＥＡシステム）を有し、これは頂部、底
部および側部クッション２１、２３、２５の組合せにより、ＩＣウェーハ・ボッ
クスすなわち容器１１に加えられる機械的衝撃を受け、吸収するよう設計される
。
【００３１】 図３および図４を参照すると、頂部および底部クッション２１、２３はほぼ相
互に相似である。それぞれが発泡部材２７を有する。発泡部材２７は弾性で開放
気泡である。この好ましい実施形態では、発泡部材２７は、容器が円盤形なので
円盤形である。各発泡部材の円盤は、気密性および静電気散逸性であるフィルム
２９によって覆われる。フィルム２９は、ウェーハの間に設けたセパレータ２０
と同じ材料で作成する。フィルム２９には、気体３３を通して交換できる幾つか
の開口３１を設ける。
【００３２】 好ましい実施形態では、各クッション２１、２３は、エンクロージャを形成す
る２枚のフィルム部片（図４参照）から作成する。一方の部片３５は平坦である
。他方の部片３７はボウル形で、発泡体２７上に適合する。２つの部片３５、３
７は、フィルムの周囲に延在するフランジ３８に沿って、相互に結合される。熱
溶着を使用して２枚のフィルム部片を相互に接着することができる。フィルムに
穿孔するか、フランジ３８で２つの部片３５、３７間にギャップを設ける、ある
いはその両方で、開口３１を作成することができる。
【００３３】 図５および図６を参照すると、ウェーハ１９を含むべき空間の周囲に側部クッ
ション、つまり緩衝器が設けられている。側部クッション２５は、機械的衝撃に
対してウェーハの縁を保護する。各側部クッション２５は、比較的軟質のゴムま
たはエラストマ材料で作成する。ベース部材の一方の表面または側部から延在す
る一体の平行な突起４１を有するベース部材３９がある。突起４１は、ベース部
材３９から多少屈曲して延在する。突起４１は、最初はベース部材３９から垂直
に延在し、次に約４５°方向転換してから、反対方向に約９０°方向転換し、次
に最初の方向に９０°方向転換する。図６に示すように、第１方向が隣接する突
起同士で同じである必要はない。
【００３４】 容器を組み立てるには、底部クッション２３（図３参照）を容器底部１５の底
に配置する。フランジ３８が容器底部の壁に当たって配置されるよう、クッショ
ンの平坦なフィルム部片３５を容器底部１５に当てる。側部クッション２５を、
直立または垂直の姿勢で周囲に配置する。側部クッション２５それぞれの一方端
は、突起４１が半径方向内側に延在するよう、底部クッション２３のリップまた
はフランジ３８に載る。好ましい実施形態では、４つの側部クッション２５を使
用するが、数が異なってもよい。次に、ウェーハ１９を積み重ねて底部クッショ
ン２３の上に配置する。個々のウェーハは、セパレータ２０によって互いに分離
されるが、これについては以下でさらに詳細に説明する。積み重ねは、次々と積
み重ねられ、セパレータによって互いに分離されたウェーハを有する。ウェーハ
の縁は、最初は側部クッション２５から隔置される（しかし容器の使用中に、ウ
ェーハが側部クッションに接触することがある）。次に、フランジ３８が側部ク
ッション２５の頂部にあって、その上端に載るよう、頂部クッション２１を最上
ウェーハの上に配置する。容器の頂部１３をその上に配置し、容器底部１５にラ
ッチで結合する。
【００３５】 図７に示すように、ウェーハが、頂部クッションと底部クッション２１、２３
との間に挟まれ、側部クッション２５がウェーハの周囲を囲む。容器の内部に配
置されるウェーハ１９の数は変化してよく、固定数である必要はない。これは、
頂部および底部クッション２１、２３が膨張または収縮して、容器の内側および
積み重ねたウェーハの周囲で使用可能な空間を充填するからである。したがって
、クッション２１、２３および２５は、異なる数のウェーハ１９に対応するよう
調節する必要がない。
【００３６】 容器が頂部または底部からの衝撃を受けると、ウェーハは頂部および底部クッ
ション２１、２３によって保護される。頂部および底部クッションが、２つの方
