JP5423963B2 - 渦流量計 - Google Patents
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Description
更に詳述すれば、本発明は渦流量計の耐振性向上に関するものである。
本体1の上部には逆U字状のブラケット2が設けられ、その上部にはケース3が設けられている。
管路10は測定流体FLが流れる管路である。
ノズル11は管路10に直角に設けられ円筒状をなす。
渦発生体12は、ノズル11とは隙間を保って、管路10に直角に挿入され、台形断面を有す。
凹部15は、渦発生体12のフランジ部14側に設けられている。
さらに、電極板18からは、リード線23、電極板20からはリード線24が、それぞれ端子A、Bに引き出されている。
電荷増幅器25の出力と、電荷増幅器26の出力をボリウム27を介した出力とを、加算器28で加算して流量信号を得る。
次に、以上のように構成された渦流量計の動作について、図10と図11とを用いて説明する。
この振動により渦発生体12には、図10(a)に示すような応力分布と、この逆の応力分布の繰返しが生じる。
なお、図10においては、説明の便宣のため、電極板18或いは21を紙面に対して左石に2つに分割し、かつ、上下の一方の電極は、第1コモン電極16あるいは押圧棒22に相当するものとしてある。
この管路振動は、
(1)流体の流れと同じ方向の抗力方向、
(2)流体の流れとは直角方向の揚力方向、
(3)渦発生体の長手方向の3方向成分に分けられる。
また、長手方向の振動に対しては、図10(c)に示すように、電極内で打ち消されて、抗力方向と同様にノイズ電荷は発生しない。
そこで、このノイズ電荷を消去するために、以下の演算を実行する。
−Q2=−S2一N2
ただし、S1とS2、N1とN2のベクトル方向は同じである。
=S1−S2(N1/N2)
となり管路ノイズは除去される。
ケースの振動により伝わる振動ノイズは、ブラケットを、圧電素子の感度がある揚力方向に剛性を高めることで、管路本体部に振動を伝え難くすることで、耐振性を向上させる工夫がされている。
特に、ケース及びブラケットの部分(以下「トップワーク」と呼ぶ)が共振してしまうと、振動の振幅が大きくなり、振動ノイズをキャンセルすることが困難になっていた。
管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、前記ケースに設けられXYZ軸方向のケース振動のノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、前記3軸ジャイロのケースに前記XYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量とを有する振動検出発生ユニットを具備したことを特徴とする。
管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、前記渦発生体に設けられXYZ軸方向の振動ノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、前記3軸ジャイロのケースに前記XYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量とを有する振動検出発生ユニットを具備したことを特徴とする。
管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、前記渦流量計の前記カルマン渦による交番圧力の変動を検出しない位置に設けられXYZ軸方向の振動ノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、前記渦発生体に設けられ前記3軸ジャイロの前記XYZ軸に対応して一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量とを有する振動検出発生ユニットを具備したことを特徴とする。
3軸ジャイロで検出した振動と逆位相の振動を圧電アクチュエータで発生させることにより、ケースの振動を減衰させることができる。
ケースの振動が減衰することで、S/N比が向上し、従来よりも耐振性の高い渦流量計が得られる。
渦信号として存在し得ない帯域の周波数を振動検出発生ユニットが検出した場合、渦発生体に振動と逆位相の強制振動を与え、渦発生体に発生する振動ノイズをキャンセルする。
限定周波数帯域で効果がある渦流量計が得られる。
ケース振動によるノイズ成分だけでなく、渦発生体の自重により生じる振動ノイズもキャンセルすることができる。
全周波数帯域で耐振性を向上出来る渦流量計が得られる。
図1は本発明の一実施例の要部構成説明図でケース部分を拡大した説明図で、(a)は正面図、(b)は側面図である。
図において、図7と同一記号の構成は同一機能を表す。
以下、図7との相違部分のみ説明する。
3軸ジャイロ311は、ケース3に設けられXYZ軸方向のケース3の振動のノイズをそれぞれ検出する。
圧電アクチュエータ313は、3軸ジャイロ311のケースにXYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ、振動制御回路312からの信号に基づき、3軸ジャイロ311の検出振動信号を打ち消す振動を発生する。
付加質量314は、圧電アクチュエータ313の他方の面にそれぞれ一面が設けられている。
ケース3の振動を3軸ジャイロ311で検出し、検出したそれぞれの軸方向振動に対し、振動制御回路312からの信号に基づき、逆位相で圧電アクチュエータ313を振動させケース3の振動を減衰させる。
3軸ジャイロ311で検出した振動と逆位相の振動を圧電アクチュエータ313で発生させることにより、ケース3の振動を減衰させることができる。
ケース3の振動が減衰することで、S/N比が向上し、従来よりも耐振性の高い渦流量計が得られる。
図5において、振動検出発生ユニット41は、3軸ジャイロ411と振動制御回路412と圧電アクチュエータ413と付加質量414とを有する。
3軸ジャイロ411は、渦発生体12に設けられ、XYZ軸方向の振動ノイズをそれぞれ検出する。
