JP2000340643A - ウエハの包装保管方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウエハを外気や外部光等から守り外乱を受けな
いウエハの包装保管方法を提供する。 【解決手段】２枚のウエハ１の表面部２同士を重ね合わ
せ密着させ、密着させた２枚のウエハ１の全外面を金属
箔３で覆い包み、金属箔３で覆い包んだ密着させた２枚
のウエハ１をウエハ容器４に収納する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハの包装保管
方法に関し、特に半導体基板であるウエハを用いて半導
体装置を製造するクリーンルーム内の清浄度をチェック
するために用いられる清浄度分析用のウエハの包装保管
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体基板であるウエハを用い
て半導体装置を製造するクリーンルーム内の清浄度のチ
ェックは、図５のクリーンルーム内の清浄度のチェック
方法の説明図で説明される。まず、図５に示すように、
チェック対象であるクリーンルーム内のチェック領域
に、清浄度分析用のウエハ１を数時間から数日間放置し
て、クリーンルーム内の雰囲気に晒す。これにより、清
浄度分析用のウエハ１はクリーンルーム内の雰囲気で汚
染される。なおここで、清浄度分析用のウエハ１は、例
えばクリーンルーム内の半導体装置の製造装置１２上に
設置したウエハトレイ１１上に、または専用のウエハス
タンド１３上に設置したウエハトレイ１１上に載置され
る。そして、ウエハ１の表面がクリーンルーム内の雰囲
気に晒されるように載置される。

【０００３】そして、クリーンルーム内の雰囲気で汚染
された清浄度分析用のウエハ１は、分析部門へ送付され
る。そして、クリーンルーム内の雰囲気で汚染された清
浄度分析用のウエハ１は、分析部門でウエハ１表面の汚
染物質を分析され、クリーンルーム内の清浄度がチェッ
クされる。

【０００４】ここで、クリーンルーム内の雰囲気で汚染
された清浄度分析用のウエハ１は、図６または図７のウ
エハの収納方法の説明図（断面図）で説明される方法で
収納され、分析部門へ送付される。まず、図６に示す方
法（従来例１）は、複数枚（例えば２５枚）のウエハ１
を互いに離間して平行に容器本体２２の収納溝２４に収
納し、容器蓋２３で密閉する構造のウエハ容器２１を用
いる方法である。このウエハ容器２１は、ウエハ製造メ
ーカーがウエハを保管し、製品出荷する容器であり、半
導体装置の製造工程中において、ウエハの保管または輸
送に使用することがある。

【０００５】また図７に示す方法（従来例２）は、ウエ
ハ１を１枚単位に円形状の容器本体２６に収納し、円形
状の容器蓋２７にて密閉し保管する構造のウエハ容器２
５を用いる方法である。

【０００６】この他のウエハの収納方法（従来例３）と
して、図８の斜視図および図９の一部切欠斜視図に示す
ウエハの包装体による方法が示されている。これにはウ
エハ（図示せず）を緩衝体２８の片面に設けた袋体２９
内に挿入し、各ウエハが緩衝体２８で隔離されるように
交互に並べた状態で容器３０内に装入する。そして容器
３０を包囲体３１により包み、包囲体３１の熱シール部
３２で熱シールし密閉する。そして包囲体３１内部に不
活性ガスを充填する方法が示されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ここで、クリーンルー
ム内の雰囲気で汚染された清浄度分析用のウエハ１は、
分析部門へ送付されるが、分析部門へ送付される間およ
び分析部門にて分析開始するまで保管されている間、清
浄度分析用のウエハ１を如何に外気や外部光等から守る
かつまり外乱を受けないかが重要である。

【０００８】しかし、上述した従来例１のウエハの収納
方法は、ウエハ容器２１に収納した清浄度分析用のウエ
ハ１が、ウエハ容器２１内の雰囲気およびウエハ容器２
１からのアウトガスの影響を受け変質してしまうという
問題がある。

