KR20220124252A

KR20220124252A - 접합체, 유지 장치, 및 정전 척

Info

Publication number: KR20220124252A
Application number: KR1020227027559A
Authority: KR
Inventors: 오사무 요시모토; 류이치 아라카와; 도모오 다나카
Original assignee: 니뽄 도쿠슈 도교 가부시키가이샤
Priority date: 2020-08-21
Filing date: 2021-06-25
Publication date: 2022-09-13
Also published as: TW202226438A; US20230303457A1; WO2022038898A1; JP7300069B2; CN115066408A; TWI798730B; JPWO2022038898A1; CN115066408B

Abstract

서로 연통되는 복수의 구멍을 갖는 금속층을 포함하는 접합부를 개재하여 제 1 부재와 제 2 부재가 접합된 접합체는, 제 1 부재와 금속층에는, 서로 연통되는 관통 구멍이 각각 형성되어 있고, 금속층에 형성된 관통 구멍의 내측과 금속층의 내부의 사이에 통형상 부재가 배치되어 있다.

Description

접합체, 유지 장치, 및 정전 척

본 발명은, 접합체, 유지 장치, 및 정전 척에 관한 것이다.

종래부터 2 개의 부재가 접합된 접합체가 알려져 있다. 일반적으로 웨이퍼를 유지하는 유지 장치는, 웨이퍼가 재치 (載置) 되는 재치면을 구비하는 세라믹 부재와, 웨이퍼를 냉각시키는 금속 부재와, 세라믹 부재와 금속 부재를 접합하는 접합부를 구비한 접합체를 갖고 있다 (예를 들어, 특허문헌 1).

일본 특허공보 제3485390호

접합체의 접합부에는, 세라믹 부재와 금속 부재의 열팽창 차이에 의한 응력을 완화시키기 위해서, 금속층이 배치되는 경우가 있다. 이 금속층에, 유체가 흐르는 관통 구멍이 형성되면, 관통 구멍의 유체가 관통 구멍의 내측으로부터 금속층의 내부에 새어 나오거나, 유지 장치의 외측의 유체가 금속층의 구멍을 통해서 관통 구멍에 유입되거나 할 우려가 있었다. 또, 금속층의 파편 등이 관통 구멍에 떨어질 우려가 있었다.

본 발명은, 관통 구멍이 형성되어 있는 금속층을 구비하는 접합체에 있어서, 관통 구멍의 내측과 금속층의 내부의 사이에 있어서의 유체의 이동을 규제하면서, 금속층의 파편이 관통 구멍에 떨어지는 것을 억제하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은, 상기 서술한 과제 중 적어도 일부를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 이하의 형태로서 실현하는 것이 가능하다.

(1) 본 발명의 일 형태에 의하면, 서로 연통되는 복수의 구멍을 갖는 금속층을 포함하는 접합부를 개재하여 제 1 부재와 제 2 부재가 접합된 접합체가 제공된다. 이 접합체는, 상기 제 1 부재와 상기 금속층에는, 서로 연통되는 관통 구멍이 각각 형성되어 있고, 상기 금속층에 형성된 관통 구멍의 내측과 상기 금속층의 내부의 사이에 통형상 부재가 배치되어 있다.

이 구성에 의하면, 접합부에 포함되는 금속층은, 서로 연통되는 복수의 구멍을 갖고 있고, 금속층에는, 제 1 부재에 형성된 관통 구멍에 연통되는 관통 구멍이 형성되어 있다. 이 금속층의 관통 구멍의 내측과 금속층의 내부의 사이에는, 통형상 부재가 배치되어 있다. 이로써, 관통 구멍의 내측에 유체가 흐를 때, 통형상 부재에 의해 유체가 금속층의 내부에 새어 나오는 것을 억제할 수 있다. 또, 통형상 부재에 의해 금속층의 복수의 구멍으로부터 관통 구멍의 내측에 유체가 유입되기 어려워져, 관통 구멍의 외부의 유체가 관통 구멍에 유입되는 것을 억제할 수 있다. 또, 금속층의 파편 등이 통형상 부재에 의해 관통 구멍에 떨어지는 것을 억제할 수 있다.

(2) 상기 형태의 접합체에 있어서, 상기 제 2 부재에는, 상기 제 1 부재와 상기 금속층에 각각 형성된 관통 구멍과 연통되는 관통 구멍이 형성되어 있어도 된다. 이 구성에 의하면, 제 1 부재와 금속층에 각각 형성된 관통 구멍과 제 2 부재에 형성된 관통 구멍은 연통되어 있다. 금속층에 형성된 관통 구멍에서는, 관통 구멍의 유체가 금속층에 새어 나오거나, 금속층의 내부의 유체가 관통 구멍에 유입되거나 하는 것이 통형상 부재에 의해 억제되기 때문에, 제 1 부재의 관통 구멍을 흐르는 유체의 유량에 대한 제 2 부재의 관통 구멍을 흐르는 유체의 유량 변화는 작아진다. 이로써, 접합체를 사이에 두고 제 1 부재측으로부터 제 2 부재측, 또는 제 2 부재측으로부터 제 1 부재측에 안정적으로 유체를 공급할 수 있다.

(3) 상기 형태의 접합체에 있어서, 상기 통형상 부재의 일방의 단부는, 상기 제 1 부재에 형성된 관통 구멍의 내측에 배치되고, 상기 통형상 부재의 타방의 단부는, 상기 제 2 부재에 형성된 관통 구멍의 내측에 배치되어도 된다. 이 구성에 의하면, 통형상 부재는, 일방의 단부가 제 1 부재의 관통 구멍의 내측에 배치되고, 타방의 단부가 제 2 부재의 관통 구멍의 내측에 배치된다. 이로써, 접합부에 의해 제 1 부재와 제 2 부재를 접합할 때나 접합체를 고온에서 사용할 때에 발생하는 열응력에 의해 통형상 부재가 제 1 부재나 제 2 부재로부터 멀어지는 것이 억제된다. 따라서, 관통 구멍의 내측과 금속층의 내부의 사이에 있어서의 유체의 이동을 더욱 규제하면서, 금속층의 파편이 관통 구멍에 떨어지는 것을 더욱 억제할 수 있다.

