JP2003302529A - 偏光分離素子およびその作製方法、接着装置及び光ピックアップ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】有機複屈折膜を用いる偏光分離素子の製造過程
において、有機複屈折膜を透明基板に接着する新規な方
法を実現する。 【解決手段】透明基板１上に有機複屈折膜５を接着する
工程と、有機複屈折膜５上にエッチングにより回折格子
を形成する工程とを有する偏光分離素子１００の作製方
法において、接着工程が、透明基板１上に紫外線硬化型
接着剤３を塗布し、その上に有機複屈折膜５を載せて透
明基板１を回転し、紫外線ＵＶを照射して紫外線硬化型
接着剤を硬化する工程からなり、透明基板１の最小長：
ＬＳ、回転の際の透明基板１に対する有機複屈折膜５の
最大位置ずれ量：ΔＳに対し、最大長：ＬＦが条件：Ｌ
Ｓ＞ＬＦ＋ΔＳを満足する有機複屈折膜５を用いる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、偏光分離素子お
よびその作製方法、接着装置及び光ピックアップ装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術】光ディスク用の光ピックアップ装置で
は、光源からの入射光束と「光ディスクにより反射され
光ディスクの情報を帯びた戻り光束」とを分離して、戻
り光束を効率良く光検出手段に導くために偏光分離素子
が用いられている。偏光分離素子として「プリズムを接
着したビームスプリッタ」が、λ／４波長板と共に用い
られているが、光ピックアップ装置の小型化・低コスト
化の要請に答えるため、薄型化の可能な「複屈折回折格
子型の偏光分離素子」の使用が意図されている。

【０００３】特開２０００−７５１３号公報は、この種
の偏光分離素子として、透明基板上に「入射光の異なる
振動面に対し屈折率が異なる有機複屈折膜」を接着し、
この有機複屈折膜の表面に周期的な凹凸による回折格子
を形成したものを開示している。有機複屈折膜としては
「延伸した有機高分子膜」が用いられている。

【０００４】この偏光分離素子では、接着剤を用いて有
機複屈折膜を透明基板に接着しているが、回折格子を透
過する光束に対して光路長を一定にするためには、接着
剤層の厚さを均一にして有機複屈折膜の表面を平坦化す
る必要があり、接着の際に、接着される有機複屈折膜に
「うねり」や「波打ち」が生じないようにしなければな
らない。さらに、接着剤層に気泡が入ると、入射・射出
光束が気泡により散乱されて回折効率が低下するため、
気泡を巻き込まない接着法が必要となる。また、接着工
程において、透明基板に対する有機複屈折膜の位置修正
の手間がかからないことが好ましい。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】この発明は、有機複屈
折膜を用いる偏光分離素子の製造過程において、有機複
屈折膜を透明基板に接着する際、接着剤層に気泡を巻き
込むことなく有機複屈折膜の表面を良好に平坦化でき、
透明基板に対する有機複屈折膜の位置修正を必要としな
い新規な「偏光分離素子の作製方法」、この方法を実現
するための「接着装置」、上記方法により作製され有機
複屈折膜の表面が平坦な「偏光分離素子」、さらにこの
偏光分離素子を用いた「光ピックアップ装置」の実現を
課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明の偏光分離素子
の作製方法は「透明基板上に、入射光の異なる振動面に
対して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程
と、有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形成
し、このマスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッチ
ングして周期的な凹凸による回折格子を形成する工程
と」を有する偏光分離素子の作製方法であって以下の点
を特徴とする。

【０００７】即ち、請求項１記載の作製方法は、接着工
程が「透明基板上に紫外線硬化型接着剤を塗布し、塗布
された紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜を載せて
透明基板を回転し、紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射
して、紫外線硬化型接着剤を硬化する工程からなり、透
明基板の最小長をＬＳ、上記回転の際の透明基板に対す
る有機複屈折膜の最大位置ずれ量をΔＳとするとき、有
機複屈折膜として、最大長：ＬＦが、条件：ＬＳ＞ＬＦ
＋ΔＳを満足するものを用いる」ことを特徴とする。

【０００８】ΔＳの範囲は「５〜２０ｍｍ」が好適であ
る（請求項２）。

【０００９】請求項１または２記載の偏光分離素子の作
製方法において用いられる「有機複屈折膜」は「透明基
板に接着されない側の面に、粘着剤を介して保護膜が設
けられたもの」であることができる。このような有機複
屈折膜を用いる場合には、紫外線硬化型接着剤に紫外線
を照射して硬化させた後、保護膜を有機複屈折膜の膜本
体から剥離する（請求項３）。

【００１０】請求項４記載の作製方法は、接着工程が
「透明基板上に紫外線硬化型接着剤を塗布し、塗布され
た紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を載せ、透明基
板を回転させつつ紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射し
て紫外線硬化型接着剤を硬化する工程からなり、透明基
板の最小長をＬＳ、上記回転の際の透明基板に対する有
機複屈折膜の最大位置ずれ量をΔＳとするとき、有機複
屈折膜として、最大長：ＬＦが、条件：ＬＳ＞ＬＦ＋Δ
Ｓを満足するものを用いる」ことを特徴とする。

【００１１】この場合も、ΔＳの範囲は「５〜２０ｍ
ｍ」が好適である（請求項５）。

【００１２】上記請求項４または５記載の偏光分離素子
の作製方法において用いられる「有機複屈折膜」は「透
明基板に接着されない側の面に、粘着剤を介して保護膜
が設けられたもの」であることができる。このような有
機複屈折膜を用いる場合には、紫外線硬化型接着剤に紫
外線を照射して硬化させた後、保護膜を有機複屈折膜の
膜本体から剥離する（請求項６）。

【００１３】この発明の偏光分離素子は、上記請求項１
〜６の任意の１に記載の作製方法によって作製される偏
光分離素子である（請求項７）。

【００１４】この発明の光ピックアップ装置は、請求項
７記載の偏光分離素子を用いることを特徴とする（請求
項８）。

【００１５】この発明の接着装置は、上記請求項１〜６
の任意の１に記載の作製方法において、接着工程を実施
するための装置であって、スピンテーブルと、回転機構
と、塗布機構と、載置機構と、紫外線照射機構とを有す
る（請求項９）。

【００１６】「スピンテーブル」は、透明基板を保持す
るためのものである。「回転機構」は、スピンテーブル
を回転させる機構である。「塗布機構」は、スピンテー
ブルに保持された透明基板に紫外線硬化型接着剤を塗布
する機構である。

【００１７】「載置機構」は、透明基板上に塗布された
紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜を載置する機構
である。「紫外線照射機構」は、透明基板上に層状に形
成された紫外線硬化型接着剤に紫外線を照射する機構で
ある。