【０００９】そして、上述した従来例２のウエハの収納
方法も、ウエハ容器２５に収納した清浄度分析用のウエ
ハ１が、ウエハ容器２５内の雰囲気およびウエハ容器２
５からのアウトガスの影響を受け変質してしまうという
問題がある。

【００１０】そしてまた、上述した従来例３のウエハの
収納方法は、遮光処理を施した包囲体３１および包囲体
３１内部に不活性ガスを充填することにより、ウエハを
外気や外部光から守る点において効果を奏している。

【００１１】しかしながら、この従来例３でもウエハが
緩衝体２８および容器３０からのアウトガスの影響を受
け変質してしまうという問題が生ずる。

【００１２】従って、本発明の目的は、ウエハを外気や
外部光等から守り外乱を受けないウエハの包装保管方法
を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明のウエハの包装保
管方法は、２枚のウエハの表面部同士を重ね合わせ密着
させ、前記密着させた２枚のウエハの全外面を遮光性を
有する導電性シートで覆い包み、前記導電性シートで覆
い包んだ密着させた２枚のウエハをウエハ容器に収納す
ることを特徴とする。

【００１４】また、前記ウエハは、表面が平滑なウエハ
である。

【００１５】また、前記ウエハは半導体基板であるベア
シリコンウエハである。

【００１６】また、前記ウエハは、清浄度分析用のウエ
ハであり、表面はクリーンルーム内の雰囲気で汚染され
ている。

【００１７】また、前記導電性シートが金属箔である。

【００１８】また、前記導電性シートで覆い包んだ密着
させた２枚のウエハを緩衝材でさらに覆い包み、前記緩
衝材で覆い包み導電性シートで覆い包んである密着させ
た２枚のウエハをウエハ容器に収納する。また、前記ウ
エハ容器が包装袋である。

【００１９】本発明のウエハの包装保管方法は、ウエハ
は半導体基板であり、２枚の前記ウエハの表面部同士を
重ね合わせ密着させ、前記密着させた２枚のウエハの全
外面を遮光性を有する導電性シートで覆い包み、前記導
電性シートで覆い包んだ密着させた２枚のウエハをウエ
ハ容器に収納することを特徴とする。

【００２０】また、前記導電性シートで覆い包んだ密着
させた２枚のウエハを緩衝材でさらに覆い包み、前記緩
衝材で覆い包み導電性シートで覆い包んである密着させ
た２枚のウエハをウエハ容器に収納する。

【００２１】この様な本発明によれば、２枚のウエハの
表面同士を重ね合わせ密着する方法であるので、ウエハ
表面の優れた平滑度により容易に互いに密着できる。ま
た、表面同士で密着させた２枚のウエハの全外面を、遮
光性および導電性を有する金属箔で覆い包む。

【００２２】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。図１、図２および図
３は、本発明のウエハの包装保管方法の第１の実施形態
を示す説明図である。そして、図１、図２および図４
は、本発明のウエハの包装保管方法の第２の実施形態を
示す説明図である。また、図５は、一般的なクリーンル
ーム内の清浄度のチェック方法を示す説明図である。

【００２３】まず、図５に示すように、チェック対象で
あるクリーンルーム内のチェック領域に、清浄度分析用
のウエハ１を数時間から数日間放置して、クリーンルー
ム内の雰囲気に晒す。これにより、清浄度分析用のウエ
ハ１はクリーンルーム内の雰囲気で汚染される。なおこ
こで、清浄度分析用のウエハ１は、例えばクリーンルー
ム内の半導体装置の製造装置１２上に設置したウエハト
レイ１１上に、または専用のウエハスタンド１３上に設
置したウエハトレイ１１上に載置される。そして、ウエ
ハ１の表面がクリーンルーム内の雰囲気に晒されるよう
に載置される。

【００２４】そして、クリーンルーム内の雰囲気で汚染
された清浄度分析用のウエハ１は、分析部門へ送付され
る。そして、クリーンルーム内の雰囲気で汚染された清
浄度分析用のウエハ１は、分析部門でウエハ１表面の汚
染物質を分析され、クリーンルーム内の清浄度がチェッ
クされる。