(4) 상기 형태의 접합체에 있어서, 상기 통형상 부재의 외주에는, 둘레 방향에 걸쳐서 벨로우즈부가 형성되어 있어도 된다. 이 구성에 의하면, 통형상 부재의 외주에는, 둘레 방향에 걸쳐서 벨로우즈부가 형성되어 있다. 이로써, 예를 들어, 제 1 부재와 제 2 부재가 열팽창률이 상이한 재료로 형성되어 있는 경우에 제 1 부재와 제 2 부재를 접합할 때나 접합체를 고온에서 사용할 때, 열팽창 차이에 의해 발생하는 응력의 크기에 따라 벨로우즈부가 변형된다. 벨로우즈부가 변형되면, 제 1 부재와 제 2 부재의 접합 계면이나 응력에 비교적 약한 부재에서의 잔류 응력을 완화시킬 수 있다. 따라서, 접합체의 파손을 억제할 수 있다.

(5) 상기 형태의 접합체에 있어서, 상기 통형상 부재는, 상기 금속층과 동일한 재료로 형성되어도 된다. 이 구성에 의하면, 통형상 부재는, 금속층과 동일한 재료로 형성되어 있다. 이로써, 접합부는, 통형상 부재 및 금속층의 재료와 브레이징재의 재료의 2 종류의 재료로 형성되기 때문에, 통형상 부재와 금속층과 브레이징재가 각각의 재료로 형성되는 경우에 비해서, 접합부의 조성이 부위에 관계없이 균일해진다. 따라서, 접합부에 있어서 부위에 따른 열응력의 차이가 잘 발생하지 않게 되어, 접합체의 파손을 더욱 억제할 수 있다.

(6) 상기 형태의 접합체에 있어서, 상기 통형상 부재의 축선 방향에 수직인 단면은, 원 형상이어도 된다. 이 구성에 의하면, 통형상 부재는, 축선 방향에 수직인 단면이, 원 형상이 되도록 형성되어 있다. 이로써, 통형상 부재는, 축선에 교차되는 방향에서부터 작용하는 힘에 의해 변형되기 어려워지기 때문에, 관통 구멍과 금속층의 사이에서의 유체의 이동이나 관통 구멍에 대한 금속층의 파편의 낙하를 더욱 억제할 수 있다.

(7) 본 발명의 다른 형태에 의하면, 유지 장치가 제공된다. 이 유지 장치는, 상기 접합체를 구비하고, 상기 제 2 부재는, 유지 대상물이 재치되는 재치면을 구비한다. 이 구성에 의하면, 예를 들어, 제 1 부재와 금속층에 각각 형성된 관통 구멍과 제 2 부재의 관통 구멍이 연통되어 있는 경우, 이들 관통 구멍을 흐르는 유체의 유량 변화가 억제되기 때문에, 유지 대상물과 재치면의 사이에 유체를 안정적으로 공급할 수 있다. 또, 관통 구멍에 대한 금속층의 파편의 낙하가 억제되기 때문에, 금속층의 파편에 의한 유지 대상물의 오염을 억제할 수 있다. 이로써, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

(8) 본 발명의 또 다른 형태에 의하면, 정전 척이 제공된다. 이 정전 척은, 상기 유지 장치를 구비하고, 상기 제 2 부재는, 내부에 정전 흡착 전극을 갖는다. 이 구성에 의하면, 접합체에는, 재치면에 유체를 공급하는 관통 구멍이 형성되어 있다. 상기 유지 장치에서는, 금속층의 관통 구멍의 내측과 금속층의 내부의 사이에 배치되어 있는 통형상 부재에 의해, 관통 구멍에 대한 접합재의 새어 나옴에 의한 관통 구멍의 폐색을 억제할 수 있다. 이로써, 관통 구멍에 대한 금속층의 파편의 낙하가 억제되기 때문에, 금속층의 파편에 의한 오염을 억제할 수 있다. 따라서, 정전 척을 사용하여 제조되는 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

또한, 본 발명은, 여러 가지 양태로 실현하는 것이 가능하며, 예를 들어, 접합체를 포함하는 장치, 접합체 및 유지 장치의 제조 방법 등의 형태로 실현할 수 있다.

도 1 은, 제 1 실시형태의 정전 척의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 정전 척의 전체 단면도이다.
도 3 은, 정전 척의 부분 단면도이다.
도 4 는, 통형상 부재를 설명하는 제 1 도면이다.
도 5 는, 통형상 부재를 설명하는 제 2 도면이다.
도 6 은, 비교예의 정전 척의 단면도이다.
도 7 은, 제 2 실시형태의 정전 척의 단면도이다.
도 8 은, 정전 척의 확대 단면도이다.
도 9 는, 제 3 실시형태의 정전 척의 단면도이다.
도 10 은, 정전 척의 확대 단면도이다.
도 11 은, 제 3 실시형태의 정전 척의 변형예의 단면도이다.

＜제 1 실시형태＞

도 1 은, 제 1 실시형태의 정전 척 (1) 의 외관을 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 정전 척 (1) 의 전체 단면도이다. 도 3 은, 정전 척 (1) 의 부분 단면도이다. 제 1 실시형태의 정전 척 (1) 은, 웨이퍼 (W) 를 정전 인력에 의해 흡착함으로써 유지하는 유지 장치이고, 예를 들어 에칭 장치에 구비된다. 정전 척 (1) 은, 세라믹 부재 (10) 와 전극 단자 (15) 와 리프트 핀 (18) 과 금속 부재 (20) 와 접합부 (30) 를 구비한다. 정전 척 (1) 에서는, z 축 방향 (상하 방향) 에, 세라믹 부재 (10), 접합부 (30), 금속 부재 (20) 의 순서로 적층되어 있다. 정전 척 (1) 에 있어서, 세라믹 부재 (10) 와 접합부 (30) 와 금속 부재 (20) 로 이루어지는 접합체 (1a) 는, 대략 원 형상의 기둥상체로 되어 있다. 세라믹 부재 (10) 는, 청구범위의 「제 2 부재」에 해당한다. 금속 부재 (20) 는, 청구범위의 「제 1 부재」에 해당한다. 웨이퍼 (W) 는, 청구범위의 「유지 대상물」에 해당한다.

