JP2003338492A

JP2003338492A - プラズマ処理装置

Info

Publication number: JP2003338492A
Application number: JP2002145728A
Authority: JP
Inventors: Shinya Nishimoto; 伸也西本
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2002-05-21
Filing date: 2002-05-21
Publication date: 2003-11-28

Abstract

(57)【要約】【課題】ガス流路や真空断熱用空間等の空間内で発生
する異常放電を従来に比べて大幅に削減することがで
き、良好なプラズマ処理を行うことのできるプラズマ処
理装置を提供する。【解決手段】載置台２の載置面と半導体ウエハＷの裏
面との間に温調用ガスを供給するための温調用ガス流路
９には、内部をガスが流通可能とされた通気性を有する
セラミックス多孔体からなり、放電を防止するための温
調用ガス流路用の放電防止部材１０が設けられている。
シャワーヘッド１４のガス拡散用空隙１７内には、内部
をガスが流通可能とされた通気性を有するセラミックス
多孔体からなり、放電を防止するための処理ガス流路用
の放電防止部材２０が設けられている。真空断熱空間８
内（排気装置に接続される排気流路の部位）にも、同様
な真空断熱空間用の放電防止部材３０が設けられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマを生起し
て半導体ウエハ等のエッチング処理等のプラズマ処理を
行うプラズマ処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、プラズマを生起し、このプラ
ズマを被処理物に作用させて所定の処理を施すプラズマ
処理装置が多用されている。

【０００３】例えば、半導体装置の製造分野において
は、半導体装置の微細な回路構造を形成する際に、半導
体ウエハ等の被処理基板にプラズマを作用させて、エッ
チングや成膜を行っている。

【０００４】このようなプラズマ処理装置、例えばエッ
チング装置では、真空チャンバ内に半導体ウエハ等を収
容し、高周波電力等を利用してこの真空チャンバ内に導
入した所定の処理ガスをプラズマ化し、このプラズマを
半導体ウエハ等に作用させてエッチング処理を行うよう
になっている。このため、エッチング装置では、例えば
多数のガス吐出孔が設けられたシャワー状の処理ガス供
給部等によって、真空チャンバ内に処理ガスを供給する
よう構成された処理ガス用ガス流路が設けられている。

【０００５】また、上記のように、プラズマ処理装置で
は、半導体ウエハ等にプラズマを作用させるため、この
プラズマの作用によって、半導体ウエハの温度が上昇す
る傾向にある。このため、半導体ウエハが載置された載
置台を温調（冷却）するとともに、載置台と半導体ウエ
ハ裏面との間に温調用ガス、例えば、ヘリウムガス等を
供給して半導体ウエハを効率良く温調できるように構成
されたものがある。このようなプラズマ処理装置では、
上記のような温調用ガスを真空チャンバ内に導入するた
めの温調用ガス流路が設けられている。

【０００６】さらに、上記載置台と、この載置台を支持
する支持部材との間に、排気装置に接続され内部を真空
状態とされる真空断熱層を設け、載置台を断熱するよう
にしたプラズマ処理装置も知られている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来のプラズマ処理装置では、例えば、処理ガスを真
空チャンバ内に吐出するために設けられた多数のガス吐
出孔から、真空チャンバ内に生起されたプラズマがガス
流路内に侵入し、ガス流路内で異常放電が生じる場合が
ある。

【０００８】また、半導体ウエハが載置される載置台に
高周波電力を供給するよう構成されたプラズマ処理装置
では、この載置台を貫通するように温調用ガス流路が設
けられるため、温調用ガス流路内で電子等の荷電粒子が
加速されて異常放電が生じる場合がある。

【０００９】さらに、前述した真空断熱層を有するプラ
ズマ処理装置では、この真空断熱層を構成する空間内で
異常放電が生じる場合がある。

【００１０】そして、上記のように異常放電が生じる
と、印加された高周波電力（パワー）に損失が生じると
ともに、プラズマが不安定になって、所望の処理を行え
なくなるという問題が発生する。また、異常放電が生じ
た部位の各部材が、放電によって損傷を受けるという問
題も発生する。