【００１８】若干、説明を補足する。光ピックアップ装
置に用いられるような偏光分離素子は、一般に、そのサ
イズは数ｍｍ四方（例えば５ｍｍ四方）程度のものであ
り、これらは単品づつ個別的に作製されるわけではな
く、一度に数百のものが製造される。

【００１９】即ち、透明基板としては、直径：数１０ｍ
ｍ〜数１００ｍｍのサイズのもの、例えば直径：１００
ｍｍあるいは１６０ｍｍのものが用いられ、透明基板上
に接着剤層が塗布され、塗布された接着剤層上に有機複
屈折膜が接着される（接着工程）。

【００２０】このとき「以後の製造工程において、有機
複屈折膜と透明基板とが剥離したりしない」ように接着
力を強化するのに、有機複屈折膜の接着剤層側面を「粗
面化処理」するのが好ましい。この粗面化処理は「プラ
ズマ処理」を用いて行うこともできるし、コロナ放電や
サンドブラスト処理で行うこともできる。ただし、粗面
化処理により形成される凹凸が大きいと光を散乱させる
ので、凹凸は、使用波長：λに対しλ／１０以下の大き
さで、なおかつ接着力強化に有効な大きさである必要が
ある。

【００２１】上に説明した「回折格子の形成」は、基板
に接着された有機複屈折膜の面に対し、リソグラフィと
エッチングとにより複数の素子に対応して１度に行われ
る。この回折格子の形成は、エッチングに必要な時間が
数１０秒〜数分であり、極めて効率よく回折格子形成を
行うことができる。

【００２２】なお、エッチングの際のマスクを形成する
工程で用いられるフォトレジストのプリベークを例えば
１００℃前後の高温で行うと、有機複屈折が熱収縮して
透明基板に「反り」が生じるので、プリベークは６０度
以下の低温で行うことが好ましい。このとき、減圧下で
プリベークすると、２０℃程度の低温でも溶剤を有効に
除去でき、短時間でプリベークを実現できる。

【００２３】回折格子の形成後、光学的に等方的な等方
性接着剤を、有機複屈折膜の「回折格子の形成された
面」全体に塗布し、しかるのちその上から「別の透明基
板」を載置して等方性接着剤による接着で全体を一体化
する。有機複屈折膜の等方性接着剤に接する側の面に
も、前記と同様の「粗面化処理」を施すことが好まし
い。

【００２４】このようにして「別の透明基板」を接着し
たら、ダイシングソーを用いて切断を行い、個々の回折
光学素子を得る。

【００２５】この発明の偏光分離素子の作製方法では、
「接着工程」の際、透明基板上に塗布された紫外線硬化
型接着剤の上に有機複屈折膜を載せて透明基板を回転さ
せ、回転によって、有機複屈折膜や紫外線硬化型接着剤
に遠心力を作用させることにより、有機複屈折膜の表面
のうねりや波打ち等の凹凸を改善しながら、接着剤を振
り切ることができるので、紫外線硬化型接着剤を硬化さ
せた状態では、有機複屈折膜の表面は極めて平坦性の良
い状態となる。

【００２６】しかしながら、透明基板や有機複屈折膜は
１枚構成で「機械的な回転軸に係止させる係合孔」を有
していない（これはまた、１枚の基板から採取できる偏
光分離素子数を多くするためでもある）。

【００２７】透明基板を回転させるとき、透明基板自体
は真空吸着によってスピンテーブルに固定できるが、有
機複屈折膜はこれを透明基板上に固定することができな
い。しかも、透明基板上に載置された有機複屈折膜は
「未硬化状態で流動性を有する紫外線硬化型接着剤」の
上に載せられているので、透明基板が回転されるとき、
その回転中心と有機複屈折膜の重心とが合致していない
と、有機複屈折膜に作用する遠心力により「有機複屈折
膜が透明基板に対してずれる」ことになる。

【００２８】このようなずれが生じた場合、透明基板と
有機複屈折膜とが同サイズであると、有機複屈折膜の一
部が透明基板からはみ出してしまう。

【００２９】紫外線照射によって紫外線硬化型接着剤を
硬化させた後、回折格子を形成するためリソグラフィー
／ドライエッチングを行うが、装置内や工程間の搬送は
「透明基板の側面をクランプして行う」ことが多く、透
明基板から有機複屈折膜がはみ出していると搬送が困難
になる。

【００３０】このような事態を避けるには、紫外線硬化
型接着剤の塗布された透明基板上に有機複屈折膜を載置
する際「有機複屈折膜の重心が前記回転中心と正確に合
致する」ようにすればよいが、載置の際の位置調整に時
間を要し、偏光分離素子の製造効率が低下してしまう。

【００３１】この発明においてはこのような問題を有効
に回避するべく、前述のように「透明基板の最小長をＬ
Ｓ、上記回転の際の「透明基板に対する有機複屈折膜の
最大位置ずれ量」をΔＳとするとき、有機複屈折膜とし
て、最大長：ＬＦが、条件：ＬＳ＞ＬＦ＋ΔＳを満足す
るもの」を用いる。このようにすれば、回転に伴なって
有機複屈折膜が透明基板に対してずれても、有機複屈折
膜が透明基板上からはみ出すことがない。

【００３２】最大長：ＬＦ、最小長：ＬＳは、何れも、
透明基板、有機複屈折膜の接着を行う面の上の長さであ
り、透明基板、有機複屈折膜とも円形である場合、透明
基板の最小長：ＬＳ、有機複屈折膜の最大長：ＬＦはこ
れらの直径を意味する。

【００３３】透明基板、有機複屈折膜が「オリエンテー
ションフラットのあるウエハー形状や正方形形状」の場
合、オリエンテーションフラットのあるウエハー形状で
は最大長は「ウエハー直径」となり、最小長は「オリエ
ンテーションフラットの中央でオリエンテーションフラ
ットに直交する径」であり、正方形の場合、最大長は対
角線、最小長は対向する２辺間の距離となる。また、透
明基板の断面形状が四角形の場合は被接着面での最大の
長さ、最小の長さを指し、断面形状が台形の場合は被接
着面での最大の長さ、最小の長さを指している。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下に「偏光分離素子の作製方
法」の実施の形態を、具体的な実施例に即して説明す
る。