法で衝撃を吸収する。発泡部材２７が圧縮され、衝撃を散逸させる。さらに、フ
ィルム２９の開口３１を通して気体がクッションから押し出される。気体放出速
度は、開口３１のサイズおよび数によって制御される。放出された気体は、容器
１１の内部へと通気される。衝撃が散逸した後、発泡体は膨張し、気体をフィル
ムの内側へと吸い込んで、頂部および底部クッションを元のサイズに復帰させる
。
【００３７】 容器１１が側部からの衝撃を受けると、側部クッション２５がウェーハの縁を
保護する。突起４１は、変形して機械的衝撃を吸収するよう、弾性である。
【００３８】 容器頂部１３は、相互にラッチで結合されていても、容器底部１５に対して移
動することができる。ラッチ１７は、容器頂部および底部１３、１５が特定の距
離を超えて分離するのを防止する。しかし、図８に示すように、容器頂部１３を
容器底部に押し込むことができる。クッション２１、２３、２５が、このような
動作および衝撃からウェーハを保護する。
【００３９】 次に薄片セパレータ２０について説明する。セパレータはフィルム２９から作
成する。図９および図１０は、好ましい実施形態による本発明の多層フィルム２
９の等角図である。フィルムは２つの層、つまり散逸層５１および絶縁層５３を
有する。散逸層５１は炭素を含むポリエチレンであり、炭素が電荷を散逸する働
きをする。絶縁層５３は、炭素のないポリエチレンである。ポリエチレンは低密
度タイプのポリエチレンであるが、中密度および高密度ポリエチレンでもよいと
考えられる。散逸層５１は、散逸層の表面抵抗が、ESD Associationのテスト法
Ｓ１１．１１によって測定して１×１０4から１×１０11オームとなるよう、自
身内に十分な量の炭素を有する。絶縁層５３の厚さは０．２５ミル（０．００６
３５ｍｍ）以下である。これより厚い層を使用すると、静電荷が絶縁層を通して
効果的に散逸することができない。散逸層５１の厚さは変更することができる。
３、５および９ミル（０．０７６２、０．１２７および０．２２８６ｍｍ）の厚
さがうまく働くことが判明した。しかし、特定の用途に応じて、薄くても厚くて
も、他の厚さも同様にうまく働く。
【００４０】 好ましい実施形態では、フィルム２９を同時押出プロセスで作成する。炭素を
含むポリエチレンのペレットを押出成形して層にする。同時に、炭素のないポリ
エチレンのペレットを押出成形して層にする。２つの層は、一緒に押出成形し、
相互に結合してフィルム２９を形成する。図１０では、例示のために層を部分的
に分離したフィルムが図示されている。フィルム２９は、積層およびコーティン
グなど、他のプロセスで作成できるようである。
【００４１】 図９は、ＩＣウェーハ・セパレータ２０として形成したフィルムを示す。セパ
レータ２０は、円形に切断したフィルム２９である。セパレータ２０は、特定の
集積回路ウェーハの直径よりわずかに大きい直径を有する。各ウェーハ１９は、
回路側、および反対側または研削側を有する。図２に示すように、セパレータ２
０はウェーハ１９間に配置される。絶縁層５３は、ウェーハの回路側と接触した
状態で配置する（図１３参照）。散逸層５１は、次の隣接するウェーハの研削（
または他方）側と接触した状態で配置する。したがって、絶縁層５３は敏感な回
路と散逸層５１の間に挟まれる。ウェーハ１９とセパレータ２０の積み重ねを形
成し、容器１１に入れる。ウェーハ１９はセパレータ２０のみに接触し、他のウ
ェーハとは接触しない。
【００４２】 上記で検討したように、フィルム２９は頂部および底部クッション２１、２３
の作成にも使用する。
【００４３】 フィルム２９は、図９および図１０に示すように、エンボス５７を設けること
ができる。エンボス加工は、図１２に示すように散逸層５１から絶縁層５３へと
実施する。エンボス加工は、２枚のセパレータ２０が相互に付着するのを最低限
にする。これによって、特にＩＣウェーハを扱うクリーン・ルームの条件で、使