圧電アクチュエータ413は、3軸ジャイロ411のケースに、XYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ、振動制御回路412からの信号に基づき、ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する。
付加質量414は、この圧電アクチュエータ413の他方の面に、それぞれ一面が設けられている。
ケース3の振動を3軸ジャイロ411で検出し、検出したそれぞれの軸方向振動に対し、振動制御回路412からの信号に基づき、逆位相で圧電アクチュエータ413を振動させ渦発生体12の振動を減衰させる。
渦信号として存在し得ない帯域の周波数を振動検出発生ユニット41が検出した場合、渦発生体12に振動と逆位相の強制振動を与え、渦発生体12に発生する振動ノイズをキャンセルする。
限定周波数帯域で効果がある渦流量計が得られる。
図6において、振動検出発生ユニット51は、3軸ジャイロ511と振動制御回路512と圧電アクチュエータ513と付加質量514とを有する。
3軸ジャイロ511は渦流量計のカルマン渦による交番圧力の変動を検出しない位置に設けられXYZ軸方向の振動ノイズをそれぞれ検出する。
例えば、本体1に設けられた柔軟な台の上に取付けられている。
圧電アクチュエータ513は、渦発生体12に設けられ、3軸ジャイロ511のXYZ軸に対応して一方の面が設けられ、振動制御回路512からの信号に基づき、ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する。
付加質量514は、この圧電アクチュエータ513の他方の面にそれぞれ一面が設けられている。
圧電アクチュエータ513と付加質量514とを、渦発生体12に取り付ける。
渦流量計の振動を3軸ジャイロ411で検出し、検出したそれぞれの軸方向振動に対し、振動制御回路412からの信号に基づき、逆位相で圧電アクチュエータ413を振動させ渦流量計の振動を減衰させる。
ケース3の振動によるノイズ成分だけでなく、渦発生体12の自重により生じる振動ノイズもキャンセルすることができる。
全周波数帯域で耐振性を向上出来る渦流量計が得られる。
したがって本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形をも含むものである。
2 ブラケット
3 ケース
FL 測定流体
10 管路
11 ノズル
12 渦発生体
13 ネジ
14 フランジ部
15 凹部
16 第1コモン電極
17 圧電素子
18 電極板
19 絶縁板
20 電極板
21 圧電素子
22 押圧棒
23 リード線
24 リード線
25 電荷増幅器
26 電荷増幅器
27 ボリウム
28 加算器
31 振動検出発生ユニット
311 3軸ジャイロ
312 振動制御回路
313 圧電アクチュエータ
314 付加質量
41 振動検出発生ユニット
411 3軸ジャイロ
412 振動制御回路
413 圧電アクチュエータ
414 付加質量
51 振動検出発生ユニット
511 3軸ジャイロ
512 振動制御回路
513 圧電アクチュエータ
514 付加質量
FL 測定流体
Claims (3)
- 管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、
前記ケースに設けられXYZ軸方向のケース振動のノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、
この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、
前記3軸ジャイロのケースに前記XYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、
この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量と
を有する振動検出発生ユニット
を具備したことを特徴とする渦流量計。 - 管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、
前記渦発生体に設けられXYZ軸方向の振動ノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、
この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、
前記3軸ジャイロのケースに前記XYZ軸に直交してそれぞれ一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、
この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量と
を有する振動検出発生ユニット
を具備したことを特徴とする渦流量計。 - 管路本体に取り付けられたケースを具備し、カルマン渦による交番圧力の変動を渦発生体に設けられた応力検出素子で検出して流速流量を測定する渦流量計において、
前記渦流量計の前記カルマン渦による交番圧力の変動を検出しない位置に設けられXYZ軸方向の振動ノイズをそれぞれ検出する3軸ジャイロと、
この3軸ジャイロで検出された振動信号に基づきこのジャイロ検出振動信号と逆位相の振動信号を出力する振動制御回路と、
前記渦発生体に設けられ前記3軸ジャイロの前記XYZ軸に対応して一方の面が設けられ前記振動制御回路からの信号に基づき前記ジャイロ検出振動信号を打ち消す振動を発生する圧電アクチュエータと、
この圧電アクチュエータの他方の面にそれぞれ一面が設けられた付加質量と
を有する振動検出発生ユニット
を具備したことを特徴とする渦流量計。
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JP2009262943A JP5423963B2 (ja) | 2009-11-18 | 2009-11-18 | 渦流量計 |
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