【００３５】

【実施例】実施例１ 図１を参照して実施例１の作成方法を説明する。図１
（ａ）、（ｂ）に示すように、直径：１００ｍｍ（＝最
小長：ＬＳ）、厚さ：１．０ｍｍのショット製光学ガラ
スＢＫ７からなる円板形状の透明基板１をスピンテーブ
ル１０に載せ、真空吸着によってスピンテーブル１０に
固定し、スピンテーブル１０を１０〜５０ｒｐｍで回転
させながら、ディスペンサー１２を用いて、透明基板１
の中央部に屈折率：１．５２、粘度：５００ｃｐのアク
リル系の紫外線硬化型接着剤３を３〜１０ｇ滴下する。
滴下後、スピンテーブルを１５０〜５００ｒｐｍで回転
させ、透明基板１の全面に紫外線硬化型接着剤３を広げ
たのちスピンテーブル１０の回転を停止する。

【００３６】次いで、図１（ｃ）に示すように、厚さ：
１００μｍで、直径（＝最大長：ＬＦ）が、透明基板１
よりも一回り小さい有機複屈折膜５を、その中心をスピ
ンテーブル１０の回転中心にほぼ合せながら、図示され
ない載置装置を用いて、紫外線硬化型接着剤３の塗布層
上に載せる。ＬＳ＞ＬＦである。次いで、図１（ｄ）に
示すように、スピンテーブル１０を再回転（回転数：１
０００〜３０００ｒｐｍ）させ、剰余の紫外線硬化型接
着剤３を振り切り、有機複屈折膜５下の接着剤層３の厚
さを均一化する。

【００３７】その後、スピンテーブル１０の回転を停止
し、図１（ｅ）に示すように、有機複屈折膜５の側か
ら、図示されない高圧水銀灯を用いて紫外線ＵＶを照射
し、紫外線硬化型接着剤３を硬化させる。

【００３８】接着剤の硬化により「有機複屈折膜５を接
着された透明基板（以下「基板」という）をスピンテー
ブル１０から外し、有機複屈折膜５上にポジレジストを
１．５μｍの厚さに塗布し、６０℃の温度での３０分の
プリベーク後、基板を縮小投影露光装置（ＮＡ＝０．４
５、σ＝０．６、波長；ｉ線）にセットし「１０００周
期分の１．５μｍのラインアンドスペースパターンを持
つレチクル」を用いて露光し、現像液ＮＭＤ−３を用い
て現像を行い、１００℃の温度で３０分のポストベーク
を行い「周期的なレジストパターン」を完成させる。

【００３９】さらに、上記レジストパターンを１１０℃
の雰囲気で１，１，３，３−テトラメチルヘキサジシラ
ザン蒸気にさらし、レジスト表面に１，１，３，３−テ
トラメチルヘキサジシラザンをドープしたのち、ＥＣＲ
エッチング装置を用いて酸素ガスを主成分とするエッチ
ングガス雰囲気中で、レジストパターンをマスクとして
有機複屈折膜を深さ４μｍエッチングしたのち、剥離液
を用いてレジストパターンを除去し「１０００周期分の
凹凸による回折格子」を完成させる。

【００４０】図１（ｆ）は、回折格子を形成した状態を
説明図的に示している。付言すると、図１（ｆ）におい
て、有機複屈折膜５の上面に形成されている凹凸におけ
る「個々の凸部」に上記「１０００周期分の凹凸による
回折格子」が形成されている。即ち、回折格子は、有機
複屈折膜５の上面に「同じものが数１００個」形成され
る。

【００４１】回折格子を形成した基板を、平面加工した
直径：２００ｍｍ、厚み：５０ｍｍのステンレス台上に
載置し、回折格子面に「光学的に等方的なアクリル系の
紫外線硬化型接着剤（前述の「等方性接着剤」）」を、
マイクロシリンジで１．０ｍＬ滴下する。

【００４２】両面を光学研磨した直径：１００ｍｍ、厚
み：１ｍｍの円板形状の「対向透明基板（前述の「別の
透明基板」 材質：ショット製光学ガラスＢＫ７）」の
片面に、粘着剤を塗布されたλ／４波長板を貼付け、λ
／４波長板の側を等方性接着剤の側にして基板上に載
せ、更に対向透明基板上に「光学研磨した光学ガラス」
を載せて対向透明基板に１００ｇｆ／ｃｍ^２の圧力を加
え、等方性接着剤を被接着面全面に広げる。

【００４３】なお、対向透明基板の自由表面（空気と接
する面）には、入射光の反射が最小となるよう反射防止
膜（図示せず）を形成しておく。この状態で対向透明基
板を通して紫外光を照射し、等方性接着剤を硬化する。

【００４４】図１（ｇ）は、このようにして対向透明基
板を一体化した状態を示している。図中、符号６が「等
方性接着剤」、符号７が「λ／４波長板」、符号８が
「粘着剤」、符号９が「対向透明基板」を示す。図１
（ｇ）に示す状態のものを「中間完成体」と呼び、符号
１Ａで示す。

【００４５】次いで、図１（ｈ）に示すように、中間完
成体１Ａに含まれている数１００個の回折格子を、ダイ
シングソー１５を用いて「５ｍｍ角（各々が、１個の回
折格子を有する）」に切りだし、複数個の偏光分離素子
１００を完成させる。

【００４６】実施例１の作製方法によれば、回転によっ
て有機複屈折膜５や、透明基板１に塗布された紫外線硬
化型接着剤３に遠心力を作用させることにより、有機複
屈折膜１の表面のうねりや波打ち等の凹凸を改善しつつ
接着剤を振り切ることができ、良好な平坦性を持つ有機
複屈折膜の接着が可能となる。

【００４７】実施例１の作製方法では、透明基板１をス
ピンテーブル１０に固定した後、スピンテーブル１０を
回転させながら、透明基板１の中央部にアクリル系の接
着剤を滴下して接着剤塗布を行ったが、接着剤３の塗布
方法は上記方法に限定されるものではなく、透明基板１
をスピンテーブル１０に固定後、スピンテーブル１０を
停止したまま透明基板１の中央部に接着剤３を滴下し、
その後、スピンテーブル１０を回転させて透明基板１の
全面に接着剤を広げても良く、あるいはロールコート
法、スプレー法等によって紫外線硬化型接着剤３を塗布
しても良い。

【００４８】図２は、紫外線硬化型接着剤３が塗布され
た透明基板１上に、有機複屈折膜５を載せた状態（上記
図１（ｄ）に対応）を示す。上述の如く、実施例１で
は、載置装置を用い「厚さ：１００μｍで直径が透明基
板の直径より一回り小さい有機複屈折膜５を、その中心
をスピンテーブル１０の回転中心にほぼ合わせる」よう
にしながら紫外線硬化型接着剤３の塗布層上にを載せて
いる。

