JP2003322553A - 渦流量計 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 管路と容器とのすきまに異物がつまっても影
響を受け難い渦流量計を提供する。 【解決手段】 カルマン渦による交番圧力の変動を検出
して流速流量を測定する渦流量計において、渦発生体の
下流の管路に設けられ側面が底面より剛性が高くされ凹
部を有する容器と、前記底面に一端が接続されカルマン
渦による交番圧力変動を受圧する受圧板と、前記底面の
変形あるいは応力変化を検出する検出手段とを具備した
事を特徴とする渦流量計である。
響を受け難い渦流量計を提供する。 【解決手段】 カルマン渦による交番圧力の変動を検出
して流速流量を測定する渦流量計において、渦発生体の
下流の管路に設けられ側面が底面より剛性が高くされ凹
部を有する容器と、前記底面に一端が接続されカルマン
渦による交番圧力変動を受圧する受圧板と、前記底面の
変形あるいは応力変化を検出する検出手段とを具備した
事を特徴とする渦流量計である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、管路と容器とのす
きまに異物がつまっても影響を受け難い渦流量計に関す
るものである。
きまに異物がつまっても影響を受け難い渦流量計に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】図１０は、従来より一般に使用されてい
る従来例の構成説明図で、例えば、特開平３−０２０６
１８号（特願平１−０３３２５６号）に示されている。
図１１は図１０の電気回路図、図１２，図１３，図１４
は図１０の動作説明図である。
る従来例の構成説明図で、例えば、特開平３−０２０６
１８号（特願平１−０３３２５６号）に示されている。
図１１は図１０の電気回路図、図１２，図１３，図１４
は図１０の動作説明図である。
【０００３】図において、管路１０は測定流体ＦＬが流
れる管路である。ノズル１１は管路１０に直角に設けら
れ円筒状をなす。渦発生体１２は、ノズル１１とは隙間
を保って、管路１０に直角に挿入され、台形断面を有
す。
れる管路である。ノズル１１は管路１０に直角に設けら
れ円筒状をなす。渦発生体１２は、ノズル１１とは隙間
を保って、管路１０に直角に挿入され、台形断面を有
す。
【０００４】渦発生体１２の一端は、ネジ１３により管
路１０に支待され、他端はフランジ部１４でノズル１１
にネジ或いは溶接により固定されている。凹部１５は、
渦発生体１２のフランジ部１４側に設けられている。
路１０に支待され、他端はフランジ部１４でノズル１１
にネジ或いは溶接により固定されている。凹部１５は、
渦発生体１２のフランジ部１４側に設けられている。
【０００５】この凹部１５の中には、その底部から順
に、全属製の第１コモン電極１６、圧電素子１７、電極
板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２１が、サ
ンドイッチ状に配列され、全属製の押圧棒２２により、
これ等は押圧固定されている。さらに、電極板１８から
は、リード線２３、電極板２０からはリード線２４が、
それぞれ端子Ａ、Ｂに引さ出されている。
に、全属製の第１コモン電極１６、圧電素子１７、電極
板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２１が、サ
ンドイッチ状に配列され、全属製の押圧棒２２により、
これ等は押圧固定されている。さらに、電極板１８から
は、リード線２３、電極板２０からはリード線２４が、
それぞれ端子Ａ、Ｂに引さ出されている。
【０００６】圧電素子１７、２１は、各圧電素子１７、
２１の紙面に向かって左側と右側とがそれぞれ逆方向に
分極されており、同じ方向の応力に対して互いに上下の
電極に逆極性の電荷を発生する。
２１の紙面に向かって左側と右側とがそれぞれ逆方向に
分極されており、同じ方向の応力に対して互いに上下の
電極に逆極性の電荷を発生する。
【０００７】圧電素子１７に発生した電荷は、電極板１
８と接続された端子Ａと、第lコモン電極１６を介して
接続された管路１０との間に得られ、圧電素子２１に発
生した電荷は、電極板２０と接続された端子Ｂと、押圧
棒２０と接続された管路１０との間に得られる。
８と接続された端子Ａと、第lコモン電極１６を介して
接続された管路１０との間に得られ、圧電素子２１に発
生した電荷は、電極板２０と接続された端子Ｂと、押圧
棒２０と接続された管路１０との間に得られる。