用がはるかに容易になる。フィルム２９は、図１１および図１３に示すように、
エンボス加工する必要がない。
【００４４】 本発明のフィルム２９では、集積回路（ウェーハまたは個々の状態）などの静
電気に敏感な物品を静電放電から保護する。散逸層５１は、ポリマに炭素が存在
することによって散逸性になる。散逸層は、接地への高抵抗路となる。隣接する
物品に蓄積する静電荷が散逸層に散逸する。散逸層の抵抗は１×１０4から１×
１０11オームであるので、電荷は、物品に損傷を与えないよう、制御された態様
で散逸する。
【００４５】 絶縁層５３は物品を炭素から保護する。物品が散逸層に直接接触すると、炭素
粒子が脱落して物品に接触したままになることがある。このように散逸性の粒子
が集積回路などの敏感な物品に接触するのは、望ましくない汚染である。絶縁層
は、このように炭素（または他の散逸性）粒子がウェーハへと脱落するのを防止
する。
【００４６】 また、絶縁層は、静電放電が通過できるよう構成される。したがって、絶縁層
は散逸層の静電放電能力を妨害しない。絶縁層はポリマであり、自身を通る無数
の微小な路を有し、この路は静電荷の通路として働くことができる。ポリマは、
通常、多少の多孔性を有し、これはポリマの種類、ポリマの厚さ、およびポリマ
に浸透できる特定の材料の関数である。このような多孔性の例は、透湿度（ＭＶ
ＴＲ）として測定することができる。水蒸気の分子は、ポリマ数層に浸透するこ
とができる。浸透が可能であるのは、ポリマ層が、層を通って蒸気の分子が辿る
無数の微小な通路を有するからである。
【００４７】 本発明は、ポリマの薄膜がこのような微小な通路を有することを利用する。こ
れらの通路は、絶縁層を通って散逸層へ静電荷を導くのに使用する。したがって
、フィルム１１は、電荷を導くのに十分なほど薄いが、品物および散逸層の機械
的保護を提供するのに十分なほど厚い。ある意味で、これはワイヤの電気絶縁層
と反対である。ワイヤの絶縁はワイヤの機械的保護を提供するが、これは漂遊電
荷または地絡からのワイヤの電気絶縁もする。
【００４８】 フィルムをエンボス加工する場合、エンボス加工によるピーク５９はウェーハ
と接触する可能性が高い。その結果、散逸路６１（例示のために図示）は、図１
２に示すようにピークにある可能性が高い。図１２は、２つの層で構築され、第
１層が散逸性であり、第２層が絶縁性である多層フィルムから得た断面図を示す
。２つの層は同時押出成形され、組合せがエンボス加工される。絶縁層を通る電
気散逸路が、エンボス加工のピーク（尖端）に生成される。
【００４９】 絶縁層に通常存在する微小な通路は、所望に応じて拡大することができる。例
えば、状況によって、絶縁層は、機械的保護を大きくするために厚くしてもよい
。散逸路は、絶縁層に穴を生成して作成することができる。図１４から図１８は
、これらの穴を作成する幾つかの方法を示す。図１４は、散逸層を絶縁層に物理
的に浸透させることによって散逸路をピークに生成した、エンボス加工のある多
層フィルムを示す。エンボス加工により、絶縁層に開口が生じる。通常、これら
の開口はエンボス加工のピークにある。
【００５０】 図１５は、ピークの穿孔が散逸路を提供する多層フィルムの１つのピークを示
す。表面電荷と散逸層間の電界が、穿孔開口６３の空気をイオン化するのに十分
な強さである場合、自由電荷の導通が生じる。
【００５１】 図１６は、絶縁層が散逸層への穴６３を有し、穴が走査レーザ・ビーム６４に
よって生成される多層フィルムを示す。
【００５２】 図１７は、蓄積した表面電荷の電界応力による絶縁層の絶縁破壊によって、エ
ンボス加工のピークに穿孔６３を生成することを示す。
【００５３】 図１８では、イオン化していない高電圧電極によって誘発された電界によって
、穿孔６３が生じる。高圧電源６６が電極６８と散逸層５１の間に接続される。
エンボス加工の電界応力増加により、最小半径の表面またはピークに穿孔が生じ
る。
【００５４】 多層フィルム２９は、少なくとも１つの絶縁フィルム層を通って少なくとも１