【００１１】本発明は、かかる従来の事情に対処してな
されたもので、ガス流路や真空断熱用空間等の空間内で
発生する異常放電を従来に比べて大幅に削減することが
でき、良好なプラズマ処理を行うことのできるプラズマ
処理装置を提供しようとするものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１記載
の発明は、被処理基板を収容してプラズマ処理するため
の真空チャンバと、前記真空チャンバ内にプラズマを発
生させるための機構と、放電が起こり得る空間に設けら
れ、内部をガスが流通可能とされた通気性を有するセラ
ミックス多孔体からなり当該空間内における放電を防止
するための放電防止部材とを具備したことを特徴とす
る。

【００１３】請求項２の発明は、請求項１記載のプラズ
マ処理装置において、前記空間が、電位差を持った面で
囲まれた領域であることを特徴とする。

【００１４】請求項３の発明は、請求項１又は２記載の
プラズマ処理装置において、前記空間が、前記真空チャ
ンバ内に設けられた上部電極を介して前記真空チャンバ
内に処理ガスを供給するための処理ガス拡散空隙である
ことを特徴とする。

【００１５】請求項４の発明は、請求項１又は２記載の
プラズマ処理装置において、前記空間が、前記被処理基
板が載置される載置台を介して前記被処理基板の裏面側
に温調用のガスを供給するためのガス導入部であること
を特徴とする。

【００１６】請求項５の発明は、請求項１又は２記載の
プラズマ処理装置において、前記空間が、前記被処理基
板が載置される載置台と当該載置台を支持する支持部材
との間に設けられて、前記載置台を断熱するための真空
断熱部であることを特徴とする。

【００１７】請求項６の発明は、請求項１〜５いずれか
１項記載のプラズマ処理装置において、前記放電防止部
材は、気孔率５０〜９０％、気孔径１００〜１０００μ
ｍ、に設定されていることを特徴とする。

【００１８】請求項７の発明は、請求項１〜６いずれか
１項記載のプラズマ処理装置において、前記放電防止部
材は、泡状微細気孔を内包する構造を有してなることを
特徴とする。

【００１９】請求項８の発明は、請求項１〜７いずれか
１項記載のプラズマ処理装置において、前記放電防止部
材が、前記セラミックス多孔体と、このセラミックス多
孔体の周囲に設けられる支持部材とから構成されている
ことを特徴とする。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の詳細を、実施の形
態について図面を参照して説明する。

【００２１】図１は、本発明の一実施形態の概略構成を
模式的に示すもので、同図において符号１は、材質が例
えばアルミニウム等からなり、内部を気密に閉塞可能に
構成され、プラズマ処理室を構成する円筒状の真空チャ
ンバを示している。

【００２２】上記真空チャンバ１の内部には、下部電極
を兼ねた載置台２が設けられており、この載置台２は、
セラミックなどの絶縁板３を介して真空チャンバ１内に
支持されている。

【００２３】また載置台２の上方の外周には導電性材料
または絶縁性材料で形成されたフォーカスリング４が設
けられており、載置台２の上面（載置面）には、図示し
ない静電チャックが設けられ、クーロン力またはジョン
ソンラーベック力で半導体ウエハＷを吸着、保持するよ
うになっている。

【００２４】また、載置台２のほぼ中央には、高周波電
力を供給するための給電線５が接続されている。この給
電線５にはマッチングボックス６及び高周波電源７が接
続され、高周波電源７からは、１３．５６〜１５０ＭＨ
ｚの範囲の高周波電力が、載置台２に供給されるように
なっている。

【００２５】また、載置台２の内部には、温調用の冷媒
等が循環される図示しない温調用媒体循環流路が形成さ
れており、載置台２を所定温度に温調できるようになっ
ている。

