WO2005026015A1 - スペーサーシート及びそれを用いる板状物の輸送方法 - Google Patents

スペーサーシート及びそれを用いる板状物の輸送方法 Download PDF

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WO2005026015A1
WO2005026015A1 PCT/JP2004/013278 JP2004013278W WO2005026015A1 WO 2005026015 A1 WO2005026015 A1 WO 2005026015A1 JP 2004013278 W JP2004013278 W JP 2004013278W WO 2005026015 A1 WO2005026015 A1 WO 2005026015A1
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plate
spacer
sheet
sheet according
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PCT/JP2004/013278
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Tadahiro Ohmi
Akihiro Morimoto
Mitsuo Ueno
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Zeon Corporation
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B32—LAYERED PRODUCTS
    • B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
    • B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form
    • B32B3/10—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a discontinuous layer, i.e. formed of separate pieces of material
    • B32B3/12—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a discontinuous layer, i.e. formed of separate pieces of material characterised by a layer of regularly- arranged cells, e.g. a honeycomb structure
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D57/00—Internal frames or supports for flexible articles, e.g. stiffeners; Separators for articles packaged in stacks or groups, e.g. for preventing adhesion of sticky articles
    • B65D57/002—Separators for articles packaged in stacks or groups, e.g. stacked or nested
    • B65D57/003—Separators for articles packaged in stacks or groups, e.g. stacked or nested for horizontally placed articles, i.e. for stacked or nested articles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/38—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for delicate optical, measuring, calculating or control apparatus
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics

Definitions

  • the present invention relates to a spacer used for the purpose of protecting the surface of a plate-shaped object such as a substrate for a precision device or a member for a precision device from being scratched, adhering to dust or contaminating organic matter when the plate-shaped object is transported and stored.
  • the present invention relates to a sheet and a method for transporting a plate-like object using the spacer sheet.
  • semiconductors and liquid crystal displays, etc. have higher performance, they are used to manufacture substrates such as silicon, glass, and plastic used for their manufacture, and plate-like materials such as ceramics and metal materials used for equipment components. Problems that occur during transportation and storage have become problems.
  • the defects that occur on the slabs during transportation and storage include physical damage, dust adhesion, organic contamination, static electricity, etc., which greatly increases the yield when manufacturing products using the slabs. It is known to affect.
  • silicon wafers used for semiconductor devices and glass substrates used for liquid crystal substrates are subject to contamination during transportation and storage, which may cause problems such as MO SF ⁇ and TF ⁇ ⁇ produced on those substrates.
  • the chairs are thoroughly cleaned and used after they are received to greatly reduce the performance of the chairs.
  • the transfer container is sealed so that contamination during transfer and storage does not occur.
  • contamination during transfer and storage does not occur.
  • non-contact transfer using a cassette etc. Since the container is transported and stored by transport, there are many voids in the container and the volume of the container increases, which causes an increase in transport and storage costs.
  • Literature 1 discloses a spacer sheet having unevenness with a height of 0.5 to 2.5 mm on one surface in order to ensure good air permeability between plate-like objects, and has a large projection density. There is disclosed a spacer sheet characterized by a mixture of an area and a small area.
  • Document 2 discloses a glass insert containing 0.1% by weight or more of sodium tripolyphosphate.
  • metal components such as sodium tripolyphosphate are included in the slip paper. Therefore, it cannot be used for applications in which the performance is significantly deteriorated due to the alkali metal component, such as non-alkali glass and semiconductor substrates, in which the alkali metal component adsorbed on the surface becomes a problem. Occurs.
  • the problem of static electricity is particularly remarkable for objects that must be handled in a dry atmosphere to maintain device performance, such as semiconductor substrates, glass substrates, and products using these substrates.
  • the present inventor has found that the technology disclosed in Reference 2 has such a problem.
  • the present invention has been made in view of the above-described problems.
  • the spacer sheet and the plate-like material are not provided.
  • An object of the present invention is to provide a spacer sheet capable of suppressing contamination by focusing on a contact area and devising a shape thereof, and a method of transporting a plate-like object using the spacer sheet.
  • Another object of the present invention is to provide a single plate or a plurality of plates in close contact with each other by using a very small amount of organic matter transfer that causes contamination.
  • An object of the present invention is to provide a method for transporting or storing a single or a plurality of plate-like objects, which can greatly reduce a space for transportation and storage by storing.
  • the spacer sheet refers to a sheet-like material that is disposed on one or both sides of the plate-like material and has a function of protecting the plate-like material.
  • the spacer sheet is disposed on one side or both sides of a single plate-like object, or one side or both sides of a plurality of plate-like objects, and Z or between them.
  • the spacer sheet is obtained by giving the sheet a shape suitable for protecting a plate-like object.
  • a spacer sheet according to the present invention is a spacer sheet disposed on the surface of a single plate-shaped object or between a plurality of plate-shaped objects, wherein the plate-shaped object and the space sheet are separated from each other.
  • S 1 the contact area of the spacer sheet
  • S 2 the area of the contact surface side of the spacer sheet
  • the organic substance adhesion preventing structure refers to any structure that causes a non-contact portion between the surface of the spacer sheet and the board.
  • a pattern shape is formed on the surface of the spacer sheet.
  • the pattern shape formed on the surface of the spacer sheet can be reduced if the structure that can reduce the contact area with the substrate is maintained while maintaining the strength of the spacer sheet.
  • the pattern is preferably a periodic pattern, and the pattern viewed from a direction perpendicular to the surface of the spacer sheet is more preferably a periodic pattern having a parallelogram as a basic pattern, and the parallelogram is a rhombus. Is especially preferred.
  • the spacer sheet of the present invention has ⁇ ⁇ 0 ° when the angle between the projection component of the spacer sheet in the peeling direction on the surface of the spacer sheet and the side of the diamond is ⁇ . It is preferable that
  • the parallelogram or rhombus-shaped ft diagonal line forming the basic pattern is substantially parallel to the long side of the circuit board.
  • the long diagonal line of the parallelogram or the rhombus shape forming the basic pattern is substantially parallel to the projection component on the spacer sheet in the spacer sheet peeling direction.
  • the projected component of the peeling direction onto the spacer sheet is in the long side direction of the spacer sheet.
  • the angle between the peeling direction of the spacer sheet and the spacer sheet surface is smaller than 90 °.
  • the side of the basic pattern forms a convex portion
  • the surface surrounded by the side of the basic pattern forms a concave portion
  • the convex portion contacts the plate-like object. Is preferred.
  • the spacer sheet of the present invention may be in the form of a net.
  • the structural part constituting the net can be defined as a convex part, and the opening of the net can be defined as a concave part.
  • a constituent material of the spacer sheet has little organic substance attached to the plate-like material.
  • the spacer sheet of the present invention is preferably a spacer sheet arranged between a plurality of plate-like objects.
  • the constituent material of the spacer sheet preferably contains at least an organic substance, and is particularly preferably a resin.
  • the amount of the organic substance transferred to the plate-like material is preferably 100 ng / cm 2 or less. No. Further, it is preferable that the molecular weight of the organic substance transferred to the plate-like material is 1000 or less.
  • the plate-like material is one that is conveyed using the spacer sheet of the present invention, and a glass substrate (for manufacturing a flat panel such as a liquid crystal display, an organic EL display, and a plasma display).
  • a glass substrate for manufacturing a flat panel such as a liquid crystal display, an organic EL display, and a plasma display.
  • silicon substrates for semiconductor manufacturing semiconductor substrates, resin substrates, circuit boards such as printed boards, printed wiring boards, ceramic substrates such as plates, metal substrates such as plates, plastic substrates, circuit boards, magnetic recording boards, Substrates such as optical recording substrates and magneto-optical recording substrates; optical materials such as lens sheets, prism sheets, retardation films, brightness enhancement sheets, field-of-view expansion sheets, electromagnetic wave shielding sheets, diffusion sheets, lenticular lens sheets, and reflection sheets Sheets; liquid crystal display, organic EL display, and plasma address display Display devices such as devices; optical molded parts such as light guide plate, reflector plate, polarizing plate, retardation plate, diffuser plate, lens,
  • the contact surface between the spacer sheet and the plate-like object in the present invention differs depending on the configuration of the spacer sheet. There are two types, a simple sheet shape without an opening penetrating the front and back surfaces, and a mesh sheet shape. Can be roughly divided into
  • the contact surface is defined by:
  • the length of the spacer sheet in the short side direction is W
  • the reference length of the measurement curve is W
  • the amplitude distribution curve defined by JIS B0601-1994 on one surface of the spacer sheet is taken.
  • n D / Ra.
  • Ra is the arithmetic average roughness defined in JIS B0601-1994.
  • the contact surface is defined as follows.
  • the reference plate surface when the spacer sheet 15 is placed on the reference plate 16 is set to 0, and the height from the surface of the spacer sheet to the inside by Ra, that is, the position of T-Ra Is the measurement line, and the area formed by the intersection of the measurement line and the spacer sheet structure is the contact surface.
  • the spacer sheet area is the area of the entire sheet including the recesses or openings.
  • the pattern may be irregular or regular, but is preferably a regular periodic pattern from the viewpoint of manufacturing cost, and the shape viewed from a direction perpendicular to the spacer sheet surface is a parallelogram. More preferably, the pattern is a periodic pattern having a basic pattern, and the parallelogram is particularly preferably a diamond.
  • thermosetting whether thermoplastic 'raw, preferably has a small transfer amount of organic substances, particularly preferred are those organic transfer amount is less than l OO ng Z cm 2 . Further, the molecular weight of the transferred organic substance is preferably 100,000 or less, more preferably 100,000 or less, and particularly preferably 100,000 or less.
  • thermoplastics are preferred in view of cost / productivity.
  • thermoplastic resin examples include polyolefins such as polyethylene and polypropylene; polystyrene, polyvinyl chloride, polyurethane, polyester, polypropylene, polyamide, and polycycloolefin.
  • thermoplastic resins polyolefins, polyurethanes, polyesters, polycarbonates and polycycloolefins are preferred because they have a particularly small transfer amount of organic substances and are excellent in performance as a phenolic. Cycloolefins are more preferred, and olefins and polycycloolefins are particularly preferred.
  • polyester polyethylene terephthalate is preferred.
  • polyethylene is preferable.
  • the plate-like material is a plate-like material.
  • the term “plate-like” refers to a shape that is thin and thin, and the length of the object in the longitudinal direction and the length in the direction perpendicular thereto are sufficiently longer than the length (thickness) in the transverse direction.
  • the surface including the longitudinal direction and the direction perpendicular thereto may be a flat surface, may be a curved surface, or may have a step.
  • the plate-like object may have a structure to have a surface to be protected requiring the spacer sheet of the present invention as a part thereof, and have a part which is not plate-like as a whole.
  • the plate-like material (the average of the length of the plate-like material in the longitudinal direction and the length in the direction perpendicular thereto) Value) / (thickness at the place where the thickness of the plate-like object is the largest) is preferably 3 or more, more preferably 10 or more, further preferably 100 or more, and particularly preferably 100 or more. Is preferably used. .
  • peeling An operation of removing the spacer sheet is performed when the spacer sheet of the present invention is sandwiched and wrapped in a plate-like material such as a substrate, and the package is opened after transporting and transporting the package. .
  • This is referred to as peeling in the present application.
  • the direction of peeling it is not practical to peel the sheet completely perpendicular to the surface of the sheeter, that is, to peel off the sheet so that it lifts the entire sheet. It is efficient to peel off by pulling in the direction. In this month, this direction is called the peeling direction.
  • the angle between the peeling direction and the spacer sheet surface is
  • the projection component of the peeling direction to the spacer sheet be the long side direction of the spacer sheet.
  • the bow I is perpendicular to the peeling direction and if there is a contact surface, the line is drawn. Since a large amount of static electricity is instantaneously generated at the moment of peeling, it is preferable that the peeling direction and the line direction are not parallel.
  • the projection component on the spacer sheet in the peeling direction and the long diagonal of the parallelogram are as follows: Substantially parallel is preferable from the viewpoint of preventing static electricity.
  • the term “substantially parallel” means that the angle formed by the projected component and the long diagonal is 30 ° or less, preferably 10 ° or less, and particularly preferably 3 ° or less.
