JPH11248501A - 渦流量計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高温の測定流体に対して安定な動作が可能
で、耐ノイズ特性が良好な渦流量計を提供する。 【解決手段】 測定管路に挿入された柱状の渦発生体に
より発生する渦周波数を検出して流量を測定する渦流量
計において、前記渦発生体の端部近くの前記測定管路に
この渦発生体を挟んで設けられた第１，第２の導圧孔
と、前記第１の導圧孔に一端が接続される第１の導圧管
と、この第１の導圧管の他端に取付られ管路の外側に設
けられた固定台の一面に固定される第１の圧力センサ
と、前記第２の導圧孔に一端が接続される第２の導圧管
と、この第２の導圧管の他端に取付られ前記固定台の一
面に固定される第２の圧力センサと、前記第１の圧力セ
ンサと前記第２の圧力センサとの出力を演算して前記第
１の圧力センサと前記第２の圧力センサとが検出した管
路振動ノイズを除去する管路振動ノイズ除去回路とを具
備したことを特徴とする渦流量計である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、高温の測定流体に
対して安定な動作が可能で、耐ノイズ特性が良好な渦流
量計に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図４は、従来より一般に使用されている
従来例の構成説明図で、例えば、特開平３−０２０６１
８号（特願平１−０３３２５６号）に示されている。

【０００３】管路１０は測定流体ＦＬ_oが流れる管路、
ノズル１１は管路１０に直角に設けられ円筒状をなす。
渦発生体１２は、ノズル１１とは間隔を保って、管路１
０に直角に挿入され、台形断面を有し、柱状をなす。

【０００４】その一端は、ネジ１３により管路１０に支
持され、他端はフランジ部１４でノズル１１にネジ或い
は溶接により固定されている。凹部１５は、渦発生体１
２のフランジ部１４側に設けられている。

【０００５】この凹部１５の中には、その底部から順
に、金属製の第１コモン電極１６、圧電素子１７、電極
板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２１がサン
ドイッチ状に配列され、金属製の押圧棒２２により、こ
れ等は押圧固定されている。さらに、電極板１８からは
リ−ド線２３、電極板２０からはリ−ド線２４が、それ
ぞれ端子Ａ、Ｂに引き出されている。

【０００６】圧電素子１７、２１は、各圧電素子１７、
２１の紙面に向かって左側と右側とがそれぞれ逆方向に
分極されており、同じ方向の応力に対して互いに上下の
電極に逆極性の電荷を発生する。

【０００７】圧電素子１７に発生した電荷は、電極板１
８と接続された端子Ａと、台座１６を介して接続された
管路１０との間に得られ、圧電素子２１に発生した電荷
は、電極板２０と接続された端子Ｂと、押圧棒２０と接
続された管路１０との間に得られる。

【０００８】この２個の電極板１８、２０に発生した電
荷は、図５に示すように電荷増幅器２５、２６に入力さ
れる。電荷増幅器２５の出力と、電荷増幅器２６の出力
をボリウム２７を介した出力とを、加算器２８で加算し
て流量信号を得る。

【０００９】この流量信号は、例えば電流出力に変換さ
れて、２線を介して負荷に伝送される（図示せず）。次
に、以上のように構成された渦流量計の動作について図
６と図７を用いて説明する。

【００１０】流体が管路１０の中に流れると、渦発生体
１２に矢印Ｆで示した方向にカルマン渦による振動が発
生する。この振動により渦発生体１２には、図６（ａ）
に示すような応力分布と、この逆の応力分布の繰返しが
生じる。

【００１１】各圧電素子１７、２１には、図６（ａ）に
示す渦周波数を持つ信号応力に対応した電荷＋Ｑ、−Ｑ
の繰返しが生じる。なお、図６においては、説明の便宜
のため、電極板１８或いは２１を紙面に対して左右に２
つに分割し、かつ上下の一方の電極は台座１６あるいは
押圧棒２２に相当するものとしてある。

【００１２】一方、管路１０にはノイズとなる管路振動
も生じる。この管路振動は流体の流れと同じ方向の抗
力方向、流体の流れとは直角方向の揚力方向、渦発
生体の長手方向の３方向成分に分けられる。