【００２６】さらに、載置台２と、この載置台２を支持
する支持部材である絶縁板３との間には、図示しない排
気装置に接続され、内部を真空雰囲気として真空断熱層
を形成するための真空断熱空間８が設けられている。そ
して、この真空断熱空間８内（排気装置に接続される排
気流路の部位）には、内部をガスが流通可能とされた通
気性を有するセラミックス多孔体からなり、真空断熱空
間８内における放電を防止するための真空断熱空間用の
放電防止部材３０が設けられている。

【００２７】さらにまた、載置台２の内部には、載置台
２の載置面と半導体ウエハＷの裏面との間に温調用ガ
ス、例えば、ヘリウムを供給するための温調用ガス流路
９が設けられている。この温調用ガス流路９は、載置台
２内に温調用ガスを一旦溜めるガス溜め部９ａと、この
ガス溜め部９ａから半導体ウエハＷの裏面に向けてガス
を供給する複数のガス吐出用細孔部９ｂ、及びガス溜め
部９ａに外部から温調用ガスを供給するためのガス導入
部９ｃとから構成されている。そして、このガス導入部
９ｃには、内部をガスが流通可能とされた通気性を有す
るセラミックス多孔体からなり、放電を防止するための
温調用ガス流路用の放電防止部材１０が設けられてい
る。

【００２８】また、フォーカスリング４の外側には、環
状に構成され、多数の排気孔が形成された排気リング１
１が設けられており、この排気リング１１を介して、排
気ポート１２に接続された排気系１３により、真空チャ
ンバ１内の処理空間の真空排気が行われるよう構成され
ている。

【００２９】一方、載置台２の上方の真空チャンバ１の
天壁部分には、シャワーヘッド１４が、載置台２と平行
に対向する如く設けられており、このシャワーヘッド１
４は接地されている。したがって、これらの載置台２お
よびシャワーヘッド１４は、一対の電極（下部電極と上
部電極）として機能するようになっている。

【００３０】上記シャワーヘッド１４は、その下面に多
数のガス吐出孔１５が設けられており、且つその上部に
ガス導入部１６を有している。そして、その内部にはガ
ス拡散用空隙１７が形成されている。ガス導入部１６に
はガス供給配管１８が接続されており、このガス供給配
管１８の他端には、エッチング用の処理ガスを供給する
処理ガス供給系１９が接続されている。

【００３１】そして、シャワーヘッド１４のガス拡散用
空隙１７内には、内部をガスが流通可能とされた通気性
を有するセラミックス多孔体からなり、放電を防止する
ための処理ガス流路用の放電防止部材２０が設けられて
いる。

【００３２】また、真空チャンバ１の外側周囲には、真
空チャンバ１と同心状に、環状の磁場形成機構（リング
磁石）２１が配置されており、載置台２とシャワーヘッ
ド１４との間の処理空間に磁場を形成するようになって
いる。この磁場形成機構２１は、回転機構２２によっ
て、その全体が、真空チャンバ１の回りを所定の回転速
度で回転可能とされている。

【００３３】上記のように構成されたエッチング装置に
よるエッチング手順について説明すると、まず、真空チ
ャンバ１に設けられた図示しないゲートバルブを開放
し、このゲートバルブに隣接して配置された図示しない
ロードロック室を介して、搬送機構等により半導体ウエ
ハＷを真空チャンバ１内に搬入し、載置台２上に載置す
る。そして、載置台２に設けられた図示しない静電チャ
ックを作動させて、半導体ウエハＷをクーロン力または
ジョンソンラーベック力により吸着する。

【００３４】この後、搬送機構を真空チャンバ１外へ退
避させ、ゲートバルブを閉じ、排気系１３の真空ポンプ
により排気ポート１２を通じて真空チャンバ１内を排気
する。

【００３５】真空チャンバ１内が所定の真空度になった
後、真空チャンバ１内には、処理ガス供給系１９から、
所定のエッチングガスが、所定流量で導入され、真空チ
ャンバ１内が所定の圧力、例えば１．３３Ｐａ〜１３３
Ｐａ（１０ｍＴｏｒｒ〜１０００ｍＴｏｒｒ）に保持さ
れる。