つの散逸フィルム層への表面電荷の導通を提供する。フィルムの散逸層は、通常
、多少の導通性を提供する炭素の基質である。絶縁フィルム層は、炭素粒子が散
逸層から脱落するのを防止する。静電放電に対する保護が必要である場合、絶縁
層の外面からの導通性が望ましい。
【００５５】 多層フィルムは、敏感な物品および／またはセパレータを保存し、出荷するた
めの袋のような物に変換してもよい。敏感な物品には、ＩＣウェーハ、ディスク
・ドライブ、電子機器、半導体などがある。例えば、この多層フィルムには、（
１）炭素粒子が物品に移動することなく、静電保護を必要となる敏感な物品を保
持する袋、または（２）ＩＣウェーハの電気側に隣接して配置され、前記ウェー
ハを第２ウェハ、または出荷用容器内に梱包された複数のウェーハから分離する
セパレータとして使用することができる。フィルムをウェーハの分離に使用する
場合、その目的は（１）炭素粒子が散逸層からＩＣウェーハの結合パッド表面区
域へ移動、または「脱落」することを防止し、（２）前記結合パッドに腐食損傷
を与えないよう、イオン汚染がない表面を維持し、（３）ウェーハの電気的機能
に破局的損傷を生じないよう、１×１０4から１×１０11オームの望ましい散逸
範囲内に維持される表面抵抗を提供することである。
【００５６】 図１９は、３つの層を有する同時押出成形の多層フィルム６５材料の立面図を
示し、図２０は、第１層６７および第３層６９が絶縁性である３つの層から構築
した、図１９から得た断面図を示す。内層７１は導電性で、１０4オーム以下の
表面抵抗を有する。フィルム６５は、保存した敏感な物品を電磁干渉（ＥＭＩ）
および無線周波干渉（ＲＦＩ）周波数から保護する可撓性の袋など、エンクロー
ジャの作成または裏打ちに有用である。導電層が、このようなレベルまで表面抵
抗を低下させる量の炭素を有する場合、ポリマは、炭素全部を物理的に固定する
ことができない。その結果、炭素粉末が生じることがある。導電層を２つの絶縁
層の間に密封することにより、炭素はフィルムの内側に保持され、エンクロージ
ャの内容を汚染しない。
【００５７】 図２１を参照すると、容器には接地スタッド７３が設けられている。スタッド
７３は、容器の内側で生じた電荷が害を与えずに容器から出る導通路を提供する
。容器底部１５の底壁７５は強化部分７７を有する。内腔７９が、強化部分７７
で底壁を通って延在する。導電スタッド７３は内腔７９を通って延在する。スタ
ッドは真鍮または他の金属で作成することができる。スタッドは、容器底部１５
の外側にヘッド８１を有する。同様に、スタッドは、容器底部１５の内側に、貝
折れ釘８３の形状のようなヘッドを有する。貝折れ釘８３と強化部分７７の間に
ワッシャ８５を配置することができる。
【００５８】 容器を図３に示すように組み立てると、貝折れ釘８３が底部クッションの散逸
フィルムと接触する。ヘッド８１は接地８７と接触することが好ましい。例えば
、容器１１を接地した金属表面に配置することができる。ヘッドは、アース表面
と接触するよう、底壁から十分遠くまで延在する。ウェーハ１９上に電荷が生じ
ると、その電荷は、ウェーハの敏感な電子機器に損傷を与えることなく、制御さ
れた態様で接地８７までの通路を見出すことができる。セパレータ２０、ウェー
ハ１９自身、頂部および底部クッション２１、２３の周囲のフィルム２９、およ
び接地スタッド７３が、接地への通路を提供する。
【００５９】 以上の開示および図による図示は、本発明の原理を例示したにすぎず、制限的
な意味で解釈してはならない。
【図面の簡単な説明】
【図１】 好ましい実施形態による本発明を組み込んだ、集積回路ウェーハの容器の等角
図である。
【図２】 機械的保護コンポーネントを示す図１の容器の組立分解図である。
【図３】 線ＩＩＩ−ＩＩＩで切り取った図１の容器の断面図である。
【図４】 機械的衝撃を受けた頂部または底部クッションの断面図である。
【図５】 図１から図４の容器に使用する側部クッションの等角図である。