【００１３】このうち、抗力方向の振動に対する応力分
布は、図６（ｂ）に示すようになり、１個の電極内で正
負の電荷は打ち消されて、ノイズ電荷は発生しない。ま
た、長手方向の振動に対しては、図６（ｃ）に示すよう
に電極内で打ち消されて、抗力方向と同様にノイズ電荷
は発生しない。

【００１４】しかし、揚力方向の振動は、信号応力と同
一の応力分布となり、ノイズ電荷が生じる。そこで、こ
のノイズ電荷を消去するために、以下の演算を実行す
る。

【００１５】圧電素子１７、２１の各電荷をＱ₁、Ｑ₂、
信号成分をＳ₁、Ｓ₂、揚力方向のノイズ成分をＮ₁、Ｎ₂
とし、圧電素子１７、２１で分極を逆とするとＱ₁、Ｑ₂
は次式で示される。 Ｑ₁＝Ｓ₁＋Ｎ₁ −Ｑ₂＝−Ｓ₂−Ｎ₂

【００１６】ただし、Ｓ₁とＳ₂、Ｎ₁とＮ₂のベクトル方
向は同じである。ここで、圧電素子１７，２１の信号成
分とノイズ成分の関係は、図７（この図は揚力方向のノ
イズと、信号に対する渦発生体の曲げモ−メントの関係
を示す）に示すようになっている。

【００１７】従って、図５に示すように、圧電素子１７
側の電荷増幅器２５の出力を、加算器２８で加算する際
に、ボリウム２７と共にＮ₁／Ｎ₂倍して、圧電素子２１
側の電荷増幅器２６の出力と加算すると、 Ｑ₁−Ｑ₂（Ｎ₁／Ｎ₂）＝Ｓ₁−Ｓ₂（Ｎ₁／Ｎ₂） となり管路ノイズは除去される。

【００１８】そして、第１コモン電極１６、圧電素子１
７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２０、圧電素子２
１は、凹部１５に押圧棒２２で押圧固定されている。

【００１９】ここで、渦発生体１２と第１コモン電極１
６、圧電素子１７、電極板１８、絶縁板１９、電極板２
０、圧電素子２１、押圧棒２２との温度膨脹を等しくし
ておけば、測定流体温度が変化しても、初期の押付け力
は変化しないので、問題は無い。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】図４従来例の特徴は、
カルマン渦と管路振動による曲げモーメントの分布に、
差異があることにある。このため、応力検出部は、渦発
生体１２の上部に一体で構成される。

【００２１】このことから、圧電素子１７，２１の温度
は、測定流体ＦＬ_oの温度になることから、キュリー温
度が高い圧電素子材料が選択される。

【００２２】しかし、例えば、３００℃以上で長期間使
用する場合は、キュリー温度は４５０℃以上が必要とな
り、現状では、圧電定数の小さいニオブサンリチュウム
材の単結晶等に材料の選択が制限される。

【００２３】また、高温による絶縁抵抗の劣化も発生す
る。以上の事から、感度の低下は避けられず、高温の測
定流体ＦＬ_oの測定においては、長期安定な動作を維持
することは難しかった。

【００２４】本発明は、この問題点を解決するものであ
る。本発明の目的は、高温の測定流体に対して安定な動
作が可能で、耐ノイズ特性が良好な渦流量計を提供する
にある。

【００２５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明は、 （１）測定管路に挿入された柱状の渦発生体により発生
する渦周波数を検出して流量を測定する渦流量計におい
て、前記渦発生体の端部近くの前記測定管路にこの渦発
生体を挟んで設けられた第１，第２の導圧孔と、前記第
１の導圧孔に一端が接続される第１の導圧管と、この第
１の導圧管の他端に取付られ管路の外側に設けられた固
定台の一面に固定される第１の圧力センサと、前記第２
の導圧孔に一端が接続される第２の導圧管と、この第２
の導圧管の他端に取付られ前記固定台の一面に固定され
る第２の圧力センサと、前記第１の圧力センサと前記第
２の圧力センサとの出力を演算して前記第１の圧力セン
サと前記第２の圧力センサとが検出した管路振動ノイズ
を除去する管路振動ノイズ除去回路とを具備したことを
特徴とする渦流量計。 （２）前記圧力センサとして圧電素子が使用されたこと
を特徴とする（１）記載の渦流量計。 （３）前記振動ノイズ除去回路として前記第１の圧力セ
ンサと前記第２の圧力センサとの出力をそれぞれチヤー
ジコンバータを介して差動増幅器に入力するようにした
ことを特徴とする（１）又は（２）記載の渦流量計。 （４）前記導圧管に設けられた放熱フインを具備したこ
とを特徴とする（１）乃至（３）の何れかに記載の渦流
量計。 （５）前記導圧管の一部に設けられたフレキシブルパイ
プを具備したことを特徴とする（１）乃至（４）の何れ
かに記載の渦流量計。 （６）前記導圧管に設けられたストップバルブを具備し
たことを特徴とする（１）乃至（５）の何れかに記載の
渦流量計。を構成したものである。