【００３６】そして、この状態で高周波電源７から、載
置台２に、所定周波数（例えば１３．５６ＭＨｚ）の高
周波電力を供給する。また、このようなプラズマ発生用
の高周波電力に加えて、載置台２には必要に応じてイオ
ン引き込み用の高周波電力が供給される。このような高
周波電力は、一般にプラズマ発生用の高周波電力より周
波数の低い高周波電力が使用され、この場合、載置台２
には２種類の周波数の高周波電力が供給される。

【００３７】上記のように下部電極である載置台２に高
周波電力が印加されることにより、上部電極であるシャ
ワーヘッド１４と下部電極である載置台２との間の処理
空間には高周波電界が形成されるとともに、磁場形成機
構２１による磁場が形成され、この状態でプラズマによ
るエッチングが行われる。

【００３８】そして、所定のエッチング処理が実行され
ると、高周波電源７からの高周波電力の供給を停止する
ことによって、エッチング処理を停止し、上述した手順
とは逆の手順で、半導体ウエハＷを真空チャンバ１外に
搬出する。

【００３９】以上のとおり、本実施形態に係るプラズマ
エッチング装置においては、温調用ガス流路であるガス
導入部９ｃに、温調用ガス流路用の放電防止部材１０が
設けられており、処理ガス用ガス流路であるガス拡散用
空隙１７内に処理ガス流路用の放電防止部材２０が設け
られている。さらに、真空断熱空間８内にも、真空断熱
空間用の放電防止部材３０が設けられている。

【００４０】これらのうち、処理ガス流路用の放電防止
部材２０は、全体が略円板状となるように形成されてい
る。

【００４１】処理ガス流路用の放電防止部材２０は、図
２に示すように、略円板状に形成された通気性を有する
セラミックス多孔体２０ａと、このセラミックス多孔体
２０ａの周囲を囲むように配置され、アルミナ、窒化ア
ルミナ、窒化珪素などのセラミックスから環状に形成さ
れた支持部材２０ｂとから構成されている。この支持部
材２０ｂは、セラミックス多孔体２０ａと異なり、通気
率が低いことが好ましい。

【００４２】また、温調用ガス流路用の放電防止部材１
０及び真空断熱空間用の放電防止部材３０は、全体が略
円柱状となるように形成されている。温調用ガス流路用
の放電防止部材１０は、図３に示すように、略円柱状に
形成された通気性を有するセラミックス多孔体１０ａ
と、このセラミックス多孔体１０ａの周囲を囲むように
配置され、アルミナ、窒化アルミナ、窒化珪素などのセ
ラミックスから円筒状に形成された支持部材１０ｂとか
ら構成されている。この支持部材１０ｂは、セラミック
ス多孔体１０ａと異なり、通気率が低いことが好まし
い。なお、真空断熱空間用の放電防止部材３０も、上記
温調用ガス流路用の放電防止部材１０と同様な形状に構
成されている。

【００４３】このように、セラミックス多孔体１０ａ，
２０ａの周囲に支持部材１０ｂ，２０ｂを配置した構成
とすることにより、セラミックス多孔体１０ａ，２０ａ
の部分を直接触らずに取り扱うことができ、また、全体
の強度も高くなるので、取り扱いが容易になり、取り扱
いの際に、角部等がチッピングを起こしたり、セラミッ
クス多孔体１０ａ，２０ａから微小粒子が剥離して周囲
に散乱すること等を防止することができる。

【００４４】また、温調用ガス流路用の放電防止部材１
０の場合は、セラミックス多孔体１０ａの側面部からガ
スが漏れることを支持部材１０ｂによって防止すること
ができる。これによって、ガスの流量制御を精度良く行
うことができる。

【００４５】さらに、樹脂等の柔軟な部材、たとえば熱
収縮性を有するフッ素樹脂などを支持部材１０ｂとして
用いる、或いは支持部材１０ｂに設けることによって、
温調用ガス流路用の放電防止部材１０の側面部分と、ガ
ス流路との間の気密封止を容易に行うことが可能とな
り、これらの間からのガスの漏れも防止することができ
る。