  • the contact area S 1 with the plate is the contact surface side of the spacer sheet. Area smaller than S2. Therefore, it is possible to protect the surface while stacking or packing the plate-like objects at a high density, and to reduce the amount of static electricity generated at the time of peeling. In other words, since the amount of dust and the like can be reduced while reducing the packaging volume, transportation costs can be reduced without reducing reliability. Can be reduced.
  • the contact area with the plate-like object can be reduced while maintaining mechanical strength.
  • the constituent material of the spacer sheet has a small amount of organic substances attached to the plate-like objects, contamination of the plate-like objects by organic substances is caused. This can contribute to the improvement of the reliability of the plate-like material and the reduction of the cleaning cost in the post-process.
  • the spacer sheet of the present invention is composed of an organic substance such as a resin as a preferred embodiment, the surface pattern can be formed at low cost.
  • Optical sheets such as electromagnetic wave shielding sheets, diffusion plates, diffusion sheets, lenticular lens sheets, and reflection sheets, optical molded parts such as lenses and prisms can be highly integrated at low cost, and organic substances and debris can adhere. Since contamination does not easily occur, it is necessary to improve reliability and reduce post-process washing. Can.
  • Products manufactured using various substrates transported using the spacer sheet of the present invention such as semiconductor devices, circuit boards, magnetic recording devices, optical recording devices, magneto-optical recording devices, light guide plates, and lenses
  • Products such as sheets, prism sheets, reflectors, polarizers, and molded ceramic plates can be provided.
  • FIG. 1 is a diagram illustrating the definition of a contact surface in a simple sheet-shaped spacer sheet according to the present invention using an amplitude distribution curve
  • FIG. 2 is a diagram illustrating the definition of a contact surface in a mesh sheet-shaped spacer sheet according to the present invention using an amplitude distribution curve
  • FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a surface of a spacer sheet according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a surface of the spacer sheet according to the second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic view showing a surface of a spacer sheet according to Embodiment 3 of the present invention.
  • 3 to 5 are partial schematic sectional views showing the shapes of spacer sheets according to Examples 1 to 3 of the present invention.
  • the surface of the spacer sheet of the present invention has minute projections.
  • the height of the convexity is usually 1 mm or less, preferably 0.5 mm or less, and more preferably 0.1 mm or less.
  • the heights of the convex portions and the concave portions need not be particularly uniform, but are preferably as uniform as possible.
  • the contact area S 1 and the area S 2 on the contact surface side of the spacer sheet only have to satisfy S 1 and S 2, but S 2 is preferably at least twice as large as S 1. It is more preferably at least 10 times, more preferably at least 10 times.
  • the arrangement (pattern) of the contact surfaces is preferably at least partially periodic However, it does not matter whether it is continuous or discontinuous.
  • the contact surfaces are distributed uniformly over the entire spacer sheet as much as possible, and it is preferable that the periphery of the spacer sheet has a convex shape.
  • the method for imparting the shape of the spacer sheet is not particularly limited, but usually, a transfer method using a transfer roll, a press method using a mold, a pressurized air or vacuum press method, or the like is used. Further, an etching method using a solvent, photolysis, or the like, or a bank forming method for forming a convex portion can be used. Further, the puncture of the convex portion may be formed by a printing method using a printing technique such as an ink jet.
  • the method of using the spacer sheet of the present invention is such that when used on a single plate-like material such as a glass substrate or a silicon substrate, the spacer sheet may be sandwiched between a packing container or a packing bag and the plate-like material. preferable.
  • Packaging containers and bags are not specified, but metal, ceramic, or plastic containers or bags with good airtightness and no contamination from the containers or bags themselves are preferred. It is further preferable that these containers or bags are made of polycycloolefin or a purified resin.
  • FIG. 3 is a schematic diagram showing the structure of the spacer sheet of the first embodiment.
  • trapezoidal projections 21 and 22 are formed on both surfaces thereof by an embossing method.
  • polycycloolefin was used as the sheet material.
  • the thickness of the spacer sheet is a force that can be selected as appropriate according to the shape and size of the target plate-like object.
  • the height of the part 21 was 5 0 111.
  • the upper surfaces of the convex portions 21 and 22 were formed in a square shape with a side of 10 m. At this time, the contact area where one of the protrusions 21 and 22 was in contact with the plate-like object was measured by the above-mentioned method, and it was 100 ⁇ m 2 .
  • the contact area was 794 cm 2 .
  • the sheet area was 144 000 cm 2
  • the area ratio of the hornworm was 5.6%
  • the amount of generated static electricity due to peeling was about 1 to 20 as compared with the case of full contact.
  • a glass substrate contacted with a paper spacer sheet and a glass contacted with the spacer sheet of this embodiment were used.
  • the characteristics of the electric elements formed on the substrate were compared.
  • a glass substrate was prepared for each of the paper spacer sheet and the spacer sheet of the present embodiment, and A was put on it by a hard mask method.
  • an Si 3 N 4 film was formed as an insulating film at a temperature of 400 ° C. by a plasma CVD method.
  • A1 was formed on the surface of the formed Si 3 N 4 film by spazota and patterned to form an upper electrode.
  • a voltage was applied between the lower electrode and the upper electrode, and the electric field at the time of dielectric breakdown of the insulating film was measured.
  • the dielectric strength of the Si 3 N 4 film on the glass substrate in contact with the paper spacer sheet was 1 MV / cm, and the S 3 N 4 film on the glass substrate in contact with the spacer sheet of this example was The withstand voltage of the i 3 N 4 film was 8.2 MV / cm.
  • each of the S i 3 N 4 section results of EDX analysis of the film, S i 3 N 4 film on the glass substrate in contact with the paper of the scan Bae Sashito
  • the spacer sheet of the present invention did not cause transfer contamination of organic substances on the glass substrate which was a plate-like material, the insulating film on the glass substrate had poor dielectric strength. I could't see it.
  • FIG. 3 illustrates the case where the protrusions 21 and 22 are provided on both sides of the sheet, the protrusions may be provided only on one side of the sheet.
  • the tip of the projection instead of making the upper surface of the projection a flat surface, the tip of the projection may be cut so that the projection surrounds the recess (opening). That is, a configuration in which a closed curve (or a polygon) is formed by the convex portions surrounding the concave portions may be employed. This configuration has the effect that the contact area can be reduced and the mechanical strength can be maintained.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing the structure of the spacer sheet according to the second embodiment.
  • a diamond-shaped pattern is formed on the surface thereof by a roll transfer method.
  • the sides of the rhombus form the protrusions 31, and the surfaces surrounded by the sides form the recesses 32.
  • the height of the projections was 50 / zm, and the thickness of the sheet portion as the base material was 1 ⁇ 0 ⁇ .
  • the longer long diagonal line was 8 mm long and the shorter short diagonal line was 4.6 mm long.
  • the projection component on the surface of the spacer sheet in the peeling direction of the sheet is in the direction of the white arrow D in the figure (to the right in the figure), and is set in the long side direction of the spacer sheet.
  • the spacer sheet of the present embodiment has a rhombic shape on the surface, and since the direction of the projected component on the spacer sheet in the peeling direction is parallel to the long diagonal line of the rhombus, the mechanical strength is increased. It is possible to suppress the occurrence of static electricity due to the large area being peeled off locally while maintaining the same.
  • FIG. 5 is a schematic diagram showing the structure of the spacer sheet in the third embodiment.
  • the spacer sheet shown in the figure was constructed by combining ribbon-shaped resins 41 and 42 having a fixed width in a net shape and fusing the intersections. In this case, the ribbon width was 5 mm and the ribbon pitch was f 20 mm.
  • a contact surface with the plate-like structure is formed at the intersection of the intersecting ribbon-shaped resins 41 and 42.
  • the contact area was 89.4 cm 2 .
  • a polycycloolefin resin sheet and a polyethylene terephthalate sheet circuit having the same structure as in Examples 1 to 3 and a plurality of non-alcoholic glass substrates were prepared.
  • Al-free glass substrate is 2-3 pp ozone in ultrapure water m added, C 0 2 and 0 2 added ozone water
  • Flip adjusting the p H of about 5 by, adding 2 to 3 ppm of hydrogen ultra ⁇ , NH 3 was adjusted p H of about 9 by NH 3 Washing was performed with added hydrogen water.
  • Each spacer sheet was sandwiched between two non-alert glass substrates, superimposed, placed on the floor, and left for one week. After that, the amount of dust, the amount of organic matter adsorbed, and the molecular weight of the attached organic matter on the contact surface of each alkali-free glass substrate with the spacer sheet were examined. '
  • the alkali-free glass substrate a rectangular substrate having a length of 10 cm and a length of 20 cm was used, although the thickness was different.
  • the determination of the amount of adsorbed dust was determined by irradiating light from the side to the surface of the glass substrate without contact with the spacer sheet and visually observing the number of foreign substances on the surface.
  • the amount of organic matter adsorbed f The glass substrate without heat was heated to 500 ° C in high-purity nitrogen, the volatile components were collected by a collection tube, and the collected organic matter was collected by a gas chromatography mass spectrometer (GC- MS).
  • GC- MS gas chromatography mass spectrometer
  • the collected organic substance is concentrated by bubbling into a chromate form solution instead of the collection tube used for the organic substance adsorption measurement. Measured using gel permeation chromatography (GPC).
  • Table 1 shows the results.
  • the amount of attached dust and the amount of organic matter adsorbed were smaller than those of paper, but were observed more.
  • One sheet of polycycloolefin spacer having the shape according to the present invention and one sheet of flat polycycloolefin spacer not having the shape according to the present invention are formed on a glass substrate.
  • the charge potential on the gates substrate at the time of sticking and vigorous peeling is 500 V or less for the former and 100 V or more for the latter.
  • the contact area ratio between the plate-like structure and the spacer sheet is 5.0% to 6.3% has been described. For example, 50% or less may be sufficient, 20% or less is more preferable, and 10% or less is more preferable.
  • the contact area with the surface of the plate-like structure is determined by using a force for forming a protrusion by embossing the surface or using a spacer sheet formed in a net shape.
  • a flat spacer sheet made of a polycycloolefin resin is used.
  • the charge may be removed when the spacer sheet is peeled off while being transported in a state of being in close contact with the plate-like structure.
  • a 0.7 mm thick glass substrate is packaged for transportation and storage using a spacer film made of a 0.5 mm thick polycycloolefin resin, the total thickness is 1 It can be done with 2 cm, but this is about 20 times less than the total thickness of 210 cm when avoiding contact between glass substrates and keeping a space of about 2 cm.
  • Garbage can be transported and stored in a space-saving environment without garbage and water pollution.
  • the present invention is applied to an organic EL display panel, a plasma display panel, a semiconductor substrate, a ceramic substrate, a metal substrate, a circuit substrate, a CD, a DVD, a MO, a hard disk substrate, a prism sheet, a lens sheet, a phase difference film, and a brightness enhancement.
  • Sheet, field-of-view sheet, electromagnetic wave shielding sheet, light guide plate, diffusion plate, diffusion sheet, lenticular lens sheet, reflection sheet, lens, prism Adhesion of organic contaminants was extremely low, indicating that product reliability was improved.