【００２６】

【作用】以上の構成において、測定流体が流されると、
渦発生体から渦が放出され、渦発生体の下流側に渦列が
形成される。カルマン渦の有する循環流により負圧が生
じる。

【００２７】この負圧は、導圧管を介して、第１，第２
の圧力センサに加わる。このため、第１，第２の圧力セ
ンサでは、測定流体に接するホルダの底面には、圧力変
動が加わる事になる。第１，第２の圧力センサの内部の
圧電素子に圧力変化に対応した交番応力が発生する。

【００２８】カルマン渦は渦発生体の左右で、交互に発
生することから、２個の圧電素子に生じる信号は逆相で
ある。圧電素子に加わる力としては、カルマン渦信号以
外には、（１）ポンプ等の駆動源による脈動圧と（２）
管路振動とがある。

【００２９】２個の導圧孔子が、管路の中心軸方向の同
じ距離で、且つ、導圧管の長さも互いに等しければ、遠
方の駆動源により発生する脈動圧は、同一時刻に第１，
第２の圧力センサに到達する。即ち、２個の圧電素子に
発生するノイズは、同相である。

【００３０】管路振動に関しては、第１，第２の圧力セ
ンサは、固定台の同一の一面に固定され、固定台の外力
による振動によって、圧電素子に加わる慣性力の方向も
同じ事から、管路振動ノイズも同相となる。

【００３１】また、導圧管の一部に、フレキシブルパイ
プが、それぞれ設けられているので、管路振動ノイズ
が。圧電素子に加わるのを減衰することが出来る。

【００３２】しかして、第１，第２の圧力センサに発生
した電荷は、チャージコンバータにより、電圧に変換さ
れた後、差動増幅器により同相のノイズ成分はキャンセ
ルされる。また、放熱効果を高めるために、放熱フイン
が，導圧管にそれぞれ設けられている。

【００３３】また、ストップバルブが、導圧管に、設け
られているので、オンラインにおける、第１，第２の圧
力センサの着脱を可能とすることが出来る。以下、実施
例に基づき詳細に説明する。

【００３４】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例の要部構
成説明図、図２は図１の要部詳細図、図３は図１の電気
回路構成説明図である。図において、図４と同一記号の
構成は同一機能を表わす。以下、図４と相違部分のみ説
明する。

【００３５】測定管路１０の外側には、この場合は、断
熱材３１が設けられている。第１，第２の導圧孔３２，
３３は、渦発生体１２の端部近くの、測定管路１０に、
この渦発生体１２を挟んで設けられている。

【００３６】第１の導圧管３４は、第１の導圧孔３２に
一端が接続されている。第１の圧力センサ３５は、この
第１の導圧管３４の他端に取付られ、管路１０の外側に
設けられた固定台３６に固定されている。

【００３７】第１の圧力センサ３５は、この場合は、図
２に示す如く、凹部３５２を有し固定台３６に取付られ
るホルダー３５１と、このホルダー３５１の凹部３５２
の底部に、圧力素子３５３、絶縁体３５４、加重体３５
５、ばね３５６、固定体３５７と順次積み重ねられてい
る。

【００３８】固定体３５７は、ホルダー３５１に溶接３
５８固定されている。圧力素子３５３は、この場合は、
圧電素子が使用されている。ばね３５６は、急激な温度
変化が生じた場合でも、ホルダー３５１の温度による伸
びや縮みに対して、初期の押し付け力が維持されるよう
にしたものである。

【００３９】第２の導圧管３７は、第２の導圧孔３３に
一端が接続されている。第２の圧力センサ３８は、この
第２の導圧管３７の他端に取付られ、第１の圧力センサ
３５と同一の固定台３６のに固定されている。