【００４６】上記セラミックス多孔体１０ａ，２０ａ
は、気孔率が高く、気孔径が揃っていることが条件であ
り、気孔率は５０〜９０％、気孔径は１００〜１０００
μｍ、に設定されていることが好ましい。すなわち、気
孔率が５０％未満であったり、気孔径が１００μｍ未満
であると、著しく通気率が低下し、透過抵抗が増大する
うえ、異常放電マージンが小さく、プロセス条件によっ
て異常放電が発生する可能性があり、一方、気孔率が９
０％を超える、または気孔率が１０００μｍを超える
と、異常放電のマージンは拡大するが、多孔体の強度が
不足して好ましくない。

【００４７】また、セラミックス多孔体１０ａ，２０ａ
としては、泡状微細気孔を内包する構造を有し、隣接す
る泡状微細気孔同士が連通している多孔質焼結体が好ま
しく、東芝セラミックス株式会社製の泡セラミックス
（商品名）が適用できる。この多孔質焼結体は、原料粉
末、硬化性成分（たとえばエポキシ樹脂）、および気泡
材を含有する気泡保持スラリーを作製し、このスラリー
に硬化剤（たとえばアミン系化合物）を添加して撹拌し
た後、成形型に流し込んで成形体を形成し、そして、成
形体を約１６５０℃で焼成することによって製造するこ
とができる。また、セラミックス原料としては、アルミ
ナ、ムライト、コージェライト、シリカ、ジルコニア、
炭化珪素、窒化珪素、水酸化アパタイト等のセラミック
ス原料粉末を使用することができるが、アルミナ、或い
は炭化珪素を用いることが好ましく、さらには、高純度
アルミナを用いることが好ましい。

【００４８】上記製法によれば、気孔率はスラリー中へ
の気体導入量を調整することによって製造段階で制御す
ることができ、また、気孔径は、気泡材の種類や濃度、
スラリー粘度、硬化剤を添加してからスラリーが流動性
を失うまでの時間、等を調整することにより、製造段階
で制御することができる。

【００４９】したがって、セラミックス多孔体１０ａ，
２０ａは、必要とされる通気性の程度等により、最適な
気孔率、気孔径となるように製造することができ、例え
ば、気孔率、気孔径を変更することによって、全体的な
大きさを変えることなく、通気性等を変更することがで
きる。すなわち、装置によって、処理ガスや温調用ガス
の流量特性が異なる場合があるが、このセラミックス多
孔体１０ａ及び２０ａによれば、全体のボリュームを変
化させることなく、気孔率及び気孔径を調節して、流量
特性を制御することができるので、セラミックス多孔体
１０ａ及び２０ａを保護する支持部材１０ｂ及び２０
ｂ、温調用ガス流路９及び拡散用空隙１７、またはそれ
らに関連する部品の寸法を統一して、部品の共用化を図
ることができる。そして、流量特性を装置毎に設定し、
異常放電マージンを拡大して、装置の耐圧を飛躍的に向
上させることができる。

【００５０】上記構成の処理ガス流路用の放電防止部材
２０により、真空チャンバ内に生起されたプラズマが、
ガス吐出孔１５を通ってガス拡散用空隙１７内に侵入し
てガス拡散用空隙１７内でプラズマに起因する不所望な
異常放電が発生することを防止することができる。

【００５１】すなわち、プラズマ中の高エネルギー粒子
がガス吐出孔１５を通ってセラミックス多孔体２０ａ内
に侵入すると、セラミックス多孔体２０ａ内で衝突を繰
り返すことによってエネルギーが減衰するため、この粒
子がガス拡散用空隙１７内に到達したとしても、エネル
ギーが減衰しているために、放電を起こすには至らな
い。

【００５２】また、セラミックス多孔体２０ａの有する
インダクタンスによって、ガス拡散用空隙１７内におけ
る処理ガスの拡散を促進させることができるとともに、
ガス拡散用空隙１７内の圧力が上昇することによって、
放電が起こり難い圧力領域とすることができる。