【０００８】この2個の電極板１８、２０に発生した電
荷は、図１１に示すように電荷増幅器２５、２６に入力
される。電荷増幅器２５の出力と、電荷増幅器２６の出
力をボリウム２７を介した出力とを、加算器２８で加算
して流量信号を得る。
荷は、図１１に示すように電荷増幅器２５、２６に入力
される。電荷増幅器２５の出力と、電荷増幅器２６の出
力をボリウム２７を介した出力とを、加算器２８で加算
して流量信号を得る。
【０００９】この流量信号は、例えば、電流出力に変換
されて、２線を介して負荷に伝送される（図示せす）。
次に、以上のように構成された渦流量計の動作につい
て、図１２と図１３とを用いて説明する。
されて、２線を介して負荷に伝送される（図示せす）。
次に、以上のように構成された渦流量計の動作につい
て、図１２と図１３とを用いて説明する。
【００１０】測定流体ＦＬが管路１０の中に流れると、
渦発生体１２に矢印Ｆで示した方向にカルマン渦による
振動が発生する。この振動により禍発生体１２には、図
１２（ａ）に示すような応力分布と、この逆の応力分布
の繰返しが生じる。
渦発生体１２に矢印Ｆで示した方向にカルマン渦による
振動が発生する。この振動により禍発生体１２には、図
１２（ａ）に示すような応力分布と、この逆の応力分布
の繰返しが生じる。
【００１１】各圧電素子１７、２１には、図１２（ａ）
に示す渦周波数を持つ信号応力に対応した電荷＋Q、−Q
の繰返しが生じる。なお、図１２においては、説明の便
宣のため、電極板１８或いは２１を紙面に対して左石に
２つに分割し、かつ、上下の一方の電極は、第１コモン
電極１６あるいは押圧棒２２に相当するものとしてあ
る。
に示す渦周波数を持つ信号応力に対応した電荷＋Q、−Q
の繰返しが生じる。なお、図１２においては、説明の便
宣のため、電極板１８或いは２１を紙面に対して左石に
２つに分割し、かつ、上下の一方の電極は、第１コモン
電極１６あるいは押圧棒２２に相当するものとしてあ
る。
【００１２】一方、管路１０には、ノイズとなる管路振
動も生じる。この管路振動は、（１）流体の流れと同じ
方向の抗力方向、（２）流体の流れとは直角方向の揚力
方向、（３）渦発生体の長手方向の３方向成分に分けら
れる。
動も生じる。この管路振動は、（１）流体の流れと同じ
方向の抗力方向、（２）流体の流れとは直角方向の揚力
方向、（３）渦発生体の長手方向の３方向成分に分けら
れる。
【００１３】このうち、抗力方向の振動に対する応力分
布は、図１２（ｂ）に示すようになり、１個の電極内で
正負の電荷は打ち消されて、ノイズ電荷は発生しない。
また、長手方向の振動に対しては、図１２（ｃ）に示す
ように、電極内で打ち消されて、抗力方向と同様にノイ
ズ電荷は発生しない。
布は、図１２（ｂ）に示すようになり、１個の電極内で
正負の電荷は打ち消されて、ノイズ電荷は発生しない。
また、長手方向の振動に対しては、図１２（ｃ）に示す
ように、電極内で打ち消されて、抗力方向と同様にノイ
ズ電荷は発生しない。
【００１４】しかし、揚力方向の振動は、信号応力と同
一の応力分布となり、ノイズ電荷が生じる。そこで、こ
のノイズ電荷を消去するために、以下の演算を実行す
る。
一の応力分布となり、ノイズ電荷が生じる。そこで、こ
のノイズ電荷を消去するために、以下の演算を実行す
る。
【００１５】圧電素子１７，２１の各電荷をＱ１，Ｑ２
信号成分をＱ１，Ｑ２揚カ方向のノィズ成分をＮ１，Ｎ
２とし、圧電素子１７２１で分極を逆とすると、Ｑ１，
Ｑ２は次式で示される。
信号成分をＱ１，Ｑ２揚カ方向のノィズ成分をＮ１，Ｎ
２とし、圧電素子１７２１で分極を逆とすると、Ｑ１，
Ｑ２は次式で示される。
【００１６】Q1＝S1＋N1
−Q2＝−S2一N2
ただし、S1とS2、N1とN2のベクトル方向は同じである。
【００１７】ここで、圧電素子１７、２１の信号成分と
ノイズ成分の関係は、図１３（この図は揚力方向のノイ
ズと、信号に対する渦発生体の曲げモーメントの関係を
示す）に示すようになっている。
ノイズ成分の関係は、図１３（この図は揚力方向のノイ
ズと、信号に対する渦発生体の曲げモーメントの関係を
示す）に示すようになっている。
【００１８】従って、図１１に示すように、圧電素子１
７側の電荷増幅器２５の出力を、加算器２８で加算する
際に、ボリウム２７と共に、N1／N2倍して、圧電素子２
１側の電荷増幅器２６の出カと加算すると、
７側の電荷増幅器２５の出力を、加算器２８で加算する
際に、ボリウム２７と共に、N1／N2倍して、圧電素子２
１側の電荷増幅器２６の出カと加算すると、
【００１９】Q1−Q2（N1／N2）