【図６】 図５の側部クッションの端面図である。
【図７】 ウェーハの積み重ねの周囲に適合する頂部および底部クッションの断面図であ
る。
【図８】 力の印加を示す容器の詳細な断面図である。
【図９】 集積回路ウェーハのセパレータを形成するよう円形に切断したフィルムを示す
。
【図１０】 例示のために層を部分的に分離して示した、本発明のフィルムの等角図である
。
【図１１】 例示のために層を部分的に分離して示した、フィルムにエンボスがないフィル
ムの等角図である。
【図１２】 図１０のフィルムの詳細な断面図を示す。
【図１３】 図１１のフィルムの詳細な断面図を示す。
【図１４】 エンボス加工の絶縁層への浸透を示す、別の実施形態によるフィルムの詳細な
断面図を示す。
【図１５】 図１４のエンボス加工のピークの詳細な断面図である。
【図１６】 エンボス加工のピークに穴を作成する別の方法を示す、フィルムの詳細な断面
図である。
【図１７】 エンボス加工のピークに穴を形成するさらに別の方法を示す、フィルムの詳細
な断面図である。
【図１８】 エンボス加工のピークに穴を形成するさらに別の方法を示す、フィルムの詳細
な断面図である。
【図１９】 例示のために層を部分的に分離した、別の実施形態によるフィルムの等角図で
ある。
【図２０】 図１９のフィルムの詳細な断面図である。
【図２１】 接地スタッドの詳細な断面図である。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１３年２月７日（２００１．２．７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＪＰ，ＫＲ (72)発明者 ファウラー、スティーブ、エル． アメリカ合衆国 サウスカロライナ、ム ア、ムア − ダンカン ハイウェ イ 3551 Ｆターム(参考） 3E066 AA03 BA01 CA01 CB03 CB04 DA01 HA05 LA19 MA01 MA09 NA43 3E096 AA06 BA16 BB04 CA01 CA19 CB02 DA03 DA26 DB08 DC02 EA02X EA02Y EA03Y EA11X EA11Y FA03 FA07 FA09 GA03 GA05 GA11 5F031 CA02 DA08 EA02 EA10 EA12 EA19 EA20 PA21 【要約の続き】 容器の外部で接地することができる。

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 保存および出荷中に集積回路ウェーハを保護するシステムで
    、 ａ）ウェーハを収納する内部空間を有する容器と、 ｂ）間にウェーハを支えるように内部空間の内側に配置した第１および第２ク
    ッションとを備え、 ｃ）第１および第２クッションがそれぞれ、圧縮性かつ弾性の発泡体を有し、
    該発泡体が膜内に封入され、この膜は、気体が通過できるよう１つまたは複数の
    開口を有するシステム。
  2. 【請求項２】 前記第１および第２クッションそれぞれの膜が、ウェーハを
    静電放電から保護するフィルムを備え、該フィルムが、 ａ）散逸材料を含むポリマで作成した第１層と、 ｂ）第１層に結合した第２層とを備え、この第２層が、散逸材料のないポリマ
    で作成される、請求項１に記載のシステム。
  3. 【請求項３】 ウェーハが積み重ねた構成であり、積み重ねたウェーハがそ
    れぞれ、隣接するウェーハからセパレータによって分離され、これらセパレータ
    がそれぞれ、 ａ）散逸材料を含むポリマで作成した第１層と、 ｂ）第１層に結合した第２層とを備え、この第２層が、散逸材料のないポリマ
    で作成される、請求項１に記載のシステム。
  4. 【請求項４】 ウェーハが積み重ねた構成であり、積み重ねたウェーハがそ
    れぞれ、セパレータによって隣接するウェーハから分離され、これらセパレータ