세라믹 부재 (10) 는, 대략 원 형상의 판상 부재이고, 알루미나 (Al₂O₃) 에 의해 형성되어 있다. 세라믹 부재 (10) 의 직경은, 예를 들어 50 ㎜ ∼ 500 ㎜ 정도 (통상적으로는 200 ㎜ ∼ 350 ㎜ 정도) 이며, 세라믹 부재 (10) 의 두께는, 예를 들어 1 ㎜ ∼ 10 ㎜ 정도이다. 세라믹 부재 (10) 는, 1 쌍의 주면 (11, 12) 을 갖는다. 1 쌍의 주면 (11, 12) 중 일방의 주면 (11) 에는, 웨이퍼 (W) 가 재치되는 재치면 (13) 이 형성된다. 재치면 (13) 에 재치되는 웨이퍼 (W) 는, 세라믹 부재 (10) 의 내부에 배치되어 있는 정전 흡착 전극 (100) (도 2 및 도 3 참조) 이 발생시키는 정전 인력에 의해 재치면 (13) 에 흡착 고정된다. 타방의 주면 (12) 에는, 오목부 (14) 가 형성된다. 오목부 (14) 에는, 도시되지 않은 전원으로부터의 전력을 정전 흡착 전극 (100) 에 공급하는 전극 단자 (15) 의 단부 (15a) 가 배치된다. 또한, 세라믹 부재 (10) 를 형성하는 세라믹은, 질화알루미늄 (AlN), 지르코니아 (ZrO₂), 질화규소 (Si₃N₄), 탄화규소 (SiC), 이트리아 (Y₂O₃) 등이어도 된다.

세라믹 부재 (10) 에는, 2 개의 관통 구멍 (16, 17) 이 형성된다. 관통 구멍 (16) 은, z 축 방향으로 세라믹 부재 (10) 를 관통하고 있으며, 리프트 핀 (18) 이 삽입된다. 관통 구멍 (17) 은, 재치면 (13) 에 웨이퍼 (W) 가 재치되어 있을 때에, 재치면 (13) 과 웨이퍼 (W) 의 사이에 공급되는 헬륨 가스가 흐르는 유로가 된다.

금속 부재 (20) 는, 스테인리스강에 의해 형성되는 대략 원형 평면상의 판상 부재이고, 1 쌍의 주면 (21, 22) 을 갖는다. 금속 부재 (20) 의 직경은, 예를 들어 220 ㎜ ∼ 550 ㎜ 정도 (통상적으로는 220 ㎜ ∼ 350 ㎜) 이며, 금속 부재 (20) 의 두께는, 예를 들어 20 ㎜ ∼ 40 ㎜ 정도이다. 금속 부재 (20) 의 내부에는, 냉매 유로 (200) 가 형성되어 있다 (도 2 참조). 냉매 유로 (200) 에, 예를 들어 불소계 불활성 액체나 물 등의 냉매가 흐르면, 접합부 (30) 를 개재하여 세라믹 부재 (10) 가 냉각되고, 세라믹 부재 (10) 에 재치된 웨이퍼 (W) 가 냉각된다. 또한, 금속 부재 (20) 를 형성하는 금속의 종류는, 구리 (Cu), 알루미늄 (Al), 알루미늄 합금, 티탄 (Ti), 티탄 합금 등이어도 된다.

금속 부재 (20) 에는, 3 개의 관통 구멍 (23, 24, 25) 이 형성된다. 3 개의 관통 구멍 (23, 24, 25) 의 각각은, 도 3 에 나타내는 바와 같이, z 축 방향으로 세라믹 부재 (10) 를 관통하고 있다. 관통 구멍 (23) 에는, 전극 단자 (15) 가 삽입 통과된다. 관통 구멍 (24) 에는, 리프트 핀 (18) 이 삽입된다. 관통 구멍 (25) 은, 재치면 (13) 에 웨이퍼 (W) 가 재치되어 있을 때에, 재치면 (13) 과 웨이퍼 (W) 의 사이에 공급되는 헬륨 가스가 흐르는 유로가 된다.

접합부 (30) 는, 금속층 (31) 과 통형상 부재 (32) 와 브레이징재 (33) 를 구비하고 있고, 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 를 접합한다. 금속층 (31) 은, 대략 원형 평면상의 판상 부재이고, 서로 연통되는 복수의 구멍을 갖는 다공질체이다. 본 실시형태에서는, 금속층 (31) 은, 티탄 (Ti) 을 포함하는 금속 섬유로 형성되는 펠트이고, 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 의 사이에 배치되어 있다. 또한, 금속층 (31) 은, 금속 섬유로 형성되는 펠트에 한정되지 않고, 포러스재나 망목 구조재여도 된다. 또, 금속층 (31) 을 형성하는 금속은, 니켈 (Ni), 알루미늄, 구리, 진유, 이것들의 합금, 또는 스테인리스강 등으로 형성되어도 된다.

금속층 (31) 에는, 3 개의 관통 구멍 (31a, 31b, 31c) 이 형성되어 있다. 관통 구멍 (31a) 은, 세라믹 부재 (10) 의 오목부 (14) 와 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (23) 을 연통시킨다. 관통 구멍 (31b) 은, 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (16) 과 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (24) 을 연통시킨다. 관통 구멍 (31c) 은, 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (17) 과 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (25) 을 연통시킨다. 즉, 금속 부재 (20) 와 금속층 (31) 에는, 서로 연통되는 관통 구멍 (23, 25, 31a, 31c) 이 각각 형성되어 있고, 세라믹 부재 (10) 에는, 금속 부재 (20) 와 금속층 (31) 에 각각 형성된 관통 구멍 (25, 31c) 과 연통되는 관통 구멍 (17) 이 형성되어 있다.

통형상 부재 (32) 는, 원통 형상의 부재이고, 상하에 개구되며, 측면이 밀봉되어 있는 부재이다. 통형상 부재 (32) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 관통 구멍 (31a) 과 관통 구멍 (31c) 의 각각의 내측에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 통형상 부재 (32) 는, 금속층 (31) 과 동일한 재료의 티탄을 포함하는 금속으로 형성되어 있어, 고온 환경하에서 사용하기에 적합하다. 본 실시형태에서는, 통형상 부재 (32) 는, 높이가 0.5 ㎜ ∼ 2.0 ㎜ 이고, 외벽의 두께가 0.01 ㎜ ∼ 0.15 ㎜ 이다.