【００５３】これによって、異常放電によって高周波電
源７から印加した電力（パワー）の損失が生じることを
防止することができ、所望の電力（パワー）で所望の処
理を施すことができる。また、異常放電によってプラズ
マが不安定になったり、放電により各部品が損傷を受け
ることも防止することができる。

【００５４】なお、図１に示された放電防止部材２０
は、ガス拡散用空隙１７内の一部を占める大きさ（厚
さ）とされているが、ガス拡散用空隙１７内の全空間を
占めるような大きさ（厚さ）の放電防止部材２０を用い
ることもできる。但しこの場合は、気孔率の高いセラミ
ックス多孔体２０ａを用いることが必要となる。また、
ガス吐出孔１５は、内部の流れが粘性流となり、シース
を保持し得る穴径とされている。

【００５５】図４は、ガス拡散用空隙１７内に上記放電
防止部材２０を設けた場合と、設けない場合のガス拡散
用空隙１７内における異常放電発生の有無の相違を調べ
た結果を示すものである。なお、印加電力は、４０ＭＨ
ｚと３．２ＭＨｚの２種の周波数の高周波電力であり、
これらの印加電力を変えて異常放電が発生するか否かを
放電モニターによって検知した。また、行ったプロセス
は、ＳｉＮのエッチングプロセスであり、圧力は５．５
９Ｐａ（４２ｍＴｏｒｒ）、ガス種及びガス流量は、Ｃ
Ｈ₂Ｆ₂／ＣＯ／Ｏ₂＝５０／１００／８ｓｃｃｍ、処
理時間は６０秒である。

【００５６】同図に示されるとおり、放電防止部材２０
を設けない場合（図中左側の「無し」の欄）は、印加電
力（パワー）を増大させるとガス拡散用空隙１７内にお
ける異常放電が発生する（図中×印で示してある）が、
ガス拡散用空隙１７内に放電防止部材２０を設けた場合
（図中右側の「有り」の欄）は、同じ印加電圧としても
ガス拡散用空隙１７内における異常放電が発生しなかっ
た（図中円印で示してある）。

【００５７】また、上記構成の温調用ガス流路用の放電
防止部材１０により、ガス導入部９ｃ内において、高周
波電力が印加された載置台２に向けて外部から電子等の
荷電粒子が加速されて侵入して来ることを防止すること
ができ、かかる荷電粒子に起因してガス導入部９ｃ内で
不所望な異常放電が発生することを防止することができ
る。すなわち、ガス導入部９ｃ内における荷電粒子が、
電離衝突を起こすのに必要なエネルギーを持たないよう
にすることができ、これによって異常放電が発生するこ
とを防止することができる。

【００５８】なお、ガス導入部９ｃ内で異常放電が発生
した場合も、異常放電によって高周波電源７から印加し
た電力（パワー）の損失が生じ、所望の処理が行えなく
なってしまうとともに、プラズマが不安定になる、放電
により各部品が損傷を受ける等の問題が生じる。

【００５９】さらに、真空断熱空間用の放電防止部材３
０により、真空断熱空間８内で、残留したガス分子等に
起因した不所望な異常放電が発生することを防止するこ
とができる。

【００６０】以上のとおり、本実施形態では、処理ガス
を真空チャンバ１内に導入するための処理ガス流路に設
けられた処理ガス流路用の放電防止部材２０により、処
理ガス流路内で不所望な異常放電が発生することを防止
することができ、さらに、温調用ガスを真空チャンバ１
内に導入するための温調用ガス流路に設けられた温調用
ガス流路用の放電防止部材１０により、温調用ガス流路
内で不所望な異常放電が発生することを防止することが
できる。さらにまた、真空断熱空間８内に設けられた真
空断熱空間用の放電防止部材３０により、真空断熱空間
８内で不所望な異常放電が発生することを防止すること
ができる。すなわち、電位差を持った面で囲まれた領域
からなり、放電が起こり得る空間内に、内部をガスが流
通可能とされた通気性を有するセラミックス多孔体から
なる放電防止部材を設けることによって、かかる空間内
において異常放電が発生することを防止することができ
る。