【００２５】ここで、クリーンルーム内の雰囲気で汚染
された清浄度分析用のウエハ１は、図１、図２および図
３に示す第１の実施形態のウエハの包装保管方法で包装
される。または、図１、図２および図４に示す第２の実
施形態のウエハの包装保管方法で包装される。そして包
装された清浄度分析用のウエハ１は、分析部門へ送付さ
れ、分析部門にて分析開始するまで保管される。

【００２６】第１の実施形態のウエハの包装保管方法
は、まず図１（ａ）に示すように、チェック対象である
クリーンルーム内のチェック領域に、数時間から数日間
放置してクリーンルーム内の雰囲気に晒した、清浄度分
析用のウエハ１を、２枚のウエハ１の表面部２同士をチ
ェック領域の雰囲気内で重ね合わせる。具体的には例え
ば、ピンセットを用い、載置しておいた下側のウエハ１
の表面部２の上に、上側のウエハ１の表面部２を重ね合
わせる。ここで、平滑な表面部２を重ね合わされた２枚
のウエハ１は、互いに密着する。

【００２７】そして、図１（ｂ）に示すように、表面部
２同士で密着した２枚のウエハ１の全外面を、金属箔３
で覆い包む。金属箔３としては遮光性を有する導電性シ
ートであれば良く、例えばアルミニウム箔を用いる。

【００２８】ここで、密着した２枚のウエハ１を金属箔
３で覆い包む方法は、例えば図２（ａ）に示すように、
正方形の形状の金属箔３の中央部に密着した２枚のウエ
ハ１を載置し、金属箔３の四隅を中央部の方向（矢印の
方向）に折って、密着した２枚のウエハ１を覆い包むよ
うにする。また他の方法は、図２（ｂ）に示すように、
長方形の形状の金属箔３を２つ折りにしたもの（矢印の
方向）の間に、密着した２枚のウエハ１を挟み込み、さ
らに２つ折りにした金属箔３の四隅を折って覆い包むよ
うにする。

【００２９】そして、図３に示すように、金属箔３で覆
い包んだ密着した２枚のウエハ１をウエハ容器４の容器
本体５に収納し、容器蓋６にて密閉する。ウエハ容器４
は、収納した金属箔３で覆い包んだ密着した２枚のウエ
ハ１を外力から保護するためのものである。ウエハ容器
４の形状はシャーレ（浅い円筒形）状であり、材質は特
に問わないが、望ましくは強度を有するもの例えばアル
ミニウム、ステンレス等の金属あるいはプラスチックで
ある。

【００３０】そして、ウエハ容器４に収納した、金属箔
３で覆い包んだ密着した２枚のウエハ１を分析部門へ送
付する。

【００３１】そして、分析部門へ送付された、金属箔３
で覆い包んだ密着した２枚のウエハ１を、ウエハ容器４
から取り出す。

【００３２】そして、覆い包んである金属箔３を広げて
開き、密着した２枚のウエハ１を１枚ずつにする。ここ
で、密着した２枚のウエハ１を１枚ずつにする方法は、
例えばピンセットを用い、密着した２枚のウエハ１の上
側のウエハ１を持ち上げ、１枚ずつにする。

【００３３】１枚毎のウエハ１は、分析部門でウエハ１
の表面部２の汚染物質を分析され、クリーンルーム内の
清浄度がチェックされる。

【００３４】第２の実施形態のウエハの包装保管方法
は、図１（ａ）、図１（ｂ）および図２（ａ）または図
２（ｂ）に示す、２枚のウエハ１の表面部２を重ね合わ
せ、密着し、そして表面部２同士で密着した２枚のウエ
ハ１の全外面を金属箔３で覆い包むことは、第１の実施
形態のウエハの包装保管方法と同一である。