도 4 는, 통형상 부재 (32) 를 설명하는 제 1 도면으로, 도 3 의 A 부 확대도이다. 도 5 는, 통형상 부재 (32) 를 설명하는 제 2 도면으로, 통형상 부재 (32) 의 축선 (C32) 에 수직인 단면도이다. 통형상 부재 (32) 는, 2 개의 단부 (32a, 32b) 중 일방의 단부 (32a) 가, 금속 부재 (20) 의 일방의 주면 (21) 에 접촉되어 있고, 타방의 단부 (32b) 가, 세라믹 부재 (10) 의 타방의 주면 (12) 에 접촉되어 있다. 본 실시형태에서는, 일방의 단부 (32a) 와 금속 부재 (20) 의 일방의 주면 (21) 은 도시되지 않은 브레이징재에 의해 접합되어 있고, 타방의 단부 (32b) 와 세라믹 부재 (10) 의 타방의 주면 (12) 은 도시되지 않은 브레이징재에 의해 접합되어 있다. 본 실시형태에서는, 통형상 부재 (32) 의 축선 (C32) 방향에 수직인 단면은 원 형상이다 (도 5 참조).

관통 구멍 (31a) 의 내측에 배치되는 통형상 부재 (32) 는, 관통 구멍 (31a) 의 내측과 금속층 (31) 의 내부의 사이에 있어서의 유체의 이동을 규제한다. 이로써, 에칭 장치에 있어서 웨이퍼 (W) 를 가공할 때에 정전 척 (1) 의 외측에 체류하는 가공 가스 등이 금속층 (31) 을 개재하여 관통 구멍 (23, 31a) 이나 오목부 (14) 에 유입되기 어려워져, 금속층 (31) 을 형성하는 금속 섬유의 파편이 관통 구멍 (31a) 에 낙하되는 것이 억제된다.

관통 구멍 (31c) 의 내측에 배치되는 통형상 부재 (32) 는, 관통 구멍 (31c) 의 내측과 금속층 (31) 의 내부의 사이에 있어서의 유체의 이동을 규제한다. 이로써, 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (25) 과 금속층 (31) 의 관통 구멍 (31c) 과 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (17) 을 흐르는 헬륨 가스가 금속층 (31) 의 내부에 새어 나오는 것이 억제됨과 함께, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편이 관통 구멍 (31c) 에 낙하되는 것이 억제된다.

브레이징재 (33) 는, 은 (Ag) 계 브레이징재이고, 금속층 (31) 이 갖는 복수의 구멍에 비집고 들어가면서, 세라믹 부재 (10) 의 타방의 주면 (12) 과 금속 부재 (20) 의 일방의 주면 (21) 의 각각에 접합되어 있다. 또한, 브레이징재 (33) 는, 티탄 (Ti) 을 포함하는 브레이징재나, 땜납 등의 용가재 (溶加材), 실리콘계 수지나 아크릴계 수지, 에폭시계 수지 등의 접착재, 유리 페이스트 등의 무기계 접착재 등이어도 된다.

다음으로, 정전 척 (1) 의 제조 방법에 대해서 설명한다. 정전 척 (1) 의 제조 방법에서는, 최초로 관통 구멍 (23, 24, 25) 과 냉매 유로 (200) 가 형성되어 있는 금속 부재 (20) 의 일방의 주면 (21) 에 브레이징재 (33) 가 되는 금속박 (이하, 「금속 부재측의 금속박」이라고 한다) 을 배치한다. 다음으로, 관통 구멍 (31a, 31b, 31c) 이 형성되어 있는 금속층 (31) 을 금속 부재측의 금속박 위에 배치하고, 관통 구멍 (31a, 31c) 의 각각에 통형상 부재 (32) 를 삽입한다. 다음으로, 금속층 (31) 의 금속 부재 (20) 와는 반대측에, 브레이징재 (33) 가 되는 다른 금속박 (이하, 「세라믹 부재측의 금속박」이라고 한다) 을 배치한다. 이 세라믹 부재측의 금속박 위에 세라믹 부재 (10) 를 배치하고, 세라믹 부재측의 금속박을 사용하여 세라믹 부재 (10) 와 금속층 (31) 을 접합하고, 금속 부재측의 금속박을 사용하여 금속 부재 (20) 와 금속층 (31) 을 접합한다. 이로써, 접합체 (1a) 가 완성된다. 완성된 접합체 (1a) 에 전극 단자 (15) 나 리프트 핀 (18) 을 장착함으로써, 정전 척 (1) 이 완성된다.

도 6 은, 비교예의 정전 척 (5) 의 단면도이다. 다음으로, 본 실시형태의 정전 척 (1) 에 있어서의 통형상 부재 (32) 의 효과에 대해서, 비교예의 정전 척 (5) 과 비교하여 설명한다. 비교예의 정전 척 (5) 은, 접합부 (30) 의 관통 구멍 (31a, 31c) 의 내측에 통형상 부재가 배치되어 있지 않다.

비교예의 정전 척 (5) 을 사용하여, 웨이퍼 (W) 를 플라즈마에 의해 가공할 때, 정전 척 (5) 의 주위에는 가공 가스가 체류한다. 이 가공 가스는, 금속층 (31) 의 내부에 형성되어 있는 복수의 구멍을 통과하여 관통 구멍 (31a) 에 유입될 우려가 있다 (도 6 의 점선 화살표 F01 참조). 또, 이 때 가공 가스의 유입에 수반되어 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편이 관통 구멍 (31a) 에 떨어질 우려가 있다.