Landscapes

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract

一枚の板状物表面もしくは複数の板状物間に配置されるスペーサーシートであって、スペーサーシート面積よりも小さい接触面積で、板状構造物と接触するスペーサーシートが得られる。スペーサーシートの板状物に対する接触面積比率は５０％以下が好ましく、２０％以下がより好ましく、１０％以下が更に好ましい。また、凹凸のパターン形状及び形成方向を適切に選択することにより、スペーサーシートが接触するガラス基板等の板状体の表面への有機物転写、或いは、塵埃付着が生じるのを防ぐと共に、剥離の際の静電気の発生をも防止できる。

Description

スぺーサーシ一ト及びそれを用いる板状物の輸送方法 技術分野
本発明は、 精密デバイス用基板や精密装置用部材等の板状物を搬送、 保管する 際に、 傷つき、 塵埃付着や有機物汚染から板状物の表面を保護する目的で使用さ れるスぺーサーシートおよび該スぺ明ーサーシートを用いた板状物の輸送方法に関 する。
書
背景技術
半導体や液晶ディスプレイ等、 電子 «の高性能化に伴い、 それらの製造に使 用されるシリコン、 ガラス、 プラスチック等の基板や、 装置用部材に使用される セラミック、 金属材料等の板状物の、 搬送、 保管時に発生する不具合が問題化し ている。
搬送、 保管時に、 板伏物に発生する不具合としては、 物理的な傷つき、 塵埃付 着や、 有機物汚染、 静電気等があり、 その板状物を用いる製品の製造の際の歩留 まりに大きく影響することが知られている。
例えば、 半導体デバイスに使用されるシリコンゥエーハゃ、 液晶基板に使用さ れるガラス基板は、 搬送 ·保管時の汚染が、 それらの基板上に作製される MO S F Ε Τや T F Τ等のデ / イスの性能を大きく低下させるため、 受け入れ後に徹底 的に洗浄され、 使用されている。
し力 し、 デバイスの高性能化、 微細化に伴い、 基板の更に精密な洗浄が必要と なり、 洗浄工程が複雑化し、 生産性低下の要因となっている。
このような中、 洗浄工程を簡素ィ匕する種々の洗浄技術が発明されているが有機 物やゴミの吸着量が多いと、 洗浄時間が長時間化したり、 洗浄不足が生じたりす るなどの問題を生じてレヽる。
また、 搬送容器を密閉容器ィ匕し、 搬送、 保管時の汚染を発生させない工夫がさ れているが、 基板接触による傷つきの問題から、 カセットなどを用いた非接触搬 送で搬送 '保管されるため、 容器内に空隙が多く、 容器の容積が大きくなり、 搬 送 ·保管コストを増大させる原因となる。
特に、 液晶用ガラス基板の場合、 基板面積は拡大の一途をたどっており、 これ に伴って、液晶用ガラス基板を搬送する搬送容器の大きさも増加する傾向にある。 このような問題を解決するため、 スぺーサーシートを用いて、 複数の板状物を 互いに重ね合わせて搬送する方法が考案されている。 このような搬送方法は、 例 えば、 日本国特許公開公報 2 0 0 2— 1 2 1 8 3 5号（以下、文献 1という。）や 日本国特許公開公報平 6— 3 1 6 4 3 2号（以下、文献 2という。）に記載されて いる。
文献 1には、 板状物間に良好な通気性を確保するために、 片面に高さ 0 . 5〜 2 . 5 mmの凹凸形状を形成したスぺーサーシートであって、 突起密度の大きい 領域と小さレヽ領域が混在することを特徴とするスぺーサーシ一トが開示されて ヽ る。
また、 文献 2には、 トリポリリン酸ナトリウムを 0 . 1重量％以上含むガラス 用合紙が開示されている。
これらのスぺーサーシ一ト又はガラス用合紙を用いる搬送方法によれば、 板状 物を重ね合わせて搬送を行うことができ、 容積を大幅に節約できるため、 搬送' 保管効率が劇的に向上し、 コスト低減に大きく寄与する。 発明の開示
しかし、 文献 1の場合、 スぺーサーシートに含まれる有機物成分の板状物への 転写については考慮されておらず、 特に、 有機物の転写が板状物の性能に影響す る用途への使用はできない問題が生じる。 特に、 文献 1に示されたスぺーサーシ ートを半導体用途、 表示装置用途、 光学関連製品用途、 半導体 ·表示装置製造装 置用途などへ応用することは困難であることを本願発明者は見出した。
また、 文献 2の場合、 主原料に紙が使用されており、 紙から転写される有機物 や、 発生する紙粉等の塵埃が板状物に付着する問題が発生し、 搬送対象物を念入 りに洗浄することが不可欠となる。
さらに、 トリポリリン酸ナトリウムなどのアル力リ金属成分を合紙中に含有す るため、 表面に吸着するアルカリ金属成分が問題となる無アル力リガラスや半導 体基板など、 アル力リ金属成分により性能が著しく劣ィ匕してしまう用途には用い ることができない問題を生じる。
さらに、 上述の紙製スぺーサーシート （ガラス用合紙） を用いた場合、 スぺー サーシートを対象物表面に密着させて用いるために、 使用時にスぺーサーシ一ト を剥離した際に大量の静電気が発生する問題が生じる。 更に、 このように静電気 が発生すると、対象物表面に周辺雰囲気のゴミゃほこりなどを引き寄せ吸着させ、 洗浄を困難にする問題をも生じる。
特に、 半導体基板やガラス基板あるいはこれらを用いた製品など、 デバイス性 能を維持するために乾燥雰囲気で取り扱うことを余儀なくされている対象物の場 合、 静電気の問題は特に顕著である。 文献 2に開示された技術には、 このような 問題点があることを本願発明者は見出した。
本発明は、 上述の問題に鑑みてなされたものであり、 板状物の汚染原因となる 有機物転写やゴミの付着、 静電気の発生などを抑制するため、 スぺーサーシート と板状物との接触面積に着目し、 形状を工夫することで、 汚染を抑制させること が可能なスぺーサーシ一トを提供するとともに、 それを用いた板状物の搬送方法 を提供することを目的とする。
本発明の他の目的は、 汚染原因となる有機物転写の極めて少なレ、スぺ一サーシ ートを用いて、 単独の板状物を、 又は複数の板状物を互いに密着させて、 輸送、 保管することで輸送 ·保管時のスペースを大幅に縮小することのできる、 単独又 は複数の板状物の輸送または保管方法を提供することにある。
ここで、 スぺーサーシートとは、 板状物の片面又は両面に配置され、 該板状物 を保護する機能を有するシート状の物をいう。 スぺーサーシートは、 単独の板状 物の片面又は両面、 あるいは複数の板状物の片面又は両面、 及び Z又は間に配置 される。 スぺーサーシートは、 シートに板状物を保護するのに適した形状を賦与 したものである。
本発明のスぺーサーシ一トは、 単独の板状物表面もしくは複数の板状物間に配 置されるスぺーサーシ一トであって、 該板状物と該スぺ一サーシ一トとが接触す る接触面積を S 1とし、該スぺーサーシートの接触面側の面積を S 2とするとき、 S 1く S 2の関係を満たし、 前記板状物への有機物付着防止構造を有しているこ とを特徴とする。
なお、 有機物付着防止構造とは、 スぺーサーシート表面と板狀物間に、 非接触 な部分を生じさせるあらゆる構造をいう。
さらに前記スぺーサーシ一ト表面にはパターン形状が形成されていることが好 ましい。
スぺーサーシートの表面に形成されるパターン形状は、 スぺーサーシ一トの強 度を保ちながら、 基板との接触面積を低減できる構造であればょレヽが、 製造コス トも含めた観点から周期パターンであることが好ましく、 スぺーサーシ一ト表面 に垂直な方向からみた前記パターンは平行四辺形を基本パターンとする周期パタ ーンであることがより好ましく、 前記平行四辺形はひし形であることが特に好ま しい。
さらに本発明のスぺーサーシートは、 スぺーサーシ一トの引き剥がし方向のス ぺーサーシート表面への射影成分と、 前記ひし形の辺とのなす 度を Θとした場 合、 θ≠0 ° であることが好ましい。
前記基本パターンを形成する平行四辺形乃至はひし形形状の ft対角線は、 スぺ 一サーシ一ト長辺と略平行であることが好ましい。
そして、 前記基本パターンを形成する平行四辺形乃至はひし形形状の長対角線 は、 スぺーサーシ一ト引き剥がし方向のスぺーサーシ一トへの射影成分と略平行 であることが好ましい。
また、 引き剥がし方向のスぺーサーシ一トへの射影成分はスぺーサーシ一トの 長辺方向であることが好ましい。
そして、 スぺーサーシートの引き剥がし方向とスぺーサーシ一ト面の成す角度 が 9 0 ° よりも小さいことが好ましい。
さらに本発明のスぺーサーシートは、前記基本パターンの辺铈が凸部を形成し、 前記基本パターンの辺部で囲まれた面が凹部を形成し、 前記凸部が前記板状物に 接触することが好ましい。
本発明のスぺーサーシートは網状でも良く、 この場合、 網を構成する構造部を 凸部、 網の開口部を凹部と定義できる。 さらに、 複数の板状物間に配置されるスぺーサーシートにおいて、 該スぺーサ ーシートの構成材料は該板状物への有機物付着が少ないことが好ましい。