【００４０】第２の圧力センサ３８も、図２に示す如
く，第１の圧力センサ３５と同様に、凹部３８２を有
し、固定台３６に取付られるホルダー３８１と、このホ
ルダー３８１の凹部３８２の底部に、圧力素子３８３、
絶縁体３８４、加重体３８５、ばね３８６、固定体３８
７と順次積み重ねられている。

【００４１】管路振動ノイズ除去回路３９は、第１の圧
力センサ３５と第２の圧力センサ３８との出力を演算し
て、第１の圧力センサ３５と第２の圧力センサ３８とが
検出した管路振動ノイズを除去する。

【００４２】具体的には、第１の圧力センサ３５と第２
の圧力センサ３８との出力を、それぞれチヤージコンバ
ータ３９１，３９２を介して、差動増幅器３９３に入力
するようにする。

【００４３】しかして、第１，第２の導圧管３４，３７
の長さは、第１，第２の導圧管３４，３７の非断熱材部
の放熱により、圧電素子３５３，３８３の温度が、圧電
素子３５３，３８３のキュリー温度より十分に低い温度
に保たれるような長さに設定される。

【００４４】放熱フイン４１，４２が、導圧管３４，３
７にそれぞれ設けられている。また、導圧管３４，３７
の一部に、フレキシブルパイプ４３，４４が、それぞれ
設けられている。更にまた、ストップバルブ４５，４６
が、導圧管３４，３７に、設けられている。

【００４５】以上の構成において、測定流体ＦＬ_oが流
されると、渦発生体１２から渦が放出され、渦発生体１
２の下流側に渦列が形成される。カルマン渦の有する循
環流により負圧が生じる。

【００４６】この負圧は、導圧管３４，３７を介して、
第１，第２の圧力センサ３５，３８に加わる。このた
め、第１，第２の圧力センサ３５，３８では、測定流体
ＦＬ_oに接するホルダ３５１，３８１の底面には、圧力
変動が加わる事になる。第１，第２の圧力センサ３５，
３８の内部の圧電素子３５３，３８３に圧力変化に対応
した交番応力が発生する。

【００４７】カルマン渦は渦発生体１２の左右で、交互
に発生することから、２個の圧電素子３２３，３３３に
生じる信号は逆相である。圧電素子３５３，３８３に加
わる力としては、カルマン渦信号以外には、（１）ポン
プ等の駆動源による脈動圧と（２）管路振動とがある。

【００４８】２個の導圧孔子３２，３３が、管路１０の
中心軸方向の同じ距離で、且つ、導圧管３４，３７の長
さも互いに等しければ、遠方の駆動源により発生する脈
動圧は、同一時刻に第１，第２の圧力センサ３４，３７
に到達する。即ち、２個の圧電素子３５３，３８３に発
生するノイズは、同相である。

【００４９】管路振動に関しては、第１，第２の圧力セ
ンサ３４，３７は、固定台３６の同一の一面に固定さ
れ、固定台３６の外力による振動によって、圧電素子３
５３，３８３に加わる慣性力の方向も同じ事から、管路
振動ノイズも同相となる。

【００５０】また、導圧管３４，３７の一部に、フレキ
シブルパイプ４３，４４が、それぞれ設けられているの
で、管路振動ノイズが。圧電素子３５３，３８３に加わ
るのを減衰することが出来る。

【００５１】しかして、図３に示す如く、第１，第２の
圧力センサ３５，３８に発生した電荷は、チャージコン
バータ３９１，３９２により、電圧に変換された後、差
動増幅器３９３により同相のノイズ成分はキャンセルさ
れる。

【００５２】なお、圧電素子３５３，３８３の圧電定数
や容量、或いは、チャージコンバータ３９１，３９２の
帰還容量の差などによって生じるノイズ電圧の大きさの
違いは、差動増幅器３９３の入力抵抗値の一部を可変に
しておけば良い。

【００５３】なお、導圧管３４，３７の寸法（内径、肉
厚、長さ）は、第１，第２の圧力センサ３５，３８の温
度上昇に対する検討と、測定信号周波数に対する減衰を
考慮して決定される。

【００５４】即ち、第１，第２の圧力センサ３５，３８
の温度上昇に対しては、入熱を小さくするため、耐圧性
が確保出来る限度まで、導圧管３４，３７の肉厚を薄く
し、また、放熱効果を高めるために、放熱フイン４１，
４２が，導圧管３４，３７にそれぞれ設けられている。