비교예의 정전 척 (5) 에서는, 웨이퍼 (W) 를 가공할 때, 재치면 (13) 과 웨이퍼 (W) 의 사이에는, 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (25) 과, 접합부 (30) 의 관통 구멍 (31c) 과, 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (17) 을 통해서 헬륨 가스가 공급된다. 비교예의 정전 척 (5) 에서는, 접합부 (30) 의 관통 구멍 (31c) 의 내측을 통과하는 헬륨 가스는, 관통 구멍 (31c) 으로부터 금속층 (31) 이 갖는 복수의 구멍에 새어 나오기 때문에 (도 6 의 점선 화살표 F02 참조), 관통 구멍 (31c) 을 흐르는 헬륨 가스의 유량이 감소될 우려가 있고, 재치면 (13) 과 웨이퍼 (W) 의 사이에 헬륨 가스를 안정적으로 공급하는 것이 어렵다. 또, 접합부 (30) 내의 잔류 가스가 관통 구멍 (31c) 에 유입될 우려가 있고, 이 잔류 가스의 관통 구멍 (31c) 에 대한 유입에 의해 웨이퍼 (W) 가 오염될 우려가 있다. 또한, 잔류 가스의 유입에 수반되어, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편이 관통 구멍 (31c) 에 떨어짐으로써 헬륨 가스와 함께 재치면 (13) 에 이동되고, 웨이퍼 (W) 에 부착됨으로써 웨이퍼 (W) 가 오염될 우려가 있다.

본 실시형태의 정전 척 (1) 에서는, 접합부 (30) 의 관통 구멍 (31a) 의 내측에 통형상 부재 (32) 가 배치되어 있다 (도 3 참조). 이로써, 정전 척 (1) 의 주위에 체류하는 가공 가스는, 관통 구멍 (31a) 의 내측에 배치되는 통형상 부재 (32) 에 의해 차단되기 때문에, 관통 구멍 (23, 31a) 이나 오목부 (14) 에 유입되기 어려워진다 (도 3 의 점선 화살표 F11 참조). 또, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편도, 통형상 부재 (32) 에 의해 관통 구멍 (23, 31a) 이나 오목부 (14) 에 들어가는 것이 억제된다.

본 실시형태의 정전 척 (1) 에서는, 접합부 (30) 의 관통 구멍 (31c) 의 내측에 통형상 부재 (32) 가 배치되어 있다 (도 3 참조). 이로써, 접합부 (30) 의 관통 구멍 (31c) 을 흐르는 헬륨 가스는, 관통 구멍 (31c) 에 있어서 금속층 (31) 의 내부에 새어 나오지 않고, 재치면 (13) 과 웨이퍼 (W) 의 사이에 안정적으로 공급되기 때문에 (도 3 의 점선 화살표 F12 참조), 재치면 (13) 과 웨이퍼 (W) 의 사이의 헬륨 가스 분위기를 안정시킬 수 있다. 또, 접합부 (30) 내의 잔류 가스가 관통 구멍 (31c) 에 유입되는 것이 억제되기 때문에, 웨이퍼 (W) 의 오염이 억제된다. 또한, 접합부 (30) 의 잔류 가스의 유입에 수반되어 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편이 관통 구멍 (31c) 에 떨어지는 것이 억제되기 때문에, 파편에 의해 웨이퍼 (W) 가 오염되는 것이 억제된다.

이상 설명한, 본 실시형태의 접합체 (1a) 에 의하면, 접합부 (30) 에 포함되는 금속층 (31) 은, 서로 연통되는 복수의 구멍을 갖고 있고, 금속층 (31) 에는, 금속 부재 (20) 에 형성된 관통 구멍 (23, 25) 의 각각에 연통되는 관통 구멍 (31a, 31c) 이 형성되어 있다. 이 금속층 (31) 의 관통 구멍 (31a, 31c) 의 각각 내측에는, 관통 구멍 (31a, 31c) 의 각각의 내측과 금속층 (31) 의 내부의 사이에 있어서의 기체의 이동을 규제하는 통형상 부재 (32) 가 배치되어 있다. 이로써, 관통 구멍 (31a) 의 내측에 배치되는 통형상 부재 (32) 는, 관통 구멍 (31a) 에 대한 웨이퍼 (W) 의 가공 가스의 유입을 억제하면서, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편의 관통 구멍 (31a) 에 대한 낙하를 억제할 수 있다. 또, 관통 구멍 (31c) 의 내측에 배치되는 통형상 부재 (32) 는, 관통 구멍 (31c) 을 흐르는 헬륨 가스의 금속층 (31) 의 내부에 대한 새어 나옴을 억제하면서, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편의 관통 구멍 (31a) 에 대한 낙하를 억제할 수 있다.

또, 본 실시형태의 접합체 (1a) 에 의하면, 금속 부재 (20) 와 금속층 (31) 에 각각 형성된 관통 구멍 (25, 31c) 과, 세라믹 부재 (10) 에 형성된 관통 구멍 (17) 은 연통되어 있다. 금속층 (31) 에 형성된 관통 구멍 (31c) 에서는, 관통 구멍 (31c) 을 흐르는 헬륨 가스가 금속층 (31) 에 새어 나오거나, 금속층 (31) 의 내부의 유체가 관통 구멍 (31c) 의 내측에 유입되거나 하는 것이 억제되기 때문에, 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (25) 을 흐르는 헬륨 가스의 유량에 대한 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (17) 을 흐르는 헬륨 가스의 유량 변화는 작아진다. 이로써, 접합체 (1a) 를 사이에 두고 금속 부재 (20) 측으로부터 세라믹 부재 (10) 측에 안정적으로 헬륨 가스를 공급할 수 있기 때문에, 웨이퍼 (W) 와 재치면 (13) 의 사이에 헬륨 가스를 안정적으로 공급할 수 있다.

또, 본 실시형태의 접합체 (1a) 에 의하면, 통형상 부재 (32) 는, 금속층 (31) 과 동일한 재료로 형성되어 있다. 이로써, 접합부 (30) 는, 금속층 (31) 및 통형상 부재 (32) 의 재료와 브레이징재 (33) 의 재료의 2 종류의 재료로 형성되기 때문에, 브레이징재와 금속층과 통형상 부재가 각각의 재료로 형성되는 경우에 비해서 접합부 (30) 의 조성이 부위에 관계없이 균일해진다. 따라서, 접합부 (30) 에 있어서 부위에 따른 열응력의 차이가 잘 발생하지 않게 되어, 접합체 (1a) 의 파손을 억제할 수 있다.