【００３５】そして、図４に示すように、金属箔３で覆
い包んだ密着した２枚のウエハ１を緩衝材７でさらに覆
い包む。緩衝材７は、覆い包む金属箔３で覆い包んだ密
着した２枚のウエハ１を外力から保護するためのもので
ある。緩衝材７は周知のシート状のパッキング材、例え
ばエアパッキングまたはスポンジを用いる。ここで、金
属箔３で覆い包んだ密着した２枚のウエハ１を緩衝材７
で覆い包む方法は、例えば図２（ａ）に示す方法と同様
に、正方形の形状の緩衝材７の中央部に金属箔３で覆い
包んだ密着した２枚のウエハ１を載置し、緩衝材７の四
隅を中央部の方向に折って、金属箔３で覆い包んだ密着
した２枚のウエハ１を覆い包むようにする。また他の方
法は、袋状の緩衝材７に金属箔３で覆い包んだ密着した
２枚のウエハ１を収納し、覆い包むようにする。

【００３６】そして、緩衝材７で覆い包んだ金属箔３で
覆い包んである密着した２枚のウエハ１を、包装袋８に
収納する。包装袋８は、緩衝材７で覆い包んだ金属箔３
で覆い包んである密着した２枚のウエハ１を外気から保
護するためのものである。包装袋８は、例えばジッパー
付きビニール袋を用いる。

【００３７】そして、包装袋８に収納した、緩衝材７で
覆い包んだ金属箔３で覆い包んである密着した２枚のウ
エハ１を分析部門へ送付する。

【００３８】そして、分析部門へ送付された、金属箔３
で覆い包んだ密着した２枚のウエハ１を、包装袋８から
取り出し、緩衝材７を取り外す。

【００３９】そして、覆い包んである金属箔３を広げて
開き、密着した２枚のウエハ１を１枚ずつにする。ここ
で、密着した２枚のウエハ１を１枚ずつにする方法は、
第１の実施形態のウエハの包装保管方法と同一である。

【００４０】１枚毎のウエハ１は、分析部門でウエハ１
の表面部２の汚染物質を分析され、クリーンルーム内の
清浄度がチェックされる。

【００４１】なおここでまた、包装袋８の替わりに、第
１の実施形態のウエハの包装保管方法と同様に、ウエハ
容器４を用いても良い。ウエハ容器４を用いることによ
り、緩衝材７で覆い包んだ金属箔３で覆い包んである密
着した２枚のウエハ１をさらに外力から保護することが
できる。

【００４２】そしてここで、本実施形態のウエハの包装
保管方法は、２枚のウエハ１の表面同士を重ね合わせ密
着する方法なので、清浄度分析用のウエハ１は、表面が
凹凸の無い滑らかなものでなければならない。もしも、
ウエハ１の表面に凹凸が有ると、２枚のウエハ１の表面
同士を重ね合わせた時、ウエハ１の表面の凸部が擦れて
欠けてしまい、汚染物質を十分に分析できなくなる。

【００４３】それゆえ、清浄度分析用のウエハ１には、
半導体基板であるベアシリコンウエハを用いることが望
ましいが、表面が凹凸の無い滑らかな、酸化膜や窒化膜
を成膜したウエハまたは薬液を塗布したウエハを用いて
も良い。しかし、表面に凹凸が有る、パターンが形成さ
れたウエハは用いることができない。

【００４４】尚、本実施形態では、クリーンルーム内の
雰囲気で汚染させた清浄度分析用のウエハ１の包装保管
方法について説明したが、本発明はこれに限定されず、
クリーンルーム内の清浄度分析のリファレンス用のクリ
ーンルーム内の雰囲気で汚染させていない新品のウエハ
の包装保管方法に用いても良い。