【００５５】信号圧力，ノイズ圧力が、第１，第２の圧
力センサ３５，３８で、同じように加わるようにするた
め、導圧管３４，３７の流体抵抗の特性は等しくなるよ
うに構成されている。

【００５６】また、ストップバルブ４５，４６が、導圧
管３４，３７に、設けられているので、オンラインにお
ける、第１，第２の圧力センサ３５，３８の着脱を可能
とすることが出来る。

【００５７】この結果、 （１）渦発生体１２の端部近くの測定管路１０に、渦発
生体１２を挟んで設けられた第１，第２の導圧孔３２，
３３から、管路１０の外側に設けられた固定台３６の一
面に固定された第１，第２の圧力センサ３５，３８に、
それぞれ第１，第２の導圧管３４，３７を利用して、測
定流体ＦＬ_oを連通するようにした。

【００５８】且つ、第１の圧力センサ３５と第２の圧力
センサ３８との出力を演算して、第１の圧力センサ３５
と第２の圧力センサ３８とが検出した管路振動ノイズを
除去する管路振動ノイズ除去回路を設けるようにした。

【００５９】この結果、高温の測定流体ＦＬ_oに対し
て、安定な動作が可能となり、且つ、耐ノイズ特性が良
好な渦流量計が得られる。

【００６０】（２）第１，第２の圧力センサ３５，３８
は、剛構造に出来るので、頑丈な渦流量計が得られる。

【００６１】（３）第１，第２の圧力センサ３２，３３
の構造は簡潔であるので、製造コストガ大幅に低減出
来、安価な渦流量計が得られる。

【００６２】（４）圧力センサとして圧電素子３５３，
３８３を使用すれば、高いキュリー温度を有する圧電素
子を選択すれば、高温まで使用出来、また、電力の供給
が不要であり、センサ部が安価で信頼性が高い渦流量計
が得られる。

【００６３】（５）振動ノイズ除去回路３９として第１
の圧力センサ３５と第２の圧力センサ３８との出力をそ
れぞれチヤージコンバータ３９１，３９２を介して差動
増幅器３９３に入力するようにすれば、差動増幅器３９
３が使用されたので、管路振動は容易にキャンセルされ
ると共に、信号成分は加算されて２倍となり、感度が良
好な渦流量計が得られる。

【００６４】（６）放熱フイン４１，４２が導圧管３
４，３７に設けられれば、更に、高温の測定流体ＦＬ_o
に対しても、安定な動作が可能となる渦流量計が得られ
る。

【００６５】（７）フレキシブルパイプ４３，４４が導
圧管３４，３７の一部に設けられれば、管路振動ノイズ
が、圧電素子３５３，３８３に加わるのを減衰すること
が出来、耐ノイズ特性が良好な渦流量計が得られる。

【００６６】（８）ストップバルブ４５，４６が導圧管
３４、３７に設けられれば、オンラインにおける、第
１，第２の圧力センサ３５，３８の着脱を可能とするこ
とが出来る渦流量計が得られる。

【００６７】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の請
求項１によれば、 （１）渦発生体の端部近くの測定管路に、渦発生体を挟
んで設けられた第１，第２の導圧孔から、管路の外側に
設けられた固定台の一面に固定された第１，第２の圧力
センサに、それぞれ第１，第２の導圧管を利用して、測
定流体を連通するようにした。

【００６８】且つ、第１の圧力センサと第２の圧力セン
サとの出力を演算して、第１の圧力センサと第２の圧力
センサとが検出した管路振動ノイズを除去する管路振動
ノイズ除去回路を設けるようにした。

【００６９】この結果、高温の測定流体に対して、安定
な動作が可能となり、且つ、耐ノイズ特性が良好な渦流
量計が得られる。

【００７０】（２）第１，第２の圧力センサは、剛構造
に出来るので、頑丈な渦流量計が得られる。

【００７１】（３）第１，第２の圧力センサの構造は簡
潔であるので、製造コストガ大幅に低減出来、安価な渦
流量計が得られる。

【００７２】本発明の請求項２によれば、圧力センサと
して圧電素子が使用されたので、高いキュリー温度を有
する圧電素子を選択すれば、高温まで使用出来、また、
電力の供給が不要であり、センサ部が安価で信頼性が高
い渦流量計が得られる。