また、 本発明のスぺーサーシートは、 複数の板状物間に配置されるスぺーサー シートであることが好ましレ、。
さらに本発明のスぺーサーシートは、 表面パターンの形成を容易にできること から、該スぺーサーシートの構成材料は少なくとも有機物を含むことが好ましく、 樹脂であることが特に好ましレ、。
本発明のスぺーサーシ一トは、 梱包対象となる板状物の洗浄を容易にする観点 から、 該板状物への有機物転写量が 1 0 0 n g / c m 2以下であることが好まし い。 また、 該板状物への転写有機物の分子量は 1 0 0 0 0以下であることが好ま しレ、。
ここで、 前記板状物は、 本発明のスぺーサーシートを用いて搬送されるもので あればよく、 ガラス基板 （液晶ディスプレイ、 有機 E Lディスプレイ及びプラズ マディスプレイ等のフラットパネル製造用のものを含む。）、 半導体製造用シリコ ン基板、 半導体基板、樹脂基板、 プリント基板等の回路基板、 プリント配線基板、 プレート等のセラミック基板、 プレート等の金属基板、 プラスチック基板、 回路 基板、 磁気記録基板、 光学記録基板及び光磁気記録基板等の基板類； レンズシー ト、 プリズムシート、 位相差フィルム、 輝度向上シート、 視野拡大シート、 電磁 波シールドシート、 拡散シート、 レンチキュラーレンズシート及ぴ反射シートな どの光学シート類；液晶表示装置、 有機 E L表示装置及びプラズマァドレス表示 装置などの表示装置；導光板、 反射板、 偏光板， 位相差板， 拡散板、 レンズ、 プ リズムなどの光学成形部品；半導体装置； C D、 D VD、 MO及びハードデイス ク等の記録メディア用ガラス；半導体やフラットパネルディスプレイ等のデバィ ス装置ステージ；及ぴ、 成形セラミック板などのセラミック応用品；などが挙げ られ、 これらの中でも、 ガラス基板、 半導体基板、 樹脂基板、 プリント配線基板、 セラミック基板、 表示装置、 半導体装置、 導光板、 反射板、 レンズシート、 プリ ズムシート、 位相差板、 偏光板、 回路基板、 磁気記録基板、 光学記録基板、 光磁 気記録基板及び成形セラミック板に好適に用いられ、 ガラス基板に特に好適に用 いられる。 上記板状物を本発明のスぺーサーシートを用いて搬送することで、 信 頼性の向上や後工程の洗净の軽減などを図ることができる。
本発明におけるスぺーサーシ一トと板状物との接触面は、 スぺーサーシートの 構成により異なるが、 表面と裏面を貫く開口がない単純なシート形状と、 網状シ 一ト形状の 2種類に大別できる。
前者においては、 接触面は以下により定義づけられる。
まず、 スぺーサーシートの短辺方向の長さを Wとするとき測定曲線の基準長さ を Wとして、 スぺーサーシ一ト片側表面の J I S B0601— 1994で定義 される振幅分布曲線を取る。
分割数を nとし、 測定曲線の最も高い山頂と最も低い谷底との距離を Dとした 場合に n = D/Raとする。
Raは J I S B0601-1994で定義される算術平均粗さとする。
図 1の下部に示すように、 突起部を有するスぺーサーシ一ト 10の場合、 図 1 の上部に拡大して示すように、 スぺーサーシート片側表面の振幅分布曲線は、 各 突起部 10の頂部と底部に 2つのピークをとり、 これら 2つのピークのうち板状 物側を第 1のピーク 11とし、 スぺーサーシ一ト側を第 2のピーク 12とする。 このとき、 第 1のピーク 11側に存在するスぺーサーシート表面を接触面 S c と定義する。
一方、 図 2に示すように、 線材を縦横に織り込んで形成される網状シート 15 の場合、 接触面は以下により定義づけられる。
スぺーサーシ一ト構造部の R aおよび、 スぺーサーシ一ト構造部厚さ Tを測定 する。
基準平板 16上にスぺーサーシ一ト 15を載置した際の基準平板表面を 0とし、 スぺーサーシート表面から R aだけその内部側に入った高さ、 すなわち、 T一 R aの位置を計測線とし、 この計測線とスぺーサーシ一ト構造部が交差して形成さ れる領域を接触面とする。
このとき、 J I S BO 601— 1994に規定される局部山頂の平均間隔の 10倍を超える非交差部は接触面とみなさない。
両者において、 スぺーサーシート面積とは、 凹部あるいは開口部を含むシート 全体の面積である。 パターンは、 不規則であっても規則的であってもよいが、 製造コストの面から 規則的な周期パターンであることが好ましく、 スぺーサーシート表面に垂直な方 向からみた形状は平行四辺形を基本パターンとする周期パター であることがよ り好ましく、 前記平行四辺形はひし形であることが特に好まし!/、。
このようにすることで、 機械的強度を保ちながら、 剥離時の S生静電気量を最 小にすることができる。
本発明のスぺーサーシートに用いる樹脂としては、 熱硬化性、 熱可塑'生を問わ ず、 転写有機物量が少ないものが好ましく、 有機物転写量が l O O n g Z c m2 以下のものが特に好ましい。 また、 転写有機物の分子量は 1 0 0 0 0以下である ことが好ましく、 1 0 0 0以下であることがより好ましく、 1 0 0以下であるこ とが特に好ましい。
さらに、 コストゃ生産性を考えると熱可塑性であることが好 しい。
熱可塑性樹脂の具体例としては、 ポリエチレン、 ポリプロピレン等のポリオレ フィン；ポリスチレン、 ポリ塩化ビュル、 ポリウレタン、 ポリ ステル、 ポリ力 ーポネート、 ポリアミ ド、 ポリシクロォレフイン等が例示される。
上記熱可塑性榭脂の中でも、 特に有機物転写量が少なく、 フ ノレムとしての性 能に優れることから、 ポリオレフイン、 ポリウレタン、 ポリエステル、 ポリカー ボネート及びポリシクロォレフィンが好ましく、ポリオレフイ 、ポリエステル、 ポリカーボネート及ぴポリシクロォレフィンがより好ましく、 お °リオレフイン及 びポリシクロォレフィンが特に好ましい。
なお、 ポリエステルとしては、 ポリエチレンテレフタレート 好ましい。
また、 ポリオレフインとしては、 ポリエチレンが好ましい。
本発明で板状物とは板状のものである。 板状とは薄レヽ形状で feり、 物の長手方 向の長さ及びそれに垂直な方向の長さが短手方向長さ （厚み） り十分に長い形 状をいう。 長手方向及びそれに垂直な方向を含む面は、 平面で feつても曲面であ つてもよいし、 段差を有していてもよい。
また、 板状物は、 本発明のスぺーサーシートを必要とする保護対象面をその一 部として有し、 全体として板状でない部分を持つ構造であって よい。
板状物としては、（板状物の長手方向の長さ及びそれに垂直な方向の長さの平均 値） / (板状物の厚みが最大の箇所での厚み） が好ましくは 3以上、 より好まし くは 1 0以上、 さらに好ましくは 1 0 0以上、 特に好ましくは 1 0 0 0以上のも のが好適に用いられる。 .
基板などの板状物に本発明のスぺーサーシ一トを挟んで密着栖包し、 これを運 搬して運搬後に梱包を開封する際にスぺーサーシ一トを除去する操作が行なわれ る。 これを本願では引き剥がしと称する。 引き剥がしの方向については、 スぺー サーシ一ト面に対して完全に垂直に引き剥がす、 すなわちシート全体を持ち上げ るように引き剥がすことは実際的でないので、 スぺーサーシ一卜を端部から一方 向に引っ張ることで引き剥がしを行うのが効率的である。 本発 P月では、 この方向 を引き剥がし方向という。 引き剥がし方向とスぺーサーシ一ト面の成す角度は、
9 0 ° よりも小さいことが好ましい。 また、 その方向はスぺー "一シート面に対 して平行ではないので、 引き剥がし方向のスぺーサーシ一トへの射影成分をスぺ ーサーシートの長辺方向とすることが好ましレ、。 たとえば、 作業者が 1点を持つ て引き剥がしを行う場合は、 シートの角部から対角線方向に向 って引き剥がす ことが好ましく、 口ポットなどを用いて機械的に引き剥がしを行う場合は隣り合 う角部 2点を保持してシートの辺部方向に引き剥がすことが好ましい。 静電気除 去の観点からは、 弓 Iき剥がし方向に対して垂直に長 、接触面があるとそのライン をはがす瞬間に、 瞬間的に大量の静電気が発生するので、 引き剥がし方向とライ ンの方向は平行ではない方が好ましい。
また、 スぺーサーシ一トが表面に平行四辺形を基本パターンとする周期的パタ ーンを有する場合、 引き剥がし方向のスぺーサーシートへの射影成分と、 該平行 四辺形の長対角線は、 略平行であることが静電気防止の観点から好ましい。 なお、 略平行とは、 射影成分と長対角線の成す角が 3 0° 以下、 好ましくは 1 0 ° 以下、 特に好ましくは 3 ° 以下であることをいう。
本発明のスぺーサーシートによれば、 単独の板状物表面もしくは複数の板状物 間に配置されたとき、 該板状物との接触面積 S 1はスぺーサーシ一トの接触面側 の面積 S 2に比べ小さレヽ。 そのため、 板状物を高密度に積層あるいは梱包しなが ら、 表面を保護し、 剥離の際の発生静電気量を低減できる。 つまり、 梱包体積を 縮小しながらゴミの付着等を減少できるため、 信頼性などを落とさずに輸送コス トなどを低減することができる。