    がそれぞれ第１フィルムを備え、前記第１および第２クッションそれぞれの膜が
    、ウェーハを静電放電から保護する第２フィルムを備え、第１および第２フィル
    ムが、 ａ）散逸材料を含むポリマで作成した第１層と、 ｂ）第１層に結合した第２層とを備え、この第２層が、散逸材料のないポリマ
    で作成される、請求項１に記載のシステム。
  5. 【請求項５】 さらに、前記第２フィルムの一部と接触して、容器の外部へ
    と延在する接地導体を備える請求項４に記載のシステム。
  6. 【請求項６】 さらに、ウェーハの周囲に配置された側部クッションを備え
    、この側部クッションが、ベース部片から延在する弾性突起を備える請求項１に
    記載のシステム。
  7. 【請求項７】 前記第１および第２クッションがそれぞれフランジを備え、
    前記側部クッションがフランジ間に挟まれる請求項６に記載のシステム。
  8. 【請求項８】 前記第１および第２クッションが、第１膜部片および第２膜
    部片を備え、これら第１および第２膜部片がそれぞれ縁を有し、前記発泡体を収
    納するエンクロージャを形成するよう、縁に沿って相互に結合される請求項１に
    記載のシステム。
  9. 【請求項９】 品物を静電放電から保護するフィルムであって、 ａ）散逸材料を含むポリマで作成した第１層と、 ｂ）第１層に結合された第２層とを備え、この第２層が、散逸材料のないポリ
    マで作成されるフィルム。
  10. 【請求項１０】 前記第１層が１×１０4から１×１０11オームの表面抵抗
    を有する請求項９に記載のフィルム。
  11. 【請求項１１】 前記散逸材料が炭素を含む請求項９に記載のフィルム。
  12. 【請求項１２】 前記第１および第２層のポリマがポリエチレンを含み、前
    記散逸材料が炭素を含む請求項９に記載のフィルム。
  13. 【請求項１３】 前記第２層が０．２５ミル（０．００６３５ｍｍ）未満の
    厚さである請求項１２に記載のフィルム。
  14. 【請求項１４】 静電放電からの保護を提供するシステムであって、 ａ）集積回路を備え、回路側を有するウェーハと、 ｂ）散逸層および絶縁層を有し、この絶縁層が散逸層とウェーハの間に挟まれ
    るように該ウェーハの回路側と接触するフィルムと、 ｃ）内部を有する容器とを備え、ウェーハおよびフィルムが該容器内部に配置
    され、この容器が、容器内部から容器外部への導電通路を有するシステム。
  15. 【請求項１５】 前記フィルムの散逸層が１×１０4から１×１０11オーム
    の表面抵抗を有する請求項１４に記載のシステム。
  16. 【請求項１６】 回路側を有する集積回路ウェーハを静電放電から保護する
    方法であって、 ａ）散逸層および絶縁層を有するフィルムを設ける段階と、 ｂ）絶縁層が散逸層とウェーハの間に挟まれるよう、フィルムをウェーハの回
    路側と接触させて配置する段階と、 ｃ）ウェーハおよびフィルムを容器の内側に配置する段階と、 ｄ）静電荷をウェーハから絶縁層を通して散逸層へ通し、容器から容器外部へ
    と出す段階とを含む方法。
  17. 【請求項１７】 物品を電磁干渉および無線周波干渉の周波数から保護する
    ための、フィルムから作成したエンクロージャであって、 ａ）第２層が第１層と第３層の間に挟まれた状態で相互に結合した第１、第２
    および第３層を備え、第１、第２および第３層がポリマで作成され、 ｂ）第１および第３層が絶縁性であり、 ｃ）第２層が１０4オーム以下の表面抵抗を有するエンクロージャ。
  18. 【請求項１８】 敏感な物品を静電放電から保護するエンクロージャであっ
    て、 ａ）内部を囲み、この内部が敏感な物品を収納するよう構築され、配置される
    壁と、 ｂ）壁を通って延在する接地スタッドとを備えるエンクロージャ。
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