−S1−S2（N1／N2）
となり管路ノイズは除去される。
【００２０】そして、第１コモン電極１６、圧電素子１
７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２
１は、凹部１５に押圧棒２２で押圧固定されている。
７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２
１は、凹部１５に押圧棒２２で押圧固定されている。
【００２１】ここで、渦発生体１２と第１コモン電極１
６、圧電素子１７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２
０、圧電素子２１、押圧棒２２との温度膨脹を等しくし
ておけば、測定流体温度が変化しても、初期の押付け力
は変化しないので、間題は生じ無い。
６、圧電素子１７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２
０、圧電素子２１、押圧棒２２との温度膨脹を等しくし
ておけば、測定流体温度が変化しても、初期の押付け力
は変化しないので、間題は生じ無い。
【００２２】
【発明が解決しようとする課題】図１０従来例の渦流量
計は、管路１０と圧竜素子１７，２１を納めた円筒容器
との問に隙間ａがあり、この隙間ａに異物ｂが詰まる
と、図１４に示す如く、曲げモーメントのモーメントパ
ターンｄが変化し、検出感度が低下する問題があった。
計は、管路１０と圧竜素子１７，２１を納めた円筒容器
との問に隙間ａがあり、この隙間ａに異物ｂが詰まる
と、図１４に示す如く、曲げモーメントのモーメントパ
ターンｄが変化し、検出感度が低下する問題があった。
【００２３】本発明の目的は、上記の課題を解決するも
ので、本発明は、管路と容器とのすきまに異物がつまっ
ても影響を受け難い渦流量計を提供することにある。
ので、本発明は、管路と容器とのすきまに異物がつまっ
ても影響を受け難い渦流量計を提供することにある。
【００２４】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明では、請求項１1においては、カルマ
ン渦による交番圧力の変動を検出して流速流量を測定す
る渦流量計において、渦発生体の下流の管路に設けられ
側面が底面より剛性が高くされ凹部を有する容器と、前
記底面に一端が接続されカルマン渦による交番圧力変動
を受圧する受圧板と、前記底面の変形あるいは応力変化
を検出する検出手段とを具備した事を特徴とする。
るために、本発明では、請求項１1においては、カルマ
ン渦による交番圧力の変動を検出して流速流量を測定す
る渦流量計において、渦発生体の下流の管路に設けられ
側面が底面より剛性が高くされ凹部を有する容器と、前
記底面に一端が接続されカルマン渦による交番圧力変動
を受圧する受圧板と、前記底面の変形あるいは応力変化
を検出する検出手段とを具備した事を特徴とする。
【００２５】本発明の請求項２においては、請求項１記
載の渦流量計において、前記応力変化を検出する検出手
段として、前記凹部に配置され一方の面が前記底面に接
する圧電素子と、前記凹部に取付けられてこの圧電素子
を前記底面に押圧する押圧棒とを具備したことを特徴と
する。
載の渦流量計において、前記応力変化を検出する検出手
段として、前記凹部に配置され一方の面が前記底面に接
する圧電素子と、前記凹部に取付けられてこの圧電素子
を前記底面に押圧する押圧棒とを具備したことを特徴と
する。
【００２６】本発明の請求項３においては、請求項１記
載の渦流量計において、前記底面の変形を検出する検出
手段として、前記凹部に取付けられて前記底面と隙間を
有する支持棒と、この支持棒に前記底面に対向して設け
られ前記底面と静電容量電極を構成する容量電極とを具
備したことを特徴とする。
載の渦流量計において、前記底面の変形を検出する検出
手段として、前記凹部に取付けられて前記底面と隙間を
有する支持棒と、この支持棒に前記底面に対向して設け
られ前記底面と静電容量電極を構成する容量電極とを具
備したことを特徴とする。
【００２７】本発明の請求項４においては、請求項１乃
至請求項３の何れかに記載の潤流量計において、底面と
受圧板との接合部に設けられた切り欠き状の力伝達絞り
部を具備したことを特徴とする。
至請求項３の何れかに記載の潤流量計において、底面と
受圧板との接合部に設けられた切り欠き状の力伝達絞り
部を具備したことを特徴とする。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図２は図１の側面図、図３は図１の要部詳細説明図、図