또, 본 실시형태의 접합체 (1a) 에 의하면, 통형상 부재 (32) 는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 축선 (C32) 방향에 수직인 단면이, 원 형상이 되도록 형성되어 있다. 이로써, 통형상 부재 (32) 는, 축선 (C32) 에 교차되는 방향에서부터 작용하는 힘에 의해 변형되기 어려워지기 때문에, 관통 구멍 (31a, 31c) 과 금속층 (31) 의 사이에서의 유체의 이동이나, 관통 구멍 (31a, 31c) 에 대한 금속층 (31) 의 파편의 낙하를 더욱 억제할 수 있다.

또, 본 실시형태의 정전 척 (1) 에 의하면, 예를 들어, 금속 부재 (20) 와 금속층 (31) 에 각각 형성된 관통 구멍 (25, 31c) 과, 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (17) 이 연통되어 있고, 관통 구멍 (31c) 을 흐르는 헬륨 가스의 유량 변화가 억제되기 때문에, 웨이퍼 (W) 와 재치면 (13) 의 사이의 헬륨 가스를 안정적으로 공급할 수 있다. 또, 관통 구멍 (31c) 에 대한 금속층 (31) 의 파편의 낙하가 억제되기 때문에, 금속층 (31) 의 파편에 의한 웨이퍼 (W) 의 오염을 억제할 수 있다. 이로써, 제품의 수율을 향상시킬 수 있다.

＜제 2 실시형태＞

도 7 은, 제 2 실시형태의 정전 척 (2) 의 단면도이다. 제 2 실시형태의 정전 척 (2) 은, 제 1 실시형태의 정전 척 (1) (도 3) 과 비교하면, 통형상 부재의 형상이 상이하다.

본 실시형태의 정전 척 (2) 은, 세라믹 부재 (10) 와 전극 단자 (15) 와 리프트 핀 (18) 과 금속 부재 (20) 와 접합부 (40) 를 구비한다. 접합부 (40) 는, 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 를 접합하고 있고, 금속층 (31) 과 통형상 부재 (42) 와 브레이징재 (33) 를 구비한다. 정전 척 (2) 에 있어서, 세라믹 부재 (10) 와 접합부 (40) 와 금속 부재 (20) 로 이루어지는 접합체 (2a) 는, 대략 원 형상의 기둥상체로 되어 있다.

통형상 부재 (42) 는, 대략 원통 형상의 부재이고, 상하에 개구되며, 측면이 밀봉되어 있는 부재이다. 통형상 부재 (42) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 관통 구멍 (31a) 과 관통 구멍 (31c) 의 각각의 내측에 배치되어 있다. 관통 구멍 (31a) 의 내측에 배치되어 있는 통형상 부재 (42) 는, 관통 구멍 (31a) 에 대한 웨이퍼 (W) 의 가공 가스의 유입을 억제하면서, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편의 관통 구멍 (31a) 에 대한 낙하를 억제한다. 관통 구멍 (31c) 의 내측에 배치되어 있는 통형상 부재 (42) 는, 관통 구멍 (31c) 을 흐르는 헬륨 가스의 금속층 (31) 의 내부에 대한 새어 나옴을 억제하면서, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편의 관통 구멍 (31a) 에 대한 낙하를 억제한다.

도 8 은, 정전 척 (2) 의 확대 단면도로서, 도 7 의 B 부 확대도이다. 통형상 부재 (42) 는, 2 개의 단부 (42a, 42b) 와 2 개의 단부 (42a, 42b) 를 접속하는 벨로우즈부 (42c) 를 갖는다. 일방의 단부 (42a) 는, 통형상 부재 (42) 의 z 축 방향의 마이너스측에 위치하고, 금속 부재 (20) 의 일방의 주면 (21) 에 접촉된다. 타방의 단부 (42b) 는, 통형상 부재 (42) 의 z 축 방향의 플러스측에 위치하고, 세라믹 부재 (10) 의 타방의 주면 (12) 에 접촉된다. 벨로우즈부 (42c) 는, 통형상 부재 (42) 의 외주에 있어서 둘레 방향에 걸쳐서 형성되어 있다. 벨로우즈부 (42c) 는, 일방의 단부 (42a) 의 위치와 타방의 단부 (42b) 의 위치의 관계에 따라 변형된다.

이상 설명한, 본 실시형태의 정전 척 (2) 에 의하면, 통형상 부재 (42) 의 외주에는, 둘레 방향에 걸쳐서 벨로우즈부 (42c) 가 형성되어 있다. 이로써, 예를 들어 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 를 접합할 때나, 정전 척 (2) 을 고온에서 사용할 때, 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 의 열팽창 차이에 의해 발생하는 응력의 크기에 따라 벨로우즈부 (42c) 가 변형된다. 벨로우즈부 (42c) 가 변형되면, 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 의 접합 계면이나 응력에 비교적 약한 세라믹 부재 (10) 의 잔류 응력을 완화시킬 수 있다. 따라서, 정전 척 (2) 의 파손을 억제할 수 있다.

＜제 3 실시형태＞

도 9 는, 제 3 실시형태의 정전 척 (3) 의 부분 단면도이다. 제 3 실시형태의 정전 척 (3) 은, 제 1 실시형태의 정전 척 (1) (도 3) 과 비교하면, 통형상 부재의 단부의 위치가 상이하다.

본 실시형태의 정전 척 (3) 은, 세라믹 부재 (10) 와 전극 단자 (15) 와 리프트 핀 (18) 과 금속 부재 (20) 와 접합부 (50) 를 구비한다. 접합부 (50) 는, 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 를 접합하고 있고, 금속층 (31) 과 통형상 부재 (52, 53) 와 브레이징재 (33) 를 구비한다. 정전 척 (3) 에 있어서, 세라믹 부재 (10) 와 접합부 (50) 와 금속 부재 (20) 로 이루어지는 접합체 (3a) 는, 대략 원 형상의 기둥상체로 되어 있다.