【００４５】

【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、２
枚のウエハの表面同士を重ね合わせ密着する方法である
ので、ウエハ表面の優れた平滑度により容易に互いに密
着でき、密着した２枚のウエハの間隙に外気が入り込む
余地は無い。それゆえ、ウエハの送付時および保管時
に、ウエハの表面を外気およびウエハ容器からのアウト
ガスやウエハ容器内の雰囲気から守り、外乱を受けない
という効果が得られる。また、表面同士で密着させた２
枚のウエハの全外面を、遮光性および導電性を有する金
属箔で覆い包むので、ウエハの送付時および保管時に、
ウエハを外部光や静電気から守り外乱を受けないという
効果も得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図２、図３および図４と共に、本発明のウエハ
の包装保管方法の第１および第２の実施形態を示す説明
図である。

【図２】図１、図３および図４と共に、本発明のウエハ
の包装保管方法の第１および第２の実施形態を示す説明
図である。

【図３】図１および図２と共に、本発明のウエハの包装
保管方法の第１の実施形態を示す説明図である。

【図４】図１および図２と共に、本発明のウエハの包装
保管方法の第２の実施形態を示す説明図である。

【図５】一般的なクリーンルーム内の清浄度のチェック
方法を示す説明図である。

【図６】従来技術を説明する断面図である。

【図７】他の従来技術を説明する断面図である。

【図８】図９と共に、さらに他の従来技術を説明する斜
視図である。

【図９】図８と共に、さらに他の従来技術を説明する一
部切欠斜視図である。

【符号の説明】

１ ウエハ（清浄度分析用） ２ 表面部 ３ 金属箔 ４，２１，２５ ウエハ容器 ５，２２，２６ 容器本体 ６，２３，２７ 容器蓋 ７ 緩衝材 ８ 包装袋 １１ ウエハトレイ １２ 製造装置 １３ ウエハスタンド ２４ 収納溝 ２８ 緩衝体 ２９ 袋体 ３０ 容器 ３１ 包囲体 ３２ 熱シール部

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚のウエハの表面部同士を重ね合わせ
   密着させ、前記密着させた２枚のウエハの全外面を遮光
   性を有する導電性シートで覆い包み、前記導電性シート
   で覆い包んだ密着させた２枚のウエハをウエハ容器に収
   納することを特徴とするウエハの包装保管方法。
2. 【請求項２】 前記ウエハは、表面が平滑なウエハであ
   る請求項１記載のウエハの包装保管方法。
3. 【請求項３】 前記ウエハは半導体基板である請求項１
   記載のウエハの包装保管方法。
4. 【請求項４】 前記ウエハは半導体基板であるベアシリ
   コンウエハである請求項３記載のウエハの包装保管方
   法。
5. 【請求項５】 前記ウエハは清浄度分析用のウエハであ
   る請求項１記載のウエハの包装保管方法。
6. 【請求項６】 前記ウエハの表面はクリーンルーム内の
   雰囲気で汚染されている請求項５記載のウエハの包装保
   管方法。
7. 【請求項７】 前記導電性シートが金属箔である請求項
   １記載のウエハの包装保管方法。
8. 【請求項８】 前記導電性シートで覆い包んだ密着させ
   た２枚のウエハを緩衝材でさらに覆い包み、前記緩衝材
   で覆い包み導電性シートで覆い包んである密着させた２
   枚のウエハをウエハ容器に収納する請求項１記載のウエ
   ハの包装保管方法。
9. 【請求項９】 前記ウエハ容器が包装袋である請求項８
   記載のウエハの包装保管方法。
10. 【請求項１０】 ウエハは半導体基板であり、２枚の前
    記ウエハの表面部同士を重ね合わせ密着させ、前記密着
    させた２枚のウエハの全外面を遮光性を有する導電性シ
    ートで覆い包み、前記導電性シートで覆い包んだ密着さ
    せた２枚のウエハをウエハ容器に収納することを特徴と
    するウエハの包装保管方法。
11. 【請求項１１】 前記導電性シートで覆い包んだ密着さ
    せた２枚のウエハを緩衝材でさらに覆い包み、前記緩衝
    材で覆い包み導電性シートで覆い包んである密着させた
    ２枚のウエハをウエハ容器に収納する請求項１０記載の
    ウエハの包装保管方法。