【００４９】実施例１の作製方法における「接着工程
（紫外線硬化型接着剤の塗布、有機複屈折膜の載置、回
転による平坦化、紫外線照射による接着剤の硬化）」
を、直径：１００ｍｍ、厚さ：１．０ｍｍの円板形状の
透明基板（材質：ショット製光学ガラスＢＫ７）に対し
て、「円形状で、厚さ：１００μｍの有機複屈折膜」
の、直径（＝最大長：ＬＦ）を、６０〜１００ｍｍの範
囲で５ｍｍ刻みで変化させた９種類の膜を用いて実施し
た。

【００５０】載置装置を用いた「スピンテーブル回転中
心に対する有機複屈折膜中心の合せの精度」は、透明基
板の「直径のばらつき」や、有機複屈折膜の「直径のば
らつき」、載置装置の機械精度等で決まるが、説明中の
例では±０．５ｍｍである。なお、載置装置にはスピン
テーブルの回転中心や有機複屈折膜の中心の検出機構、
フィードバック制御機構は搭載していない。

【００５１】紫外線硬化型接着剤を硬化させた後「各有
機複屈折膜の位置ずれ」を目視で観察した後、各基板を
スピンテーブルから外し、前述のリソグラフィー／エッ
チングによる回折格子の形成後、等方性接着剤を用い、
粘着剤によってλ／４波長板を貼付けられた直径：１０
０ｍｍ、厚み：１ｍｍの円板形状の対向透明基板（材
質：ショット製光学ガラスＢＫ７）を接着し、ダンイシ
ングソーを用いて５ｍｍ角に切りだし、作製された偏光
分離素子の素子数をカウントした。なお対向透明基板の
自由表面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜
を形成している。

【００５２】有機複屈折膜の最大長：ＬＦ（＝直径）に
対する「透明基板からのはみ出し」、得られた素子数の
関係は以下の通りである。 透明基板：ＬＳ 有機複屈折膜：ＬＦ はみ出し 偏光分離素子数（個） １００ｍｍ ６０ｍｍ ○ ８１ １００ｍｍ ６５ｍｍ ○ ９７ １００ｍｍ ７０ｍｍ ○ １２１ １００ｍｍ ７５ｍｍ ○ １３７ １００ｍｍ ８０ｍｍ ○ １５５ １００ｍｍ ８５ｍｍ ○ １７５ １００ｍｍ ９０ｍｍ ○ ２０３ １００ｍｍ ９５ｍｍ ○ ２１９ １００ｍｍ １００ｍｍ × ― ○は「透明基板から有機複屈折膜のはみ出しがない」も
の×は「透明基板から有機複屈折膜のはみ出しがある」
ものである。

【００５３】ＬＳ＝ＬＦ＝１００ｍｍの場合は、透明基
板から有機複屈折膜がはみ出したため、ドライエッチン
グ装置のロードチャンバーとプロセスチャンバー間で搬
送不良が生じ、偏光分離素子の作製が困難であった。一
方、ＬＳ−ＬＦ（＝ΔＳ）＝５〜４０ｍｍの条件下で
は、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しが無く、工
程間、装置間で搬送不良が発生せず、偏光分離素子の作
製プロセスを良好に実行できた。特にΔＳ＝５〜２０ｍ
ｍの条件では、１枚の透明基板に対する有機複屈折膜の
面積を比較的大きく取れるため、偏光分離素子の「取り
数」を多くでき、偏光分離素子の低コスト化が可能にな
る。

【００５４】上記結果から、上の実験の範囲では、透明
基板に対する有機複屈折膜の最大位置ずれ量：ΔＳは５
ｍｍ以下であることが分かる。

【００５５】実施例２ 図３を参照して実施例２の作製方法を説明する。繁雑を
避けるため、混同の虞がないと思われるものについて
は、全図面を通じて同一の符号を付する。

【００５６】図３(ａ)、（ｂ）に示すように、直径：１
００ｍｍ、厚さ：１．０ｍｍのショット製光学ガラスＢ
Ｋ７からなる円板形状の透明基板１をスピンテーブル１
０に真空吸着し、ディスペンサー１２を用いて、実施例
１で用いたものと同じく屈折率：１．５２、粘度：５０
０ｃｐのアクリル系の紫外線硬化型接着剤３を滴下し、
スピンテーブル１０を回転させて接着剤３を透明基板１
の全面に均一に塗布する。

【００５７】塗布後、スピンテーブル１０の回転を停止
し、図３（ｃ）に示すように、片面に粘着剤２を介して
有機高分子からなる保護膜４を設けた円形状の有機複屈
折膜（直径：８０ｍｍ、厚さ：１００μｍ）５を、その
中心をスピンテーブルの回転中心にほぼ合せ、保護膜の
付いていない面が被接着面となるようにして、紫外線硬
化型接着剤３の上に載置装置（図示されず）を用いて載
せる。

【００５８】その後、図３（ｄ）に示すように、スピン
テーブル１０を再回転させ、剰余の紫外線硬化型接着剤
を振り切ったのち、スピンテーブル１０の回転を停止
し、保護膜４上から高圧水銀灯(図示されず)を用いて紫
外線ＵＶを照射し、紫外線硬化型接着剤３を硬化させる
(図３(ｅ))。紫外線ＵＶは、保護膜４での吸収を考慮し
て、実施例１におけるエネルギーの１．２倍のエネルギ
ーとする。

【００５９】続いて、図３（ｆ）に示すように、ピンセ
ット等を用いて、有機複屈折膜５の膜本体から保護膜４
を剥離する。

【００６０】以下、有機複屈折膜５を接着された透明基
板１をスピンテーブル１０から外し、実施例１と同様に
して、リソグラフィー／エッチングによって回折格子を
形成した後、光学的に等方的なアクリル系の紫外線硬化
型接着剤である「等方性接着剤」を用い、粘着剤によっ
てλ／４波長板を貼付けられた直径：１００ｍｍ、厚
さ：１ｍｍの円板形状の対向透明基板（材質：ショット
製光学ガラスＢＫ７）を接着する。対向透明基板の被自
由表面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜を
形成しておく。

【００６１】図３（ｇ）は、このようにして対向透明基
板を一体化した中間完成体１Ａを示している。図１にお
けると同様、符号６が「等方性接着剤」、符号７が「λ
／４波長板」、符号８が「粘着剤」、符号９が「対向透明
基板」を示す。