4は図1の動作説明図である。
説明する。図１は本発明の一実施例の要部構成説明図、
図２は図１の側面図、図３は図１の要部詳細説明図、図
4は図1の動作説明図である。
【００２９】図において、３１は、渦発生体１２の下流
の管路１０に設けられ側面３１１が底面３１２より剛性
が高くされ凹部３１３を有する容器である。３２は、底
面３１２に一端３２２が接続され、カルマン渦による交
番圧力変動を受圧する受圧板である。
の管路１０に設けられ側面３１１が底面３１２より剛性
が高くされ凹部３１３を有する容器である。３２は、底
面３１２に一端３２２が接続され、カルマン渦による交
番圧力変動を受圧する受圧板である。
【００３０】３３は、底面３１２の変形あるいは応力変
化を検出する検出手段である。この場合は、応力変化を
検出する検出手段３３として、凹部３１３に配置され、
一方の面が底面３１２に接する圧電素子３３１と、凹部
３１３に取付けられて、この圧電素子３３１を底面３１
２に押圧する押圧棒３３２を有する。
化を検出する検出手段である。この場合は、応力変化を
検出する検出手段３３として、凹部３１３に配置され、
一方の面が底面３１２に接する圧電素子３３１と、凹部
３１３に取付けられて、この圧電素子３３１を底面３１
２に押圧する押圧棒３３２を有する。
【００３１】以上の構成において、渦発生体１２の後流
に置かれた容器３１には受圧板３２が付いており、カル
マン渦による交番的な圧力変動を受ける。受圧板３２は
受けた圧力変化を容器の底面３１２の変形として、圧電
素子３３１に伝達する。
に置かれた容器３１には受圧板３２が付いており、カル
マン渦による交番的な圧力変動を受ける。受圧板３２は
受けた圧力変化を容器の底面３１２の変形として、圧電
素子３３１に伝達する。
【００３２】図４は受圧板３２に圧力変化が生じた時
に、検出部分が変形する様子を示している。この検出方
式では、容器の底面３１２の剛性に対し、容器の側面３
１１の剛性が相対的に高くなっている。
に、検出部分が変形する様子を示している。この検出方
式では、容器の底面３１２の剛性に対し、容器の側面３
１１の剛性が相対的に高くなっている。
【００３３】また、圧電素子３３１を容器の底面３１２
に配置することで、検出部分全体の曲げモーメントの影
響を小さくしている。従って、圧電素子３３１は洞信号
として、検出部分全体の曲げモーメントよりも容器の底
面３１２の変形を検出することになる。
に配置することで、検出部分全体の曲げモーメントの影
響を小さくしている。従って、圧電素子３３１は洞信号
として、検出部分全体の曲げモーメントよりも容器の底
面３１２の変形を検出することになる。
【００３４】この結果、（１）管路１０と容器３１との
隙間ａに異物ｂが詰まっても影響を受け難い渦流量計が
得られる。
隙間ａに異物ｂが詰まっても影響を受け難い渦流量計が
得られる。
【００３５】（２）凹部３１３に取付けられて、圧電素
子３３１を底面３１２に押圧する押圧棒３３２とを具備
し、応力変化を検出するようにしたので、検出部分が堅
牢な渦流量計が得られる。
子３３１を底面３１２に押圧する押圧棒３３２とを具備
し、応力変化を検出するようにしたので、検出部分が堅
牢な渦流量計が得られる。
【００３６】図５は本発明の他の実施例の要部構成説明
図、図６は図５の側面図、図７は図５の断面図である。
本実施例においては、底面３１２と受圧板３２との接合
部に設けられた切り欠き状の力伝達絞り部４１が設けら
れたものである。
図、図６は図５の側面図、図７は図５の断面図である。
本実施例においては、底面３１２と受圧板３２との接合
部に設けられた切り欠き状の力伝達絞り部４１が設けら
れたものである。
【００３７】この結果、底面３１２と受圧板３２との接
合部に設けられ切り欠き状の力伝達絞り部４１を具備し
たので、容器の側面３１１に直接的に力が伝わる部分を
無くすことが出来、容器の底面３１２の変形を効率良く
し、検出感度が向上出来る渦流量計が得られる。
合部に設けられ切り欠き状の力伝達絞り部４１を具備し
たので、容器の側面３１１に直接的に力が伝わる部分を
無くすことが出来、容器の底面３１２の変形を効率良く
し、検出感度が向上出来る渦流量計が得られる。
【００３８】図８は本発明の他の実施例の要部構成説明
図、図９は図８の側断面図である。本実施例において
は、底面３１２の変形を検出する検出手段５１として、
凹部３１３に取付けられて、底面３１２と隙間５１１を
有する支持棒５１２と、支持棒５１２に底面３１２に対