통형상 부재 (52) 는, 원통 형상의 부재이고, 상하에 개구되며, 측면이 밀봉되어 있는 부재로서, 금속층 (31) 의 관통 구멍 (31a) 의 내측에 배치되어 있다. 통형상 부재 (52) 는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 2 개의 단부 (52a, 52b) 중 일방의 단부 (52a) 가, 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (23) 의 내측에 배치되어 있다. 타방의 단부 (52b) 는, 세라믹 부재 (10) 의 타방의 주면 (12) 에 접촉되어 있다. 이로써, 금속 부재 (20) 와 통형상 부재 (52) 의 사이에는 간극이 형성되기 어려워지기 때문에, 관통 구멍 (31a) 에 대한 웨이퍼 (W) 의 가공 가스의 유입이 억제되어, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편의 관통 구멍 (31a) 에 대한 낙하가 억제된다. 또한, 통형상 부재 (52) 의 타방의 단부 (52b) 는, 세라믹 부재 (10) 의 타방의 주면 (12) 에 형성되는 홈 등에 배치되어 있어도 된다.

도 10 은, 정전 척 (3) 의 확대 단면도로서, 도 9 의 C 부 확대도이다. 통형상 부재 (53) 는, 원통 형상의 부재이고, 상하에 개구되며, 측면이 밀봉되어 있는 부재로서, 금속층 (31) 의 관통 구멍 (31c) 의 내측에 배치되어 있다. 통형상 부재 (53) 는, 2 개의 단부 (53a, 53b) 중 일방의 단부 (53a) 가, 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (25) 의 내측에 배치되어 있다. 타방의 단부 (53b) 는, 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (17) 의 내측에 배치되어 있다. 이것들에 의해, 세라믹 부재 (10) 및 금속 부재 (20) 와 통형상 부재 (53) 의 사이에는 간극이 형성되기 어려워지기 때문에, 관통 구멍 (31c) 을 흐르는 헬륨 가스의 금속층 (31) 의 내부에 대한 새어 나옴이 억제되어, 금속층 (31) 의 금속 섬유의 파편의 관통 구멍 (31a) 에 대한 낙하가 억제된다.

이상 설명한, 본 실시형태의 정전 척 (3) 에 의하면, 통형상 부재 (52) 는, 일방의 단부 (52a) 가 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (23) 의 내측에 배치되어 있다. 통형상 부재 (53) 는, 일방의 단부 (53a) 가 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (25) 의 내측에 배치되어 있고, 타방의 단부 (53b) 가 세라믹 부재 (10) 의 관통 구멍 (17) 의 내측에 배치되어 있다. 이로써, 접합부 (50) 에 의해 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 를 접합할 때나 정전 척 (3) 을 고온에서 사용할 때에 정전 척 (3) 의 내부에서 발생하는 열응력에 의해, 통형상 부재 (52, 53) 가 세라믹 부재 (10) 나 금속 부재 (20) 로부터 멀어지는 것이 억제된다. 따라서, 관통 구멍 (31c) 의 내측과 금속층 (31) 의 내부의 사이에 있어서의 유체의 이동을 더욱 규제하면서, 금속층 (31) 의 파편이 관통 구멍 (31c) 에 떨어지는 것을 더욱 억제할 수 있다.

＜본 실시형태의 변형예＞

본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 그 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 양태에서 실시하는 것이 가능하며, 예를 들어 다음과 같은 변형도 가능하다.

[변형예 1]

상기 서술한 실시형태에서는, 「접합체」는, 세라믹 부재 (10) 와 금속 부재 (20) 를 구비하는 것으로 하였다. 그러나, 「접합체」를 구성하는 부재의 조합은, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 세라믹 부재끼리 접합된 접합체여도 되고, 금속 부재끼리 접합된 접합체여도 된다. 또한, 세라믹 및 금속 이외의 다른 재료에 의해 형성되어도 된다. 예를 들어, 유리, 유리 에폭시, 열가소성 수지 및 열경화성 수지 등의 수지, 종이 페놀, 종이 에폭시, 유리 콤퍼짓, 이것들의 절연 부재를 표면에 형성한 금속 부재 등에 의해 형성해도 된다.

[변형예 2]

상기 서술한 실시형태에서는, 세라믹 부재 (10) 는, 접합부 (30) 의 관통 구멍 (31a) 에 연통되는 오목부 (14) 와, 관통 구멍 (31c) 에 연통되는 「제 2 부재의 관통 구멍」으로서의 관통 구멍 (17) 을 갖는 것으로 하였다. 그러나, 「제 2 부재」에는, 접합부의 관통 구멍에 연통되는 오목부 또는 「관통 구멍」중 어느 것이 형성되어 있어도 된다. 또, 오목부 및 관통 구멍이 형성되어 있지 않아도 되고, 관통 구멍이 복수 형성되어 있어도 된다.

[변형예 3]

상기 서술한 실시형태에서는, 통형상 부재는, 금속층과 동일한 재료의 티탄을 포함하는 금속으로 형성되는 것으로 하였다. 그러나, 통형상 부재를 형성하는 재료와 금속층을 형성하는 재료는 상이해도 되고, 티탄을 포함하는 금속에 한정되지 않는다. 티탄 이외의 금속이어도 되고, 알루미나, 질화알루미늄 등의 세라믹 재료여도 된다. 또, 통형상 부재는, 치밀체인 것이 바람직하다. 통형상 부재와 금속층을 동일한 재료로 형성함으로써, 접합부의 조성이 부위에 관계없이 균일해지기 때문에, 접합부에 있어서 부위에 따른 열응력의 차이가 잘 발생하지 않게 되어, 접합체의 파손을 억제할 수 있다.

[변형예 4]

상기 서술한 실시형태에서는, 통형상 부재는, 통형상 부재의 축선 방향에 수직인 단면이 원 형상인 것으로 하였다. 그러나, 통형상 부재의 축선 방향에 수직인 단면은 원 형상이 아니어도 된다.

[변형예 5]

상기 서술한 실시형태에서는, 정전 척은, 에칭 장치에 구비되는 것으로 하였다. 그러나, 정전 척의 적용 분야는 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 웨이퍼를 가열하기 위한 히터를 구비한 정전 척이어도 된다. 정전 척이 히터를 구비하는 경우, 정전 척은 고온 환경하에서 사용되기 때문에, 통형상 부재를 형성하는 재료는, 내열 온도가 높은 금속으로 형성되는 것이 바람직하다. 또, 정전 척은, 반도체 제조 장치에 있어서 웨이퍼의 고정, 교정, 반송 등을 실시하기 위해서 사용되어도 된다. 또한, 접합체를 구비하는 「유지 장치」를 구비하는 장치는, 정전 척에 한정되지 않고, 예를 들어, CVD (Chemical Vapor Deposition) 장치, PVD (Physical Vapor Deposition) 장치, PLD (Pulsed Laser Deposition) 장치 등의 진공 장치용 히터, 서셉터, 재치대로서 사용되어도 된다. 따라서, 유지 대상물을 유지하는 힘은, 정전 인력에 한정되지 않는다.