【００６２】最後に、図３（ｈ）に示すように、ダンイ
シングソーを用いて中間完成体１Ａを５ｍｍ角に切断
し、複数の偏光分離素子１００を得る。

【００６３】実施例２の作製方法では、透明基板１と有
機複屈折膜５の貼り合せを行う「接着工程」を、有機複屈
折膜の回折格子の形成を行う側の面を保護膜４で被覆し
た状態で行うことができ、回折格子を形成する面にキズ
や異物が付かない。特にスピンテーブル１０の回転によ
り振り切られた接着剤のミストが上記面に付着しない
（接着剤３のミストは保護膜４に付き、紫外線照射後、
保護膜４を剥離するので、有機複屈折膜５の表面には残
らない）ため、異物の非常に少ない有機複屈折膜表面を
実現でき、リソグラフィー工程において「異物によって
発生するパターン欠陥」を低減でき、偏光分離素子の製
造歩留を向上できる。

【００６４】実施例３ 図４を参照して、実施例３の作製方法を説明する。図４
（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すように、直径：１００ｍ
ｍ、厚さ：１．０ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ７か
らなる円板形状の透明基板１をスピンテーブル１０に載
せ、真空吸着によってスピンテーブル１０に固定し、ス
ピンテーブル１０を１０〜５０ｒｐｍで回転させなが
ら、ディスペンサー１２を用いて透明基板１の中央部に
屈折率：１．５８、粘度：６００ｃｐのエポキシ系の紫
外線硬化型接着剤を６３〜１１ｇ滴下し、滴下後、スピ
ンテーブル１０を１５０〜５００ｒｐｍで回転させ、透
明基板１の全面に紫外線硬化型接着剤３を広げたのち、
スピンテーブル１０の回転を停止して、直径：８０ｍ
ｍ、厚さ：８０μｍの円形状の有機複屈折膜５を、その
中心をスピンテーブル１０の回転中心にほぼ合せなが
ら、載置装置(図示されず)を用いて紫外線硬化型接着剤
３の上に載せる。この状態は、図２に示された状態と同
様の状態である。

【００６５】続いて、図４（ｄ）に示すように、スピン
テーブル１０を再回転（回転数：１０００〜３０００ｒ
ｐｍ）させ、最終回転数になってから３０秒後に「スピ
ンテーブル１０を回転させた状態」で、高圧水銀灯(図
示されず)を用いて紫外線ＵＶを照射する。このように
すると、剰余の接着剤を振り切りつつ有機複屈折膜５と
透明基板１の間で紫外線硬化型接着剤３の硬化を開始さ
せることができる。

【００６６】接着剤層の厚さを均一化するためには、短
時間に接着剤を硬化させるのではなく、接着剤の硬化が
徐々に起こることが好ましいので、比較的強度の小さい
紫外線ＵＶを長時間照射するようにするのが良い。この
例では、実施例１の場合の紫外線強度の１／５にしてい
る。

【００６７】紫外線照射を終了した後、スピンテーブル
１０の回転を停止し、有機複屈折膜５を接着した透明基
板１（以下、「基板」という）をスピンテーブルから外し
て、実施例１と同様にして有機複屈折膜上に回折格子を
形成する。

【００６８】回折格子を形成された基板を、平面加工し
た直径：２００ｍｍ、厚み：５０ｍｍのステンレス台上
に置き、回折格子の形成された面に、光学的に等方的な
エポキシ系の紫外線硬化型接着剤である「等方性接着
剤」をマイクロシリンジで１．０ｍＬ滴下し、両面を光
学研磨した直径：１００ｍｍ、厚み：１ｍｍの円板形状
の対向透明基板（材質：ショット製光学ガラスＢＫ７）
を等方性接着剤を塗布した基板に載せ、更に、対向透明
基板上に光学研磨した光学ガラスを載せ、対向透明基板
に１００ｇｆ／ｃｍ^２の圧力を加え、等方性接着剤を被
接着面全面に広げる。対向透明基板の被接着面と対向す
る面には入射光の反射が最小となるよう反射防止膜（図
示されず）を形成しておく。この状態で対向透明基板を
通して紫外光を照射し、等方性接着剤を硬化する。

【００６９】図４（ｆ）は、対向透明基板を一体化した
中間完成体１Ｂを示している。図１におけると同様、符
号６が「等方性接着剤」、符号９が「対向透明基板」を
それぞれ示す。

【００７０】最後に、図４（ｇ）に示すように、ダンイ
シングソー１５を用いて中間完成体１Ｂを５ｍｍ角に切
りだし、１５５個の偏光分離素子を完成させる。

【００７１】ダイシングによって切り出された個々の偏
光分離素子について見ると、基板間で接着剤層の厚さが
均一であるため、個々の素子間でも接着層の変動が小さ
い。

【００７２】実施例３でも、透明基板１をスピンテーブ
ル１０に固定した後、スピンテーブル１０を回転させな
がら、透明基板１の中央部にエポキシ系の接着剤を滴下
して接着剤を塗布したが、透明基板１をスピンテーブル
１０に固定した後、スピンテーブル１０を停止したまま
透明基板１の中央部に接着剤３を滴下し、その後、スピ
ンテーブル１０を回転させて透明基板１の全面に接着剤
３を広げても良く、あるいはロールコート法、スプレー
法等によって紫外線硬化型接着剤３を塗布しても良い。

【００７３】実施例３の作製方法における「接着工程
（紫外線硬化型接着剤の塗布、有機複屈折膜の載置、回
転による平坦化、紫外線照射による接着剤の硬化）」
を、直径：１００ｍｍ、厚さ：１．０ｍｍの円板形状の
透明基板（材質：ショット製光学ガラスＢＫ７）に対し
て、「円形状で、厚さ：８０μｍの有機複屈折膜」の、
直径（＝最大長：ＬＦ）を６０〜１００ｍｍの範囲で５
ｍｍ刻みで変化させた９種類の膜を用いて実施した。

【００７４】載置装置を用いての「スピンテーブル回転
中心に対する有機複屈折膜中心の合せの精度」は、透明
基板の「直径のばらつき」や有機複屈折膜の「直径のば
らつき」、載置装置の機械精度等で決まるが、説明中の
例では±０．５ｍｍである。なお、載置装置にはスピン
テーブルの回転中心や有機複屈折膜の中心の検出機構、
フィードバック制御機構は搭載していない。

【００７５】紫外線硬化型接着剤を硬化させた後「各有
機複屈折膜の位置ずれ」を目視で観察した後、各基板を
スピンテーブルから外し、前述のリソグラフィー／エッ
チングによって回折格子を形成した後、等方性接着剤を
用い、直径：１００ｍｍ、厚み：１ｍｍの円板形状の対
向透明基板（材質：ショット製光学ガラスＢＫ７）を接
着し、ダンイシングソーを用いて５ｍｍ角に切りだし、
作製された偏光分離素子の素子数をカウントした。なお
対向透明基板の自由表面には入射光の反射が最小となる
よう反射防止膜を形成している。