さらに本発明のスぺーサーシ一トの好ましい態様として、 表面にパターンが形 成されている場合、 機械的強度を保ちながら板状物との接触面積を縮小すること ができる。
さらに、 複数の板状物間に配置されるスぺーサーシートにおいて、 該スぺーサ 一シートの構成材料は該板状物への有機物付着が少なレ、ため、 板状物に有機物に よる汚染を生じることがなく、 該板状物の信頼性の向上や、 後工程における洗浄 コストの削減などに寄与できる。 さらに本発明のスぺーサーシートは、 好ましい 態様として樹脂などの有機物により構成されている場合、 低コストで表面パター ンの形成をすることができる。
本発明のスぺーサーシートによれば、 ガラス基板、 導体基板、 樹脂基板、 プ リント配線基板、 セラミック板およびセラミック応用製品、 金属基板、 液晶表示 装置、 有機 E L表示装置、 プラズマアドレス表示装置、 半導体装置、 導光板、 反 射板、 レンズシート、 プリズムシート、 偏光板、 回路基板、 磁気記録基板、 光学 記録基板、 光磁気記録基板、 成形セラミック板、 位相差フィルム、 輝度向上シー ト、 視野拡大シート、 電磁波シールドシート、 拡散板、 拡散シート、 レンチキュ ラーレンズシート、 反射シートなどの光学シート類、 レンズ、 プリズムといった 光学成形部品成形部品などを安価に高集積でき、 さらに有機物やゴミの付着によ る汚染を生じにくいため、 信頼性の向上や後工程の洗净の軽減などを図ることが できる。
いずれにしても、 本発明によれば、 汚染原因となる静電気や、 有機物転写を抑 制することができる板状物の搬送方法を提供することが出来る。
また、 本発明のスぺーサーシートを用いて輸送された各種基板を用いて製造し た製品、 例えば半導体装置、 回路基板、 磁気記録装置、 光学記録装置、 光磁気記 録装置、 導光板、 レンズシート、 プリズムシート、 反射板、 偏光板、 成形セラミ ック板等の製品を提供することができる。
さらに、 複数の板状物の間に本発明のスぺーサーシートを挟んで、 該板状物と スぺーサーシ一トとを密着させて輸送することを特徴とする板状物の輸送方法を 提供できる。 図面の簡単な説明
図 1は、 本発明に係る単純シート形状のスぺーサーシ一トにおける接触表面の 定義を振幅分布曲線を使用して説明する図であり、
図 2は、 本発明に係る網状シート形状のスぺーサーシ一トにおける接触表面の 定義を振幅分布曲線を使用して説明する図であり、
図 3は、本発明の実施例 1に係るスぺーサーシ一トの表面を す模式図であり、 図 4は、本発明の実施例 2に係るスぺーサーシ一トの表面を^:す概略図であり、 図 5は、本発明の実施例 3に係るスぺーサーシ一トの表面を す概略図である。 発明を実施するための最良の形態
本発明者らは、 汚染原因となる静電気や、 有機物転写を抑制するため、 各種ス ぺーサ一シートの形状や材質を検討する過程において、 静電気 生や、 有機物転 写を少なくするためには、 スぺーサーシ一トと板状物との接触面積を小さくすれ ば良いことを見出し、 最適な形状を工夫し、 材料を選定することで、 保護される 各種板状物表面を汚染させ難くできることを突き止め、本発明 ίこ想到した。以下、 本発明を具体的に説明する。
図 3〜 5は本発明の実施例 1〜 3に係るスぺーサーシ一トの形状をを示す部分 概略断面図である。
図 3〜 5に示されるように、 本発明のスぺーサーシ一トの表面には微小の凸部
(又は構造部） 及び凹部 （又は開口部） が形成されている。
囬凸の高さは、通常 1 mm以下であり、 0 . 5 mm以下であることが好ましく、 0 . 1 mm以下であるとより好ましい。
凸部及び凹部の高さは、 特に均一である必要はないが、 出来る限り均一である 方が好ましい。
接触面積 S 1とスぺーサーシ一トの接触面側の面積 S 2は、 S 1く S 2を満た していれば良いが、 S 2が S 1の 2倍以上であることが好ましく、 5倍以上であ るとより好ましく、 1 0倍以上であると更に好ましい。
接触面の配置 (パターン) は少なくとも一部分が周期的であることが好ましい が、 その連続、 非連続は問わない。
接触面は、 出来る限りスぺーサーシ一ト全体に均一に分散配置されていること が好ましく、スぺーサーシ一トの周辺部は、凸部を形 j¾していることが好ましい。 スぺーサーシートの形状賦与方法は、 特に規定されないが、 通常、 転写ロール による転写法、 金型を用いたプレス法、 圧空あるいは真空プレス法などが用いら れる。 また、 溶剤や光分解などによるエッチング法や、 凸部を形成させるための バンク形成法も使用可能である。 さらに、 インクジヱット等印刷技術を用いた印 刷法を用いて凸部のパンクを形成するようにしてもよレ、。
本発明のスぺーサーシートの使用方法は、 ガラス基板やシリコン基板等の単一 の板状物に使用する場合、 梱包容器や梱包袋と板状物との間に挟んで使用するこ とが好ましい。
複数の板状物を重ねる場合には、 スぺーサーシ一トを板状物の間に挟みこんで 使用することが好ましい。
梱包容器や梱包袋は、 特に規定しないが、 密閉性が良く、 容器や袋自身からの 汚染がない、 金属、 セラミック、 あるいはプラスチック製容器あるいは袋が好ま しい。 また、 これらの容器あるいは袋がポリシクロォレフィン製もしくは、 精製 した樹脂製であることが更に好ましい。
以下に、 実施例を示す。
[実施例 1 ]
本発明の実施例 1におけるスぺーサーシートの構造について図 3を用いて説明 する。
図 3は本実施例 1のスぺーサーシ一トの構造を示す模式図である。 図示のスぺ ーサーシートには、 その両面に台状の凸部 2 1及ぴ 2 2がエンボス法により形成 されている。
本実施例において、 シート材料としてポリシクロォ フィンを用いた。
スぺーサーシ一トの厚みは、 対象となる板状物の形状や大きさに合わせ適宜選 択できる力 本実施例においては、加工性の観点から、ンート基材部厚さ 7 5 m、 凸部 2 1の高さ 5 0 111、 とした。 また、 凸部 2 1及び 2 2の上面は 1辺 1 0 mの正方形状とした。 このとき一つの凸部 2 1、 22が板状物と接触する接触面積を前述の方法によ り測定したところ 1 00 μ m2であった。
板状物として厚さ 0. 7mm、 幅 1 1 00mm、 長さ 1 3 0 Ommのガラス基 板を用いた場合、 接触面積は 7 94 c m2であった。 このときシート面積は 1 4 3 00 cm2であったので、 接角虫面積比率は 5. 6%となり、 引き剥がしによる 静電気発生量は、 全面接触の場合に比べ約 1ノ 20であった。
本実施例のスぺーサーシ一トがガラス基板に与える影響を評価するために、 紙 製のスぺーサーシートに接触させたガラス基板と、 本実施例のスぺーサーシ一ト に接触させたガラス基板に、 それぞれ形成された電気素子の特性を比較した。 紙製のスぺーサーシ一トと本実施例のスぺーサーシートにせれぞれ させた ガラス基板を用意し、 それらの上にハードマスク法によりパターユングされた A
1をスパッタ成膜し下部電極とした。
下部電極の上に絶縁膜として S i 3N4膜をプラズマ CVD法により 4 0 0°C の温度で成膜した。
成膜された S i 3N4膜表面に A 1をスパゾタ成膜しパターニングすることで 上部電極とした。
下部電極と上部電極の間に電圧を印加し、 絶縁膜が絶縁破壊する際の電界を計 測し、 絶縁耐圧とした。
紙製のスぺーサーシートに接触させたガラス基板上の S i 3N4膜の絶縁耐圧 は 1 MV/ c mであり、本実施例のスぺーサーシ一トに接触させたガラス基板上 の S i 3 N 4膜の絶縁耐圧は 8. 2MV/c mであつた。
絶縁耐圧の違いを明確化するために、それぞれの S i 3N4膜の断面を EDX分 析した結果、 紙製のスぺーサーシートに接触させたガラス基板上の S i 3N4膜
(絶縁膜） 中に炭素 Cや酸素 Oなどの元素がそれぞれ 3. 6 atom%, 22 atom% 観測され、 これらが要因となつて絶縁耐圧が劣化したものと推定できる。
一方で本発明のスぺーサーシートに接触させたガラス基板上の S i 3N4膜に は、 炭素 Cや酸素 Oなどの元素は観測されな つた。
すなわち、 本発明のスぺーサーシ一トは板状物であるガラス基板に有機物の転 写汚染を与えなかったことにより、 ガラス基板上の絶縁膜には絶縁耐圧の劣ィ匕が 見られなかった。
本実施例 1のスぺーサーシ一トによれば、 有機物の吸着による板状物表面への 汚染を抑制しながら、 同時に引き剥がし時の静電気発生量を小さくすることがで きる。 尚、 図 3では、 凸部 2 1及ぴ 2 2をシート両面に設けた場合について説明 したが、 シート片面にだけ凸部を設 ^ ても良い。 この場合、 凸部の上面を平坦な 面にするのではなく、 凸部先端を裁断し、 これによつて、 凸部が凹部 （開口部） を囲むようにしても良い。 即ち、 凹 を囲む凸部により閉曲線 （または多角形） を形成する構成を採用しても良い。 この構成は、 接触面積を低減させることがで きると共に、 機械的強度も維持できると云う効果がある。
