JP7175773B2 - 試料保持具 - Google Patents
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Description
1a 上面
1b 下面
1c ガス孔
1d 凹部
2 支持体
2a 上面
2b 下面
2c 貫通孔
2d 貫通孔内周面
3 筒状部材
3a 上端
3b 円周段部
3c 外周面
4 多孔質部材
5 第1接合材
6 第2接合材
10,20,30,40 試料保持具
H ガス供給孔
Claims (6)
- 板状であって、上面から下面まで貫通するガス孔を有する基体と、
前記ガス孔に連続する貫通孔を有し、前記基体の前記下面に接合された金属製の支持体と、
前記貫通孔の内部に位置し、前記ガス孔に連続する筒状部材と、
該筒状部材の内側に位置する多孔質部材と、を備えており、
該多孔質部材の全体が、前記筒状部材の、前記下面に臨む開口面よりも下方に位置していることを特徴とする試料保持具。 - 前記支持体は、第1接合材により、前記基体の前記下面に接合されており、
前記筒状部材の前記開口面側の端面は、前記基体の前記下面に当接することを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。 - 前記支持体は、第1接合材により、前記基体の前記下面に接合されており、
前記基体は、前記下面に凹部を有し、
前記筒状部材の前記開口面側の端面は、前記凹部の底面に当接することを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。 - 前記筒状部材の外周面は、第2接合材によって前記凹部の前記底面に接合されており、
前記第2接合材は、耐プラズマ性の部材であることを特徴とする請求項3に記載の試料保持具。 - 前記筒状部材の外周面は、第2接合材によって前記凹部の内周面に接合されており、
前記第2接合材は、前記第1接合材よりも弾性率が小さいことを特徴とする請求項3に記載の試料保持具。 - 前記多孔質部材と前記筒状部材の内周面とを接合する第3接合材を、さらに備えており、
該第3接合材は、前記多孔質部材および前記筒状部材の内周面によって覆われていることを特徴とする請求項1~5のいずれか1つに記載の試料保持具。
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Family Applications (1)
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Citations (5)
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-
2019
- 2019-01-07 JP JP2019000752A patent/JP7175773B2/ja active Active
Patent Citations (5)
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