【００７６】有機複屈折膜の最大長：ＬＦ（＝直径）に
対する「透明基板からのはみ出し」、得られた素子数の
関係は以下の通りである。 透明基板：ＬＳ 有機複屈折膜：ＬＦ はみ出し 偏光分離素子数（個） １００ｍｍ ６０ｍｍ ○ ８１ １００ｍｍ ６５ｍｍ ○ ９７ １００ｍｍ ７０ｍｍ ○ １２１ １００ｍｍ ７５ｍｍ ○ １３７ １００ｍｍ ８０ｍｍ ○ １５５ １００ｍｍ ８５ｍｍ ○ １７５ １００ｍｍ ９０ｍｍ ○ ２０３ １００ｍｍ ９５ｍｍ ○ ２１９ １００ｍｍ １００ｍｍ × ― ○は「透明基板から有機複屈折膜のはみ出しがない」も
の×は「透明基板から有機複屈折膜のはみ出しがある」
ものである。

【００７７】ＬＳ＝ＬＦ＝１００ｍｍの場合は、透明基
板から有機複屈折膜がはみ出したため、ドライエッチン
グ装置のロードチャンバーとプロセスチャンバー間で搬
送不良が生じ、偏光分離素子の作製が困難であった。一
方、ＬＳ−ＬＦ（＝ΔＳ）＝５〜４０ｍｍの条件下で
は、透明基板からの有機複屈折膜のはみ出しが無く、工
程間、装置間で搬送不良が発生せず、偏光分離素子の作
製プロセスを良好に実行できた。特にΔＳ＝５〜２０ｍ
ｍの条件では、１枚の透明基板に対する有機複屈折膜の
面積を比較的大きく取れるため、偏光分離素子の取り数
を多くでき、偏光分離素子の低コスト化が可能になる。

【００７８】上記結果から、上の実験の範囲では、透明
基板に対する有機複屈折膜の最大位置ずれ量：ΔＳは５
ｍｍ以下であることが分かる。

【００７９】実施例４ 図５を参照して、実施例４の作製方法を説明する。図５
（ａ）、（ｂ）は、上記実施例３と同様で、直径：１０
０ｍｍ、厚さ：１．０ｍｍのショット製光学ガラスＢＫ
７からなる円板形状の透明基板１をスピンテーブル１０
に真空吸着した後、実施例３において用いたものと同じ
く、屈折率：１．５８、粘度：６００ｃｐのエポキシ系
の紫外線硬化型接着剤３をディスペンサー１２で滴下
し、スピンテーブル１２を回転させて接着剤３を透明基
板１の全面に均一に塗布する。

【００８０】次いで、図５（ｃ）に示すように、片面に
粘着剤２を介して有機高分子からなる保護膜４を設けら
れた円形状の有機複屈折膜（直径：８０ｍｍ、厚さ：１
００μｍ）を、その中心をスピンテーブル１０の回転中
心にほぼ合せ、保護膜４の付いている面を自由表面とす
るようにして、紫外線硬化型接着剤３の上に載置装置
(図示されず)を用いて載せたのち、スピンテーブル１０
を再び回転させ、最終回転数になってから３０秒後に
「スピンテーブル１０を回転させた状態」で、高圧水銀
灯(図示されず)を用いて紫外線ＵＶを照射する(図５
（ｄ）)。保護膜４での紫外線吸収を考慮し、紫外線Ｕ
Ｖの照射エネルギーは、実施例３における値の１．２倍
とする。

【００８１】その後、スピンテーブル１０の回転を止
め、ピンセット等を用いて有機複屈折膜５の膜本体から
保護膜４を剥離し(図５(ｅ))、以下、有機複屈折膜５を
接着された透明基板１をスピンテーブル１０から外し、
実施例４と同様のリソグラフィー／エッチングによって
回折格子を形成した後、光学的に等方的なエポキシ系の
紫外線硬化型接着剤である「等方性接着剤」を用いて、
直径：１００ｍｍ、厚み：１ｍｍの円板形状の対向透明
基板（材質：ショット製光学ガラスＢＫ７）を接着す
る。なお対向透明基板の被接着面と対向する面には入射
光の反射が最小となるよう反射防止膜を形成しておく。

【００８２】図５（ｆ）は、対向透明基板を一体化した
中間完成体１Ｂを示している。図４におけると同様、符
号６が「等方性接着剤」、符号９が「対向透明基板」を
それぞれ示す。

【００８３】最後に、図５（ｇ）に示すように、ダンイ
シングソー１５を用いて中間完成体１Ｂを５ｍｍ角に切
断し、個々の偏光分離素子を得る。

【００８４】実施例４の作製方法によると、透明基板１
と有機複屈折膜５の貼り合せを行う「接着工程」を、有機
複屈折膜５の回折格子形成面を保護膜４で被覆した状態
で行うことができ、接着工程で「回折格子を形成する
面」にキズや異物を付けることがない。特に、紫外線Ｕ
Ｖを照射しながらスピンテーブル１０を回転させ、剰余
の紫外線硬化型接着剤を振り切る工程においては、振り
切られた接着剤のミストが回折格子を形成する面に付着
しないため、異物の非常に少ない有機複屈折膜表面を実
現でき、リソグラフィー工程でのパターン歩留を改善で
き、偏光分離素子の製造歩留を向上できる。

【００８５】なお、上記において、透明基板への接着剤
（アクリル系、エポキシ系）の塗布は、全て室温（１８
〜２７℃）で行った。

【００８６】

【発明の実施の形態】図６は、光ピックアップ装置の実
施の１形態を示す。この光ピックアップ装置はＣＤ用で
あり、レーザーダイオード８１から出射された波長：７
８０ｎｍの光は、偏光分離素子８３、コリメータレンズ
８５、対物レンズ８７を通って光ディスクであるＣＤ―
ＲＷ９０を照射する。記録面での反射光は戻り光束とな
り、偏光分離素子８３で回折され光検出素子８９に導光
され、フォーカス検出・トラック検出・信号検出が行わ
れる。

【００８７】偏光分離素子８３として、実施例１の作製
方法で作製されたものを用いて図６の光ピックアップ装
置を構成し、これを用いて、ＣＤ−ＲＷに信号を記録
し、その後同じ光ピックアップ装置で信号の再生を行っ
た所「プリズムを接着したビームスプリッタをλ／４波
長板と組み合わせた従来の偏光分離素子」を用いた場合
と同等の再生信号出力を得ることができ、この実施の形
態の光ピックアップ装置が「従来のもの」と同等の記録
／再生特性を持つことを確認できた。