[実施例 2 ]
本発明の実施例 2におけるスぺーサーシートについて図 4を用いて説明する。 図 4は本実施例 2におけるスぺーサーシートの構造を示す模式図である。 図示 のスぺーサーシ一トには、 その表面にひし形形状のパターンがロール転写法によ り形成されている。
ひし形の辺部が凸部 3 1を形成しており、 辺で囲まれる面部分が凹部 3 2を形 成している。 凸部の高さは 5 0 /z m、 基材となるシート部の厚さは 1◦ 0 μ πιと した。
ひし形の対角線のうち、 長い方の長対角線の長さは 8 mm、 短い方の短対角線 の長さは 4 . 6 mmとした。 スペーチ一シートの引き剥がし方向のスぺーサーシ ート表面への射影成分は図中の白抜き矢印方向 D (図の右方向） であり、 スぺー サーシートの長辺方向に設定した。
このようにすることで、 スぺーサーシートの構造的強度を保ちながら、 一定の 速度で引き剥がしを行った場合に単位時間内に引き剥がされる面積を最小にする ことができる。
すなわち、 単位時間内の引き剥がしによる静電気の発生を最小にすることがで きる。
板状物として厚さ 0 . 7 mm、 幅: L 1 0 O mm、 長さ 1 3 0 O mmのガラス基 板を用いた場合、 接触面積は 7 1 5 c m2であった。 このときシート面積は 1 4 3 0 0 c m2であったので、 接触面積比率は 5 %となり、 弓 ίき剥がしによる静電 気発生量は、 全面接触の場合に比べ 1 / 2 0であった。
本実施例のスぺーサーシートに接触させたガラス基板を用いて、 実施例 1と同 様に S i 3 N4膜の絶縁耐圧の評価を行ったところ、実施例 1と同様の結果を得た。 すなわち、 本実施例 2のスぺーサーシートによれば、 有機物の吸着による板状 物表面への汚染を抑制しながら、 同時に引き剥がし時の静電気発生量を小さくす ることができる。
さらに、 本実施例のスぺーサーシ一トは表面にひし形形状を有しており、 引き 剥がし方向のスぺーサーシートへの射影成分方向とひし形の長対角線が平行であ るため、 機械的強度を保ちながら、 局所的に大面積が引き剥がされて静電気が 生することを抑制することができる。
[実施例 3 ]
本発明の実施伊 [J 3におけるスぺーサーシートについて図 5を用いて説明する。 図 5は本実施例 3におけるスぺーサーシ一トの構造を示す模式図である。 図示 のスぺーサーシ一トは、一定幅のリボン状樹脂 4 1及び 4 2を網状に組み合わせ、 交差部を融着して構成した。 この場合、 リポン幅は 5 mmとし、 リボンピッチ f 2 0 mmとした。
図示されたスぺーサーシートの場合、 交差するリボン状樹脂 4 1及ぴ 4 2の交 点位置に板状構造物との接触面が形成される。 板状物として厚さ◦. 7 nmi、 幅 1 1 0 O mm, B:さ 1 3 0 0 mmのガラス基板を用いた場合、 接触面積は 8 9 4 c m2であった。
このとき、 スぺーサーシート面積は 1 4 3 0 0 c m2であったので、 接触面積 比率は 6 . 3 %となり、 引き剥がしによる静電気発生量は、 全面接触の場合に比 ベ約 1 2 0であった。
[実施例 4 ]
実施例 1から 3の各スぺーサーシートについて、さらに効果を確認するために、 以下の実験を行つた。
まず、 実施例 1から 3と同様の構造のポリシクロォレフィン製スぺーサーシ一 トおよびポリェチレンテレフタレート製スぺ一サーシ一トと、 複数の無アル力リ ガラス基板を用意した。 無アル力リガラス基板は、 超純水にオゾンを 2〜 3 p p m添加し、 C 02により p Hを 5程度に調整したじ02添加オゾン水と、超維水に 水素を 2〜3 p p m添加し、 NH 3により p Hを 9程度に調整した NH3添加水素 水とにより洗浄した。 各スぺーサーシ一トを 2枚の無アル力リガラス基板にはさ み、 重ね合わせて床面に置き、 1週間放置した。 その後、 各無アルカリガラス基 板のスぺーサーシートとの接触面の塵埃量、 有機物吸着量、 および付着有機物の 分子量を調べた。 '
比較として、 スぺーサーシ一トとして紙を用いた場合、 および表面にパターン 形状のない平坦なポリエチレンテレフタレートを用いた場合の、 各基板表面につ いても、同様に付着塵埃量、有機物吸着量、および付着有機物の分子量を調べた。 上記した試験 fま、 クラス 1 0 0 0 0のクリーンルームで、 ケミカルフイノレター の直下にて実施された。
無アルカリガラス基板としては、 厚さの違いはあるが、 全て縦 1 0 c m、 损 2 0 c mの長方形型のものを使用した。
吸着塵埃量の湏 [|定は、 スぺーサ一シートを接触させた無アル力リガラス基板の 表面に、 光を横から当て、 目視によりその表面上の異物の数を調べることで つ た。
有機物吸着量 fま、 高純度窒素中で無アル力リガラス基板を 5 0 0 °Cに加熱し、 揮発成分を捕集管で捕集し、 捕集した有機物をガスクロマトグラフィ質量分析器 (G C -M S ) にて定量した。
吸着有機物の分子量は、 有機物吸着測定に用いた捕集管の代わりにクロ口ホル ム溶液中にバプリングすることで捕集した有機物を、 濃縮後、 分子量 1 0◦ 0 0 以下測定用力ラムを装備したゲルパーミエーシヨンクロマトグラフィ法（G P C) を用いて測定し广こ。
結果を表 1に す。 表 1
Figure imgf000018_0001
ポリシクロォレフイン製スぺーサーシ一トおよびポリエチレンテレフタレート 製スぺーサーシ一トに接触させた無アル力リガラス基板の表面では、 付着塵埃は 観察されず、 また、 有機物吸着量も少なかった。
比絞として使用した紙のスぺーサーシートに接触させた無： ルカリガラス基板 の表面では、 多くの塵埃と吸着有機物が観察された。
表面形状のない平坦なポリエチレンテレフタレート製スぺーサ一シートを接触 させた無アルカリガラス基板の表面では、 付着塵埃量、 有機物吸着量は、 紙より は少なかったが、 多く観察された。
本猪明に係る形状を有するポリシクロォレフイン製スぺー "一シートと、 本発 P月に係る形状を有していない平坦なポリシクロォレフィン製スぺーサ一シートを それぞれガラス基板に貼り付け、 勢いよく剥離した際の、 ガテス基板上の帯電電 位は、 前者が 5 0 0 V以下、 後者は 1 0 0 0 0 V以上であつこ。
[実譲 5 ]
液晶表示装置の表示パネルのスぺーサーシ一トとして実施伊!] 1力 ら 3に記載の スぺーサーシートを用レヽた結果、 パネル表面へのゴミの付着、 有機物による汚染 の付着が極めて少なく、 製造工程が終了し洗浄が困難な表示パネルの出荷が容易 になった。
また、実施例 1〜 3では、板状構造体とスぺーサーシ一トとの接触面積比率は、 5 . 0 %〜 6 . 3 %の場合を説明したが、 本発明者等の実験によれば、 5 0 %以下 であれば良く、 2 0 %以下がより好ましく、 1 0 %以下であれば更に好ましレ、。 更に、 上に説明した実施例では、 表面にエンボス加工を施すことによって突起 を形成する力、 或いは、 網状に形成されたスぺーサーシートを使用して、 板状構 造物表面との接触面積を減少させることによって、 有機物等の汚染或いは付着を 著しく軽減できる場合について説明したが、本発明はこれに限定されることなく、 例えば、 ポリシクロォレフィン系樹脂からなる平坦なスぺーサーシ一トを板状構 造物に密着させた状態で輸送し、 スぺーサーシートを剥離する際に、 除電しても 良い。 この場合におけるスぺーサーシートを剥離する際の静電気を除去する方法 として、 軟 X線を照射することが好ましい。 厚さ 0 . 5 mmのポリシクロォレフ イン系樹脂からなるスぺーサーフィルムを用いて厚さ 0 . 7 mmのガラス基板 1 0 0枚を輸送 ·保管のために梱包する場合、 全体の厚さは 1 2 c mで済ませるこ とができるが、 これはガラス基板同士の接触を避けて約 2 c mの空間を保つよう にした場合の全体の厚さ 2 1 0 c mの約 2 0分の 1であり、省空間でゴミ '水分 · 有機物汚染なしにガラス基板を輸送 ·保管することができる。 産業上の利用可能性
本発明を有機 E Lディスプレイパネル、 プラズマディスプレイパネル、 半導体 基板、 セラミック基板、 金属基板、 回路基板、 C D、 D VD , MO、 ハードディ スク基板、 プリズムシート、 レンズシ一ト、 位相差フィ /レム、輝度向上シート、 視野拡大シート、 電磁波シールドシート、 導光板、 拡散板、 拡散シート、 レンチ キュラーレンズシート、 反射シート、 レンズ、 プリズム ίこ適用して、 試験を行つ た結果、 表面へのゴミの付着、 有機物による汚染の付着 極めて少なく、 製品の 信頼性が向上することがわかった。