向して設けられ、底面３１２と静電容量電極を構成する
容量電極５１３とが設けられたものである。
図、図９は図８の側断面図である。本実施例において
は、底面３１２の変形を検出する検出手段５１として、
凹部３１３に取付けられて、底面３１２と隙間５１１を
有する支持棒５１２と、支持棒５１２に底面３１２に対
向して設けられ、底面３１２と静電容量電極を構成する
容量電極５１３とが設けられたものである。
【００３９】この結果、構成が簡単になり、安価な洞流
量計が得られる。また、静電容量で検出するため、熱変
動の影響を受け難く、耐熱性の優れた渦流量計が得られ
る。また、容器の底面３１２を薄くすることにより、検
出感度を向上させることが出来る渦流量計が得られる。
量計が得られる。また、静電容量で検出するため、熱変
動の影響を受け難く、耐熱性の優れた渦流量計が得られ
る。また、容器の底面３１２を薄くすることにより、検
出感度を向上させることが出来る渦流量計が得られる。
【００４０】なお、以上の説明は、本発明の説明および
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎな
い。したがって本発明は、上記実施例に限定されること
なく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、
変形をも含むものである。
【００４１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の請求項１
によれば、次のような効果がある。管路と容器とのすき
まに異物がつまっても影響を受け難い渦流量計が得られ
る。
によれば、次のような効果がある。管路と容器とのすき
まに異物がつまっても影響を受け難い渦流量計が得られ
る。
【００４２】本発明の請求項２によれば、次のような効
果がある。応力変化を検出する検出手段として、凹部に
配置され一方の面が底面に接する圧電素子と、凹部に取
付けられてこの圧電素子を底面に押圧する押圧棒とを具
備し、応力変化を検出するようにしたので、検出部分が
堅牢な渦流量計が得られる。
果がある。応力変化を検出する検出手段として、凹部に
配置され一方の面が底面に接する圧電素子と、凹部に取
付けられてこの圧電素子を底面に押圧する押圧棒とを具
備し、応力変化を検出するようにしたので、検出部分が
堅牢な渦流量計が得られる。
【００４３】本発明の請求項３によれば、次のような効
果がある。底面の変形を検出する検出手段として、凹部
に取付けられて底面と隙間を有する支持棒と、この支持
棒に底面に対向して設けられ、底面と静電容量電極を構
成する容量電極とを具備したので、構成が簡単になり、
安価な渦流量計が得られる。また、静電容量で検出する
ため、熱変動の影響を受け難く、耐熱性の優れた渦流量
計が得られる。また、容器の底面を薄くすることによ
り、検出感度を向上させることが出来る渦流量計が得ら
れる。
果がある。底面の変形を検出する検出手段として、凹部
に取付けられて底面と隙間を有する支持棒と、この支持
棒に底面に対向して設けられ、底面と静電容量電極を構
成する容量電極とを具備したので、構成が簡単になり、
安価な渦流量計が得られる。また、静電容量で検出する
ため、熱変動の影響を受け難く、耐熱性の優れた渦流量
計が得られる。また、容器の底面を薄くすることによ
り、検出感度を向上させることが出来る渦流量計が得ら
れる。
【００４４】本発明の請求項４によれば、次のような効
果がある。底面と受圧板との接含部に設けられ切り欠き
状の力伝達絞り部を具備したので、容器の側面に直接的
に力が伝わる部分を無くすことが出来、容器底面の変形
を効率良くし、検出感度がを向上出来る渦流量計が得ら
れる。
果がある。底面と受圧板との接含部に設けられ切り欠き
状の力伝達絞り部を具備したので、容器の側面に直接的
に力が伝わる部分を無くすことが出来、容器底面の変形
を効率良くし、検出感度がを向上出来る渦流量計が得ら
れる。
【００４５】従って、本発明によれば、管路と容器との
すきまに異物がつまっても影響を受け難い渦流量計を実
現することが出来る。
すきまに異物がつまっても影響を受け難い渦流量計を実
現することが出来る。
【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】図１の要部詳細説明図である。
【図４】図1の動作説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図６】図５の側面図である。
【図７】図５の断面図である。
【図８】本発明の他の実施例の要部構成説明図である。