[변형예 6]

상기 서술한 실시형태에서는, 접합체에 있어서, 세라믹 부재와 접합부의 사이, 및 금속 부재와 접합부의 사이의 적어도 어느 일방에 금속층 등의 다른 층을 구비해도 된다. 이 다른 층은, 예를 들어, 접합부를 형성하는 브레이징재 중의 티탄의 증발에 의해 형성되는 층이나, 미리 형성된 메탈라이즈층 등이어도 된다.

[변형예 7]

상기 서술한 실시형태에서는, 세라믹 부재 (10) 와 접합부 (30, 40, 50) 와 금속 부재 (20) 의 접합체 (1a, 2a, 3a) 는, 대략 원 형상의 기둥상체인 것으로 하였다. 그러나, 「접합체」의 형상은, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 직사각형 형상이어도 되고, 다각형 형상 등이어도 된다.

[변형예 8]

제 3 실시형태에서는, 전극 단자 (15) 의 주위에 배치되어 있는 통형상 부재 (52) 의 일방의 단부 (52a) 는, 금속 부재 (20) 의 일방의 주면 (21) 측에 있어서 관통 구멍 (23) 의 내측에 배치되어 있다. 그러나, 통형상 부재의 단부가 배치되는 위치는, 이것에 한정되지 않는다.

도 11 은, 제 3 실시형태의 정전 척 (3) 의 변형예의 단면도이다. 도 11에 나타내는 바와 같이, 통형상 부재 (52) 의 일방의 단부 (52a) 는, 금속 부재 (20) 의 타방의 주면 (22) 측에 있어서, 관통 구멍 (25) 의 내측에 배치되어 있다. 즉, 통형상 부재 (52) 는, 금속 부재 (20) 를 관통하도록 배치되어 있어도 된다. 또, 제 3 실시형태에 있어서, 통형상 부재 (53) 도, 세라믹 부재 (10) 나 금속 부재 (20) 를 관통하도록 배치되어 있어도 된다.

[변형예 9]

제 3 실시형태에서는, 통형상 부재 (52) 는, 일방의 단부 (52a) 가 금속 부재 (20) 의 관통 구멍 (23) 의 내측에 배치되어 있고, 타방의 단부 (52b) 가 세라믹 부재 (10) 의 타방의 주면 (12) 에 접촉되어 있다. 이와 같이 접합부의 통형상 부재는, 2 개의 단부 중 어느 1 개가, 접합부에 이웃하는 부재 중 어느 1 개의 관통 구멍의 내측에 배치되어 있으면 된다. 이로써, 통형상 부재는, 통형상 부재의 단부를 관통 구멍의 내측에 삽입되어 있는 부재로부터 멀어지는 것이 억제되기 때문에, 금속층의 관통 구멍의 내측과 금속층의 내부의 사이에 있어서의 유체의 이동을 더욱 규제하면서, 금속층의 파편이 관통 구멍에 떨어지는 것을 더욱 억제할 수 있다.

이상, 실시형태, 변형예에 의거하여 본 양태에 대해서 설명해 왔는데, 상기한 양태의 실시형태는, 본 양태의 이해를 용이하게 하기 위한 것으로, 본 양태를 한정하는 것은 아니다. 본 양태는, 그 취지 그리고 청구범위를 일탈하지 않고, 변경, 개량될 수 있음과 함께, 본 양태에는 그 등가물이 포함된다. 또, 그 기술적 특징이 본 명세서 내에 필수적인 것으로서 설명되어 있지 않으면, 적절히 삭제할 수 있다.

1, 2, 3…정전 척
1a, 2a, 3a…접합체
10…세라믹 부재
13…재치면
16, 17…(세라믹 부재의) 관통 구멍
20…금속 부재
23, 24, 25…(금속 부재의) 관통 구멍
30, 40, 50…접합부
31…금속층
31a, 31c…관통 구멍
32, 42, 52, 53…통형상 부재
32a, 42a, 52a, 53a…일방의 단부
32b, 42b, 52b, 53b…타방의 단부
42c…벨로우즈부
W…웨이퍼

Claims

서로 연통되는 복수의 구멍을 갖는 금속층을 포함하는 접합부를 개재하여 제 1 부재와 제 2 부재가 접합된 접합체로서,
상기 제 1 부재와 상기 금속층에는, 서로 연통되는 관통 구멍이 각각 형성되어 있고,
상기 금속층에 형성된 관통 구멍의 내측과 상기 금속층의 내부의 사이에 통형상 부재가 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 접합체.
제 1 항에 있어서,
상기 제 2 부재에는, 상기 제 1 부재와 상기 금속층에 각각 형성된 관통 구멍과 연통되는 관통 구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접합체.
제 2 항에 있어서,
상기 통형상 부재의 일방의 단부는, 상기 제 1 부재에 형성된 관통 구멍의 내측에 배치되고,
상기 통형상 부재의 타방의 단부는, 상기 제 2 부재에 형성된 관통 구멍의 내측에 배치되는 것을 특징으로 하는 접합체.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 통형상 부재의 외주에는, 둘레 방향에 걸쳐서 벨로우즈부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 접합체.
제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 통형상 부재는, 상기 금속층과 동일한 재료로 형성되는 것을 특징으로 하는 접합체.
제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 통형상 부재의 축선 방향에 수직인 단면은, 원 형상인 것을 특징으로 하는 접합체.
유지 장치로서,
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 기재된 접합체를 구비하고,
상기 제 2 부재는, 유지 대상물이 재치되는 재치면을 구비하는 것을 특징으로 하는 유지 장치.
정전 척으로서,
제 7 항에 기재된 유지 장치를 구비하고,
상기 제 2 부재는, 내부에 정전 흡착 전극을 갖는 것을 특징으로 하는 정전 척.