【００６１】なお、上記実施形態では、本発明を処理ガ
ス流路と温調用ガス流路と真空断熱空間に適用した場合
について説明したが、その他のガス流路や空間等につい
ても同様にして適用することができることは勿論であ
る。

【００６２】また、上述した実施形態では、本発明を、
下部電極にのみ高周波電力を供給するタイプのエッチン
グ装置に適用した例について説明したが、本発明はかか
る場合に限定されるものではなく、例えば、上部電極と
下部電極の双方に高周波電力を供給するタイプのエッチ
ング装置や、成膜を行うプラズマ処理装置等、あらゆる
プラズマ処理装置に適用することができる。

【００６３】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明のプラズマ
処理装置によれば、ガス流路や真空断熱用空間等の空間
内で発生する異常放電を従来に比べて大幅に削減するこ
とができ、良好なプラズマ処理を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態のプラズマ処理装置の概略
構成を模式的に示す図。

【図２】図１のプラズマ処理装置の要部概略構成を示す
図。

【図３】図１のプラズマ処理装置の要部概略構成を示す
図。

【図４】放電の有無を調べた結果を示す図。

【符号の説明】

Ｗ……半導体ウエハ、１……真空チャンバ、２……載置
台、８……真空断熱空間、９……温調用ガス流路、９…
…温調用ガス流路用の放電防止部材、１４……シャワー
ヘッド、１５……ガス吐出孔、１７……ガス拡散用空
隙、２０……処理ガス流路用の放電防止部材、３０……
真空断熱空間用の放電防止部材。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4K030 DA03 DA04 FA01 KA20 KA43 KA46 LA11 5F004 AA16 BA04 BA06 BB13 BB22 BC08 DA00 DA15 DA26 DB07 5F045 AA08 BB08 BB15 EC08 EF05 EH04 EH14 EM02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理基板を収容してプラズマ処理する
ための真空チャンバと、前記真空チャンバ内にプラズマを発生させるための機構
と、放電が起こり得る空間に設けられ、内部をガスが流通可
能とされた通気性を有するセラミックス多孔体からなり
当該空間内における放電を防止するための放電防止部材
とを具備したことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】請求項１記載のプラズマ処理装置におい
て、前記空間が、電位差を持った面で囲まれた領域であるこ
とを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項３】請求項１又は２記載のプラズマ処理装置
において、前記空間が、前記真空チャンバ内に設けられた上部電極
を介して前記真空チャンバ内に処理ガスを供給するため
の処理ガス拡散空隙であることを特徴とするプラズマ処
理装置。
【請求項４】請求項１又は２記載のプラズマ処理装置
において、前記空間が、前記被処理基板が載置される載置台を介し
て前記被処理基板の裏面側に温調用のガスを供給するた
めのガス導入部であることを特徴とするプラズマ処理装
置。
【請求項５】請求項１又は２記載のプラズマ処理装置
において、前記空間が、前記被処理基板が載置される載置台と当該
載置台を支持する支持部材との間に設けられて、前記載
置台を断熱するための真空断熱部であることを特徴とす
るプラズマ処理装置。
【請求項６】請求項１〜５いずれか１項記載のプラズ
マ処理装置において、前記放電防止部材は、気孔率５０〜９０％、気孔径１０
０〜１０００μｍ、に設定されていることを特徴とする
プラズマ処理装置。
【請求項７】請求項１〜６いずれか１項記載のプラズ
マ処理装置において、前記放電防止部材は、泡状微細気孔を内包する構造を有
してなることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項８】請求項１〜７いずれか１項記載のプラズ
マ処理装置において、前記放電防止部材が、前記セラミックス多孔体と、この
セラミックス多孔体の周囲に設けられる支持部材とから
構成されていることを特徴とするプラズマ処理装置。