Claims

1 . 単独の板状物表面もしくは複数の板状物間に配置されるスぺーサーシ一 トであって、 該板状物と該スぺ一サーシ一トとが接触する接触面積を S 1とし、 該スぺーサーシ一トの接触面側の面積を S 2とするとき、 S 1 < S 2の関係を満 たし、 前記板状物への有機物付着防止構造を有していることを特徴とするスぺー サーシート。 請
2 . 請求項 1に記載のスぺーサーシ一トにおいて、 前記スぺーサーシ一ト表 面にはパターンが形成されていることをの餘徴とするスぺーサーシート。
3 . 請求項 2に記載のスぺーサーシートにおいて、 スぺーサーシート表面に 垂直な方向からみた前記パターンは平行四辺形を基本パターンとする周期的パタ 囲
ーンであることを特徴とするスぺーサーシ一ト。
4 . 請求項 3に記載のスぺーサーシートにおいて、 前記平行四辺形はひし形 であることを特徴とするスぺーサーシート。
5 . 請求項 1に記載のスぺーサーシ一トにおいて、 前記スぺーサーシートの 引き剥がし方向とスぺーサーシ一ト面のなす角度が 9 0 ° よりも小さいことを 特徴とするスぺーサーシ一ト。
6 . 請求項 3に記載のスぺーサーシ一トにおいて、 前記基本パターンの長対 角線は、 スぺーサーシ ト引き剥がし方向のスぺーサーシ一トへの射影成分と略 平行であることを特徴とするスぺーサーシ一ト。
7 . 請求項 3に記載のスぺーサーシートにおいて、 前記基本パターンの辺部 が凸部を形成し、 前記基本パターンの辺部で囲まれた面が凹部を形成し、 前記凸 部が前記板状物に接触することを特徴とするスぺーサーシ一ト。
8 . 複数の板状物間に配置されるスぺーサーシ一トである請求項 1に記載の スぺーサーシート。
9 . 請求項 1に記載のスぺーサーシ一トにおいて、 該スぺ一サーシ一トの構 成材料は少なくとも有機物を含むことを特敷とするスぺーサーシ一ト。
1 0 . 請求項 9に記載のスぺーサーシ一トにおレ、て、 前記有機物は、 樹脂で あることを特徴とするスぺーサーシート。
1 1 . 請求項 1に記載のスぺーサーシ一トにお 、て、 前記板状物への有機物 転写量は 1 0 0 n g Z c m2以下であることを特徴とするスぺーサーシ一ト。
1 2. 請求項 1に記載のスぺーサーシ一トにおいて、 前記板状物への転写有 機物の分子量は 1 0 0 0 0以下であることを特徴とするスぺーサーシート。
1 3 . 請求項 1に記載のスぺーサーシ一トにおいて、 前記板状物は、 ガラス 基板、 半導体基板、 樹脂基板、 プリント配線基板、 セラミック基板、 表示装置、 半導体装置、 導光板、 反射板、 レンズシート、 プリズムシート、 位相差板、 偏光 板、 回路基板、 磁気記録基板、 光学言己録基板、 光磁気記録基板、 成形セラミック 板のいずれかであることを特徴とするスぺーサーシ一ト。
1 4. 請求項 1に記載のスぺーサーシートを用いて輸送された基板を用いて 製造した製品。
1 5 . 複数の板状物の間に請求項 8のスぺーサーシ一トを挟んで、 該板状物 とスぺーサーシ一トとを密着させて輸送することを特徴とする板状物の輸送方法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006273371A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Toray Ind Inc プラスマディスプレイパネル用ガラス基板の輸送方法および該ガラス基板を用いたプラズマディスプレイパネル用部材の製造方法
JP2014136754A (ja) * 2013-01-17 2014-07-28 Sekisui Plastics Co Ltd 合紙用ポリエチレン系樹脂発泡シート
JP2016074449A (ja) * 2014-10-03 2016-05-12 日本パレットレンタル株式会社 樹脂成型材
CN108974627A (zh) * 2017-05-24 2018-12-11 Ａｇｃ株式会社 玻璃夹纸、玻璃板包装体、玻璃夹纸层叠方法及玻璃夹纸层叠装置
WO2019136050A1 (en) * 2018-01-04 2019-07-11 Corning Incorporated Stacks including a plurality of sheets and an interleaf layer and method of forming said stacks

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4807789B2 (ja) * 2006-10-19 2011-11-02 信越化学工業株式会社 ペリクル梱包用緩衝体および梱包方法
US11192338B2 (en) * 2017-10-12 2021-12-07 Tredegar Surface Protection, Llc Films for use as interleaves between substrates
CN114249019A (zh) * 2020-09-19 2022-03-29 东莞市创群精密机械有限公司 隔离片和叠片式玻璃料框

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0858829A (ja) * 1994-08-18 1996-03-05 Chisso Corp 耐受傷性に優れるセパレートシート
JPH09129719A (ja) * 1995-08-30 1997-05-16 Achilles Corp 半導体ウエハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法
JP2003505875A (ja) * 1999-07-23 2003-02-12 ブルックス、レイ ジー． 保存および出荷用に設計された容器内に保持された集積回路（ｉｃ）ウェーハの保護システム

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0858829A (ja) * 1994-08-18 1996-03-05 Chisso Corp 耐受傷性に優れるセパレートシート
JPH09129719A (ja) * 1995-08-30 1997-05-16 Achilles Corp 半導体ウエハの収納構造および半導体ウエハの収納・取出し方法
JP2003505875A (ja) * 1999-07-23 2003-02-12 ブルックス、レイ ジー． 保存および出荷用に設計された容器内に保持された集積回路（ｉｃ）ウェーハの保護システム

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006273371A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Toray Ind Inc プラスマディスプレイパネル用ガラス基板の輸送方法および該ガラス基板を用いたプラズマディスプレイパネル用部材の製造方法
JP2014136754A (ja) * 2013-01-17 2014-07-28 Sekisui Plastics Co Ltd 合紙用ポリエチレン系樹脂発泡シート
JP2016074449A (ja) * 2014-10-03 2016-05-12 日本パレットレンタル株式会社 樹脂成型材
CN108974627A (zh) * 2017-05-24 2018-12-11 Ａｇｃ株式会社 玻璃夹纸、玻璃板包装体、玻璃夹纸层叠方法及玻璃夹纸层叠装置
WO2019136050A1 (en) * 2018-01-04 2019-07-11 Corning Incorporated Stacks including a plurality of sheets and an interleaf layer and method of forming said stacks

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