【００８８】図６に示す実施の形態の光ピックアップ装
置では、偏光分離素子８３が従来の「プリズムを接着し
たビームスプリッタ」よりも小さくなっており、かつ偏
光分離素子にλ／４波長板も組み込んでいるため、従来
の光ピックアップと比較して小型化を実現できる。

【００８９】図７は光ピックアップ装置の実施の別形態
を示す。

【００９０】この光ピックアップ装置はＤＶＤ用のもの
であり、レーザーダイオード８１から出射された波長：
６８０ｎｍの光は、偏光分離素子８３とコリメータレン
ズ８５、λ／４波長板８６、対物レンズ８７を通った
後、光ディスクであるＤＶＤ９１を照射する。ＤＶＤ９
１の記録面で反射された戻り光束は、λ／４波長板８６
で直線偏光になった後、偏光分離素子８３で回折して光
検出素子８９に導光され、フォーカス検出・トラック検
出・信号検出が行われる。

【００９１】偏光分離素子８３として、実施例３の作製
方法で作製したものを用いて、図７の光ピックアップ装
置を構成し、ＤＶＤ−ＲＯＭから情報信号の再生を行っ
た所「プリズムを接着したビームスプリッタをλ／４波
長板と組合せて用いる、従来のＤＶＤ用の光ピックアッ
プ装置」と同等の信号出力を得ることができ、この実施
の形態の光ピックアップ装置が、従来の光ピックアップ
装置と同等の再生特性を持つことを確認できた。

【００９２】また、図７の光ピックアップ装置では、偏
光分離素子８３が「プリズムを接着したビームスプリッ
タ」よりも小さくなっているため、従来の光ピックアッ
プ装置よりも小型になっている。また、実施例３の偏光
分離素子は比較的安価に製造できるので、光ピックアッ
プ装置も低コスト化が可能である。

【００９３】図８は、有機複屈折膜を接着する「接着装
置」の実施の１形態を示している。この接着装置は、透
明基板１を保持するスピンテーブル１０と、スピンテー
ブル１０を回転させるステッピングモーター等からなる
回転機構（図示されず）と、透明基板１に紫外線硬化型
接着剤を塗布するディスペンサー（ロボットアーム１２
Ａで制御駆動される）１２からなる塗布機構と、２本の
吸着アーム５０によって有機複屈折膜５の両端を保持
し、透明基板１上に塗布された紫外線硬化型接着剤の層
上に有機複屈折膜５を載置する載置機構５５と、紫外線
硬化型接着剤に紫外線を照射する「高圧水銀灯やメタル
ハライドランプ等」からなる紫外線照射機構６０から構
成されている。

【００９４】有機複屈折膜５を透明基板１に接着する手
順は以下の如くである。

【００９５】直径：１００ｍｍ、厚さ：１．０ｍｍのシ
ョット製光学ガラスＢＫ７からなる透明基板１（この例
では、円板形状の一部を切り欠かれて「オリエンテーシ
ョンフラット」を形成されている）をスピンテーブル１
０に載置し、真空吸着によってスピンテーブル１０に固
定する。次いで、ロボットアーム１２Ａによりディスペ
ンサー１２を透明基板１の中央部上方に移動し、スピン
テーブル１０を回転機構によって１０ｒｐｍで回転させ
ながら、室温にて屈折率：１．５２、粘度：５００ｃｐ
のアクリル系の紫外線硬化型接着剤を４ｇ滴下する。

【００９６】その後、ディスペンサー１２を元位置に復
帰させ、スピンテーブル１０を３００ｒｐｍで回転さ
せ、透明基板全面に紫外線硬化型接着剤を広げ、その後
スピンテーブル１０の回転を停止する。

【００９７】続いて、直径：８０ｍｍ、厚さ：１００μ
ｍで円形状(「オリエンテーションフラット」を形成さ
れている)の有機複屈折膜５の両端を、載置機構の２本
の吸着アーム５０で真空吸着して保持し、有機複屈折膜
５を透明基板１上へ移動し、有機複屈折膜５の中心をス
ピンテーブル１０の回転中心にほぼ合せながら、２本の
吸着アーム５０の真空吸着を徐々に解除して紫外線硬化
型接着剤の上に有機複屈折膜を載置する。

【００９８】載置機構５５を元位置に戻したのち、スピ
ンテーブル１０を１８００ｒｐｍで回転させ、剰余の紫
外線硬化型接着剤を振り切り、有機複屈折膜５の表面を
平坦化したのちスピンテーブル１０の回転を停止し、透
明基板の上方へ紫外線照射機構６０を移動し、有機複屈
折膜５側から紫外線を照射して紫外線硬化型接着剤を硬
化させる。

【００９９】紫外線照射終了後、紫外線照射機構６０を
元位置に戻し、スピンテーブル１０の真空吸着を解除し
て有機複屈折膜５を接着した透明基板１を取り出す。

【０１００】上記のように、この接着装置を用いると、
実施例１の作製方法における接着工程を実現でき、透明
基板に接着される有機複屈折膜表面の平坦度を向上でき
る。

【０１０１】また、この実施の形態の接着装置を用いる
と、実施例１の作製方法を実現でき、透明基板から有機
複屈折膜がはみ出すことがない。

【０１０２】有機複屈折膜が透明基板からはみ出すよう
だと、接着工程において「有機複屈折膜の位置ずれを修
正」する必要があるが、この接着装置で実施例１の作製
方法の定着工程を実施すれば位置修正のための作業（位
置ずれが起きた場合、スピンテーブルの回転を停止し、
適切な位置へ有機複屈折膜を戻す作業を繰り返す）が不
用となるため接着工程のスループットが向上する。

【０１０３】また、位置ずれ修正の作業を無くすことが
できるため、スピンテーブルの回転数を一定化でき、接
着剤層の厚さを中間完成体相互で均一化でき、加えて偏
光分離素子の素子間での接着層厚さの変動を小さくでき
る。

【０１０４】上の説明例では、スピンテーブル１０の回
転停止後に紫外線照射機構６０によって紫外線を照射し
たが、スピンテーブル１０の回転中に透明基板１上に紫
外線照射機構６０を移動して紫外線照射を行うようにす
ると、実施例３の作製方法における接着工程を実現でき
る。

【０１０５】また有機複屈折膜として、片面に粘着剤を
介して有機高分子からなる保護膜を設けたものを用いる
と、実施例２、４の偏光分離素子の作製方法における接
着工程を実現できる。図８の実施の形態では、紫外線硬
化型接着剤の塗布にディスペンサー１２を用いたが、ス
プレーやロールコーターを用いても良い。