【００７３】本発明の請求項３によれば、振動ノイズ除
去回路として、第１の圧力センサと第２の圧力センサと
の出力をそれぞれチヤージコンバータを介して差動増幅
器に入力するようにしたので、差動増幅器が使用された
ので、管路振動は容易にキャンセルされると共に、信号
成分は加算されて２倍となり、感度が良好な渦流量計が
得られる。

【００７４】本発明の請求項４によれば、放熱フインが
導圧管に設けられたので、更に、高温の測定流体に対し
ても、安定な動作が可能となる渦流量計が得られる。

【００７５】本発明の請求項５によれば、フレキシブル
パイプが導圧管の一部に設けられたので、管路振動ノイ
ズが、圧電素子に加わるのを減衰することが出来、耐ノ
イズ特性が良好な渦流量計が得られる。

【００７６】本発明の請求項６によれば、ストップバル
ブが導圧管に設けられたので、オンラインにおける、第
１，第２の圧力センサの着脱を可能とすることが出来る
渦流量計が得られる。

【００７７】従って、本発明によれば、高温の測定流体
に対して安定な動作が可能で、耐ノイズ特性が良好な渦
流量計を実現することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の要部構成説明図である。

【図２】図１の要部詳細説明図である。

【図３】図１の電気回路説明図である。

【図４】従来より一般に使用されている従来例の構成説
明図である。

【図５】図４の変換部の要部構成説明図である。

【図６】図４の動作説明図である。

【図７】図４の動作説明図である。

【符号の説明】

１０ 管路 １２ 渦発生体 ３１ 断熱材 ３２ 第１の導圧孔 ３３ 第２の導圧孔 ３４ 第１の導圧管 ３５ 第１の圧力センサ ３５１ ホルダー ３５２ 凹部 ３５３ 圧力素子 ３５４ 絶縁体 ３５５ 加重体 ３５６ ばね ３５７ 固定体 ３５８ 溶接 ３６ 固定台 ３７ 第２の導圧管 ３８ 第２の圧力センサ ３８１ ホルダー ３８２ 凹部 ３８３ 圧力素子 ３８４ 絶縁体 ３８５ 加重体 ３８６ ばね ３８７ 固定体 ３８８ 溶接 ３９ 管路振動ノイズ除去回路 ３９１ チヤージコンバータ ３９２ チヤージコンバータ ３９３ 差動増幅器 ４１ 放熱フイン ４２ 放熱フイン ４３ フレキシブルパイプ ４４ フレキシブルパイプ ４５ ストップバルブ ４６ ストップバルブ

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】測定管路に挿入された柱状の渦発生体によ
   り発生する渦周波数を検出して流量を測定する渦流量計
   において、 前記渦発生体の端部近くの前記測定管路にこの渦発生体
   を挟んで設けられた第１，第２の導圧孔と、 前記第１の導圧孔に一端が接続される第１の導圧管と、 この第１の導圧管の他端に取付られ管路の外側に設けら
   れた固定台の一面に固定される第１の圧力センサと、 前記第２の導圧孔に一端が接続される第２の導圧管と、 この第２の導圧管の他端に取付られ前記固定台の一面に
   固定される第２の圧力センサと、 前記第１の圧力センサと前記第２の圧力センサとの出力
   を演算して前記第１の圧力センサと前記第２の圧力セン
   サとが検出した管路振動ノイズを除去する管路振動ノイ
   ズ除去回路とを具備したことを特徴とする渦流量計。
2. 【請求項２】前記圧力センサとして圧電素子が使用され
   たことを特徴とする請求項１記載の渦流量計。
3. 【請求項３】前記振動ノイズ除去回路として前記第１の
   圧力センサと前記第２の圧力センサとの出力をそれぞれ
   チヤージコンバータを介して差動増幅器に入力するよう
   にしたことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の渦
   流量計。
4. 【請求項４】前記導圧管に設けられた放熱フインを具備
   したことを特徴とする請求項１乃至請求項３の何れかに
   記載の渦流量計。
5. 【請求項５】前記導圧管の一部に設けられたフレキシブ
   ルパイプを具備したことを特徴とする請求項１乃至請求
   項４の何れかに記載の渦流量計。
6. 【請求項６】前記導圧管に設けられたストップバルブを
   具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れ
   かに記載の渦流量計。