【図９】図８の断面図である。
【図１０】従来より一般に便用されている従来例の要部
構成説明図である。
構成説明図である。
【図１１】図１０の電気回路図である。
【図１２】図１０の動作説明図である。
【図１３】図１０の動作説明図である。
【図１４】図１０の動作説明図である。
１０ 管路
１１ ノズル
１２ 渦発生体
１３ ネジ
１４ フランジ部
１５ 凹部
１６ 第1コモン電極
１７ 圧電素子
１８ 電極板
１９ 絶縁板
２０ 電極板
２１ 圧電素子
２２ 押圧棒
２３ リード線
２４ リード線
２５ 電荷増幅器
２６ 電荷増幅器
２７ ボリウム
２８ 加算器
３１ 容器
３１１ 側面
３１２ 底面
３１３ 凹部
３２ 受圧板
３３ 検出手段
３３１ 圧電素子
３３２ 押圧棒
４１ 力伝達絞り部
５１ 検出手段
５１１ 隙間
５１２ 支持棒
５１３ 容量電極
ａ 隙間
ｂ 異物
ｃ 支点
ｄ モーメントパターン
ＦＬ 測定流体
Claims (4)
- 【請求項１】カルマン渦による交番圧力の変動を検出し
て流速流量を測定する渦流量計において、 渦発生体の下流の管路に設けられ側面が底面より剛性が
高くされ凹部を有する容器と、 前記底面に一端が接続されカルマン渦による交番圧力変
動を受圧する受圧板と、 前記底面の変形あるいは応力変化を検出する検出手段と
を具備した事を特徴とする渦流量計。 - 【請求項２】前記応力変化を検出する検出手段として、
前記凹部に配置され一方の面が前記底面に接する圧電素
子と、 前記凹部に取付けられてこの圧電素子を前記底面に押圧
する押圧棒とを具備した事を特徴とする請求項1記載の
渦流量計。 - 【請求項３】前記底面の変形を検出する検出手段とし
て、前記凹部に取付けられて前記底面と隙間を有する支
持棒と、 この支持棒に前記底面に対向して設けられ前記底面と静
電容量電極を構成する容量電極とを具備したことを特徴
とする請求項1記載の渦流量計。 - 【請求項４】底面と受圧板との接含部に設けられた切り
欠き状の力伝達絞り部を具備したことを特徴とする請求
項l乃至請求項3の何れかに記載の渦流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002131124A JP2003322553A (ja) | 2002-05-07 | 2002-05-07 | 渦流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002131124A JP2003322553A (ja) | 2002-05-07 | 2002-05-07 | 渦流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003322553A true JP2003322553A (ja) | 2003-11-14 |
Family
ID=29543885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002131124A Pending JP2003322553A (ja) | 2002-05-07 | 2002-05-07 | 渦流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003322553A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101979964A (zh) * | 2010-09-14 | 2011-02-23 | 涂强 | 可在线更换传感器的涡街流量计 |
| JP2011106989A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Yokogawa Electric Corp | 渦流量計 |
-
2002
- 2002-05-07 JP JP2002131124A patent/JP2003322553A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011106989A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Yokogawa Electric Corp | 渦流量計 |
| CN101979964A (zh) * | 2010-09-14 | 2011-02-23 | 涂强 | 可在线更换传感器的涡街流量计 |
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