【０１０６】

【発明の効果】以上に説明したように、この発明によれ
ば新規な偏光分離素子、その作成方法、光ピックアップ
装置、定着装置を実現できる。この発明の作製方法によ
れば、接着工程において有機複屈折膜の表面を極めて高
精度に平坦化できる。そしてこの作成方法で作製された
偏光分離素子は、透過光に対する光路長が回折格子形成
領域で実質的に均一であり、回折光における波面の乱れ
を有効に軽減できる。

【０１０７】従って、この偏光分離素子を用いた光ピッ
クアップ装置は、光ディスクに対する情報の記録・再生
・消去の１以上を良好に行うことができ、従来のものよ
りもコンパクトに構成できる。また、この発明の接着装
置によれば、この発明の作製方法における接着工程を良
好に実現できる。

【０１０８】また、この発明の作製方法では、接着工程
の際に、有機複屈折膜が透明基板からずれて「はみ出
す」ことがない。従って、透明基板に対する有機複屈折
膜の位置ずれを修正する作業が不要であり、有機複屈折
膜が載置された透明基板を回転させるスピンテーブル１
０の回転時間を一定にでき、中間完成品間、延いては個
々の偏光分離素子間で「接着剤層の厚さを均一にする」
ことが可能となる。従って、偏光分離素子の製造コスト
を低減できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の作製方法を説明するための図であ
る。

【図２】実施例１の作製方法において、有機複屈折膜を
スピンテーブル上に載置した状態を説明図的に示す図で
ある。

【図３】実施例２の作製方法を説明するための図であ
る。

【図４】実施例３の作製方法を説明するための図であ
る。

【図５】実施例４の作製方法を説明するための図であ
る。

【図６】光ピックアップ装置の実施の１形態を示す図で
ある。

【図７】光ピックアップ装置の実施の別形態を示す図で
ある。

【図８】接着装置の実施の１形態を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１ 透明基板 ３ 紫外線硬化型接着剤 ５ 有機複屈折膜 １００ 偏光分離素子

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 曳地 秀一 東京都大田区中馬込１丁目３番６号・株式 会社リコー内 (72)発明者 森 孝二 東京都大田区中馬込１丁目３番６号・株式 会社リコー内 (72)発明者 守 哲司 東京都大田区中馬込１丁目３番６号・株式 会社リコー内 (72)発明者 鈴土 剛 東京都大田区中馬込１丁目３番６号・株式 会社リコー内 Ｆターム(参考） 2H049 AA03 AA07 AA37 AA43 AA64 BA05 BA07 BA24 BA45 BB03 BC13 BC14 5D119 AA01 AA38 JA25 NA05

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】透明基板上に、入射光の異なる振動面に対
   して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程
   と、上記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形
   成し、このマスクパターンを用いて有機複屈折膜をエッ
   チングして周期的な凹凸による回折格子を形成する工程
   とを有する偏光分離素子の作製方法において、 接着工程が、透明基板上に紫外線硬化型接着剤を塗布
   し、塗布された紫外線硬化型接着剤の上に有機複屈折膜
   を載せて透明基板を回転し、上記紫外線硬化型接着剤に
   紫外線を照射して、上記紫外線硬化型接着剤を硬化する
   工程からなり、 透明基板の最小長をＬＳ、上記回転の際の透明基板に対
   する有機複屈折膜の最大位置ずれ量をΔＳとするとき、
   有機複屈折膜として最大長：ＬＦが、条件：ＬＳ＞ＬＦ
   ＋ΔＳを満足するものを用いることを特徴とする偏光分
   離素子の作製方法。
2. 【請求項２】請求項１記載の偏光分離素子の作製方法に
   おいて、 ΔＳの範囲が５〜２０ｍｍであることを特徴とする偏光
   分離素子の作製方法。
3. 【請求項３】請求項１または２記載の偏光分離素子の作
   製方法において、 有機複屈折膜は、透明基板に接着されない側の面に、粘
   着剤を介して保護膜が設けられたものであり、紫外線硬
   化型接着剤に紫外線を照射して硬化させた後、上記保護
   膜を上記有機複屈折膜の膜本体から剥離することを特徴
   とする偏光分離素子の作製方法。
4. 【請求項４】透明基板上に、入射光の異なる振動面に対
   して屈折率が異なる有機複屈折膜を接着する接着工程
   と、上記有機複屈折膜上に周期的なマスクパターンを形
   成し、このマスクパターンを用いて上記有機複屈折膜を
   エッチングして周期的な凹凸による回折格子を形成する
   工程とを有する偏光分離素子の作製方法において、 接着工程が、透明基板上に紫外線硬化型接着剤を塗布
   し、塗布された紫外線硬化型接着剤上に有機複屈折膜を
   載せ、透明基板を回転させつつ紫外線硬化型接着剤に紫
   外線を照射して上記紫外線硬化型接着剤を硬化する工程
   からなり、 透明基板の最小長をＬＳ、上記回転の際の透明基板に対
   する有機複屈折膜の最大位置ずれ量をΔＳとするとき、
   有機複屈折膜として最大長：ＬＦが、条件：ＬＳ＞ＬＦ
   ＋ΔＳを満足するものを用いることを特徴とする偏光分
   離素子の作製方法。
5. 【請求項５】請求項４記載の偏光分離素子の作製方法に
   おいて、 ΔＳの範囲が５〜２０ｍｍであることを特徴とする偏光
   分離素子の作製方法。
6. 【請求項６】請求項４または５記載の偏光分離素子の作
   製方法において、 有機複屈折膜は、透明基板に接着されない側の面に、粘
   着剤を介して保護膜が設けられたものであり、紫外線硬
   化型接着剤に紫外線を照射して硬化させた後、上記保護
   膜を上記有機複屈折膜の膜本体から剥離することを特徴
   とする偏光分離素子の作製方法。
7. 【請求項７】請求項１〜６の任意の１に記載の作製方法
   によって作製される偏光分離素子。
8. 【請求項８】請求項７記載の偏光分離素子を用いること
   を特徴とする光ピックアップ装置。
9. 【請求項９】透明基板を保持するスピンテーブルと、 このスピンテーブルを回転させる回転機構と、 上記スピンテーブルに保持された透明基板に、紫外線硬
   化型接着剤を塗布する塗布機構と、 上記透明基板上に塗布された紫外線硬化型接着剤の上に
   有機複屈折膜を載置する載置機構と、 上記有機複屈折膜を介して上記紫外線硬化型接着剤に紫
   外線を照射する紫外線照射機構とを有する有機複屈折膜
   の接着装置。